技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)涉及碳化硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種溫度可控的碳化硅生長(zhǎng)坩堝平臺(tái)。本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N新型的碳化硅生長(zhǎng)坩堝平臺(tái)，該裝置通過(guò)在石墨平臺(tái)上的坩堝槽內(nèi)鋪設(shè)石墨氈，石墨氈內(nèi)部均勻分布有電阻絲，電阻絲的端部裸露在石墨氈外部，加熱時(shí)，直接在石墨氈上通電加熱，使得石墨氈發(fā)熱，從而進(jìn)一步加熱坩堝。這樣設(shè)置，避免了直接給坩堝通電，而造成糊鍋等問(wèn)題。另一方面，為了能夠使得加熱結(jié)束后，石墨平臺(tái)能夠在短時(shí)間內(nèi)溫度下降，在石墨槽對(duì)應(yīng)的石墨平臺(tái)底部，設(shè)置了風(fēng)扇，風(fēng)扇可以吹散石墨平臺(tái)的熱量，使得石墨坩堝中的溫度迅速下降。

技術(shù)研發(fā)人員：梁慶瑞;高超;宗艷民;于國(guó)建;張紅巖
受保護(hù)的技術(shù)使用者：山東天岳晶體材料有限公司
文檔號(hào)碼：201720036334
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.12
技術(shù)公布日：2017.09.22