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      一種提高鉬片保溫屏使用壽命的裝配結(jié)構(gòu)及其裝配方法與流程

      文檔序號:11147617閱讀:663來源:國知局
      一種提高鉬片保溫屏使用壽命的裝配結(jié)構(gòu)及其裝配方法與制造工藝

      本發(fā)明涉及晶體生長爐溫場結(jié)構(gòu)領(lǐng)域,特別涉及一種提高鉬片保溫屏使用壽命的裝配結(jié)構(gòu)及其裝配方法。



      背景技術(shù):

      鉬片保溫屏作為溫場的重要組成部分,起著保溫、調(diào)溫的作用,由于現(xiàn)有使用的鉬片保溫屏均是通過多塊鉬片相互疊加在一起形成的,這種結(jié)構(gòu)在高溫狀態(tài)下容易產(chǎn)生變形,變形后會影響坩堝和鉬片保溫屏的貼合度,導(dǎo)致晶體生長的保溫效果下降,對晶體(產(chǎn)品)的內(nèi)部質(zhì)量產(chǎn)生非常壞的影響。因此,變形后的鉬片保溫屏就必須更換,據(jù)使用統(tǒng)計(jì),現(xiàn)有使用的鉬片保溫屏在使用5次左右后就產(chǎn)生了較大的變形,就必須對其進(jìn)行更換,為此,有必要改進(jìn)鉬片保溫屏的裝配結(jié)構(gòu),以提高其使用壽命。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      本發(fā)明的發(fā)明目的在于:針對上述存在的問題,提供一種提高鉬片保溫屏使用壽命的裝配結(jié)構(gòu)及其裝配方法,通過改變現(xiàn)有的組裝方式,提高單塊鉬片的變形強(qiáng)度,使整個(gè)鉬片保溫屏的變形強(qiáng)度得到提高,鉬片保溫屏不易產(chǎn)生變形,進(jìn)而有效提高鉬片保溫屏的使用壽命,降低生產(chǎn)成本。

      本發(fā)明采用的技術(shù)方案如下:一種提高鉬片保溫屏使用壽命的裝配結(jié)構(gòu),包括多塊相互疊加的鉬片,其特征在于,在單塊鉬片上,由中心向外側(cè)方向依次分為空心區(qū)、內(nèi)部區(qū)、中部區(qū)和外部區(qū),空心區(qū)由晶體生長孔和觀察孔構(gòu)成,中部區(qū)設(shè)有加強(qiáng)隔條,在鉬片的內(nèi)部區(qū)和外部區(qū)上分別環(huán)形分布有多個(gè)內(nèi)支撐棍安裝孔和外支撐棍安裝孔,內(nèi)支撐輥安裝孔處和外支撐輥安裝孔處分別設(shè)有內(nèi)加強(qiáng)隔條和外加強(qiáng)隔條,內(nèi)加強(qiáng)隔條沿內(nèi)支撐棍安裝孔的環(huán)形分布路徑設(shè)置,外加強(qiáng)隔條沿外支撐棍安裝孔的環(huán)形分布路徑設(shè)置。

      進(jìn)一步,所述加強(qiáng)隔條呈星形結(jié)構(gòu),其均勻地分布在鉬片的中部區(qū),要求加強(qiáng)隔條緊貼于兩塊鉬片之間。

      進(jìn)一步,在鉬片的中部區(qū)上環(huán)形分布有多個(gè)溫場調(diào)節(jié)孔,溫場調(diào)節(jié)孔與加強(qiáng)隔條互不相交。

      進(jìn)一步,在鉬片的中部區(qū)上環(huán)形分布有多個(gè)溫場微調(diào)孔,溫場微調(diào)孔的孔徑小于溫場調(diào)節(jié)孔的孔徑,且溫場微調(diào)孔與加強(qiáng)隔條互不相交。

      本發(fā)明還包括一種提高鉬片保溫屏使用壽命的裝配方法,包括以下步驟:

      步驟1、在鉬片的空心區(qū)處分別加工出晶體生長孔和觀察孔,然后分別在鉬片的內(nèi)部區(qū)、中部區(qū)和外部區(qū)上分別加工出內(nèi)支撐輥安裝孔、溫場調(diào)節(jié)孔、溫場微調(diào)孔和外支撐輥安裝孔;

      步驟2、根據(jù)設(shè)計(jì)要求,制作支撐輥、內(nèi)加強(qiáng)隔條、加強(qiáng)隔條和外加強(qiáng)隔條,待用;

      步驟3、將支撐輥分別插入并固定于內(nèi)支撐輥安裝孔和外支撐輥安裝孔中,沿內(nèi)支撐輥安裝孔和外支撐輥安裝孔的分布路徑,分別將內(nèi)加強(qiáng)隔條和外加強(qiáng)隔條安裝并環(huán)繞在支撐輥的附近;

      步驟4、將加強(qiáng)隔條安裝于鉬片的中部區(qū),要求加強(qiáng)隔條不遮擋溫場調(diào)節(jié)孔和溫場微調(diào)孔;

      步驟5、另取一塊鉬片,重復(fù)步驟1,并按前一塊鉬片的模樣加工出相同的結(jié)構(gòu)和尺寸,然后通過支撐輥封蓋于前一塊鉬片上并扣緊固定,要求內(nèi)加強(qiáng)隔條、加強(qiáng)隔條和外加強(qiáng)隔條都緊貼在兩塊鉬片上,且兩塊鉬片通過內(nèi)加強(qiáng)隔條和外加強(qiáng)隔條密封彼此之間的安裝間隙;其中,要求兩塊鉬片的觀察孔相對設(shè)置;

      步驟6、重復(fù)步驟1至5,直至相互疊加形成的鉬片保溫屏滿足厚度設(shè)計(jì)要求為止,裝配完成。

      進(jìn)一步,鉬片保溫屏的首尾兩片鉬片上的內(nèi)支撐輥安裝孔和外支撐輥安裝孔為盲孔結(jié)構(gòu),其溫場調(diào)節(jié)孔和溫場微調(diào)孔為通孔結(jié)構(gòu)。

      進(jìn)一步,在疊加安裝鉬片時(shí),要求鉬片之間的觀察孔彼此斜對設(shè)置,并沿垂直于觀察孔的方向形成階梯狀疊加結(jié)構(gòu)。

      綜上所述,由于采用了上述技術(shù)方案,本發(fā)明的有益效果是:通過改變現(xiàn)有的組裝方式,提高了單塊鉬片的變形強(qiáng)度,使相鄰兩塊鉬片之間原本空隙的區(qū)域的變形強(qiáng)度得到加強(qiáng),在高溫狀態(tài)時(shí),坩堝和鉬片保溫屏貼合的時(shí)候不易產(chǎn)生變形,有效提高了鉬片保溫屏的使用壽命,降低了生產(chǎn)成本;據(jù)實(shí)驗(yàn)測出,改進(jìn)后的鉬片保溫屏的使用次數(shù)達(dá)到15-20次,其使用壽命提高了300%以上,生產(chǎn)成本得到有效降低。

      附圖說明

      圖1是本發(fā)明的鉬片保溫屏用鉬片的三維結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖2是圖1中鉬片的主視結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖3是本發(fā)明的鉬片裝配支撐輥和加強(qiáng)隔條后的結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖4是在圖3中裝配內(nèi)加強(qiáng)隔條和外加強(qiáng)隔條后的結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖5是本發(fā)明的鉬片保溫屏裝配完成后的三維結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖6是本發(fā)明的鉬片保溫屏裝配完成后的主視結(jié)構(gòu)示意圖。

      圖中標(biāo)記:1為鉬片,101為晶體生長孔,102為觀察孔,2為空心區(qū),3為內(nèi)部區(qū),4為中部區(qū),5為外部區(qū),6為加強(qiáng)隔條,7為溫場調(diào)節(jié)孔,8為溫場微調(diào)孔,9為內(nèi)支撐棍安裝孔,10為外支撐棍安裝孔,11為內(nèi)加強(qiáng)隔條,12為外加強(qiáng)隔條,13為支撐輥。

      具體實(shí)施方式

      下面結(jié)合附圖,對本發(fā)明作詳細(xì)的說明。

      為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白,以下結(jié)合附圖及實(shí)施例,對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解,此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明,并不用于限定本發(fā)明。

      如圖1至圖6所示,一種提高鉬片保溫屏使用壽命的裝配結(jié)構(gòu),包括多塊相互疊加的鉬片1,在單塊鉬片1的中心處設(shè)有晶體生長孔101,設(shè)于晶體生長孔101一側(cè)并相交的觀察孔102,在單塊鉬片1上,由中心向外側(cè)方向依次分為空心區(qū)2、內(nèi)部區(qū)3、中部區(qū)4和外部區(qū)5,空心區(qū)2由晶體生長孔101和觀察孔102構(gòu)成,中部區(qū)4設(shè)有加強(qiáng)隔條6,如圖3所示,所述加強(qiáng)隔條6用于提高中部區(qū)4的變形強(qiáng)度,相鄰兩塊鉬片1相互扣合固定連接(可以采用型面扣合,亦或是螺釘固定)時(shí),將加強(qiáng)隔條6內(nèi)嵌于其間使其夾住固定,加強(qiáng)隔條6即可實(shí)現(xiàn)提高中部區(qū)4的變形強(qiáng)度的作用。

      更進(jìn)一步地說,所述加強(qiáng)隔條6呈星形結(jié)構(gòu),其均勻地分布在鉬片1的中部區(qū)4,其中,要求加強(qiáng)隔條6緊貼于兩塊鉬片1之間,為鉬片1提供支撐。通過設(shè)置加強(qiáng)隔條6來加強(qiáng)鉬片1之間的支撐強(qiáng)度,使坩堝頂住鉬片保溫屏?xí)r,為鉬片1上受高溫加熱的區(qū)域提供支撐點(diǎn),其中,為了使鉬片1之間空隙的地方均能獲得支撐點(diǎn),將加強(qiáng)隔條6彎制成星形狀,如圖3所示,以使坩堝頂在鉬片保溫屏的任何一個(gè)位置時(shí),都將會有一個(gè)支撐點(diǎn),提高了單塊鉬片1的變形強(qiáng)度,在高溫狀態(tài)下,坩堝和鉬片保溫屏貼合時(shí)不易產(chǎn)生變形,進(jìn)而提高了鉬片保溫屏的使用壽命,降低了生產(chǎn)成本。當(dāng)然,加強(qiáng)隔條的形狀優(yōu)選為星形,但不限于星形,其還可以是鋸齒形,或者直接是弧形。

      更進(jìn)一步地說,在鉬片1的中部區(qū)4上環(huán)形分布有多個(gè)溫場調(diào)節(jié)孔7,如圖2所示,溫場調(diào)節(jié)孔7與加強(qiáng)隔條6互不相交,以防止加強(qiáng)隔條6遮擋溫場調(diào)節(jié)孔7而影響其發(fā)揮作用。溫場調(diào)節(jié)孔7用于調(diào)節(jié)溫場內(nèi)的溫度分布,以使溫場內(nèi)的溫度分布均勻。

      更進(jìn)一步地說,在鉬片1的中部區(qū)4上還環(huán)形分布有多個(gè)溫場微調(diào)孔8,如圖2所示,溫場微調(diào)孔8的孔徑小于溫場調(diào)節(jié)孔7的孔徑,且溫場微調(diào)孔8與加強(qiáng)隔條6互不相交,以防止加強(qiáng)隔條6遮擋溫場微調(diào)孔8而影響其發(fā)揮作用。溫場微調(diào)孔8用于微調(diào)溫場內(nèi)的溫度分布,以精確控制溫場內(nèi)的溫度分布狀態(tài)。

      更進(jìn)一步地說,為了便于鉬片間的裝配,在鉬片1的內(nèi)部區(qū)3上環(huán)形分布有多個(gè)內(nèi)支撐棍安裝孔9,內(nèi)支撐輥安裝孔9處設(shè)有內(nèi)加強(qiáng)隔條11,內(nèi)加強(qiáng)隔條11沿內(nèi)支撐棍安裝孔9的環(huán)形分布路徑設(shè)置,以環(huán)抱住插入內(nèi)支撐安裝孔9內(nèi)的支撐輥13,內(nèi)加強(qiáng)隔條11的寬度與加強(qiáng)隔條6的寬度相等,進(jìn)而為鉬片提高支撐,其中,內(nèi)支撐棍安裝孔9除了用于安裝支撐輥13外,還起著定位定形的作用,便于后期制作和安裝內(nèi)加強(qiáng)隔條11。由于晶體生產(chǎn)孔101用于生長出的晶體通過鉬片保溫屏,晶體生長孔101附近的區(qū)域溫度較大,鉬片1易發(fā)生變形,為此,通過設(shè)置內(nèi)加強(qiáng)隔條11可提高此處的變形強(qiáng)度,進(jìn)一步提高鉬片保溫屏的使用壽命。

      更進(jìn)一步地說,在鉬片1的外部區(qū)5上環(huán)形分布有多個(gè)外支撐棍安裝孔10,外支撐輥安裝孔10處設(shè)有外加強(qiáng)隔條12,外加強(qiáng)隔條12沿外支撐棍安裝孔10的環(huán)形分布路徑設(shè)置,外加強(qiáng)隔條12的寬度與加強(qiáng)隔條6的寬度相等,進(jìn)而為鉬片提高支撐,同樣,外支撐棍安裝孔10與內(nèi)支撐棍安裝孔9作用相同,除了用于安裝支撐輥13外,還起著定位定形的作用,便于后期制作和安裝外加強(qiáng)隔條12,。外加強(qiáng)隔條12用于提高鉬片1的外部區(qū)5的變形強(qiáng)度,進(jìn)一步提高鉬片保溫屏的使用壽命。

      考慮到耐高溫的問題,加強(qiáng)隔條6、內(nèi)加強(qiáng)隔條11和外加強(qiáng)隔條12均采用鉬金屬材料。類似地,鉬片1之間通過支撐輥13插接固定,支撐輥13采用鉬金屬材料制成。

      為了更進(jìn)一步地說明本發(fā)明的鉬片保溫屏的裝配結(jié)構(gòu),以下為本發(fā)明的鉬片保溫屏的裝配方法,包括以下步驟:

      步驟1、在鉬片1的空心區(qū)2處分別加工出晶體生長孔101和觀察孔102,然后分別在鉬片1的內(nèi)部區(qū)3、中部區(qū)4和外部區(qū)5上分別加工出內(nèi)支撐輥安裝孔9、溫場調(diào)節(jié)孔7、溫場微調(diào)孔8和外支撐輥安裝孔10;

      步驟2、根據(jù)設(shè)計(jì)要求,制作支撐輥13、內(nèi)加強(qiáng)隔條11、加強(qiáng)隔條6和外加強(qiáng)隔條12,待用;

      步驟3、將支撐輥13分別插入并固定于內(nèi)支撐輥安裝孔9和外支撐輥安裝孔10中,沿內(nèi)支撐輥安裝孔9和外支撐輥安裝孔10的分布路徑,分別將內(nèi)加強(qiáng)隔條11和外加強(qiáng)隔條12安裝并環(huán)繞在支撐輥13的附近,如圖4所示;

      步驟4、將加強(qiáng)隔條6安裝于鉬片1的中部區(qū)4,要求加強(qiáng)隔條6不遮擋溫場調(diào)節(jié)孔7和溫場微調(diào)孔8,如圖4所示;

      步驟5、另取一塊鉬片1,重復(fù)步驟1,并按前一塊鉬片1的模樣加工出相同的結(jié)構(gòu)和尺寸,然后通過支撐輥13封蓋于前一塊鉬片1上并扣緊固定,要求內(nèi)加強(qiáng)隔條11、加強(qiáng)隔條6和外加強(qiáng)隔條12都緊貼在兩塊鉬片1上,且兩塊鉬片1通過內(nèi)加強(qiáng)隔條11和外加強(qiáng)隔條12密封彼此之間的安裝間隙;其中,要求兩塊鉬片1的觀察孔102相對設(shè)置,如圖5所示;

      步驟6、重復(fù)步驟1至5,直至相互疊加形成的鉬片保溫屏滿足厚度設(shè)計(jì)要求為止,裝配完成,如圖5所示。

      在上述裝配方法中,為了使加強(qiáng)隔條6盡可能多的分布于兩層鉬片1之間原本空隙的地方,以提高鉬片1各區(qū)域的變形強(qiáng)度,要求加強(qiáng)隔條6為環(huán)狀的星形結(jié)構(gòu)。

      在上述裝配方法中,鉬片保溫屏的首尾兩片鉬片1上的內(nèi)支撐輥安裝孔9和外支撐輥安裝孔10為盲孔結(jié)構(gòu),減少對溫場內(nèi)溫度的影響,同時(shí),該兩片鉬片1的溫場調(diào)節(jié)孔7和溫場微調(diào)孔8為通孔結(jié)構(gòu)。

      在上述裝配方法中,在疊加安裝鉬片1時(shí),為了便于更好地觀察坩堝內(nèi)的情況,可要求鉬片1之間的觀察孔102彼此斜對設(shè)置,并沿垂直于觀察孔102的方向形成階梯狀疊加結(jié)構(gòu),如圖6所示,相應(yīng)地,相鄰鉬片之間的溫場調(diào)節(jié)孔7、溫場微調(diào)孔8、內(nèi)支撐棍安裝孔9和外支撐棍安裝孔10作出對應(yīng)地位置移動,使彼此之間一一對應(yīng)。

      據(jù)實(shí)驗(yàn)測出,改進(jìn)后的鉬片保溫屏的使用次數(shù)達(dá)到15-20次,其使用壽命提高了300%以上,生產(chǎn)成本得到有效降低。例如,將改進(jìn)后的鉬片保溫屏應(yīng)用于R07#生長爐上,其使用10次后才開始出現(xiàn)輕微變形,18次后報(bào)廢更換,效果顯著。

      以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已,并不用以限制本發(fā)明,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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