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      一種石英筒填料裝置的制作方法

      文檔序號:40379969發(fā)布日期:2024-12-20 12:02閱讀:6來源:國知局
      一種石英筒填料裝置的制作方法

      本技術涉及單晶爐領域,具體地說是一種石英筒填料裝置。


      背景技術:

      1、石英筒是一種常用的對單晶爐實施持續(xù)供應硅料的機構。在實施長晶前,首先需要將硅料填至石英筒內(nèi),然后將石英筒轉(zhuǎn)運至長晶爐。目前,一般通過人工將硅料填至石英筒內(nèi),人工填料方式生產(chǎn)效率抵,且增加了生產(chǎn)成本。


      技術實現(xiàn)思路

      1、針對傳統(tǒng)的石英筒填料方式存在的上述問題,本技術提供了一種石英筒填料裝置,其詳細技術方案如下:

      2、一種石英筒填料裝置,包括填料機構、石英筒轉(zhuǎn)運機構及上料機構,其中:

      3、填料機構包括機架、填料部及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部,其中,填料部和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部均安裝在機架上,填料部的下方設有填料工位,填料部的底部設有落料口;

      4、石英筒轉(zhuǎn)運機構包括行走部及承載支架,其中,承載支架可轉(zhuǎn)動地安裝在行走部上,承載支架用于固持待填料的石英筒;

      5、行走部用于將石英筒轉(zhuǎn)運至填料工位處,旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部用于對接承載支架,以及驅(qū)動承載支架轉(zhuǎn)動,使得石英筒以傾斜狀態(tài)對準填料部的落料口;

      6、上料機構用于將硅料投放至填料部內(nèi),使得硅料自落料口落入至石英筒內(nèi);旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部還用于在填料過程中驅(qū)動承載支架轉(zhuǎn)動,使得石英筒自傾斜狀態(tài)切換至豎立狀態(tài)以整理硅料。

      7、通過填料機構、石英筒轉(zhuǎn)運機構及上料機構的配合,本技術提供的石英筒填料裝置實現(xiàn)了對石英筒的自動填料,從而提升了填料效率,降低了長晶成本。此外,填料過程中,石英筒還可自傾斜狀態(tài)切換至豎立狀態(tài)以實施對硅料的整理,從而提升填料的均勻性。

      8、在一些實施例中,填料部包括漏斗及導料通道,導料通道的一端敞開以形成向下傾斜的落料口;上料機構將硅料投放至漏斗內(nèi),硅料自漏斗落入至導料通道,并經(jīng)落料口落入至石英筒內(nèi)。

      9、通過漏斗及導料通道的配合,可確保填料部內(nèi)的硅料能夠準確、勻速地落入至石英筒內(nèi)。

      10、在一些實施例中,漏斗設置為至少兩個,每個漏斗的下方均對應設置有一個導料通道,距離填料工位最近的導料通道的一端敞開以形成落料口;相鄰兩個導料通道連通,其中,距離填料工位較遠的導料通道的底部高于距離填料工位較近的導料通道的底部,上料機構將硅料投放至各漏斗內(nèi);或者,相鄰兩個漏斗中,距離填料工位較遠的漏斗對應的導料通道的落料口位于距離填料工位較近的漏斗的上方,距離填料工位較遠的漏斗內(nèi)的硅料經(jīng)對應的導料通道落入至距離填料工位較近的漏斗內(nèi),上料機構將硅料投放至距離填料工位最遠的漏斗內(nèi)。

      11、通過設置多個漏斗且通過對多個漏斗的連通方式進行設置,使得多個漏斗中的硅料均經(jīng)落料口落至石英筒內(nèi),如此設置,可增加填料部中的硅料的儲料量,減少上料機構的上料頻率。

      12、在一些實施例中,填料部還包括設置在導料通道下方的振動組件,振動組件用于在填料過程中帶動導料通道振動。

      13、振動組件在填料過程中帶動導料通道振動,促進硅料加快通過導料通道,落入至石英筒內(nèi),防止硅料堵塞在導料通道內(nèi)。

      14、在一些實施例中,旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部包括平移驅(qū)動件、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件及第一旋轉(zhuǎn)對接件,其中,旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件連接在平移驅(qū)動件的驅(qū)動端上,第一旋轉(zhuǎn)對接件連接在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件的驅(qū)動端上;承載支架上設置有與第一旋轉(zhuǎn)對接件匹配的第二旋轉(zhuǎn)對接件;平移驅(qū)動件用于驅(qū)動第一旋轉(zhuǎn)對接件朝向第二旋轉(zhuǎn)對接件平移,以使得第一旋轉(zhuǎn)對接件與第二旋轉(zhuǎn)對接件對接,旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件用于驅(qū)動第一旋轉(zhuǎn)對接件旋轉(zhuǎn),以帶動承載支架轉(zhuǎn)動。

      15、通過將旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部設置成包括平移驅(qū)動件、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件及第一旋轉(zhuǎn)對接件,并在承載支架上設置與第一旋轉(zhuǎn)對接件匹配的第二旋轉(zhuǎn)對接件,使得旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部實現(xiàn)了對承載支架的對接鎖緊,以及驅(qū)動承載支架轉(zhuǎn)動,最終調(diào)整石英筒的姿態(tài),整理以填入的料塊。

      16、在一些實施例中,上料機構包括機械臂及連接在機械臂末端的夾持組件,機械臂用于驅(qū)動夾持組件移動,以帶動夾持組件夾取裝有硅料的料盒,以及將料盒中的硅料投放至填料部內(nèi);夾持組件包括夾持驅(qū)動件、第一夾板和第二夾板,其中,夾持驅(qū)動件連接在機械臂末端,第一夾板和第二夾板成對連接在夾持驅(qū)動件的兩個驅(qū)動端上,夾持驅(qū)動件用于驅(qū)動第一夾板和第二夾板夾持及釋放料盒。

      17、提供了一種結構簡單的上料機構,其通過機械臂驅(qū)動夾持組件移動,以帶動夾持組件夾取裝有硅料的料盒,并將料盒中的硅料精確投放至填料部內(nèi)。

      18、在一些實施例中,填料機構還包括設置在機架上并位于填料工位的邊側的導向部,導向部包括阻擋件、平移驅(qū)動組件及夾持件,其中:阻擋件安裝在機架上,行走部將石英筒轉(zhuǎn)運至填料工位處時,阻擋件用于阻擋行走部;平移驅(qū)動組件安裝在機架上,夾持件連接在平移驅(qū)動組件的活動部件上,行走部將石英筒轉(zhuǎn)運至填料工位處時,夾持件夾持住行走部;平移驅(qū)動組件用于在完成填料后將行走部推出填料工位。

      19、通過設置導向部,可確保石英筒在行走部的帶動下能夠準確地移動至填料工位處,從而確保石英筒對準填料部的落料口。此外,導向部能夠在填料過程中將行走部鎖定在填料工位處,防止行走部意外滑動,造成石英筒偏離落料口。

      20、在一些實施例中,平移驅(qū)動組件包括滑軌、安裝板及驅(qū)動電機,其中:滑軌安裝在機架上,滑軌的邊側沿滑軌的延伸方向設置有齒條;安裝板滑動連接在滑軌上,夾持件和驅(qū)動電機均安裝在安裝板上,驅(qū)動電機的驅(qū)動端上設置有與齒條嚙合的齒輪,驅(qū)動電機用于驅(qū)動齒輪旋轉(zhuǎn),以帶動安裝板沿滑軌滑動。

      21、提供了一種結構簡單的平移驅(qū)動組件,其實現(xiàn)了對夾持件的穩(wěn)定驅(qū)動。

      22、在一些實施例中,導向部還包括第一導向輪組和第二導向輪組,其中:第一導向輪組沿滑軌的延伸方向設置在機架上并位于填料工位的第一側,第一導向輪組沿滑軌的延伸方向設置在機架上并位于填料工位的第二側,第一導向輪組和第二導向輪組之間形成有供行走部穿行的導向通道;行走部進入至導向通道后,第一導向輪組和第二導向輪組分別滾動抵靠在行走部的一側側壁上。

      23、通過設置第一導向輪組和第二導向輪組,實現(xiàn)了對行走部的移動導向,防止行走部走偏。

      24、在一些實施例中,石英筒填料裝置還包括輸送機構;輸送機構被配置為將裝有硅料的料盒朝向上料機構輸送,上料機構用于從輸送機構上拾取裝有硅料的料盒;上料機構還用于在完成填料后將空料盒放回至輸送機構上,輸送機構還被配置為將空料盒遠離上料機構輸送。

      25、通或設置輸送機構,實現(xiàn)了對裝有硅料的料盒的自動上料,從而確保上料機構能夠就近獲取到裝有硅料的料盒,從而提升填料效率。此外,輸送機構還實現(xiàn)對被倒空的空料盒的自動下料。

      26、在一些實施例中,輸送機構包括第一輸送部、中間輸送部及第二輸送部,其中:中間輸送部包括第一輸送線和第二輸送線,第二輸送線設置在第一輸送線的上方;第一輸送部包括第一升降模組和第一過渡輸送線,第一升降模組用于驅(qū)動第一過渡輸送線升降,以帶動第一過渡輸送線與第一輸送線或第二輸送線對接;第二輸送部包括第二升降模組和第二過渡輸送線,第二升降模組用于驅(qū)動第二過渡輸送線升降,以帶動第二過渡輸送線與第一輸送線或第二輸送線對接;第二過渡輸送線用于接收裝有硅料的料盒,以及將裝有硅料的料盒輸送至與第二過渡輸送線對接的第一輸送線上,第一輸送線用于將裝有硅料的料盒輸送至與第一輸送線對接的第一過渡輸送線上,上料機構從第一過渡輸送線上拾取裝有硅料的料盒;上料機構將空料盒放置至第一過渡輸送線上,第一過渡輸送線用于將空料盒輸送回與第一過渡輸送線對接的第二輸送線上,第二輸送線用于將空料盒輸送至與第二輸送線對接的第二過渡輸送線上。

      27、提供了一種結構簡單、占地空間少的輸送機構,其通過第一輸送部、中間輸送部及第二輸送部的配合,實現(xiàn)對裝有硅料的料盒的自動上料,以及實現(xiàn)對被倒空的空料盒的自動下料。

      28、在一些實施例中,輸送機構還包括設置在第一升降模組的固件部件上的取蓋組件,取蓋組件包括平移驅(qū)動件及連接在平移驅(qū)動件的驅(qū)動端上的吸附件;第一升降模組還用于驅(qū)動第一過渡輸送線上升,使得位于第一過渡輸送線上的裝有硅料的料盒的盒蓋被吸附件吸附住,平移驅(qū)動件用于驅(qū)動吸附件相對于裝有硅料的料盒平移,以使得吸附在吸附件上的盒蓋脫離料盒;第一升降模組還用于驅(qū)動第一過渡輸送線上升,使得吸附在吸附件上的盒蓋蓋合至位于第一過渡輸送線上的空料盒上。

      29、通過設置取蓋組件,實現(xiàn)了對裝有硅料的料盒的自動取蓋,以及實現(xiàn)了對被送回的空料盒的自動合蓋。

      30、在一些實施例中,輸送機構為兩組,填料機構為兩組,其中:上料機構從兩組輸送機構上的一者上拾取硅料,將拾取的硅料投放至兩組填料機構的一者的填料部內(nèi)。

      31、兩組輸送機構并行地實施對料盒的輸送,兩組填料機構并行地實施對石英筒的填料操作,大幅度地提升了本技術的填料效率。

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