造方法，可以在保持IZO濺射靶的特性的同時，通過削減工序，達到提高生產(chǎn)性及降低制造成本的目的。
[0036]通過本發(fā)明的制造方法制成的IZO濺射靶，由于具有上述的特性，因此可以在通過濺射法制膜時，抑制靶材表面上產(chǎn)生被稱為“結(jié)節(jié)”的黑色析出物(突起物)。所以，不會導致制膜速度的下降，也不會引起因異常放電飛散的結(jié)節(jié)異物混入到透明導電膜中，從而使濺射能夠穩(wěn)定進行，并且能夠制成具有優(yōu)良膜特性的透明導電膜。
[0037]實施例
[0038]以下，通過實施例及比較例，對本發(fā)明進行更詳細的說明，但本發(fā)明并不受這些實施例的任何限制。
[0039]實施例1
[0040]用濕式磨碎機，對比表面積為9m2/g的90質(zhì)量分的氧化銦粉末和比表面積為12m2/g的10質(zhì)量分的氧化鋅粉末進行24小時的混合粉碎。介質(zhì)使用ImmΦ的鋯珠?；旌戏鬯楹笥脟婌F干燥器使其干燥制成微粉末，再將微粉末填充到模具中，用冷壓機及冷等靜壓機施以lt/cm2的壓力進行擠壓成形。將制成的成形物裝入燒成爐，在氧濃度為25%的氧氛中，在1350°C溫度下進行4小時的燒結(jié)。與有無預燒工序無關，制成的IZO濺射靶用燒結(jié)體為密度達6.92g/cm3的高密度燒結(jié)體。
[0041]實施例2
[0042]用濕式磨碎機，對中值粒徑為1.5 μπι的90質(zhì)量分的氧化銦粉末和中值粒徑為
0.Ιμπι的10質(zhì)量分的氧化鋅粉末進行24小時的混合粉碎，使粉碎后的中值粒徑達到
0.8 μπι。介質(zhì)使用1_Φ的鋯珠。混合粉碎后用噴霧干燥器使其干燥制成微粉末，再將微粉末填充到模具中，用冷壓機及冷等靜壓機施以lt/cm2的壓力進行擠壓成形。將制成的成形物裝入燒成爐，在氧濃度為30%的氧氣氛中，在1280°C溫度下進行4小時的燒結(jié)。與有無預燒工序無關，制成的IZO濺射靶用燒結(jié)體為密度達6.91g/cm3的高密度燒結(jié)體。
[0043]實施例3
[0044]用濕式磨碎機，對比表面積為9m2/g的90質(zhì)量分的氧化銦粉末和比表面積為12m2/g的10質(zhì)量分的氧化鋅粉末進行24小時的混合粉碎。介質(zhì)使用ImmΦ的鋯珠?；旌戏鬯楹笥脟婌F干燥器使其干燥制成微粉末，再將微粉末填充到模具中，用冷壓機及冷等靜壓機施以lt/cm2的壓力進行擠壓成形。將制成的成形物裝入燒成爐，在0.15MPa的加壓下，在氧濃度為25%的氧氣氛中，在1230°C溫度下進行24小時的燒結(jié)。與有無預燒工序無關，制成的IZO濺射靶用燒結(jié)體為密度達6.72g/cm3的高密度燒結(jié)體。
[0045]實驗例4
[0046]用濕式磨碎機，對中值粒徑為1.5 μπι的90質(zhì)量分的氧化銦粉末和中值粒徑為
0.Ιμπι的10質(zhì)量分的氧化鋅粉末進行24小時的混合粉碎，使粉碎后的中值粒徑達到
0.8 μπι。介質(zhì)使用1_Φ的鋯珠?；旌戏鬯楹笥脟婌F干燥器使其干燥制成微粉末，再將微粉末填充到模具中，用冷壓機及冷等靜壓機施以lt/cm2的壓力進行擠壓成形。將制成的成形物裝入燒成爐，在施加0.12MPa的壓力下，在氧濃度為30%的氧氣氛中，在1180 °C溫度下進行24小時的燒結(jié)。與有無預燒工序無關，制成的IZO濺射靶用燒結(jié)體為密度達6.65g/cm3的高密度燒結(jié)體。
[0047]比較例I
[0048]用濕式磨碎機，對比表面積為9m2/g的90質(zhì)量分的氧化銦粉末和比表面積為3m2/g的10質(zhì)量分的氧化鋅粉末進行24小時的混合粉碎。介質(zhì)使用ImmΦ的鋯珠。混合粉碎后用噴霧干燥器使其干燥制成微粉末，再將微粉末填充到模具中，用冷壓機及冷等靜壓機施以lt/cm2的壓力進行擠壓成形。將制成的成形物裝入燒成爐，在氧濃度為25%的氧氣氛中，在1400°C溫度下進行4小時的燒結(jié)。與有無預燒工序無關，制成的IZO濺射靶用燒結(jié)體為密度低，為6.10g/cm3 ο
[0049]比較例2
[0050]用濕式磨碎機，對中值粒徑為1.5 μπι的90質(zhì)量分的氧化銦粉末和中值粒徑為
1.0 μπι的10質(zhì)量分的氧化鋅粉末進行24小時的混合粉碎，使粉碎后的中值粒徑達到
1.2 μπι。介質(zhì)使用1_Φ的鋯珠?；旌戏鬯楹笥脟婌F干燥器使其干燥制成微粉末，再將微粉末填充到模具中，用冷壓機及冷等靜壓機施以lt/cm2的壓力進行擠壓成形。將制成的成形物裝入燒成爐，在氧濃度為25%的氧氣氛中，在1400°C溫度下進行10小時的燒結(jié)。與有無預燒工序無關，制成的IZO濺射靶用燒結(jié)體的密度低，為6.0Og/cm3。
[0051]比較例3
[0052]除了與比較例I及比較例2中在混合粉碎后，且在擠壓成形前，在空氣氣氛中1200°C下進行2小時的預燒，用濕式砂磨對制備的預燒粉末進行粉碎不同之外，采用與比較例I及比較例2同樣的方法制成IZO濺射靶用燒結(jié)體。與比較例I及2相比，制成的燒結(jié)體的密度分別高達6.73g/cm\6.73g/cm3。所述密度升高的原因在于進行了預燒，但仍然不及實施例1及實施例2的密度，而且由于增加了預燒工序及粉碎工序，導致生產(chǎn)性下降。
[0053]比較例4
[0054]用濕式磨碎機，對比表面積為9m2/g的90質(zhì)量分的氧化銦粉末和比表面積為3m2/g的10質(zhì)量分的氧化鋅粉末進行24小時的混合粉碎。介質(zhì)使用ImmΦ的鋯珠?；旌戏鬯楹笥脟婌F干燥器使其干燥制成微粉末，再將微粉末填充到模具中，用冷壓機及冷等靜壓機施以lt/cm2的壓力進行擠壓成形。將制成的成形物裝入燒成爐，在空氣氣氛中，在1400°C溫度和大氣壓下進行24小時的燒結(jié)。制成的IZO濺射靶用燒結(jié)體密度低，為6.lOg/cm3。
[0055]實施例5
[0056]用濕式磨碎機，對中值粒徑為1.5 μπι的90質(zhì)量分的氧化銦粉末和中值粒徑為
1.0 μπι的10質(zhì)量分的氧化鋅粉末進行24小時的混合粉碎，使粉碎后的中值粒徑達到
1.2 μπι。介質(zhì)使用1_Φ的鋯珠?；旌戏鬯楹笥脟婌F干燥器使其干燥制成微粉末，再將微粉末填充到模具中，用冷壓機及冷等靜壓機施以lt/cm2的壓力進行擠壓成形。將制成的成形物裝入燒成爐，在空氣氣氛中，在1400°C溫度和大氣壓下進行24小時的燒結(jié)。制成的IZO濺射靶用燒結(jié)體密度低，為6.0Og/cm3。
[0057]比較例6
[0058]除了與比較例4及比較例5中在混合粉碎后，且在擠壓成形前，在空氣氣氛中1200°C下進行2小時的預燒，用濕式砂磨對制備的預燒粉末進行粉碎不同之外，采用與比較例I及比較例2同樣的方法制成IZO濺射靶用燒結(jié)體。與比較例4及5相比，制成的燒結(jié)體的密度分別高達6.73g/cm\6.73g/cm3。所述密度升高的原因在于進行了預燒，雖然制成密度比實施例3及實施例4還高的燒結(jié)體，但由于增加了預燒工序及粉碎工序，導致生產(chǎn)性下降。
[0059]本發(fā)明的IZO濺射靶的制造方法，可以在保持IZO濺射靶的特性的同時，通過削減工序提高生產(chǎn)性及降低制造成本。另外，可以通過降低燒結(jié)溫度提高生產(chǎn)性及降低制造成本。
【主權項】
1.一種IZO濺射靶的制造方法，其特征在于，包括: 將氧化銦粉末和氧化鋅粉末、或者以這些粉末為主成分的原料粉末混合粉碎而得到微粉末的混合粉碎工序； 將所述微粉末成形而得到成形物的成形工序； 在氧氣氛中以1250?1450°C的溫度、或者在加壓下在氧氣氛中以1100?1250°C的溫度對所述成形物進行燒結(jié)而得到燒結(jié)體的燒結(jié)工序， 其中，所述氧化銦粉末的比表面積為8?10m2/g，所述氧化鋅粉末的比表面積為1m2/g以上。
2.—種IZO濺射靶的制造方法，其特征在于，包括: 將氧化銦粉末和氧化鋅粉末、或者以這些粉末為主成分的原料粉末混合粉碎而得到微粉末的混合粉碎工序； 將所述微粉末成形而得到成形物的成形工序； 在氧氣氛中以1250?1450°C的溫度、或者在加壓下在氧氣氛中以1100?1250°C的溫度對所述成形物進行燒結(jié)而得到燒結(jié)體的燒結(jié)工序， 其中，所述氧化銦粉末的粒度分布的中值粒徑為I?2 μπι，所述氧化鋅粉末的粒度分布的中值粒徑為65nm?0.2 μm，所述混合粉碎工序后的平均中值粒徑為0.5?I μπι。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的IZO濺射靶的制造方法，其特征在于，在所述成形工序之前不進行預燒。
4.根據(jù)權利要求1?3中任一項所述的IZO濺射靶的制造方法，其特征在于，所述燒結(jié)體的密度為6.5g/cm3以上。
【專利摘要】本發(fā)明的目的在于，提供一種在IZO濺射靶的制造中，在保持IZO濺射靶的特性的同時，通過削減工序使提高生產(chǎn)效率及降低制造成本可能的制造方法。另外，還提供一種通過降低燒結(jié)溫度使提高生產(chǎn)性及降低制造成本成為可能的制造方法。該IZO濺射靶的制造方法的特征在于，包括：將具有特定性狀的氧化銦粉末和氧化鋅粉末，或者以這些粉末為主成分的原料粉末混合粉碎后制成微粉末的混合粉碎工序；和將所述微粉末成形后制成成形物的成形工序；和在氧氣氛中1250～1450℃溫度下，或者在對所述成形物進行加壓下，在氧氣氛中1100～1250℃溫度下，對所述成形物進行燒結(jié)而制成燒結(jié)體的燒結(jié)工序。
【IPC分類】C04B35-01, C04B35-622
【公開號】CN104710163
【申請?zhí)枴緾N201510104445
【發(fā)明人】井上一吉, 海上曉, 松原雅人
【申請人】出光興產(chǎn)株式會社
【公開日】2015年6月17日
【申請日】2006年6月27日
【公告號】WO2007004473A1