本發(fā)明涉及鉭酸鋰基片加工領(lǐng)域，具體涉及一種處理鉭酸鋰基片的方法。

背景技術(shù)：

鉭酸鋰晶體是一種典型的多功能材料，具有良好的壓電、鐵電、熱釋電、聲光、電光、光折變及非線性等物理特性，在聲表面波器件、光通訊、激光及光電子領(lǐng)域中廣泛應用。鉭酸鋰晶體的壓電系數(shù)較大，因此適合制造低插入損耗聲表面波濾波器的基片。

鉭酸鋰晶體具有高的熱釋電系數(shù)，因此溫度變化會導致晶片表面產(chǎn)生大量靜電荷，這些靜電荷會在晶片間，尤其是叉指電極間自動釋放，達到一定程度會出現(xiàn)鉭酸鋰晶片開裂和叉指電極燒毀等問題。因為鉭酸鋰晶體是無色透明的，進行光刻工藝時，會產(chǎn)生漫反射導致電極線條精度降低。因此鉭酸鋰基片必須經(jīng)過處理，才能進行后道生產(chǎn)。

鉭酸鋰晶片經(jīng)過還原處理，可以有效的避免靜電荷在晶片表面的積累，熱釋電效應明顯降低。這種還原處理后的鉭酸鋰晶片呈現(xiàn)褐色甚至黑色，因此稱為黑化，同時提高了光刻工藝的精度。

鉭酸鋰的黑化技術(shù)目前分為幾種。一種是將鉭酸鋰晶片放在和的還原氣氛中，進行高溫熱處理。這種工藝效率較高，但容易產(chǎn)生爆炸的危險，對設(shè)備要求較高同時容易出現(xiàn)退極化現(xiàn)象。另外一種是將鉭酸鋰晶片埋在還原劑構(gòu)成的粉末中，低溫熱處理。還原劑為c、si、mg、al、fe、碳酸鋰、碳酸鎂、碳酸鈣等，配比不同，熱處理溫度不同，黑化的效果和退極化情況有顯著差異。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種處理鉭酸鋰基片的方法，降低熱釋電效應，同時保持鉭酸鋰晶片的壓電性能。

本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的：

一種處理鉭酸鋰基片的方法，包括以下步驟：

s01：乙基纖維素、丁基卡必醇、錫粉按照1：（20-30）：（10-30）的質(zhì)量比例混合；

s02：將步驟s01中的混合漿料通過涂刮法均勻涂覆在鉭酸鋰基片表面；

s03：鉭酸鋰基片放置在60-80℃加熱板上進行烘干作業(yè)；

s04：將烘干后鉭酸鋰基片豎直裝入石英舟，推入還原爐內(nèi)；

s05：還原爐通升溫至450-500℃進行還原反應，恒溫3-10h；

s06：還原反應后的鉭酸鋰基片放入酸液中去除殘留物質(zhì)。

進一步的，所述的步驟s02中要求表面厚度一致無空點。

進一步的，所述的步驟s05中流量1l/min。

優(yōu)選的，所述的步驟s01中乙基纖維素、丁基卡必醇、錫粉的質(zhì)量混合比例1：28：10。

優(yōu)選的，所述的步驟s01中乙基纖維素、丁基卡必醇、錫粉的質(zhì)量混合比例1：28：20。

優(yōu)選的，所述的步驟s01中乙基纖維素、丁基卡必醇、錫粉的質(zhì)量混合比例1：28：30。

進一步的，所述的步驟s06中的酸液是氫氟酸和硝酸的混合液。

本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明提出的處理鉭酸鋰基片的工藝方法，操作簡單、還原金屬粉末用量少，生產(chǎn)成本低，且黑化過程無危險易爆氣體產(chǎn)生，安全性好。

具體實施方式

下面進一步詳細描述本發(fā)明的技術(shù)方案，但本發(fā)明的保護范圍不局限于以下所述。

【實施例1】

乙基纖維素、丁基卡必醇、錫粉按照一定比例混合（乙基纖維素10g，丁基卡必醇300ml，錫粉300g），混合漿料通過涂刮法均勻涂覆在鉭酸鋰基片表面，要求表面厚度一致無空點。鉭酸鋰基片放置在60℃加熱板上進行烘干作業(yè)。將烘干后鉭酸鋰基片裝入合適尺寸的石英舟，推入還原爐內(nèi)。還原爐通升溫至500℃進行還原反應，流量1l/min，恒溫3h。還原反應后的鉭酸鋰基片放入氫氟酸和硝酸混合液中去除殘留物質(zhì)。

【實施例2】

乙基纖維素、丁基卡必醇、錫粉按照一定比例混合（乙基纖維素10g，丁基卡必醇300ml，錫粉200g），混合漿料通過涂刮法均勻涂覆在鉭酸鋰基片表面，要求表面厚度一致無空點。鉭酸鋰基片放置在60℃加熱板上進行烘干作業(yè)。將烘干后鉭酸鋰基片裝入合適尺寸的石英舟，推入還原爐內(nèi)。還原爐通升溫至500℃進行還原反應，流量1l/min，恒溫5h。還原反應后的鉭酸鋰基片放入氫氟酸和硝酸混合液中去除殘留物質(zhì)。

【實施例3】

乙基纖維素、丁基卡必醇、錫粉按照一定比例混合（乙基纖維素10g，丁基卡必醇300ml，錫粉100g），混合漿料通過涂刮法均勻涂覆在鉭酸鋰基片表面，要求表面厚度一致無空點。鉭酸鋰基片放置在60℃加熱板上進行烘干作業(yè)。將烘干后鉭酸鋰基片裝入合適尺寸的石英舟，推入還原爐內(nèi)。還原爐通升溫至500℃進行還原反應，流量1l/min，恒溫10h。還原反應后的鉭酸鋰基片放入氫氟酸和硝酸混合液中去除殘留物質(zhì)。

以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應當理解本發(fā)明并非局限于本文所披露的形式，不應看作是對其他實施例的排除，而可用于各種其他組合、修改和環(huán)境，并能夠在本文所述構(gòu)想范圍內(nèi)，通過上述教導或相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)或知識進行改動。而本領(lǐng)域人員所進行的改動和變化不脫離本發(fā)明的精神和范圍，則都應在本發(fā)明所附權(quán)利要求的保護范圍內(nèi)。