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      一種多晶鑄錠系統(tǒng)的制作方法

      文檔序號:11147577閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種多晶鑄錠系統(tǒng),包括坩堝,所述坩堝的外圍非接觸式的設(shè)置有護板,其特征在于,所述坩堝的內(nèi)壁刷涂有第一預(yù)設(shè)厚度的第一氮化硅涂層,所述第一氮化硅涂層的表面噴涂有第二預(yù)設(shè)厚度的第二氮化硅涂層。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶鑄錠系統(tǒng),其特征在于,所述護板的面向所述坩堝的一面設(shè)置有用于隔絕所述護板和所述坩堝的隔板。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶鑄錠系統(tǒng),其特征在于,所述護板的頂邊開設(shè)有用于阻止?fàn)t體中的雜質(zhì)進入硅液中的凹槽。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶鑄錠系統(tǒng),其特征在于,所述第一預(yù)設(shè)厚度的范圍為0.07毫米至0.10毫米。

      5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶鑄錠系統(tǒng),其特征在于,所述第二預(yù)設(shè)厚度的范圍為0.35毫米至0.40毫米。

      6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多晶鑄錠系統(tǒng),其特征在于,所述隔板為鉬板或鎢板。

      7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多晶鑄錠系統(tǒng),其特征在于,所述凹槽的深度范圍為40毫米至45毫米。

      8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的多晶鑄錠系統(tǒng),其特征在于,所述隔板的厚度范圍為0.30毫米至0.40毫米。

      9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一項所述的多晶鑄錠系統(tǒng),其特征在于,所述護板為石墨護板。

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