述存在缺陷的虛擬單面2的個(gè)數(shù)處于臨 時(shí)的容許面數(shù)內(nèi)的大量小玻璃板獲取用玻璃基板的生成率（合格率）來求取的。接著，在 對(duì)這些被預(yù)備地視作合格品的大量小玻璃板獲取用玻璃基板1實(shí)施制品關(guān)聯(lián)處理（在大量 小玻璃板獲取用玻璃基板1的表面例如形成與顯示器畫面對(duì)應(yīng)的膜或電路圖案等的處理） 而分割為多個(gè)單面玻璃板3的情況下求取下游側(cè)工序的處理者所受的損失。該計(jì)算是根據(jù) 在下游側(cè)工序中對(duì)大量小玻璃板獲取用玻璃基板1實(shí)施制品關(guān)聯(lián)處理而分割為多個(gè)單面 玻璃板3的情況下的單面玻璃板的每一片的單價(jià)、以及從批平均缺陷密度計(jì)算出且與上述 的臨時(shí)的容許面數(shù)對(duì)應(yīng)的缺陷被送至下游側(cè)工序從而包含在單面玻璃板3中而成為不良 的生成率來求取的。進(jìn)而，估算單元B使上述的存在缺陷的虛擬單面的個(gè)數(shù)不同地，分多次 進(jìn)行估算從而求取上述的利益和上述的損失，并基于這些估算結(jié)果，來計(jì)算在上述的利益 超過了上述的損失的情況下（更優(yōu)選地，該利益在估算范圍內(nèi)最大的情況下）的所述存在 缺陷的虛擬單面的真實(shí)的容許面數(shù)。
[0068] 上述第2檢查單元C對(duì)上述一批的大量小玻璃板獲取用玻璃基板1的全部進(jìn)行缺 陷檢查，并使該檢查結(jié)果進(jìn)行存儲(chǔ)，而且在將作為所存儲(chǔ)的檢查結(jié)果的缺陷數(shù)據(jù)與對(duì)大量 小玻璃板獲取用玻璃基板1的各虛擬單面2進(jìn)行了劃分的虛擬線進(jìn)行比對(duì)的同時(shí)，基于缺 陷數(shù)據(jù)來計(jì)數(shù)存在缺陷的虛擬單面的容許面數(shù)。
[0069] 上述合格與否判定單元D從一批的大量小玻璃板獲取用玻璃基板1之中，將由第 2檢查單元C實(shí)際測量出的存在缺陷的虛擬單面的實(shí)際個(gè)數(shù)是由上述估算單元B計(jì)算出的 存在缺陷的虛擬單面的真實(shí)的容許面數(shù)的大量小玻璃板獲取用玻璃基板1，與完全不存在 缺陷的大量小玻璃板獲取用玻璃基板1 一起，設(shè)為送往下游側(cè)工序的合格品。而且，將其他 大量小玻璃板獲取用玻璃基板1設(shè)為在上游側(cè)工序中廢棄的不合格品。
[0070] 參照?qǐng)D2所示的流程圖的步驟Sl~S7來詳細(xì)說明以上的流程。該流程圖僅示出 了在上游側(cè)工序中的處理的流程。
[0071] 步驟Sl相當(dāng)于第1檢測單元A，但在此，以通過下拉法或浮法等成形且實(shí)施了給定 的加工的10片以上的一批的大量小玻璃板獲取用玻璃基板1作為對(duì)象，針對(duì)從其之中抽取 了 10片以上的大量小玻璃板獲取用玻璃基板1，進(jìn)行缺陷的檢查來計(jì)數(shù)缺陷的總個(gè)數(shù)，并 計(jì)算將其除以檢查總面積而得到的批平均缺陷密度。盡管在第1檢查單元A(第2檢查單 元C也同樣）中使用光學(xué)式的自動(dòng)缺陷檢測裝置，但在第1檢查單元A中，無需預(yù)先判明對(duì) 大量小玻璃板獲取用玻璃基板1的各虛擬單面2進(jìn)行劃分的虛擬線。
[0072] 在步驟S2中，把在假定為將經(jīng)檢查后的大量小玻璃板獲取用玻璃基板1在下游側(cè) 工序中視作合格品的情況下的該大量小玻璃板獲取用玻璃基板1中存在缺陷的虛擬單面2 的個(gè)數(shù)i從1個(gè)起每次增1地使其成為8個(gè)（根據(jù)不同情況，也有不足8個(gè)的最大個(gè)數(shù)的 情況）。然后，在步驟S3中，針對(duì)其為1個(gè)至8個(gè)的全部情況，分別比較上游側(cè)工序的處理 者所受的累積利益與下游側(cè)工序的處理者所受的累積損失。在此所謂的累積表示i從1個(gè) 起按序每次增大1個(gè)所計(jì)算的利益的累積值以及損失的累積值。利益的計(jì)算是根據(jù)在上游 側(cè)工序中的大量小玻璃板獲取用玻璃基板的每一片的單價(jià)、以及從批平均缺陷密度計(jì)算出 且所述存在缺陷的虛擬單面的個(gè)數(shù)處于容許面數(shù)內(nèi)的大量小玻璃板獲取用玻璃基板1的 生成率來求取的。損失的計(jì)算是根據(jù)在下游側(cè)工序中對(duì)大量小玻璃板獲取用玻璃基板實(shí)施 制品關(guān)聯(lián)處理而分割為多個(gè)單面玻璃板的情況下的單面玻璃板3的每一片的單價(jià)、以及從 批平均缺陷密度計(jì)算出且與上述的容許面數(shù)對(duì)應(yīng)的缺陷被送至下游側(cè)工序從而包含在單 面玻璃板3中成為不良的生成率來求取的。在每種計(jì)算中，要根據(jù)批平均缺陷密度求取生 成率，只要通過利用了二項(xiàng)累積分布函數(shù)的式子來概率性求取即可。
[0073] 在步驟S4中，在累積利益超過了累積損失的情況下，前進(jìn)至步驟S5,在未超過的 情況下前進(jìn)至步驟S7。在步驟S5中，在i從1個(gè)起每次增1個(gè)地依次增加的一系列的估 算之中與迄今的估算結(jié)果相比是最大的累積利益的情況下前進(jìn)至步驟S6,在與迄今的估算 結(jié)果相比并非最大的累積利益的情況下前進(jìn)至步驟S8。在步驟S6中，將此時(shí)的i的值作 為臨時(shí)的容許面數(shù)（存在缺陷的虛擬單面的適當(dāng)個(gè)數(shù)）并前進(jìn)至步驟S7。在步驟S7中， 判斷此時(shí)的i是否已達(dá)到構(gòu)成在1片的大量小玻璃板獲取用玻璃基板內(nèi)的虛擬單面的面數(shù) (在本實(shí)施方式中為8個(gè)面數(shù)），若已達(dá)到則前進(jìn)至步驟S8,若未達(dá)到則返回至步驟S2。在 步驟S8中，將此時(shí)的臨時(shí)的容許面數(shù)作為最終的容許面數(shù)（真實(shí)的容許面數(shù)）并轉(zhuǎn)移至步 驟S9。
[0074] 步驟S9相當(dāng)于第2檢查單元C，但在此，針對(duì)一批的大量小玻璃板獲取用玻璃基板 1的全部，以對(duì)各虛擬單面進(jìn)行劃分的虛擬線為基準(zhǔn)，來計(jì)數(shù)存在缺陷的虛擬單面的實(shí)際個(gè) 數(shù)，并前進(jìn)至步驟S10。步驟SlO相當(dāng)于合格與否判定單元D，但在此，根據(jù)大量小玻璃板獲 取用玻璃基板1中存在缺陷的虛擬單面的實(shí)際個(gè)數(shù)、以及真實(shí)的容許面數(shù)，來進(jìn)行合格品 與不合格品的甄別。
[0075] 通過完成以上的動(dòng)作，來判明是將存在缺陷的虛擬單面2僅為1個(gè)的情況視作合 格品，還是將其為2個(gè)或3個(gè)等的情況視作合格品，并基于該結(jié)果來進(jìn)行全數(shù)檢查甄別。
[0076] 若進(jìn)一步詳述，上述的利益和損失如圖3a、圖3b、圖3c所示，在對(duì)完全不存在缺陷 的大量小玻璃板獲取用玻璃基板1實(shí)施了制品關(guān)聯(lián)處理后而分割為8個(gè)單面玻璃板3的情 況下，由于在上游側(cè)以及下游側(cè)均不存在因缺陷引起的利益以及損失，因此本發(fā)明中的利 益以及損失為零。另一方面，在存在缺陷的虛擬單面2即便只有1個(gè)也作為不合格品廢棄 的情況下，會(huì)成為與該被作為不合格品的全部的大量小玻璃板獲取用玻璃基板1的價(jià)格相 當(dāng)?shù)牧康膿p失，而在現(xiàn)有系統(tǒng)中，將其作為了損失，因此在進(jìn)行與現(xiàn)有系統(tǒng)的比較的本發(fā)明 中，使這樣的情況變?yōu)閾p失為零，確定了利益。
[0077] 而且，作為一例，在圖4a所示的大量小玻璃板獲取用玻璃基板1中，在1個(gè)虛擬單 面2存在1個(gè)缺陷4,在圖5a所示的大量小玻璃板獲取用玻璃基板1中，在2個(gè)虛擬單面2 分別各存在1個(gè)缺陷4,在圖6a所示的大量小玻璃板獲取用玻璃基板1中，在3個(gè)虛擬單面 2分別各存在1個(gè)缺陷4,在圖7a所示的大量小玻璃板獲取用玻璃基板1中，在4個(gè)虛擬單 面2分別各存在1個(gè)缺陷4。
[0078] 在此情況下，在第1檢查單元A中，僅檢測缺陷4的總個(gè)數(shù)（在本例中為10個(gè)）， 并將該總個(gè)數(shù)除以4片的大量小玻璃板獲取用玻璃基板1的總面積，來計(jì)算批平均缺陷密 度。然后，基于該批平均缺陷密度，在估算單元B中進(jìn)行估算的過程中，將如圖4a所示在實(shí) 施制品關(guān)聯(lián)處理的前階段將該大量小玻璃板獲取用玻璃基板1視作合格品而得到的利益、 與如圖4b所示在實(shí)施了制品關(guān)聯(lián)處理后如圖4c所示廢棄1個(gè)單面玻璃板3而產(chǎn)生的損失 進(jìn)行比較，在利益超過了損失的情況下，該大量小玻璃板獲取用玻璃基板1作為合格品而 從上游側(cè)工序被送往下游側(cè)工序。同樣，針對(duì)圖5、圖6、圖7也同樣，將實(shí)施制品關(guān)聯(lián)處理 的前階段的大量小玻璃板獲取用玻璃基板1視作合格品而得到的利益、與在實(shí)施了制造關(guān) 聯(lián)處理后廢棄相應(yīng)個(gè)數(shù)的單面玻璃板3而產(chǎn)生的損失進(jìn)行比較，并判定利益是否超過了損 失。然后，若針對(duì)圖4、圖5、圖6所示，利益超過了損失，而針對(duì)圖7所示，利益未超過損失， 則在存在缺陷的虛擬單面的個(gè)數(shù)為1個(gè)、2個(gè)、3個(gè)的情況下，實(shí)施制品關(guān)聯(lián)處理的前階段的 大量小玻璃板獲取用玻璃基板1從上游側(cè)工序被送往下游側(cè)工序，但在該個(gè)數(shù)為4個(gè)以上 的情況下，實(shí)施制品關(guān)聯(lián)處理的前階段的大量小玻璃板獲取用玻璃基板1在上游側(cè)工序中 被廢棄處分。
[0079] 要根據(jù)上述的批平均缺陷密度來求取生成率，通過利用了二項(xiàng)累積分布函數(shù)的式 子來概率性地求取即可。以下，針對(duì)包含其的實(shí)施方式的計(jì)算來進(jìn)行說明。在計(jì)算中使用 包含二項(xiàng)累積分布函數(shù)的下述的[數(shù)式1]~[數(shù)式5]的數(shù)式。該數(shù)式中所使用的參數(shù)的 定義揭示在下述的表1中。另外，在此的實(shí)施方式中，關(guān)于這些參數(shù)當(dāng)中成為前提條件的參 數(shù)，揭示在下述的表2中。而且，這些輸入的計(jì)算結(jié)果如下述的表3所示。
[0080]【數(shù)式1】
[0090]【表1】
[0091] 在[數(shù)式1]~[數(shù)式5]中使用的各參數(shù)的定義
[0092] V- V. ' - N-, · , ·' 圖 ||||| | .... .... ------------- - ^ ^ I 灰；言' '' ' ' ^ ：?.* .i
學(xué)贏+冬一.'?和'>:1. #, -W ..........
[0093]【表2】
[0094] 實(shí)施方式條件
[0095]
[0099] 〇在綜合損益中利益最大的情況下的金額和容許面數(shù)（m)
[0100] 此外，該計(jì)算中使用的無害區(qū)域救濟(jì)率U )是指，例如即使根據(jù)下游工序中形成 于玻璃基板的電路圖案等的設(shè)計(jì)信息而在所述上游工序中存在成為不合格的缺陷，也基于 錯(cuò)綜復(fù)雜的電路圖案而使得在電路圖案的檢查上不成為不合格，α是相對(duì)于與該錯(cuò)綜復(fù)雜 的電路圖案相應(yīng)的無害區(qū)域，根據(jù)電路圖案的設(shè)計(jì)信息來將面積上的比例置換為概率后的 值。
[0101] 根據(jù)上述的表3,在α為〇%且Cbs為3000日元的情況下，當(dāng)在虛擬單面8個(gè)之 中容許面數(shù)為2個(gè)時(shí)，累積利益成為最大（276日元），因此一批的大量小玻璃板獲取用玻 璃基板1中，將存在缺陷的虛擬單面為1個(gè)和2個(gè)的大量小玻璃板獲取用玻璃基板，與完全 不存在缺陷的大量小玻璃板獲取用玻璃基板一起從上游側(cè)工序送往下游側(cè)工序。另外，在 α為0%且Cbs為6000日元的情況、以及α為40%且Cbs為10000日元的情況下，兩者均 是在虛擬單面8個(gè)之中容許面數(shù)為1個(gè)時(shí)，累積利益成為最大（96日元），因此一批的大量 小玻璃板獲取用玻璃基板1中，將存在缺陷的虛擬單面為1個(gè)的大量小玻璃板獲取用玻璃 基板，與完全不存在缺陷的大量小玻璃板獲取用玻璃基板一起從上游側(cè)工序送往下游側(cè)工 序。此外，在α為〇%且Cbs為10000日元的情況下，累積利益全部為零以下，因此一批的 大量小玻璃板獲取用玻璃基板1中，僅將完全不存在缺陷的大量小玻璃板獲取用玻璃基板 從上游側(cè)工序送往下游側(cè)工序。
[0102] 在此，針對(duì)無害區(qū)域救濟(jì)率（α)進(jìn)行詳述。如圖8所示，預(yù)想在大量小玻璃板獲 取用玻璃基板1中將直線狀的電路圖案Pa(附有粗交叉影線的區(qū)域）并行排列多個(gè)的情況 下，若在電路圖案Pa中存在缺陷，或在接近電路圖案Pa的區(qū)域Ba(附有細(xì)交叉影線的區(qū) 域）中存在缺陷，則會(huì)發(fā)生斷線或短路等。為此，將由該P(yáng)a和Ba組成的區(qū)域設(shè)為不容許缺 陷存在的有害區(qū)域，并將其他區(qū)域Ca (由平行斜線組成的帶影線的區(qū)域）設(shè)為無害區(qū)域。而 且，將Ca的面積除以大量小玻璃板獲取用玻璃基板1的全區(qū)域（有效面區(qū)域）的面積而得 到的值設(shè)為無害區(qū)域救濟(jì)率（α)。在此的實(shí)施方式的計(jì)算中優(yōu)選使用該