技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型涉及一種多晶硅鑄錠爐，包括：爐體；設(shè)置于所述爐體內(nèi)的坩堝，用于盛放晶體硅；位于所述坩堝頂部的頂部加熱器；位于所述坩堝外側(cè)壁的側(cè)部加熱器；包圍于所述坩堝外側(cè)壁、頂部加熱器及側(cè)部加熱器的隔熱籠；位于所述坩堝底部的底部加熱器，所述頂部加熱器、側(cè)部加熱器或底部加熱器用于對(duì)所述坩堝加熱；設(shè)置于底部加熱器與所述坩堝底部之間的冷卻裝置，用于通過冷卻氣體對(duì)所述爐體內(nèi)散熱。上述多晶硅鑄錠爐可利用上述冷卻裝置的氣冷的方式對(duì)上述坩堝的底部進(jìn)行冷卻、由于對(duì)坩堝底部快速、均勻的進(jìn)行散熱，有利于提升橫向溫度梯度均勻性。

技術(shù)研發(fā)人員：王成龍;陳湘?zhèn)?尹祚鵬;高寶慶
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇協(xié)鑫軟控設(shè)備科技發(fā)展有限公司
文檔號(hào)碼：201720093276
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.22
技術(shù)公布日：2017.09.22