本發(fā)明涉及多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種硅芯清洗裝置及清洗效果判斷方法。

背景技術(shù)：

硅芯在包裝前一般需要清洗、烘干等環(huán)節(jié)后才能進(jìn)行包裝，此方法操作環(huán)節(jié)較多，期間容易玷污硅芯表面，無(wú)法用肉眼進(jìn)行直觀辨識(shí)是否酸洗干凈；而且酸洗時(shí)采用具有強(qiáng)腐蝕性的強(qiáng)酸，用量極大，工作人員操作時(shí)存在極大的安全隱患。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明旨在提供一種硅芯清洗裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的硅芯清洗操作環(huán)節(jié)較多，期間容易玷污硅芯表面、無(wú)法檢測(cè)是否清洗干凈以及存在極大安全隱患的問題。

本發(fā)明的另一目的在于提供一種采用上述硅芯清洗裝置的硅芯清洗效果判斷方法，代替人工目測(cè)直觀判斷，避免因人為感官判斷時(shí)造成的誤差。

本發(fā)明的實(shí)施例是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種硅芯清洗裝置，其包括硅芯清洗裝置包括清洗室、風(fēng)干室以及檢測(cè)室；清洗室、風(fēng)干室以及檢測(cè)室依次相鄰設(shè)置。清洗室具備有上端開口的清洗池。風(fēng)干室設(shè)置在清洗室與檢測(cè)室之間。檢測(cè)室靠近風(fēng)干室的設(shè)置；檢測(cè)室能夠檢測(cè)硅芯是否清洗干凈。

本發(fā)明的實(shí)施例中提供的硅芯清洗裝置，清洗室、風(fēng)干室以及檢測(cè)室依次相鄰設(shè)置；硅芯在清洗室內(nèi)清洗過后，經(jīng)風(fēng)干室風(fēng)干后，置于檢測(cè)室內(nèi)檢測(cè)，檢測(cè)硅芯是否清洗干凈，本發(fā)明的實(shí)施例中提供的硅芯清洗裝置設(shè)置檢測(cè)室對(duì)硅芯進(jìn)行檢測(cè)，代替人工目測(cè)直觀判斷，避免因人為感官判斷時(shí)造成的誤差，具有判斷精確，減少操作工序，節(jié)省人力資源，提高安全性能的有益效果。

在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中：

上述硅芯清洗裝置還包括傳送裝置；傳送裝置包括至少兩個(gè)夾持件，每個(gè)夾持件的夾持面水平設(shè)置；夾持件傳動(dòng)連接有第一驅(qū)動(dòng)裝置以及第二驅(qū)動(dòng)裝置；第一驅(qū)動(dòng)裝置用于帶動(dòng)夾持件水平運(yùn)動(dòng)；第二驅(qū)動(dòng)裝置用于帶動(dòng)夾持件豎直運(yùn)動(dòng)。

在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中：

上述夾持件的夾持面開設(shè)有容納硅芯的分割槽。

在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中：

上述檢測(cè)室內(nèi)設(shè)置有檢測(cè)探頭；檢測(cè)探頭包括兩個(gè)相對(duì)設(shè)置的檢測(cè)部；兩個(gè)檢測(cè)部形成一端具有開口的檢測(cè)空間；檢測(cè)探頭遠(yuǎn)離監(jiān)測(cè)空間的開口的一端連接有第三驅(qū)動(dòng)裝置；第二驅(qū)動(dòng)裝置用于帶動(dòng)檢測(cè)探頭沿著檢測(cè)室的長(zhǎng)度方向移動(dòng)。

在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中：

上述檢測(cè)室還包括處理裝置；處理裝置與檢測(cè)探頭電連接。

在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中：

上述處理裝置還連接有機(jī)械手。

一種硅芯清洗效果判斷方法，采用上述任意一種硅芯清洗裝置，硅芯清洗效果判斷方法的步驟如下：

清洗工序：將硅芯置于清洗池內(nèi)進(jìn)行清洗；

風(fēng)干工序：將清洗完畢的硅芯置于風(fēng)干室進(jìn)行風(fēng)干；

檢測(cè)工序：對(duì)風(fēng)干過后的硅芯置于檢測(cè)室進(jìn)行檢測(cè)；檢測(cè)硅芯是否清洗干凈。

在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中：

上述檢測(cè)工序中，采用檢測(cè)探頭沿著待檢硅芯的長(zhǎng)度方向?qū)ζ溥M(jìn)行掃描，將掃描拍攝的照片按照序列傳遞給處理裝置，所述處理裝置對(duì)存在污點(diǎn)的硅芯進(jìn)行識(shí)別。

在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中：

上述檢測(cè)工序中，處理裝置中的識(shí)別模塊對(duì)硅芯的照片進(jìn)行識(shí)別，識(shí)別出存在污點(diǎn)的照片，并將該存在污點(diǎn)的照片的信號(hào)傳遞給處理裝置中的標(biāo)記模塊，處理裝置中的標(biāo)記模塊對(duì)存在污點(diǎn)的硅芯的位置及硅芯編號(hào)傳遞給處理裝置中的控制模塊。

在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中：

上述檢測(cè)工序后還包括回收工序，控制模塊控制機(jī)械手將檢測(cè)清洗不合格硅芯取出，放入硅芯收集箱內(nèi)。

本發(fā)明實(shí)施例的有益效果是：

本發(fā)明的實(shí)施例中提供的硅芯清洗裝置，清洗室、風(fēng)干室以及檢測(cè)室依次相鄰設(shè)置；硅芯在清洗室內(nèi)清洗過后，經(jīng)風(fēng)干室風(fēng)干后，置于檢測(cè)室內(nèi)檢測(cè)，檢測(cè)硅芯是否清洗干凈，本發(fā)明的實(shí)施例中提供的硅芯清洗裝置設(shè)置檢測(cè)室對(duì)硅芯進(jìn)行檢測(cè)，代替人工目測(cè)直觀判斷，避免因人為感官判斷時(shí)造成的誤差，具有判斷精確，減少操作工序，節(jié)省人力資源，提高安全性能的有益效果。

本發(fā)明提供的硅芯清洗效果判斷方法，采用上述的硅芯清洗裝置，因此也具有判斷精確，減少操作工序，節(jié)省人力資源，提高安全性能的有益效果。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，應(yīng)當(dāng)理解，以下附圖僅示出了本發(fā)明的某些實(shí)施例，因此不應(yīng)被看作是對(duì)范圍的限定，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他相關(guān)的附圖。

圖1為本發(fā)明實(shí)施例中提供的硅芯清洗裝置在第一視角下的整體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例中提供的硅芯清洗裝置在第二視角下的整體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明實(shí)施例中提供的硅芯清洗裝置的檢測(cè)探頭的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明實(shí)施例中提供的硅芯清洗裝置的檢測(cè)室的原理框圖；

圖5為本發(fā)明實(shí)施例中提供的硅芯清洗裝置的夾持件的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖標(biāo)：10-硅芯清洗裝置；100-清洗室；200-風(fēng)干室；210-吹風(fēng)裝置；300-檢測(cè)室；310-檢測(cè)探頭；312-檢測(cè)部；314-檢測(cè)空間；320-處理裝置；322-識(shí)別模塊；324-標(biāo)記模塊；326-控制模塊；330-顯示屏；340-機(jī)械手；400-傳送裝置；410-夾持件；412-分割槽；420-第一驅(qū)動(dòng)裝置；430-第二驅(qū)動(dòng)裝置。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。通常在此處附圖中描述和示出的本發(fā)明實(shí)施例的組件可以以各種不同的配置來(lái)布置和設(shè)計(jì)。

因此，以下對(duì)在附圖中提供的本發(fā)明的實(shí)施例的詳細(xì)描述并非旨在限制要求保護(hù)的本發(fā)明的范圍，而是僅僅表示本發(fā)明的選定實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

應(yīng)注意到：相似的標(biāo)號(hào)和字母在下面的附圖中表示類似項(xiàng)，因此，一旦某一項(xiàng)在一個(gè)附圖中被定義，則在隨后的附圖中不需要對(duì)其進(jìn)行進(jìn)一步定義和解釋。

在本發(fā)明實(shí)施例的描述中，需要說(shuō)明的是，若出現(xiàn)術(shù)語(yǔ)“上”、“下”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，或者是該發(fā)明產(chǎn)品使用時(shí)慣常擺放的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。此外，本發(fā)明的描述中若出現(xiàn)術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”等僅用于區(qū)分描述，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。

在本發(fā)明實(shí)施例的描述中，還需要說(shuō)明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，若出現(xiàn)術(shù)語(yǔ)“設(shè)置”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本發(fā)明中的具體含義。

實(shí)施例1：

圖1為本發(fā)明實(shí)施例中提供的硅芯清洗裝置10在第一視角下的整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例中提供的硅芯清洗裝置10在第二視角下的整體結(jié)構(gòu)示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D1并結(jié)合圖2，本實(shí)施例提供一種硅芯清洗裝置10，其包括清洗室100、風(fēng)干室200、檢測(cè)室300以及傳送裝置400；清洗室100、風(fēng)干室200以及檢測(cè)室300依次相鄰設(shè)置，傳送裝置400用于傳送硅芯至相應(yīng)的位置。清洗室100具備有上端開口的清洗池，風(fēng)干室200設(shè)置在清洗室100與檢測(cè)室300之間，檢測(cè)室300靠近風(fēng)干室200的設(shè)置；檢測(cè)室300能夠檢測(cè)硅芯是否清洗干凈。從圖中可以看出風(fēng)干室200延長(zhǎng)度方向的兩端設(shè)置有吹風(fēng)裝置210。

圖3為本發(fā)明實(shí)施例中提供的硅芯清洗裝置10的檢測(cè)探頭310的結(jié)構(gòu)示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D3，在本實(shí)施例中，檢測(cè)室300內(nèi)設(shè)置有檢測(cè)探頭310；檢測(cè)探頭310包括兩個(gè)相對(duì)設(shè)置的檢測(cè)部312；兩個(gè)檢測(cè)部312形成一端具有開口的檢測(cè)空間314；檢測(cè)探頭310遠(yuǎn)離監(jiān)測(cè)空間的開口的一端連接有第三驅(qū)動(dòng)裝置(圖中未示出)；第三驅(qū)動(dòng)裝置用于帶動(dòng)檢測(cè)探頭310沿著檢測(cè)室300的長(zhǎng)度方向移動(dòng)。在檢測(cè)室300內(nèi)設(shè)置有檢測(cè)探頭310；檢測(cè)探頭310包括兩個(gè)相對(duì)設(shè)置的檢測(cè)部312；兩個(gè)檢測(cè)部312形成一端具有開口的檢測(cè)空間314，便于對(duì)處于檢測(cè)室300內(nèi)的硅芯進(jìn)行全方位地檢測(cè)，使得檢測(cè)更加精確。在檢測(cè)探頭310遠(yuǎn)離監(jiān)測(cè)空間的開口的一端連接有第三驅(qū)動(dòng)裝置；第三驅(qū)動(dòng)裝置用于帶動(dòng)檢測(cè)探頭310沿著檢測(cè)室300的長(zhǎng)度方向移動(dòng)，由于硅芯較長(zhǎng)為檢測(cè)方便，需將檢測(cè)室300內(nèi)的檢測(cè)探頭310設(shè)計(jì)為可移動(dòng)探頭便于對(duì)硅芯進(jìn)行更加全面的檢測(cè)，提高檢測(cè)精度。

需要說(shuō)明的是，在本實(shí)施例中，在檢測(cè)室300內(nèi)設(shè)置有檢測(cè)探頭310；檢測(cè)探頭310包括兩個(gè)相對(duì)設(shè)置的檢測(cè)部312；兩個(gè)檢測(cè)部312形成一端具有開口的檢測(cè)空間314，便于對(duì)處于檢測(cè)室300內(nèi)的硅芯進(jìn)行全方位地檢測(cè)，使得檢測(cè)更加精確?？梢岳斫獾模谄渌唧w實(shí)施例中，也可以根據(jù)用戶的需求，將檢測(cè)裝置設(shè)置為其他形狀。

還需要說(shuō)明的是，在本實(shí)施例中，在檢測(cè)探頭310遠(yuǎn)離監(jiān)測(cè)空間的開口的一端連接有第三驅(qū)動(dòng)裝置；第三驅(qū)動(dòng)裝置用于帶動(dòng)檢測(cè)探頭310沿著檢測(cè)室300的長(zhǎng)度方向移動(dòng)，由于硅芯較長(zhǎng)為檢測(cè)方便，需將檢測(cè)室300內(nèi)的檢測(cè)探頭310設(shè)計(jì)為可移動(dòng)探頭便于對(duì)硅芯進(jìn)行更加全面的檢測(cè)，提高檢測(cè)精度。可以理解的，在其他具體實(shí)施例中，也可以根據(jù)用戶的需求，采用手動(dòng)或者其他方式帶動(dòng)檢測(cè)探頭310檢測(cè)硅芯。

在本實(shí)施例中，檢測(cè)探頭310設(shè)置為掃描儀，將檢測(cè)探頭310設(shè)置為掃描儀，掃描儀在日常中較為常見，增加檢測(cè)探頭310的可匹配性。

還需要說(shuō)明的是，在本實(shí)施例中，將檢測(cè)探頭310設(shè)置為掃描儀，掃描儀在日常中較為常見，增加檢測(cè)探頭310的可匹配性?？梢岳斫獾?，在其他具體實(shí)施例中，也可以根據(jù)用戶的需求，將檢測(cè)探頭310設(shè)置為其他裝置。

在本實(shí)施例中，檢測(cè)室300還包括處理裝置320；處理裝置320與檢測(cè)探頭310電連接。在檢測(cè)室300內(nèi)設(shè)置與檢測(cè)探頭310電連接的處理裝置320，掃描裝置對(duì)檢測(cè)室300內(nèi)的硅芯進(jìn)行全方位掃描，之后將掃描裝置快速拍攝的照片按照序列傳遞給處理裝置320，處理裝置320做出相應(yīng)的措施。

圖4為本發(fā)明實(shí)施例中提供的硅芯清洗裝置10的檢測(cè)室300的原理框圖。請(qǐng)參照?qǐng)D4，在本實(shí)施例中，處理裝置320包括識(shí)別模塊322、標(biāo)記模塊324以及控制模塊326；掃描裝置對(duì)檢測(cè)室300內(nèi)的硅芯進(jìn)行全方位掃描，之后將掃描裝置拍攝的照片按照序列傳遞給處理裝置320的識(shí)別模塊322，識(shí)別模塊322對(duì)硅芯的照片一一進(jìn)行識(shí)別，識(shí)別出存在污點(diǎn)的照片。并將該存在的照片的信號(hào)傳遞給標(biāo)記模塊324，標(biāo)記模塊324對(duì)存在污點(diǎn)的硅芯的位置及硅芯編號(hào)傳遞給控制模塊326，便于控制模塊326做出相應(yīng)的處理。需要說(shuō)明的是，在其他具體實(shí)施例中，也可以根據(jù)用戶的需求，將處理裝置320設(shè)置其他形式。

在本實(shí)施例中，處理裝置320還連接有顯示屏330。處理裝置320的標(biāo)記模塊324與顯示屏330電連接，便于在顯示屏330中觀察檢測(cè)室300內(nèi)存在污點(diǎn)的硅芯的位置以及編號(hào)，將存在污漬或是沒有清洗干凈的硅芯的編號(hào)及位置呈現(xiàn)在顯示屏330上。便于對(duì)沒有清洗干凈的硅芯做出相應(yīng)的措施。

需要說(shuō)明的是，在本實(shí)施例中，處理裝置320的標(biāo)記模塊324與顯示屏330電連接，便于在顯示屏330中觀察檢測(cè)室300內(nèi)存在污點(diǎn)的硅芯的位置以及編號(hào)，將存在污漬或是沒有清洗干凈的硅芯的編號(hào)及位置呈現(xiàn)在顯示屏330上。便于對(duì)沒有清洗干凈的硅芯做出相應(yīng)的措施?？梢岳斫獾?，在其他具體實(shí)施例中，也可以根據(jù)用戶的需求，不設(shè)置顯示屏330。

在本實(shí)施例中，處理裝置320還連接有機(jī)械手340。設(shè)置機(jī)械手340，將處理裝置320中的控制模塊326與機(jī)械手340電連接，標(biāo)記模塊324對(duì)存在污點(diǎn)的硅芯的位置及硅芯編號(hào)傳遞給控制模塊326，控制模塊326將標(biāo)記模塊324傳來(lái)的信號(hào)進(jìn)行處理分析，控制機(jī)械手340運(yùn)行到存在污點(diǎn)的硅芯的位置，將存在污點(diǎn)的硅芯夾持出來(lái)，便于進(jìn)行再次清洗或者其他處理方式。

需要說(shuō)明的是，在本實(shí)施例中，將處理裝置320中的控制模塊326與機(jī)械手340電連接，標(biāo)記模塊324對(duì)存在污點(diǎn)的硅芯的位置及硅芯編號(hào)傳遞給控制模塊326，控制模塊326將標(biāo)記模塊324傳來(lái)的信號(hào)進(jìn)行處理分析，控制機(jī)械手340運(yùn)行到存在污點(diǎn)的硅芯的位置，將存在污點(diǎn)的硅芯夾持出來(lái)，便于進(jìn)行再次清洗或者其他處理方式?？梢岳斫獾模谄渌唧w實(shí)施例中，也可以根據(jù)用戶的需求，不設(shè)置機(jī)械手340或者采用其他結(jié)構(gòu)將清洗不合格硅芯取出。

在本實(shí)施例中，硅芯清洗裝置10還包括硅芯收集箱(圖中不可見)；硅芯收集箱靠近檢測(cè)室300設(shè)置，設(shè)置硅芯收集箱便于機(jī)械手340將清洗不合格的硅芯取出后放置在硅芯收集箱上，后將清洗不合格硅芯放置清洗池內(nèi)進(jìn)行第二次清洗。

需要說(shuō)明的是，在本實(shí)施例中，設(shè)置硅芯收集箱便于機(jī)械手340將清洗不合格的硅芯取出后放置在硅芯收集箱上，后將清洗不合格硅芯放置清洗池內(nèi)進(jìn)行第二次清洗。可以理解的，在其他具體實(shí)施例中，也可以根據(jù)用戶的需求，不設(shè)置硅芯收集箱或者采用其他結(jié)構(gòu)或者工具回收初次清洗不合格的硅芯。

在本實(shí)施例中，硅芯清洗裝置10還包括傳送裝置400；傳送裝置400包括至少兩個(gè)夾持件410，每個(gè)夾持件410的夾持面水平設(shè)置；夾持件410傳動(dòng)連接有第一驅(qū)動(dòng)裝置420以及第二驅(qū)動(dòng)裝置430；第一驅(qū)動(dòng)裝置420用于帶動(dòng)夾持件410水平運(yùn)動(dòng)；第二驅(qū)動(dòng)裝置430用于帶動(dòng)夾持件410豎直運(yùn)動(dòng)。采用第一驅(qū)動(dòng)裝置420便于夾持件410在清洗室100、風(fēng)干室200以及檢測(cè)室300之間流動(dòng)。采用第二驅(qū)動(dòng)裝置430便于將夾持件410所加持的硅芯放置在清洗池內(nèi)清洗。減少人工操作，節(jié)約人力且避免人工引起的危險(xiǎn)以及避免人工玷污硅芯。

需要說(shuō)明的是，在本實(shí)施例中，采用第一驅(qū)動(dòng)裝置420便于夾持件410在清洗室100、風(fēng)干室200以及檢測(cè)室300之間流動(dòng)。采用第二驅(qū)動(dòng)裝置430便于將夾持件410所加持的硅芯放置在清洗池內(nèi)清洗。減少人工操作，節(jié)約人力且避免人工引起的危險(xiǎn)以及避免人工玷污硅芯?？梢岳斫獾?，在其他具體實(shí)施例中，也可以根據(jù)用戶的需求，不設(shè)置傳送裝置400。

圖5為本發(fā)明實(shí)施例中提供的硅芯清洗裝置10的夾持件410的結(jié)構(gòu)示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D5，在本實(shí)施例中，夾持件410的夾持面開設(shè)有容納硅芯的分割槽412。在夾持件410的夾持面開設(shè)有容納硅芯的分割槽412是為了便于分離硅芯，使位于夾持面上的硅芯相互分離，便于清洗以及便于檢測(cè)。

需要說(shuō)明的是，在本實(shí)施例中，在夾持件410的夾持面開設(shè)有容納硅芯的分割槽412是為了便于分離硅芯，使位于夾持面上的硅芯相互分離，便于清洗以及便于檢測(cè)?？梢岳斫獾模谄渌唧w實(shí)施例中，也可以根據(jù)用戶的需求，不設(shè)置分割槽412。

在本實(shí)施例中，分割槽412外表面設(shè)置有彈性防滑層。在分割槽412外表面設(shè)置有彈性防滑層是為了避免分割槽412內(nèi)的硅芯在傳送過程中滑落，增大硅芯清洗裝置10的穩(wěn)定性。

需要說(shuō)明的是，在本實(shí)施例中，在分割槽412外表面設(shè)置有彈性防滑層是為了避免分割槽412內(nèi)的硅芯在傳送過程中滑落，增大硅芯清洗裝置10的穩(wěn)定性。可以理解的，在其他具體實(shí)施例中，也可以根據(jù)用戶的需求，不設(shè)置彈性防滑層。

本發(fā)明的實(shí)施例中提供的硅芯清洗裝置10，清洗室100、風(fēng)干室200以及檢測(cè)室300依次相鄰設(shè)置；硅芯在清洗室100內(nèi)清洗過后，經(jīng)風(fēng)干室200風(fēng)干后，置于檢測(cè)室300內(nèi)檢測(cè)，檢測(cè)硅芯是否清洗干凈，本發(fā)明的實(shí)施例中提供的硅芯清洗裝置10設(shè)置檢測(cè)室300對(duì)硅芯進(jìn)行檢測(cè)，代替人工目測(cè)直觀判斷，避免因人為感官判斷時(shí)造成的誤差，具有判斷精確，減少操作工序，節(jié)省人力資源，提高安全性能的有益效果。

本發(fā)明的實(shí)施例中還提供了一種硅芯清洗效果判斷方法，硅芯清洗效果判斷方法采用上述的硅芯清洗裝置10實(shí)現(xiàn)；

硅芯清洗效果判斷方法的步驟如下：

清洗工序：將硅芯置于清洗池內(nèi)進(jìn)行清洗；

風(fēng)干工序：將清洗完畢的硅芯置于風(fēng)干室200進(jìn)行風(fēng)干；

檢測(cè)工序：對(duì)風(fēng)干過后的硅芯置于檢測(cè)室300進(jìn)行檢測(cè)；檢測(cè)硅芯是否清洗干凈。

在本實(shí)施例中，硅芯的清洗工序采用第一驅(qū)動(dòng)裝置420便于夾持件410在清洗室100、風(fēng)干室200以及檢測(cè)室300之間流動(dòng)。采用第二驅(qū)動(dòng)裝置430便于將夾持件410所加持的硅芯放置在清洗池內(nèi)清洗。減少人工操作，節(jié)約人力且避免人工引起的危險(xiǎn)以及避免人工玷污硅芯。

需要說(shuō)明的是，在本實(shí)施例中，設(shè)置采用第一驅(qū)動(dòng)裝置420便于夾持件410在清洗室100、風(fēng)干室200以及檢測(cè)室300之間流動(dòng)。采用第二驅(qū)動(dòng)裝置430便于將夾持件410所加持的硅芯放置在清洗池內(nèi)清洗。減少人工操作，節(jié)約人力且避免人工引起的危險(xiǎn)以及避免人工玷污硅芯?？梢岳斫獾?，在其他具體實(shí)施例中，也可以根據(jù)用戶的需求，不設(shè)置自動(dòng)傳送的工序。

在本實(shí)施例中，檢測(cè)工序中，采用檢測(cè)探頭310沿著待檢硅芯的長(zhǎng)度方向?qū)ζ溥M(jìn)行掃描，將掃描拍攝的照片按照序列傳遞給處理裝置320，處理裝置320對(duì)存在污點(diǎn)的硅芯進(jìn)行識(shí)別。采用移動(dòng)監(jiān)測(cè)探頭沿著硅芯的長(zhǎng)度方向?qū)栊具M(jìn)行掃描，便于對(duì)硅芯進(jìn)行全方位的掃描，提高檢測(cè)精度；采用處理裝置320便于對(duì)存在污點(diǎn)的硅芯做出相應(yīng)的處理措施。

需要說(shuō)明的是，在本實(shí)施例中，采用移動(dòng)監(jiān)測(cè)探頭沿著硅芯的長(zhǎng)度方向?qū)栊具M(jìn)行掃描，便于對(duì)硅芯進(jìn)行全方位的掃描，提高檢測(cè)精度?？梢岳斫獾模谄渌唧w實(shí)施例中，也可以根據(jù)用戶的需求，采用其他檢測(cè)裝置對(duì)硅芯進(jìn)行掃描。

在本實(shí)施例中，在檢測(cè)工序中，處理裝置320中的識(shí)別模塊322對(duì)硅芯的照片進(jìn)行識(shí)別，識(shí)別出存在污點(diǎn)的照片，并將該存在污點(diǎn)的照片的信號(hào)傳遞給處理裝置320中的標(biāo)記模塊324，處理裝置320中的標(biāo)記模塊324對(duì)存在污點(diǎn)的硅芯的位置及硅芯編號(hào)傳遞給處理裝置320中的控制模塊326，處理裝置320中的控制模塊326作出相應(yīng)的處理。采用處理裝置320中的識(shí)別模塊322、標(biāo)記模塊324以及控制模塊326即可實(shí)現(xiàn)對(duì)存在污點(diǎn)的硅芯進(jìn)行識(shí)別并對(duì)其做出相應(yīng)的處理。

需要說(shuō)明的是，在本實(shí)施例中，采用處理裝置320中的識(shí)別模塊322、標(biāo)記模塊324以及控制模塊326即可實(shí)現(xiàn)對(duì)存在污點(diǎn)的硅芯進(jìn)行識(shí)別并對(duì)其做出相應(yīng)的處理?？梢岳斫獾模谄渌唧w實(shí)施例中，也可以根據(jù)用戶的需求，處理裝置320采用其他模塊組成。

在本實(shí)施例中，在檢測(cè)工序后還包括回收工序，控制模塊326控制機(jī)械手340將檢測(cè)清洗不合格硅芯取出，放入硅芯收集箱內(nèi)。設(shè)置該回收工序便于更好地清洗硅芯，并對(duì)檢測(cè)清洗不合格的硅芯進(jìn)行二次清洗。

需要說(shuō)明的是，在本實(shí)施例中，在檢測(cè)工序中，添加回收工序，將檢測(cè)清洗不合格硅芯采用機(jī)械手340取出，放入硅芯收集箱內(nèi)，后再次投放進(jìn)清洗池內(nèi)進(jìn)行清洗。設(shè)置該回收工序便于更好地清洗硅芯，并對(duì)檢測(cè)清洗不合格的硅芯進(jìn)行二次清洗?？梢岳斫獾模谄渌唧w實(shí)施例中，也可以根據(jù)用戶的需求，不設(shè)置回收工序或者采用其他方式對(duì)檢測(cè)清洗不合格的硅芯進(jìn)行處理。

本發(fā)明的實(shí)施例中提供的硅芯清洗效果判斷方法，在采用上述的硅芯清洗裝置10工作的過程中，傳送裝置400的夾持件410將待清洗的硅芯放置在清洗池內(nèi)清洗。清洗完畢后，在第二驅(qū)動(dòng)裝置430的作用下帶動(dòng)夾持件410向上移動(dòng)脫離清洗池。并在第一驅(qū)動(dòng)裝置420的作用下，將硅芯運(yùn)送至風(fēng)干室200。對(duì)硅芯進(jìn)行風(fēng)干處理后，在第一驅(qū)動(dòng)裝置420的作用下將硅芯運(yùn)送至檢測(cè)室300內(nèi)，使硅芯置于檢測(cè)探頭310的檢測(cè)空間314內(nèi)，第三驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)檢測(cè)探頭310沿著硅芯的長(zhǎng)度方向移動(dòng)，便于對(duì)硅芯進(jìn)行更加全面的拍照，檢測(cè)探頭310利用利用拍照功能將硅芯各處的照片呈序列發(fā)送至處理裝置320的識(shí)別模塊322，處理裝置320的識(shí)別模塊322對(duì)存在污點(diǎn)的硅芯進(jìn)行識(shí)別，識(shí)別出存在污點(diǎn)的照片。并將該存在的照片的信號(hào)傳遞給標(biāo)記模塊324，標(biāo)記模塊324對(duì)存在污點(diǎn)的硅芯的位置及硅芯編號(hào)傳遞給控制模塊326以及顯示屏330?？刂颇K326接收該存在污點(diǎn)的硅芯的位置及硅芯編號(hào)的信號(hào)后，將標(biāo)記模塊324傳來(lái)的信號(hào)進(jìn)行處理分析，并控制機(jī)械手340運(yùn)行到存在污點(diǎn)的硅芯的位置，將存在污點(diǎn)的硅芯夾持出來(lái)，放置在硅芯收集箱中，便于將清洗不合格硅芯放置清洗池內(nèi)進(jìn)行第二次清洗。顯示屏330接收該存在污點(diǎn)的硅芯的位置及硅芯編號(hào)的信號(hào)后，將存在污漬或是沒有清洗干凈的硅芯的編號(hào)及位置呈現(xiàn)在顯示屏330上，便于用戶觀察存在污點(diǎn)的硅芯的位置及編號(hào)。本發(fā)明的實(shí)施例中提供的硅芯清洗效果判斷方法，由于采用上述的硅芯清洗裝置10，因此也具有判斷精確，減少操作工序，節(jié)省人力資源，提高安全性能的有益效果。

以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。