本實(shí)用新型涉及回收裝置，具體是一種用于回收利用硅片切割廢砂漿中固體硅渣的裝置。

背景技術(shù)：

硅材料線切割廢砂漿( 簡稱硅切割廢砂漿) 是在硅晶片材的加工過程中對高純度的單晶硅和多晶硅胚料進(jìn)行線切割過程中產(chǎn)生的一種廢料，主要來自集成電路用基板和太陽能電池基板的多線切割和打磨拋光過程中；目前回收PEG 的一般是先采用過濾或離心分離將料漿進(jìn)行固液分離，然后將得到的液體進(jìn)行脫水或蒸餾，即可得到PEG；回收SiC 的方法一般是將固液分離得到的固體進(jìn)行酸洗除鐵、堿溶除硅(Si)，然后經(jīng)干燥后氣流分級得到SiC 微粉，但是在多晶硅的切割過程中，約50％的多晶硅以Si 粉的形式進(jìn)入料漿而損失，在固液分離的時(shí)候隨固體過濾液被排出，使得硅渣回收的時(shí)候還有大量的浪費(fèi)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于回收利用硅片切割廢砂漿中固體硅渣的裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

一種用于回收利用硅片切割廢砂漿中固體硅渣的裝置，包括裝置本體，所述裝置本體主要是由進(jìn)料口、離心機(jī)、切割液出口、廢渣出口、固液分離裝置、送料泵、堿液入口、堿洗腔、排水口、酸液入口A、酸洗腔A、干燥裝置A、酸洗腔B、酸液入口B、過濾器、干燥裝置B、砂漿出口構(gòu)成；所述裝置本體設(shè)置離心機(jī)，所述離心機(jī)上設(shè)有進(jìn)料口，所述進(jìn)料口與離心機(jī)內(nèi)部相連通，所述離心機(jī)的左側(cè)設(shè)置切割液出口和砂漿出口，通過切割液出口和砂漿出口將切割液和砂漿排出進(jìn)行回收利用，所述離心機(jī)的右側(cè)設(shè)置廢渣出口，所述廢渣出口與離心機(jī)內(nèi)部相連通，裝置本體設(shè)置固液分離裝置，廢渣出口通過管道與固液分離裝置的內(nèi)部相連通，所述固液分離裝置的右側(cè)設(shè)有管道，所述管道的端部設(shè)置堿洗腔，所述堿洗腔與固液分離裝置之間通過管道相連通，堿洗腔的右側(cè)設(shè)置酸洗腔A，所述酸洗腔A與堿洗腔之間通過管道連接，所述酸洗腔A的右側(cè)設(shè)置干燥裝置A，所述干燥裝置A與酸洗腔A的內(nèi)部相連通，所述干燥裝置A主要是由干燥裝置本體、紅外干燥器、托盤構(gòu)成，所述干燥裝置A的內(nèi)壁設(shè)置紅外干燥器，所述紅外干燥器與干燥裝置A的內(nèi)壁固定連接，干燥裝置A的底部設(shè)置托盤，所述托盤與干燥裝置A之間活動連接，通過托盤盛放干燥后的回收物；所述固液分離裝置的底部設(shè)置酸洗腔B，所述酸洗腔B與固液分離裝置的內(nèi)部相連通，通過酸洗腔B對固液分離裝置分離的液體混合物進(jìn)行酸洗，酸洗腔B上設(shè)有酸液入口B，所述酸液入口B與酸洗腔B的內(nèi)部相連通，酸洗腔B的右側(cè)設(shè)置過濾器，所述過濾器與酸洗腔B之間通過管道相連通，所述過濾器的右側(cè)設(shè)置干燥裝置B，所述干燥裝置B與過濾器之間通過管道相連通。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述堿洗腔與固液分離裝置之間的管道上設(shè)有堿液入口，所述堿液入口與管道之間固定連接，通過堿液入口向堿洗腔內(nèi)部注入堿液以及清水，管道內(nèi)部設(shè)置送料泵，所述送料泵的一端與固液分離裝置內(nèi)部連通，另一端與堿洗腔內(nèi)部連通。

作為本實(shí)用新型再進(jìn)一步的方案：所述酸洗腔A與堿洗腔之間的管道上設(shè)置酸液入口A，所述酸液入口A與管道之間固定連接，通過酸液入口A向酸洗腔A內(nèi)部注入酸液以及清水，管道內(nèi)部設(shè)置送料泵，所述送料泵的一端與堿洗腔內(nèi)部連通，另一端與酸洗腔A內(nèi)部連通。

作為本實(shí)用新型再進(jìn)一步的方案：所述堿洗腔與固液分離裝置之間的管道和酸洗腔A與堿洗腔之間的管道上都設(shè)置閥門，通過閥門控制管道的導(dǎo)通與關(guān)閉；所述堿洗腔與酸洗腔A的頂部都設(shè)置排水口，所述排水口與堿洗腔與酸洗腔A之間固定連接，通過排水口將堿洗、酸洗以及水洗后的污水排出。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，不僅解決了對廢砂漿中的碳化硅的回收利用，也對回收過程中的固體過濾液進(jìn)行回收，回收效率高，避免了大量硅粉的浪費(fèi)，節(jié)約了大量資源。

附圖說明

圖1為用于回收利用硅片切割廢砂漿中固體硅渣的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1-進(jìn)料口、2-離心機(jī)、3-切割液出口、4-廢渣出口、5-固液分離裝置、6-送料泵、7-堿液入口、8-堿洗腔、9-排水口、10-酸液入口A、11-酸洗腔A、12-干燥裝置A、13-紅外干燥器、14-托盤、15-酸洗腔B、16-酸液入口B、17-過濾器、18-干燥裝置B、19-砂漿出口。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體實(shí)施方式對本專利的技術(shù)方案作進(jìn)一步詳細(xì)地說明。

請參閱圖1，一種用于回收利用硅片切割廢砂漿中固體硅渣的裝置，包括裝置本體，所述裝置本體主要是由進(jìn)料口1、離心機(jī)2、切割液出口3、廢渣出口4、固液分離裝置5、送料泵6、堿液入口7、堿洗腔8、排水口9、酸液入口A10、酸洗腔A11、干燥裝置A12、酸洗腔B15、酸液入口B16、過濾器17、干燥裝置B18、砂漿出口19構(gòu)成；所述裝置本體設(shè)置離心機(jī)2，所述離心機(jī)2上設(shè)有進(jìn)料口1，所述進(jìn)料口1與離心機(jī)2內(nèi)部相連通，所述離心機(jī)2的左側(cè)設(shè)置切割液出口3和砂漿出口19，通過切割液出口3和砂漿出口19將切割液和砂漿排出進(jìn)行回收利用，所述離心機(jī)2的右側(cè)設(shè)置廢渣出口4，所述廢渣出口4與離心機(jī)2內(nèi)部相連通，裝置本體設(shè)置固液分離裝置5，廢渣出口4通過管道與固液分離裝置5的內(nèi)部相連通，所述固液分離裝置5的右側(cè)設(shè)有管道，所述管道的端部設(shè)置堿洗腔8，所述堿洗腔8與固液分離裝置5之間通過管道相連通，堿洗腔8的右側(cè)設(shè)置酸洗腔A11，所述酸洗腔A11與堿洗腔8之間通過管道連接，所述酸洗腔A11的右側(cè)設(shè)置干燥裝置A12，所述干燥裝置A12與酸洗腔A11的內(nèi)部相連通，所述干燥裝置A12主要是由干燥裝置本體、紅外干燥器13、托盤14構(gòu)成，所述干燥裝置A12的內(nèi)壁設(shè)置紅外干燥器13，所述紅外干燥器13與干燥裝置A12的內(nèi)壁固定連接，干燥裝置A12的底部設(shè)置托盤14，所述托盤14與干燥裝置A12之間活動連接，通過托盤14盛放干燥后的回收物；所述固液分離裝置5的底部設(shè)置酸洗腔B15，所述酸洗腔B15與固液分離裝置5的內(nèi)部相連通，通過酸洗腔B15對固液分離裝置5分離的液體混合物進(jìn)行酸洗，酸洗腔B15上設(shè)有酸液入口B16，所述酸液入口B16與酸洗腔B15的內(nèi)部相連通，酸洗腔B15的右側(cè)設(shè)置過濾器17，所述過濾器17與酸洗腔B15之間通過管道相連通，所述過濾器17的右側(cè)設(shè)置干燥裝置B18，所述干燥裝置B18與過濾器17之間通過管道相連通。

本實(shí)用新型的工作原理是：所述堿洗腔8與固液分離裝置5之間的管道上設(shè)有堿液入口7，所述堿液入口7與管道之間固定連接，通過堿液入口7向堿洗腔8內(nèi)部注入堿液以及清水，管道內(nèi)部設(shè)置送料泵6，所述送料泵6的一端與固液分離裝置5內(nèi)部連通，另一端與堿洗腔8內(nèi)部連通。

所述酸洗腔A11與堿洗腔8之間的管道上設(shè)置酸液入口A10，所述酸液入口A10與管道之間固定連接，通過酸液入口A10向酸洗腔A11內(nèi)部注入酸液以及清水，管道內(nèi)部設(shè)置送料泵6，所述送料泵6的一端與堿洗腔8內(nèi)部連通，另一端與酸洗腔A11內(nèi)部連通。

所述堿洗腔8與固液分離裝置5之間的管道和酸洗腔A11與堿洗腔8之間的管道上都設(shè)置閥門，通過閥門控制管道的導(dǎo)通與關(guān)閉；所述堿洗腔8與酸洗腔A11的頂部都設(shè)置排水口9，所述排水口9與堿洗腔8與酸洗腔A11之間固定連接，通過排水口9將堿洗、酸洗以及水洗后的污水排出。

所述干燥裝置B18與干燥裝置A12的內(nèi)部結(jié)構(gòu)及其功能一樣，通過干燥裝置A12對固液分離裝置5分離出的沉淀層中的碳化硅進(jìn)行干燥回收，通過干燥裝置B18對固液分離裝置5分離的液體混合物中的晶體硅進(jìn)行干燥回收。

上面對本專利的較佳實(shí)施方式作了詳細(xì)說明，但是本專利并不限于上述實(shí)施方式，在本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員所具備的知識范圍內(nèi)，還可以在不脫離本專利宗旨的前提下做出各種變化。