信息記錄介質用玻璃基板的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及在硬盤驅動器(HDD:Hard Disk Drive)等信息記錄裝置中作為信息記錄介質的一部分所搭載的信息記錄介質用玻璃基板的制造方法。
【背景技術】
[0002]近年來，隨著HDD的存儲容量飛躍性地增大，必不可少地需要減小I比特所使用的介質的記錄面積。與其成正比地，記錄用的磁性顆粒尺寸也必須微細化。但是微細化會導致下述問題:將記錄的磁化的方向保持為一個方向的能量變小，容易受到熱量的影響。為了使磁化的方向穩(wěn)定，需要使介質從目前作為磁性材料廣泛使用的CoCr系合金變?yōu)槌C頑力高的Fe-Pt系磁性材料。
[0003]但是，在Fe-Pt系磁性材料的成膜中，Fe、Pt原子的排列變得不規(guī)則，無法得到高矯頑力。為了規(guī)則化而得到高矯頑力，必不可少地需要對成膜后的玻璃基板實施約600°C的高溫熱處理。
[0004]在得到這種玻璃基板的情況下，一般使用利用浮法的玻璃基板的制造方法。例如，在日本特開平7-53223號公報(專利文獻I)、日本特開2001-357515號公報(專利文獻2)和日本特開2003-36528號公報(專利文獻3)中公開了利用浮法的信息記錄介質用玻璃基板的制造方法。
[0005]現有技術文獻
[0006]專利文獻
[0007]專利文獻1:日本特開平7-53223號公報
[0008]專利文獻2:日本特開2001-357515號公報
[0009]專利文獻3:日本特開2003-36528號公報

【發(fā)明內容】

[0010]發(fā)明要解決的課題
[0011]如上所述，對于Fe-Pt系磁性材料必不可少地需要實施約600°C的高溫熱處理，因此使玻璃基板的成為耐熱性指標的Tg升高至600°C以上的溫度，在Fe-Pt系磁性材料在玻璃基板上的成膜時實施約600°C的高溫熱處理。
[0012]其結果，雖然耐熱性未產生問題，但產生了信息記錄介質(磁盤)僅單面發(fā)生磁特性變差的新問題。發(fā)明人進行深入的研究結果，對該信息記錄介質(磁盤)的錯誤位置進行了成分分析，結果發(fā)現含有Sn。
[0013]此外，發(fā)明人對原因進行了查明，結果可知:在使用用于熱輔助記錄的高Tg材料的情況下，浮法中的浮槽工序中的溫度高，成型時的溫度高，因此熔融錫(錫)容易蒸發(fā)，玻璃的下表面的錫含量變多。
[0014]對于現有磁盤的記錄密度來說，在玻璃基板中含有錫不是問題，但在形成熱輔助記錄用的磁性層的Fe-Pt合金等的成膜時需要進行高溫熱處理。該高溫熱處理中，玻璃基板的下表面的錫進行擴散。其結果，可知錫的擴散波及至磁性膜，磁盤下表面的SNR(信噪比(signal-noise rat1)或信號噪聲比)品質變得不穩(wěn)定。雖然能夠預先用研磨工序除去錫擴散層，但平坦度和平行度變差，因而不優(yōu)選。
[0015]因此，本發(fā)明是為了解決上述課題而進行的，其目的在于提供一種在作為信息記錄介質使用的情況下能夠使SNR品質穩(wěn)定的信息記錄介質用玻璃基板的制造方法。
[0016]用于解決課題的方案
[0017]在基于本發(fā)明的信息記錄介質用玻璃基板的制造方法中，使用了浮法，其中，按照熔解槽、澄清槽、浮槽和除冷管線的順序，在上述熔解槽中將玻璃原料制成熔融玻璃，使上述熔融玻璃通過上述澄清槽、上述浮槽和上述除冷管線，成型為平板玻璃，該制造方法具備以下的工序。
[0018]在上述浮槽內，通過加熱而熔融的熔融錫的表面浮有上述熔融玻璃，上述熔融玻璃在粘度1gn = 4.0 (dPa.s)時的溫度為IlOOcC以上，上述澄清槽的內部溫度為上述熔融玻璃的液相溫度以上，該制造方法包括在上述浮槽中以50°C /分鐘以上的降溫速度冷卻上述熔融玻璃的工序。
[0019]冷卻上述熔融玻璃的工序中從上述熔融玻璃流入上述浮槽的內部的位置起在上述熔融玻璃的流動方向至少領先50cm以上的冷卻開始位置開始上述熔融玻璃的冷卻，上述冷卻開始位置處的上述熔融玻璃的粘度為1gn = 3.6(dPa.s)以下，在上述熔融玻璃的粘度達到1gn = 4.0 (dPa.s)以下為止的期間，以50°C /分鐘以上的速度進行冷卻。
[0020]其它方式中，冷卻上述熔融玻璃的工序中向上述熔融玻璃噴吹氣體。
[0021]其它方式中，冷卻上述恪融玻璃的工序中使固體與上述恪融玻璃接觸。
[0022]其它方式中，冷卻上述熔融玻璃的工序中對上述浮槽中的上述熔融錫的溫度進行控制。
[0023]其它方式中，上述信息記錄介質用玻璃基板是用于熱輔助的玻璃基板。
[0024]發(fā)明的效果
[0025]根據本發(fā)明，可以提供一種在作為信息記錄介質使用的情況下能夠使SNR品質穩(wěn)定的信息記錄介質用玻璃基板的制造方法。
【附圖說明】
[0026]圖1是示出信息記錄裝置的立體圖。
[0027]圖2是示出通過基于實施方式的信息記錄介質用玻璃基板的制造方法所制造的玻璃基板I的俯視圖。
[0028]圖3是沿著圖2中的II1-1II線的箭頭方向觀察截面圖。
[0029]圖4是示出具備玻璃基板I作為信息記錄介質的信息記錄介質10的俯視圖。
[0030]圖5是沿著圖4中的V-V線的箭頭方向觀察截面圖。
[0031]圖6是示出玻璃基板的制造方法的流程圖。
[0032]圖7是示出玻璃基板成型工序中的浮法的示意圖。
[0033]圖8是示出實施方式中的浮法所用的浮槽中的玻璃基板的成型工序的圖。
[0034]圖9是示出另一個實施方式中的浮法所用的浮槽中的玻璃基板的成型工序的圖。
[0035]圖10是示出另一個實施方式中的浮法所用的浮槽中的玻璃基板的成型工序的圖。
[0036]圖11是示出熔融玻璃料的粘度曲線的圖。
[0037]圖12是示出實施例1-8和比較例1-4中的HDD運行試驗的評價結果的圖。
【具體實施方式】
[0038]關于基于本發(fā)明的實施方式和各實施例，下面參照附圖進行說明。在實施方式和各實施例的說明中，在提到個數、量等的情況下，除有特別記載的情況外，本發(fā)明的范圍未必限定于該個數、量等。在實施方式和各實施例的說明中，對相同的部件、相當的部件標記相同的參照編號，有時不反復進行重復的說明。
[0039][實施方式]
[0040](信息記錄裝置30)
[0041]參照圖1，首先對信息記錄裝置30進行說明。圖1是示出信息記錄裝置30的立體圖。信息記錄裝置30具備通過實施方式中的信息記錄介質用玻璃基板(下文中也簡稱為玻璃基板)的制造方法所制造的玻璃基板I作為信息記錄介質10。
[0042]具體地說，信息記錄裝置30具備信息記錄介質10、殼體20、磁頭滑塊21、懸架22、臂23、垂直軸24、音圈25、音圈電機26、夾緊部件27和固定螺絲28。在殼體20的上表面上設置有主軸電機(未圖示)。
[0043]磁盤等信息記錄介質10被夾緊部件27和固定螺絲28以能夠旋轉的方式固定于上述主軸電機。信息記錄介質10通過該主軸電機以例如數千rpm的轉速被旋轉驅動。詳細情況參照圖4和圖5在下文中進行說明，信息記錄介質10通過在玻璃基板I形成壓縮應力層12 (參照圖5)和磁記錄層14 (參照圖4和圖5)來進行制造。
[0044]臂23以能夠搖動的方式安裝于垂直軸24周圍。在臂23的前端安裝有形成為板簧(懸臂梁)狀的懸架22。在懸架22的前端以夾入信息記錄介質10的方式安裝有磁頭滑塊21。
[0045]在臂23的與磁頭滑塊21相反的一側安裝有音圈25。音圈25被設置于殼體20上的磁體(未圖示)夾住。通過音圈25和該磁體構成音圈電機26。
[0046]向音圈25供給規(guī)定的電流。臂23通過由流向音圈25的電流和上述磁體的磁場產生的電磁力的作用而在垂直軸24周圍搖動。通過臂23的搖動，懸架22和磁頭滑塊21也向箭頭ARl方向搖動。磁頭滑塊21在信息記錄介質10的表面上和背面上在信息記錄介質10的半徑方向往復移動。設置于磁頭滑塊21的磁頭(未圖示)進行尋道操作。
[0047]進行該尋道操作的另一面，磁頭滑塊21通過與信息記錄介質10的旋轉相伴產生的空氣流而受到浮力。通過該浮力與懸架22的彈性力(擠壓力)的平衡，磁頭滑塊21相對于信息記錄介質10的表面以一定的懸浮量運轉。通過該運轉，設置于磁頭滑塊21的磁頭可以相對于信息記錄介質10內的規(guī)定軌道進行信息(數據)的記錄和再生。作為構成信息記錄介質10的部件的一部分而搭載有玻璃基板I的信息記錄裝置30如上構成。
[0048](玻璃基板I)
[0049]圖2是示出通過基于實施方式的信息記錄介質用玻璃基板的制造方法所制造的玻璃基板I的俯視圖。圖3是沿著圖2中的II1-1II線的箭頭方向觀察截面圖。
[0050]如圖2和圖3所示，作為其一部分用于信息記錄介質10 (參照圖4和圖5)的玻璃基板1(信息記錄介質用玻璃基板)具有主表面2、主表面3、內周端面4、孔5和外周端面6，整體形成為圓盤狀。