本發(fā)明屬于功能材料領(lǐng)域，涉及在功能化的fto/glass基板表面制備lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜，具體為bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3/bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3超晶格薄膜。
背景技術(shù)：
多鐵材料越來越受到世界上科學(xué)家們的高度關(guān)注，己成為近年來國際上的一個研究熱點。bifeo3(bfo)是一種典型的單相多鐵性材料，在室溫下同時具有鐵電性和鐵磁性，具有高的居里溫度(tc～1023k)和尼爾溫度(tn～643k)?；诙噼F性材料特有的性質(zhì)，bfo在鐵電和磁性器件、磁電耦合等方面具有廣泛的應(yīng)用前景。
由于bfo材料本身易因bi3+的揮發(fā)變價、fe離子的變價而產(chǎn)生氧空位等缺陷，并在材料內(nèi)形成偶極子，大的漏導(dǎo)電流、高的介電弛豫現(xiàn)象、低的擊穿場強和電阻對bfo的應(yīng)用具有較大影響，大的漏導(dǎo)往往使bfo在極化飽和前擊穿。通過離子摻雜可以有效的提高薄膜的鐵電、鐵磁性能。另外，可以通過將現(xiàn)有的一些功能材料通過界面工程將其組合起來，制備出一些異質(zhì)結(jié)或者超晶格結(jié)構(gòu)。超晶格是將兩種或兩種以上不同材料按照特定的迭代序列，沉積在襯底上而構(gòu)成的。其中調(diào)制摻雜超晶格是在同種材料中有規(guī)則地?fù)饺氩煌瑵舛鹊碾s質(zhì)，在界面處由于費米能級的不同，會產(chǎn)生電荷遷移，能帶發(fā)生彎曲；可以通過改變超晶格薄膜的界面化學(xué)環(huán)境來控制界面結(jié)構(gòu)，可以顯著提高界面的電學(xué)性質(zhì)。通過利用超晶格薄膜的應(yīng)力或應(yīng)變、層間耦合等物理效應(yīng)，可得到高性能或單一結(jié)構(gòu)材料不具有的物理性能。鐵電超晶格薄膜結(jié)構(gòu)材料因其具有比單體材料更多的優(yōu)越性能而受到越來越多的關(guān)注，在介電、鐵電、鐵磁性能上有優(yōu)越的表現(xiàn)。
目前，還沒有關(guān)于bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3/bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3超晶格薄膜及其制備方法的相關(guān)報道。
技術(shù)實現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的在于提供一種lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜及其制備方法，該方法設(shè)備要求簡單，實驗條件容易達(dá)到，摻雜量容易控制，制得的lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜為bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3/bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3超晶格薄膜，可改善bifeo3基薄膜的多鐵性能。
為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：
一種lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜，所述lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜由若干層相互間隔排列的晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜和晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜依次疊加構(gòu)成。
所述晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜的結(jié)構(gòu)為三方結(jié)構(gòu)，空間群為體積分?jǐn)?shù)23.34％的r3c:h和體積分?jǐn)?shù)76.66％的r3m:r共存；晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜的結(jié)構(gòu)為三方結(jié)構(gòu)，空間群為體積分?jǐn)?shù)23.89％的r3c:h和體積分?jǐn)?shù)76.11％的r3m:r共存。
所述晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜和晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜的層數(shù)分別為5～10層，每層晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜和晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜的厚度為30～40nm。
所述的lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜的制備方法，包括以下步驟：
步驟1：按摩爾比為0.99:0.03:0.03:0.94:0.04:0.02將硝酸鉍、硝酸鑭、硝酸鍶、硝酸鐵、醋酸錳和硝酸鈷溶于乙二醇甲醚和醋酸酐的混合溶液中，得到前驅(qū)液a；
按摩爾比為0.96:0.06:0.03:0.94:0.04:0.02將硝酸鉍、硝酸鑭、硝酸鍶、硝酸鐵、醋酸錳和硝酸鈷溶于乙二醇甲醚和醋酸酐的混合溶液中，得到前驅(qū)液b；
步驟2：將前驅(qū)液a旋涂在fto/glass基片上，得到bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3濕膜，濕膜經(jīng)勻膠后在190～210℃下烘烤得干膜，再于540～550℃下在空氣中退火，得到晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜；
步驟3：將晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜冷卻至室溫，在其表面旋涂前驅(qū)液b，得到bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3濕膜，濕膜經(jīng)勻膠后在190～210℃下烘烤得干膜，再于540～550℃下在空氣中退火，即在晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜上制備出晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜；
步驟4：重復(fù)步驟2和步驟3，即在晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜上制備出晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜，再在晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜上制備出晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜，如此循環(huán)直到達(dá)到所需厚度，即得到lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜。
所述步驟1中前驅(qū)液a和前驅(qū)液b中金屬離子的總濃度為0.2～0.4mol/l。
所述前驅(qū)液a和前驅(qū)液b中乙二醇甲醚和醋酸酐的體積比為(2.5～3.5):1。
所述步驟2進(jìn)行前先將fto/glass基片清洗干凈，然后在紫外光下照射，使fto/glass基片表面達(dá)到原子清潔度。
所述步驟2和步驟3中勻膠時的勻膠轉(zhuǎn)速為3600～4200r/min，勻膠時間為12～18s。
所述步驟2和步驟3中勻膠后的烘烤時間為6～9min。
所述步驟2和步驟3中的退火時間為6～10min。
相對于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明具有以下有益效果：
本發(fā)明提供的lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜的制備方法，以硝酸鉍、硝酸鑭、硝酸鍶、硝酸鐵、醋酸錳和硝酸鈷為原料，按一定的摩爾比分別溶于乙二醇甲醚和醋酸酐的混合溶液中，得到兩種la濃度不同的穩(wěn)定的前驅(qū)液a和前驅(qū)液b；先用前驅(qū)液a在基板上進(jìn)行旋涂，退火制備出一層晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜，在此薄膜的基礎(chǔ)上再用前驅(qū)液b進(jìn)行旋涂，退火制備出第二層晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜，如此類推，重復(fù)旋涂前驅(qū)液a和前驅(qū)液b并層層退火，交替制備出晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜和晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜，即得到lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜。本發(fā)明采用溶膠-凝膠工藝，通過堿土元素sr，稀土元素la和過渡金屬元素mn和co四元素共摻雜制備lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜。相比于其他制備薄膜的方法，本發(fā)明設(shè)備要求簡單，實驗條件容易達(dá)到，成本低廉，反應(yīng)容易進(jìn)行，工藝過程溫度低，制備過程及摻雜量容易控制，適宜在大的表面和形狀不規(guī)則的表面上制備薄膜，很容易均勻定量地?fù)饺胍恍┪⒘吭?，可以在短時間內(nèi)獲得原子或分子水平的均勻性，該方法制得的lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜均勻性較好，且化學(xué)組分精確可控。
本發(fā)明通過溶膠-凝膠法制備出一種逐層交替生長的lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜，鐵電超晶格是在控制材料的結(jié)構(gòu)、成份、層厚(nm尺度下)、疊層周期等條件的基礎(chǔ)上，由兩種或兩種以上性能不同的薄膜材料交替生長得到的外延鐵電多層膜，由于組成超晶格的薄膜材料晶格參數(shù)的不同，整個結(jié)構(gòu)會產(chǎn)生一定的外延應(yīng)變，從而影響各層以及整個超晶格體系的性能。利用這種現(xiàn)象可以改善原有薄膜的性能或得到單一薄膜不具有的新功能，因此鐵電超晶格材料具有重要的應(yīng)用前景。超晶格薄膜可以將相關(guān)功能材料各自優(yōu)異的性質(zhì)通過界面有機的耦合，通過利用超晶格薄膜的應(yīng)力或應(yīng)變、層間耦合等物理效應(yīng)，可得到高性能或單一結(jié)構(gòu)材料不具有的多鐵性能；通過改變界面化學(xué)環(huán)境來控制界面結(jié)構(gòu)，可以顯著提高界面的電學(xué)性質(zhì)；鐵電超晶格薄膜相比于原有的鐵電薄膜，能夠獲得大的介電常數(shù)、增強的鐵電特性等；另外，超晶格薄膜內(nèi)部的界面效應(yīng)能夠阻礙電子或者空穴在電場作用下的傳遞，進(jìn)一步提高超晶格薄膜的絕緣性，并進(jìn)一步減小漏電流密度，改善薄膜的多鐵性能。
本發(fā)明制備的lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜是由兩種不同la摻雜濃度的晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜和晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜相互交替制備從而形成的超晶格結(jié)構(gòu)，比單一結(jié)構(gòu)的bifeo3薄膜具有更加優(yōu)越的多鐵性能，可改善bifeo3基薄膜的多鐵性能。
進(jìn)一步的，本發(fā)明采用晶體結(jié)構(gòu)類似的菱方鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的不同組分鐵酸鉍薄膜組建超晶格薄膜，即用結(jié)構(gòu)為三方結(jié)構(gòu)，空間群為r3c:h(23.34％)和r3m:r(76.66％)共存的bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜和用結(jié)構(gòu)為三方結(jié)構(gòu)，空間群為r3c:h(23.89％)和r3m:r(76.11％)共存的bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜交替組合構(gòu)建出lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜，即bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3/bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3超晶格薄膜，可以提高bifeo3基薄膜的多鐵性能。
附圖說明
圖1是本發(fā)明實施例3制備的lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜中晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜的xrd精修圖；
圖2是本發(fā)明實施例3制備的lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜中晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜的xrd精修圖。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖和本發(fā)明優(yōu)選的具體實施例對本發(fā)明做進(jìn)一步描述，原料均為分析純。
實施例1
步驟1：以硝酸鉍、硝酸鑭、硝酸鍶、硝酸鐵、醋酸錳和硝酸鈷為原料(硝酸鉍過量5％)，按摩爾比為0.99:0.03:0.03:0.94:0.04:0.02溶于體積比為3.2:1的乙二醇甲醚和醋酸酐的混合溶液中，得到金屬離子總濃度為0.2mol/l的穩(wěn)定的前驅(qū)液a；
以硝酸鉍、硝酸鑭、硝酸鍶、硝酸鐵、醋酸錳和硝酸鈷為原料(硝酸鉍過量5％)，按摩爾比為0.96:0.06:0.03:0.94:0.04:0.02溶于體積比為3.2:1的乙二醇甲醚和醋酸酐的混合溶液中，得到金屬離子總濃度為0.2mol/l的穩(wěn)定的前驅(qū)液b；
步驟2：先將fto/glass基片清洗干凈，然后在紫外光下照射，使fto/glass基片表面達(dá)到原子清潔度，然后將前驅(qū)液a旋涂在fto/glass基片上，其勻膠轉(zhuǎn)速為4000r/min，勻膠時間為14s，得到bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3濕膜，濕膜在210℃下烘烤6min得干膜，再在550℃下在空氣中退火6min，即得晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜；
步驟3：將晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜冷卻至室溫，在其表面旋涂前驅(qū)液b，其勻膠轉(zhuǎn)速為4000r/min，勻膠時間為14s，得到bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3濕膜，濕膜在210℃下烘烤6min得干膜，再在550℃下在空氣中退火6min，即在晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜上制備出晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜；
步驟4：重復(fù)步驟2和3，即在晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜上制備出晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜，再在晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜上制備出晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜，直到制備出各5層每層30～40nm厚的相互間隔的晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜和晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜，即得到lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜。
實施例2
步驟1：以硝酸鉍、硝酸鑭、硝酸鍶、硝酸鐵、醋酸錳和硝酸鈷為原料(硝酸鉍過量5％)，按摩爾比為0.99:0.03:0.03:0.94:0.04:0.02溶于體積比為2.8:1的乙二醇甲醚和醋酸酐的混合溶液中，得到金屬離子總濃度為0.25mol/l的穩(wěn)定的前驅(qū)液a；
以硝酸鉍、硝酸鑭、硝酸鍶、硝酸鐵、醋酸錳和硝酸鈷為原料(硝酸鉍過量5％)，按摩爾比為0.96:0.06:0.03:0.94:0.04:0.02溶于體積比為2.8:1的乙二醇甲醚和醋酸酐的混合溶液中，得到金屬離子總濃度為0.25mol/l的穩(wěn)定的前驅(qū)液b；
步驟2：先將fto/glass基片清洗干凈，然后在紫外光下照射，使fto/glass基片表面達(dá)到原子清潔度，然后將前驅(qū)液a旋涂在fto/glass基片上，其勻膠轉(zhuǎn)速為3900r/min，勻膠時間為16s，得到bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3濕膜，濕膜在190℃下烘烤9min得干膜，再在540℃下在空氣中退火7min，即得晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜；
步驟3：將晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜冷卻至室溫，在其表面旋涂前驅(qū)液b，其勻膠轉(zhuǎn)速為3900r/min，勻膠時間為16s，得到bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3濕膜，濕膜在190℃下烘烤9min得干膜，再在540℃下在空氣中退火7min，即在晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜上制備出晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜；
步驟4：重復(fù)步驟2和3，即在晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜上制備出晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜，再在晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜上制備出晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜，直到制備出各6層每層30～40nm厚的相互間隔的晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜和晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜，即得到lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜。
實施例3
步驟1：以硝酸鉍、硝酸鑭、硝酸鍶、硝酸鐵、醋酸錳和硝酸鈷為原料(硝酸鉍過量5％)，按摩爾比為0.99:0.03:0.03:0.94:0.04:0.02溶于體積比為3:1的乙二醇甲醚和醋酸酐的混合溶液中，得到金屬離子總濃度為0.3mol/l的穩(wěn)定的前驅(qū)液a；
以硝酸鉍、硝酸鑭、硝酸鍶、硝酸鐵、醋酸錳和硝酸鈷為原料(硝酸鉍過量5％)，按摩爾比為0.96:0.06:0.03:0.94:0.04:0.02溶于體積比為3:1的乙二醇甲醚和醋酸酐的混合溶液中，得到金屬離子總濃度為0.3mol/l的穩(wěn)定的前驅(qū)液b；
步驟2：先將fto/glass基片清洗干凈，然后在紫外光下照射，使fto/glass基片表面達(dá)到原子清潔度，然后將前驅(qū)液a旋涂在fto/glass基片上，其勻膠轉(zhuǎn)速為3800r/min，勻膠時間為15s，得到bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3濕膜，濕膜在200℃下烘烤7.5min得干膜，再在545℃下在空氣中退火8min，即得晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜；
步驟3：將晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜冷卻至室溫，在其表面旋涂前驅(qū)液b，其勻膠轉(zhuǎn)速為3800r/min，勻膠時間為15s，得到bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3濕膜，濕膜在200℃下烘烤7.5min得干膜，再在545℃下在空氣中退火8min，即在晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜上制備出晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜；
步驟4：重復(fù)步驟2和3，即在晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜上制備出晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜，再在晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜上制備出晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜，直到制備出各7層每層30～40nm厚的相互間隔的晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜和晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜，即得到lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜。
采用x-射線衍射儀測定lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜的物相組成結(jié)構(gòu)。sem測定lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜的微觀形貌。用radiantmultiferroic鐵電分析儀測試lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜的鐵電性能，用agilente4980a精密lcr表測試lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜的介電性能，用agilentb2900測試lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜的漏導(dǎo)電流特性。
圖1和圖2分別為lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜中bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜和bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜的xrd精修圖，由圖1可知，lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜中bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜結(jié)構(gòu)為三方結(jié)構(gòu)，空間群為r3c:h(23.34％)和r3m:r(76.66％)共存；由圖2可知，lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜中bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜結(jié)構(gòu)為三方結(jié)構(gòu)，空間群為r3c:h(23.89％)和r3m:r(76.11％)共存。兩種薄膜晶體結(jié)構(gòu)相同，薄膜結(jié)晶性能良好，且薄膜樣品中沒有其他雜質(zhì)出現(xiàn)。
實施例4
步驟1：以硝酸鉍、硝酸鑭、硝酸鍶、硝酸鐵、醋酸錳和硝酸鈷為原料(硝酸鉍過量5％)，按摩爾比為0.99:0.03:0.03:0.94:0.04:0.02溶于體積比為3.5:1的乙二醇甲醚和醋酸酐的混合溶液中，得到金屬離子總濃度為0.35mol/l的穩(wěn)定的前驅(qū)液a；
以硝酸鉍、硝酸鑭、硝酸鍶、硝酸鐵、醋酸錳和硝酸鈷為原料(硝酸鉍過量5％)，按摩爾比為0.96:0.06:0.03:0.94:0.04:0.02溶于體積比為3.5:1的乙二醇甲醚和醋酸酐的混合溶液中，得到金屬離子總濃度為0.35mol/l的穩(wěn)定的前驅(qū)液b；
步驟2：先將fto/glass基片清洗干凈，然后在紫外光下照射，使fto/glass基片表面達(dá)到原子清潔度，然后將前驅(qū)液a旋涂在fto/glass基片上，其勻膠轉(zhuǎn)速為3600r/min，勻膠時間為18s，得到bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3濕膜，濕膜在195℃下烘烤8min得干膜，再在542℃下在空氣中退火9min，即得晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜；
步驟3：將晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜冷卻至室溫，在其表面旋涂前驅(qū)液b，其勻膠轉(zhuǎn)速為3600r/min，勻膠時間為18s，得到bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3濕膜，濕膜在195℃下烘烤8min得干膜，再在542℃下在空氣中退火9min，即在晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜上制備出晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜；
步驟4：重復(fù)步驟2和3，即在晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜上制備出晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜，再在晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜上制備出晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜，直到制備出各8層每層30～40nm厚的相互間隔的晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜和晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜，即得到lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜。
實施例5
步驟1：以硝酸鉍、硝酸鑭、硝酸鍶、硝酸鐵、醋酸錳和硝酸鈷為原料(硝酸鉍過量5％)，按摩爾比為0.99:0.03:0.03:0.94:0.04:0.02溶于體積比為2.5:1的乙二醇甲醚和醋酸酐的混合溶液中，得到金屬離子總濃度為0.4mol/l的穩(wěn)定的前驅(qū)液a；
以硝酸鉍、硝酸鑭、硝酸鍶、硝酸鐵、醋酸錳和硝酸鈷為原料(硝酸鉍過量5％)，按摩爾比為0.96:0.06:0.03:0.94:0.04:0.02溶于體積比為2.5:1的乙二醇甲醚和醋酸酐的混合溶液中，得到金屬離子總濃度為0.4mol/l的穩(wěn)定的前驅(qū)液b；
步驟2：先將fto/glass基片清洗干凈，然后在紫外光下照射，使fto/glass基片表面達(dá)到原子清潔度，然后將前驅(qū)液a旋涂在fto/glass基片上，其勻膠轉(zhuǎn)速為4200r/min，勻膠時間為12s，得到bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3濕膜，濕膜在205℃下烘烤7min得干膜，再在548℃下在空氣中退火10min，即得晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜；
步驟3：將晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜冷卻至室溫，在其表面旋涂前驅(qū)液b，其勻膠轉(zhuǎn)速為4200r/min，勻膠時間為12s，得到bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3濕膜，濕膜在205℃下烘烤7min得干膜，再在548℃下在空氣中退火10min，即在晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜上制備出晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜；
步驟4：重復(fù)步驟2和3，即在晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜上制備出晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜，再在晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜上制備出晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜，直到制備出各10層每層30～40nm厚的相互間隔的晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜和晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜，即得到lasrmnco共摻鐵酸鉍超晶格薄膜。
以上所述內(nèi)容是結(jié)合具體的優(yōu)選實施方式對本發(fā)明所作的進(jìn)一步詳細(xì)說明，不是全部或唯一的實施方式，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員通過閱讀本發(fā)明說明書而對本發(fā)明技術(shù)方案采取的任何等效的變換，均為本發(fā)明的權(quán)利要求所涵蓋。