一種陽光選擇濾光膜系的雙銀節(jié)能玻璃沉積方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及建筑及交通用具等節(jié)能窗用領(lǐng)域，具體涉及一種陽光選擇濾光膜系的雙銀節(jié)能玻璃沉積方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著我國經(jīng)濟的高速增長，社會的快速發(fā)展，每年新增建筑約20億平方米。然而其中大部分仍為高能耗建筑，只有5%達到節(jié)能建筑要求。在建筑能耗之中，采暖和空調(diào)能耗占比最大，約占60%?70%。采暖和空調(diào)能耗主要通過建筑外圍結(jié)構(gòu)與室外環(huán)境的熱交換消耗。我國北方寒冷地區(qū)冬季采暖需用大量煤炭，夏季炎熱的南方地區(qū)及夏季全國的空調(diào)制冷需用大量電能。而據(jù)統(tǒng)計，窗戶能耗量占建筑外圍結(jié)構(gòu)能耗的50%。而在傳熱損耗中，窗框占15%，玻璃占約85%?？梢姡ＡЧ?jié)能性能的高低，直接影響建筑能耗。傳統(tǒng)的Low?E玻璃不具備根據(jù)不同的地區(qū)瑋度和氣候?qū)κ覂?nèi)溫度人體舒適度的要求，對太陽光不具有進行選擇性的過濾透過的功能。這樣大多數(shù)只能用于高瑋度的寒冷地區(qū)，且只是在冬季，其低輻射的性能才得到發(fā)揮。在炎熱的夏季全國及南方地區(qū)，傳統(tǒng)的Low?E玻璃由于不能對陽光進行可選擇性的透過，并且由于較低的透過率的原因，不僅不能降低能耗，使得建筑室內(nèi)和交通工具內(nèi)的熱量過多的聚集，反而更加加大了空調(diào)制冷需用的大量電能。再者，傳統(tǒng)的Low?E玻璃過厚的金屬膜層增加了可見光的反射，在可見光光譜范圍內(nèi)的整體透過性不高，容易造成光污染，且室外反射顏色，并不滿足建筑設(shè)計外觀的設(shè)計要求。同樣的，交通工具的窗用玻璃由于不具有節(jié)約能源的功能，無論是在寒冷的冬季還是在炎熱的夏季，為了保持交通工具內(nèi)的溫度舒適，都要消耗大量的燃料，也造成了更大的環(huán)境污染。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處，本發(fā)明的目的是提供一種工藝簡單，節(jié)能環(huán)保的陽光選擇濾光膜系的雙銀節(jié)能玻璃沉積方法。
[0004]為了實現(xiàn)上述技術(shù)目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案的如下:本發(fā)明為一種陽光選擇濾光膜系的雙銀節(jié)能玻璃的薄膜沉積方法，所述陽光選擇濾光膜系的雙銀節(jié)能玻璃從內(nèi)到外依次為玻璃基體、陽光減反膜系、陽光選擇濾光膜系、功能連接轉(zhuǎn)換膜系、第一可見光透過增強膜系、第一膜層附著力增強的膜系、第一單銀低輻射膜系、第二膜層附著力增強的膜系、第二可見光透過增強膜系、第三膜層附著力增強的膜系、第二單銀低輻射膜系、第四膜層附著力增強的膜系、第三可見光透過增強膜系、色彩調(diào)制膜系和表面覆蓋膜系；
[0005]在薄膜正常生產(chǎn)濺射過程中，在大型平板玻璃連續(xù)磁控濺射鍍膜機上依次配置靶材，進行工業(yè)化連續(xù)生產(chǎn)；調(diào)節(jié)玻璃的傳送速度在3?8m/min ;每對陰極上所施加的功率為20?60kw，施加在靶材上的電流為50?120A ;氣相沉積時通入的工藝氣體為氬氣，所述氬氣的流量為325?335SCCm，當所需的工藝氣體為氬氣和氧氣的混合時，加入的氧氣的流量為氬氣流量的1?8% ;當所需的工藝氣體為氬氣和除氧氣以外的其他工藝氣體的混合時，加入的其他工藝氣體的流量為氬氣流量的3?8%。
[0006]進一步地，在薄膜正常生產(chǎn)濺射沉積陽光減反膜系的過程中，每對陰極上所施加的功率為40?60kw，施加在靶材上的電流為100?120A ;氣相沉積時通入的工藝氣體為氬氣，所述氬氣的流量為325?335sccm，當所需的工藝氣體為氬氣和氧氣的混合時，加入的氧氣的流量為氬氣流量的1?8% ;當所需的工藝氣體為氬氣和除氧氣以外的其他工藝氣體的混合時，加入的其他工藝氣體的流量為氬氣流量的3?8% ;所述陽光減反膜系由金屬氧化物和金屬氟化物組成。
[0007]進一步地，在薄膜正常生產(chǎn)濺射沉積陽光選擇濾光膜系的過程中，每對陰極上所施加的功率為40?60kw，施加在靶材上的電流為100?120A ;氣相沉積時通入的工藝氣體為氬氣，所述氬氣的流量為325?335SCCm，當所需的工藝氣體為氬氣和氧氣的混合時，加入的氧氣的流量為氬氣流量的1?8% ;當所需的工藝氣體為氬氣和除氧氣以外的其他工藝氣體的混合時，加入的其他工藝氣體的流量為氬氣流量的3?8% ;所述陽光選擇濾光膜系由金屬氧化物和金屬氟化物組成。
[0008]更進一步地，在薄膜正常生產(chǎn)濺射沉積功能連接轉(zhuǎn)換膜系的過程中，每對陰極上所施加的功率為30?40kw，施加在靶材上的電流為75?100A ;氣相沉積時通入的工藝氣體為氬氣，所述氬氣的流量為325?335SCCm，當所需的工藝氣體為氬氣和氧氣的混合時，加入的氧氣的流量為氬氣流量的1?8% ;當所需的工藝氣體為氬氣和除氧氣以外的其他工藝氣體的混合時，加入的其他工藝氣體的流量為氬氣流量的3?8% ;所述功能連接轉(zhuǎn)換膜系由金屬氧化物和金屬硫化物組成。
[0009]進一步地，在薄膜正常生產(chǎn)濺射沉積第一可見光透過增強膜系、第二可見光透過增強膜系和第三可見光透過增強膜系的過程中，每對陰極上所施加的功率為40?60kw，施加在靶材上的電流為100?120A ;氣相沉積時通入的工藝氣體為氬氣，所述氬氣的流量為325?335SCCm，當所需的工藝氣體為氬氣和氧氣的混合時，加入的氧氣的流量為氬氣流量的1?8% ;所述第一可見光透過增強膜系、第二可見光透過增強膜系和第三可見光透過增強膜系均為透明導(dǎo)電金屬氧化物。
[0010]進一步地，在薄膜正常生產(chǎn)濺射第一膜層附著力增強的膜系、第二膜層附著力增強的膜系、第三膜層附著力增強的膜系和第四膜層附著力增強的膜系的過程中，每對陰極上所施加的功率為20?30kw，施加在靶材上的電流為50?75A ;氣相沉積時通入的工藝氣體為氬氣，所述氬氣的流量為325?335sCCm ;所述第一膜層附著力增強的膜系、第二膜層附著力增強的膜系、第三膜層附著力增強的膜系和第四膜層附著力增強的膜系均由金屬氧化物和非金屬氧化物組成。
[0011]更進一步地，在薄膜正常生產(chǎn)濺射第一單銀低輻射膜系和第二單銀低輻射膜系的過程中，每對陰極上所施加的功率為20?30kw，施加在靶材上的電流為50?75A ;氣相沉積時通入的工藝氣體為氬氣，所述氬氣的流量為325?335sCCm ;所述第一單銀低輻射膜系和第二單銀低輻射膜系由銀和其他金屬組成，所述其他金屬為鉻、鎳或鈦。
[0012]進一步地，在薄膜正常生產(chǎn)濺射沉積色彩調(diào)制膜系的過程中，每對陰極上所施加的功率為40?60kw，施加在靶材上的電流為100?120A ;氣相沉積時通入的工藝氣體為氬氣，所述氬氣的流量為325?335sccm，當所需的工藝氣體為氬氣和氧氣的混合時，加入的氧氣的流量為氬氣流量的1?8% ;當所需的工藝氣體為氬氣和除氧氣以外的其他工藝氣體的混合時，加入的其他工藝氣體的流量為氬氣流量的3?8% ;所述色彩調(diào)制膜系由金屬氧化物、非金屬氧化物、金屬硫化物和金屬氮化物組成。
[0013]進一步地，在薄膜正常生產(chǎn)濺射沉積表面覆蓋膜系的過程中，每對陰極上所施加的功率為40?60kw，施加在靶材上的電流為100?120A ;氣相沉積時通入的工藝氣體為氬氣，所述氬氣的流量為325?335sccm，當所需的工藝氣體為氬氣和氧氣的混合時，加入的氧氣的流量為氬氣流量的1?8% ;所述表面覆蓋膜系由金屬氧化物和非金屬氧化物組成。
[0014]有益效果:本發(fā)明工藝簡單，節(jié)能環(huán)保。在薄膜正常生產(chǎn)濺射過程中，根據(jù)我們設(shè)計的膜層匹配組合和材料以及生產(chǎn)工藝，能夠達到不對玻璃機體加熱，實現(xiàn)整個膜系的常溫氣相沉積。
【具體實施方式】<