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      一種制備三維石墨烯玻璃復(fù)合材料的方法與流程

      文檔序號(hào):12298819閱讀:316來源:國知局
      一種制備三維石墨烯玻璃復(fù)合材料的方法與流程

      本發(fā)明屬于功能材料制備領(lǐng)域,具體涉及石墨烯在普通鈉鈣玻璃基底上直接低溫、大面積、快速生長的方法,本發(fā)明無需借助催化劑的輔助,便可在普通玻璃軟化點(diǎn)以下實(shí)現(xiàn)三維結(jié)構(gòu)石墨烯玻璃的快速、大尺寸制備。



      背景技術(shù):

      石墨烯具有諸多優(yōu)異的物理性質(zhì),如超高的機(jī)械強(qiáng)度、超高的載流子遷移率(最高可達(dá)200000cm2·v–1·s–1)和熱導(dǎo)率、優(yōu)異的導(dǎo)電性和透光性,使得其在透明導(dǎo)電薄膜、超級(jí)電容器、場效應(yīng)晶體管、光電探測、鋰離子電池、dna測序、折射率生物傳感器、功能復(fù)合材料等諸多領(lǐng)域都有著廣闊的應(yīng)用前景。與水平結(jié)構(gòu)的二維石墨烯薄膜相比,三維垂直結(jié)構(gòu)的石墨烯除去石墨烯的本征特性外,還顯示出獨(dú)特的結(jié)構(gòu)特性,包括比表面積大(最高可達(dá)1100m2·g-1),大量的活性邊緣、特殊的垂直結(jié)構(gòu)等,可應(yīng)用于超靈敏的生物/氣體傳感器、高功率的能量存儲(chǔ)器、以及高效率的光熱轉(zhuǎn)化器件等。

      玻璃,因其良好的透明度和低廉的成本,被廣泛應(yīng)用于建筑、化工、電子、光學(xué)、醫(yī)藥以及食品等諸多領(lǐng)域。

      通過在玻璃基底生長三維垂直結(jié)構(gòu)的石墨烯獲得石墨烯玻璃復(fù)合材料,在保證具有一定透過率的前提下,可以提高玻璃的導(dǎo)電性、導(dǎo)熱性,得到的石墨烯玻璃可用于透明智能窗、透明電極、防霧視窗等領(lǐng)域。但目前基于石墨烯玻璃的制備方法主要是在1000-1200℃高溫?zé)醕vd爐中生長石墨烯,生長時(shí)間一般需要2-4h,并且玻璃基底大多選用的是耐高溫石英玻璃,大大增加了石墨烯玻璃的制備成本,同時(shí)石英玻璃的尺寸較小,均不利于石墨烯玻璃的工業(yè)化應(yīng)用。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      本發(fā)明的目的之一是針對目前制備石墨烯玻璃存在的問題,提供一種低溫、大面積、快速制備石墨烯玻璃的制備方法,該制備方法簡單、成本低廉,可用于石墨烯玻璃的工業(yè)化生產(chǎn),并實(shí)現(xiàn)在普通鈉鈣玻璃基底,低溫、大面積、快速生長石墨烯。

      為實(shí)現(xiàn)上述的目的,本發(fā)明公開了一種三維石墨烯玻璃復(fù)合材料低溫、大面積、快速制備的方法。

      本發(fā)明提供的方法包括如下的步驟:

      提供玻璃基底并使用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積的方法直接在玻璃基底表面生長石墨烯。

      作為常識(shí),所述的玻璃基底為清潔的玻璃基底。

      作為上述方法一種更好的選擇,所述玻璃基底為普通玻璃基底,所述普通玻璃基底為由二氧化硅和其他化學(xué)物質(zhì)熔融在一起形成的混合物。所述普通玻璃基底的化學(xué)組成是na2sio3、casio3、sio2或na2o·cao·6sio2等硅酸鹽類非金屬材料,在熔融時(shí)會(huì)形成連續(xù)網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu),冷卻過程中粘度逐漸增大并硬化致使其結(jié)晶固化。

      作為上述方法一種更好的選擇,所述玻璃為鈉鈣玻璃。

      上述方法中,所述清潔的玻璃基底采用如下的方式獲得:

      將玻璃基底依次放入乙醇、丙酮、異丙醇溶液中進(jìn)行超聲清洗,最后用去離子水超聲清洗,氮?dú)獯蹈?,獲得干凈的玻璃基底。

      進(jìn)行上述處理步驟的目的為提供一個(gè)清潔的玻璃表面,其他可以達(dá)到類似效果的處理步驟也可以適用于本發(fā)明玻璃基底的清潔。

      在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例內(nèi),普通鈉鈣玻璃基片按照如下的步驟被清潔:

      將10cmx10cm的普通鈉鈣玻璃基底依次放入乙醇、丙酮、異丙醇溶液中進(jìn)行超聲清洗,最后用去離子水超聲清洗,氮?dú)獯蹈?,獲得干凈的鈉鈣玻璃基底。

      作為上述方法一種更好的選擇,使用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積的方法包括將玻璃基底放在等離子腔體內(nèi),碳源被裂解產(chǎn)生等離子體,等離子體在玻璃基底上進(jìn)行沉積,沉積過程中等離子腔體的溫度為600攝氏度以下。

      作為上述方法進(jìn)一步的優(yōu)選,所述石墨烯的低溫生長步驟如下:

      將玻璃基底放在等離子腔體內(nèi),甲烷被裂解產(chǎn)生等離子體,等離子體在玻璃基底上進(jìn)行沉積,沉積過程中等離子腔體的溫度為500-600攝氏度。

      所述石墨烯的沉積過程為使用pevcd方法進(jìn)行,該方法可精確控制等離子反應(yīng)腔內(nèi)氣體的壓強(qiáng)(0.1-100mbar),并保持穩(wěn)定;采用上下平行加熱板加熱的方式將腔室溫度升高至500-600℃;待腔室溫度穩(wěn)定后,給陰極板施加高壓以產(chǎn)生等離子體,以在玻璃基底上生長石墨烯。

      作為上述方法一種更好的選擇,所述石墨烯生長過程中,向反應(yīng)腔的底部通入200sccmar。

      作為上述方法一種更好的選擇,所述產(chǎn)生等離子的電壓為800v,在滿足可以產(chǎn)生等離子體的條件下,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以選擇其他的電壓。

      作為上述方法一種更好的選擇,所述生長石墨烯的時(shí)間為2-15分鐘。作為常識(shí),石墨烯的垂直高度和石墨烯的生長時(shí)間正相關(guān)。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以通過控制生長石墨烯的時(shí)間來得到不同高度的石墨烯,如選用2-5、5-10、10-15分鐘不等的石墨烯增長時(shí)間,可以實(shí)現(xiàn)石墨烯高度從幾納米到幾百納米連續(xù)調(diào)控。

      作為上述方法一種更好的選擇,在獲得高度為1-100nm的石墨烯后停止石墨烯的生長。本領(lǐng)域技術(shù)人員也可以選擇在獲得1-10,10-20,20-40,40-70,70-100nm高度或者其他高度的石墨烯層后停止石墨烯的生長。

      作為上述方法一種更好的選擇,石墨烯的沉積過程中碳源包括烷烴氣體、烯烴氣體、炔烴氣體、液態(tài)碳源和固體碳源中的一種或多種。所述烷烴氣體可以選擇甲烷、乙烷、丙烷等氣體,所述烯烴氣體可以選擇乙烯、丙烯、丁烯等氣體,所述炔烴可以選擇乙炔、丙炔、丁炔等氣體,所述液態(tài)碳源包括乙醇、異丙醇等液體,所述固體碳源可以選擇石墨粉、pmma、pdms或者pvc。

      作為上述方法一種更好的選擇,所述碳源為ch4和h2的混合氣體,所述ch4和h2的體積比為1-5:1,一個(gè)更好的選擇可以是2:1。

      具體的,所述石墨烯的低溫生長步驟可以為:

      將玻璃基底放在石墨底座上,關(guān)閉反應(yīng)腔室,利用干泵將反應(yīng)腔內(nèi)壓強(qiáng)抽至0.1-0.2mbar以下,然后通入不同比例的ch4和h2(2:1),氣體采用噴淋式裝置從腔室頂部均勻向下噴灑,利用控制閥將反應(yīng)腔室內(nèi)的壓強(qiáng)在0.1-100mbar范圍內(nèi)進(jìn)行調(diào)節(jié)并保持穩(wěn)定;采用上下平行加熱板加熱的方式將腔室溫度升高至500-600℃;待腔室溫度穩(wěn)定后,給石墨陰極板施加800v高壓產(chǎn)生等離子體;通過調(diào)控石墨烯的生長時(shí)間(2-15分鐘),以獲得不同高度起伏的石墨烯(1nm-100nm);生長結(jié)束后關(guān)閉甲烷供給,并降溫。在整個(gè)生長過程中,腔室底部始終通著200sccmar作為heaterpurge。待降至室溫后關(guān)閉ar和h2,打開腔室取出石墨烯玻璃樣品。

      上述方法中,可以采用6-英寸(6-inch)的pevcd體系,本領(lǐng)域技術(shù)人員也可以根據(jù)需要選擇其他尺寸的玻璃基底以及其他的pevcd生長體系。

      在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例內(nèi),基于6-inchpecvd體系,利用直流等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(dc-pecvd)技術(shù)進(jìn)行石墨烯的低溫生長,其采用如下方法制備石墨烯玻璃:

      首先將清洗干凈的6inch玻璃基底放在石墨底座上,關(guān)閉反應(yīng)腔室,利用干泵將反應(yīng)腔內(nèi)壓強(qiáng)抽至0.2mbar以下,然后通入一定比例的ch4和h2,利用控制閥將反應(yīng)腔室內(nèi)的壓強(qiáng)保持穩(wěn)定,采用上下加熱板平行加熱的方式升溫至500-600℃;待溫度穩(wěn)定后,給陰極板施加800v高壓產(chǎn)生高能等離子體;通過控制石墨烯的生長時(shí)間,以獲得不同高度起伏的石墨烯;生長結(jié)束后關(guān)閉甲烷供給,并降溫。在整個(gè)生長過程,始終通著200sccmar作為heaterpurge。待降至室溫后關(guān)閉ar和h2,打開腔室取出石墨烯玻璃樣品。

      本發(fā)明中,所選用玻璃基片的尺寸為選擇100mm×100mm×1mm,所述玻璃基片為普通鈉鈣玻璃。根據(jù)采用不同的pecvd設(shè)備,玻璃基片的尺寸還可以繼續(xù)放大。本發(fā)明的玻璃基底無需借助其他催化劑,表明該生長方法的普適性,任何軟化溫度在600℃以上的玻璃均可用于石墨烯的生長。

      作為上述方法一種更好的選擇,石墨烯生長溫度為600℃以及600℃以下,且低于玻璃的軟化點(diǎn)。作為上述方法進(jìn)一步的優(yōu)選,石墨烯生長溫度為不高于580℃(如500-580℃)。本發(fā)明選擇的溫度低于普通鈉鈣玻璃的軟化點(diǎn)(600℃),保證獲得的石墨烯玻璃能夠保持普通玻璃原本的外觀形貌。本領(lǐng)域技術(shù)人員知曉,不同組分的玻璃,其軟化點(diǎn)可能稍有不同,因此應(yīng)當(dāng)針對不同的玻璃選擇不同的生長溫度。

      上述方法采用的是甲烷作為碳源,其他可選擇的氣體包括乙烯、乙炔等也可以作為替代碳源(也可擴(kuò)展至其它氣體碳源,或者固體/液體碳源),同時(shí)通入氫氣進(jìn)行無定形碳刻蝕,使得生長獲得的石墨烯具有較高的結(jié)晶質(zhì)量。石墨烯生長過程中,除去碳源外,未引入任何金屬或其他催化劑,無需催化劑的輔助便可直接獲得石墨烯玻璃。

      上述方法中通過調(diào)控不同的碳源與氫氣的比例(1:1-5:1),可以獲得不同形貌、不同結(jié)晶質(zhì)量的石墨烯玻璃樣品。而不同的工作電壓(0-800v)對碳源的裂解程度不同,施加的電壓越大,碳源裂解越充分,故在生長過程中,設(shè)定的電壓為800v,保證生長過程中碳源的充分裂解。

      優(yōu)選地,所述步驟2)中的生長過程為2-15min。該方法可實(shí)現(xiàn)石墨烯玻璃的快速制備,大大減少了生長時(shí)間,并且可以通過控制時(shí)間調(diào)節(jié)石墨烯納米片的垂直高度。

      本發(fā)明所使用的石墨烯玻璃的制備方法簡單、與玻璃基底的結(jié)合力強(qiáng)、可重復(fù)性強(qiáng),通過調(diào)節(jié)各種生長參數(shù)(生長溫度、生長時(shí)間等),可以獲得具有不同透過率和導(dǎo)電率的石墨烯玻璃樣品,從而實(shí)現(xiàn)不同需求的應(yīng)用。本發(fā)明的方法無需轉(zhuǎn)移,便可實(shí)現(xiàn)在所需的玻璃基底上石墨烯的均勻快速直接生長,且對基底唯一的要求是基底的軟化點(diǎn)在600℃以上,而人們?nèi)粘J褂玫钠胀ㄢc鈣玻璃均符合此要求,表明這一發(fā)明方法對石墨烯玻璃制備的普適性。

      本發(fā)明選用的玻璃基底為人們?nèi)粘I钪械钠胀ㄢc鈣玻璃,大大降低了生產(chǎn)成本,該方法無需借助金屬或其他催化劑,便可實(shí)現(xiàn)在普通玻璃基底上石墨烯的直接生長,生長溫度在玻璃軟化點(diǎn)600℃以下,生長時(shí)間在10min左右,便可獲得均勻的大英寸石墨烯玻璃。這種生長方法對于開發(fā)和推廣基于普通石墨烯玻璃的工業(yè)化應(yīng)用具有重要意義。

      本發(fā)明還提供一種石墨烯玻璃,包括玻璃基底,所述玻璃基底上沉積有石墨烯層,所述石墨烯層包括若干石墨烯納米片,所述石墨烯納米片垂直于玻璃基底或和玻璃基底成60-90角度,所述石墨烯納米片的高度為10-100納米,所述石墨烯納米片的厚度為1-10層,長度為10-900nm,所述石墨烯納米片相互堆疊構(gòu)成構(gòu)成網(wǎng)絡(luò)狀納米孔結(jié)構(gòu)。

      所述石墨烯納米片的高度可以為1-10nm,或10-20nm,或20-40nm,或40-70nm,或70-100nm。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)需要控制石墨烯的沉積條件來得到不同高度的石墨烯納米片。

      所述石墨烯納米片的層數(shù)可以為單層,也可以為多層,如2-3層,4-6層,7-10層。石墨烯納米片的層數(shù)可以通過控制石墨烯的沉積條件來得到。

      所述石墨烯納米片的長度可以為10-50nm,50-100nm,100-300nm,300-500nm,500-700nm或700-900nm,在本發(fā)明實(shí)施例公開的石墨烯納米片長度基礎(chǔ)上,可以通過調(diào)節(jié)沉積條件來改變其長度。

      作為上述方案一種更好的選擇,所述石墨烯玻璃的透過率為100%-34%,石墨烯的面電阻為13-2千歐/口。

      作為上述方案一種更好的選擇,所述玻璃基底為鈉鈣玻璃。本發(fā)明具有如下的優(yōu)點(diǎn):

      1)本發(fā)明采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)直接在普通鈉鈣玻璃表面可控生長石墨烯,所獲得石墨烯玻璃透過率和導(dǎo)電率能夠精確可控,以獲得不同需求的石墨烯玻璃材料;

      2)本發(fā)明相比于轉(zhuǎn)移和還原氧化石墨烯方法制備的石墨烯玻璃,直接在玻璃基片上生長的石墨烯光學(xué)性質(zhì)良好,層厚均勻,與基片作用力強(qiáng),使得制備的石墨烯玻璃具有更長的使用壽命;

      3)本發(fā)明采用該方法制備的石墨烯玻璃,玻璃基底選用普通鈉鈣玻璃,整個(gè)過程相對簡單,可控性強(qiáng),良品率高,極大地降低了生產(chǎn)成本;

      4)本發(fā)明中石墨烯的生長溫度在600℃以及600℃以下,大大降低了生長溫度,保證獲得的石墨烯玻璃樣品能夠維持玻璃的原本形貌不發(fā)生變化;

      5)本發(fā)明使用的基底是尺寸為100mm×100mm×1mm的普通鈉鈣玻璃,對角線尺寸可達(dá)6inch,與已經(jīng)報(bào)道的直接制備的石墨烯玻璃樣品相比,尺寸大大提高;當(dāng)使用更大尺寸的生長體系時(shí),玻璃基底的尺寸可以進(jìn)一步提高。

      6)本發(fā)明生長獲得的石墨烯具有特殊的垂直納米結(jié)構(gòu),相比于水平二維石墨烯薄膜,三維垂直結(jié)構(gòu)的石墨烯具有獨(dú)特的結(jié)構(gòu)特性,包括大的比表面積,由于其特殊的垂直結(jié)構(gòu)使得三維石墨烯存在大量的活性邊緣,同時(shí)三維石墨烯玻璃復(fù)合材料顯示有超高的疏水性,疏水角最高可達(dá)130°,使得生長獲得的這種特殊結(jié)構(gòu)的石墨烯玻璃復(fù)合材料具有廣泛的應(yīng)用前景。

      附圖說明

      圖1為本發(fā)明基于pecvd生長垂直結(jié)構(gòu)石墨烯的生長流程示意圖;

      圖2為本發(fā)明所采用的不同生長溫度下制備的石墨烯玻璃的拉曼圖像;

      圖3為本發(fā)明生長獲得的三維垂直結(jié)構(gòu)石墨烯的結(jié)構(gòu)表征;

      圖4為本發(fā)明通過調(diào)控石墨烯在玻璃基底的生長時(shí)間所建立的一系列石墨烯高度起伏的變化;

      圖5為本發(fā)明所制備獲得的6-inch石墨烯玻璃樣品的光學(xué)圖像;

      圖6為本發(fā)明所制備獲得的石墨烯玻璃的拉曼和接觸角表征。

      具體實(shí)施方式

      下面以附圖和具體實(shí)施方式對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。這些實(shí)施例僅用于說明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍。下列實(shí)施例中未注明具體條件的實(shí)驗(yàn)方法,通常按照常規(guī)條件或廠家建議的條件。此外,任何與所記載內(nèi)容相似或均等的方法及材料都可應(yīng)用于本發(fā)明方法中。文中所述的較佳實(shí)施方法與材料僅作示范之用。

      實(shí)施例1:石墨烯玻璃的制備

      將清洗干凈的6-inch普通鈉鈣玻璃放在反應(yīng)基片上,利用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)生長透過率和導(dǎo)電性可控的石墨烯玻璃,圖1為本發(fā)明基于pecvd體系生長三維垂直結(jié)構(gòu)石墨烯的流程及原理示意圖。具體生長方法包括如下步驟:

      1)普通鈉鈣玻璃基片的清洗:

      將10cmx10cm的普通鈉鈣玻璃基片依次放入乙醇、丙酮、異丙醇溶液中進(jìn)行超聲清洗,最后用去離子水超聲清洗,氮?dú)獯蹈桑@得干凈的玻璃基底;

      2)石墨烯的低溫生長:

      該生長方法是基于pecvd體系,利用直流等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(dc-pecvd)技術(shù)進(jìn)行石墨烯的低溫生長。首先將清洗干凈的大尺寸玻璃基底放在石墨底座上,關(guān)閉反應(yīng)腔室,利用干泵將反應(yīng)腔內(nèi)壓強(qiáng)抽至0.2mbar以下,然后通入一定比例的ch4和h2,利用壓強(qiáng)控制閥將反應(yīng)腔室內(nèi)的壓強(qiáng)保持穩(wěn)定(0.1-100mbar),采用上下加熱板平行加熱的方式升溫至500-600℃;待溫度穩(wěn)定后,給陰極板施加800v高壓產(chǎn)生等離子體;通過調(diào)控石墨烯的生長時(shí)間,以獲得不同高度起伏的石墨烯;生長結(jié)束后關(guān)閉甲烷供給,并降溫。在整個(gè)生長過程,始終通著200sccmar作為加熱吹掃氣。待降至室溫后關(guān)閉ar和h2,打開腔室取出石墨烯玻璃樣品。

      實(shí)施例2:600℃以下不同生長溫度條件下石墨烯玻璃的制備

      本發(fā)明中所使用的玻璃基底為人們?nèi)粘I钪谐R姷拟c鈣玻璃,主要由二氧化硅、氧化鈣和氧化鈉等組成的非晶體氧化物,導(dǎo)熱性差,不能導(dǎo)電,玻璃的軟化點(diǎn)一般在600℃左右。目前報(bào)導(dǎo)的玻璃基底大部分使用的是石英玻璃、藍(lán)寶石玻璃,在1000-1200℃下利用化學(xué)氣相沉積技術(shù)進(jìn)行石墨烯的高溫生長,且生長時(shí)間常為幾個(gè)小時(shí),生產(chǎn)成本高的同時(shí)大大制約了石墨烯玻璃的工業(yè)化應(yīng)用。目前,本發(fā)明采用直流等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù),通過直流高壓產(chǎn)生高能電子,當(dāng)向腔室內(nèi)部通入反應(yīng)氣體時(shí),氣體與電子發(fā)生碰撞、電離,從而產(chǎn)生等離子體。等離子體的產(chǎn)生相對普通熱cvd而言,并不需要很高的溫度(400-600℃),從而可以實(shí)現(xiàn)在普通玻璃軟化點(diǎn)溫度(600℃)以下石墨烯的均勻生長。

      本發(fā)明主要選用甲烷作為碳源,并通入氫氣作為刻蝕氣體,對石墨烯的生長溫度進(jìn)行了系統(tǒng)探索,如圖2所示分別為500℃、530℃、550℃、580℃溫度條件下獲得的石墨烯玻璃樣品的拉曼信號(hào)譜,隨著溫度的升高,石墨烯的結(jié)晶質(zhì)量明顯提高。進(jìn)一步降低溫度,獲得的石墨烯玻璃的結(jié)晶性很差,接近無定形碳形貌。值得提出的是,通過改變通入碳源的類型,例如把甲烷換成乙炔,石墨烯的生長溫度可以進(jìn)一步降低,但結(jié)晶質(zhì)量不如甲烷生長獲得的石墨烯。因此,一個(gè)可以選擇的生長溫度區(qū)間為500-580攝氏度。

      實(shí)施例3:普通玻璃基底上石墨烯隨生長時(shí)間調(diào)控的形貌變化

      在生長過程中,受電場、界面能、擴(kuò)散能等因素的互相調(diào)制,獲得的石墨烯具有特殊的三維結(jié)構(gòu),結(jié)構(gòu)表征如圖3所示,石墨烯納米片垂直于生長基底,高度在幾十納米左右,厚度1-10層可控,長度幾十到幾百納米不等,石墨烯納米片相互堆疊構(gòu)成構(gòu)成網(wǎng)絡(luò)狀納米孔結(jié)構(gòu)。通過調(diào)控石墨烯的生長時(shí)間,石墨烯垂直高度可實(shí)現(xiàn)從1納米到100納米的連續(xù)調(diào)控(圖4),可以獲得具有不同透過率和面電阻的石墨烯玻璃樣品,進(jìn)而滿足不同需求的石墨烯玻璃的使用。

      實(shí)施例4:大尺寸石墨烯玻璃樣品

      圖5為生長8min獲得的100mmx100mm石墨烯玻璃的光學(xué)圖像,圖6對應(yīng)的raman圖像表明生長的樣品具有石墨烯的特征峰(d峰1353cm-1,g峰1592cm-1和2d峰2698cm-1),內(nèi)插圖顯示石墨烯玻璃的接觸角可達(dá)130℃,結(jié)果顯示該方法生長獲得的石墨烯能有效改變玻璃本身的親疏水性,進(jìn)一步用于自清潔智能窗等。

      上述實(shí)施例中,碳源可以更改為其他氣體碳源,如烯烴類、炔烴類氣體,也可以更換為固體碳源,如pvc,均可以制備獲得類似的產(chǎn)品。根據(jù)采用不同的pecvd設(shè)備,生長采用的玻璃基片尺寸還可以繼續(xù)放大。

      上述方法可以制備獲得的石墨烯玻璃的透過率為100%-34%,石墨烯的面電阻為13-2千歐/口。

      最后所應(yīng)說明的是,以上實(shí)施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案而非限制。盡管參照實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)說明,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)該理解,對本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換,都不脫離本發(fā)明技術(shù)方案的精神和范圍,其均應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍當(dāng)中。

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