一種擴(kuò)散爐爐體調(diào)節(jié)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及太陽能電池制備工藝中的擴(kuò)散加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種擴(kuò)散爐爐體調(diào)節(jié)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]擴(kuò)散爐主要用于硅片太陽能器件制造中的擴(kuò)散、氧化工藝，爐體是擴(kuò)散、氧化工藝的反應(yīng)腔室，爐體為圓柱形，需要固定在支撐梁上。為能保證推舟送片機(jī)構(gòu)順利送入爐體，就必須將爐體與推舟送片機(jī)構(gòu)的相對(duì)位置調(diào)正。由于推舟送片機(jī)構(gòu)是固定在送料滑臺(tái)上的，無法調(diào)節(jié)它與爐體的相對(duì)位置，因此，要想將爐體與之調(diào)正，就只能對(duì)爐體位置進(jìn)行調(diào)節(jié)。爐體長(zhǎng)度一般在2米左右，外徑一般在0.3-0.6米之間，重量約50-100公斤，體型較大而且較為沉重，人力調(diào)節(jié)很費(fèi)勁，也不準(zhǔn)確。
[0003]現(xiàn)有爐體調(diào)節(jié)裝置由四個(gè)坡面支架托起并固定爐體，需要用人力移動(dòng)坡面支架，極為費(fèi)力，也很不準(zhǔn)確，調(diào)節(jié)距離完全憑目測(cè)；而且需要調(diào)節(jié)爐體兩側(cè)的坡面支架，受爐體柜結(jié)構(gòu)需要，爐體的一側(cè)是開放的，另一側(cè)是封閉的，調(diào)節(jié)封閉一側(cè)的坡面支架時(shí)就只能從開放的那一側(cè)放入工具進(jìn)行操作，因此，調(diào)節(jié)封閉一側(cè)的三角形支撐塊就非常不方便。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、調(diào)節(jié)方便、調(diào)節(jié)精度和準(zhǔn)確度高的擴(kuò)散爐爐體調(diào)節(jié)裝置。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
一種擴(kuò)散爐爐體調(diào)節(jié)裝置，包括固定座、調(diào)節(jié)座以及用于支撐所述擴(kuò)散爐爐體的第一支撐件和第二支撐件，所述調(diào)節(jié)座包括水平調(diào)節(jié)支座和高度調(diào)節(jié)支座，所述第一支撐件安裝于水平調(diào)節(jié)支座上，所述第二支撐件安裝于高度調(diào)節(jié)支座上，所述水平調(diào)節(jié)支座可沿固定座移動(dòng)地安裝于固定座上，所述高度調(diào)節(jié)支座可沿水平調(diào)節(jié)支座移動(dòng)地安裝于水平調(diào)節(jié)支座上并帶動(dòng)第二支撐件靠近或遠(yuǎn)離第一支撐件。
[0006]作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn):
所述第一支撐件和第二支撐件為支撐圓桿。
[0007]所述固定座上設(shè)有第一調(diào)節(jié)塊，所述水平調(diào)節(jié)支座的一端設(shè)有第二調(diào)節(jié)塊，所述第一調(diào)節(jié)塊和第二調(diào)節(jié)塊之間設(shè)有推出螺栓和拉回螺栓，所述推出螺栓的尾端穿過第一調(diào)節(jié)塊與水平調(diào)節(jié)支座抵靠，所述推出螺栓與第一調(diào)節(jié)塊之間為螺紋配合，所述拉回螺栓依次穿過所述第一調(diào)節(jié)塊和第二調(diào)節(jié)塊，所述拉回螺栓與第一調(diào)節(jié)塊之間為通孔配合，與第二調(diào)節(jié)塊之間為螺紋配合。
[0008]所述固定座上設(shè)有腰型的調(diào)節(jié)孔，所述調(diào)節(jié)孔內(nèi)設(shè)有用于將水平調(diào)節(jié)支座固定在固定座上的第二固定螺栓。
[0009]所述第二調(diào)節(jié)塊與高度調(diào)節(jié)支座之間設(shè)有高度調(diào)節(jié)螺栓，所述高度調(diào)節(jié)螺栓依次穿過第二調(diào)節(jié)塊與高度調(diào)節(jié)支座，所述高度調(diào)節(jié)螺栓與第二調(diào)節(jié)塊之間為螺紋配合，與所述高度調(diào)節(jié)支座之間為通孔配合，所述高度調(diào)節(jié)螺栓上設(shè)有左螺母和右螺母，所述左螺母和右螺母位于所述高度調(diào)節(jié)支座的通孔的兩側(cè)。
[0010]所述高度調(diào)節(jié)支座上設(shè)有腰型的安裝孔，所述安裝孔內(nèi)設(shè)有用于將高度調(diào)節(jié)支座固定在所述水平調(diào)節(jié)支座上的第一固定螺栓。
[0011 ] 所述擴(kuò)散爐爐體調(diào)節(jié)裝置設(shè)置為兩組，沿所述擴(kuò)散爐爐體軸向間隔布置。
[0012]所述第一支撐件和第二支撐件為支撐輪或支撐球。
[0013]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于:
本發(fā)明的擴(kuò)散爐爐體調(diào)節(jié)裝置，通過調(diào)節(jié)水平調(diào)節(jié)支座的水平位置，從而可以調(diào)節(jié)擴(kuò)散爐爐體左右調(diào)節(jié)，通過調(diào)節(jié)高度調(diào)節(jié)支座的水平位置，使第一支撐件和第二支撐件之間的距離增大或減小，從而可以調(diào)節(jié)擴(kuò)散爐爐體的高度。
[0014]進(jìn)一步地，本發(fā)明的擴(kuò)散爐爐體調(diào)節(jié)裝置，只需要在擴(kuò)散爐爐體開放的一側(cè)進(jìn)行相應(yīng)的操作，操作簡(jiǎn)單，方便快捷；采用三個(gè)螺栓調(diào)節(jié)來調(diào)節(jié)擴(kuò)散爐爐體水平位置和高度位置，十分方便，而且對(duì)擴(kuò)散爐爐體相對(duì)位置調(diào)節(jié)的針對(duì)性很強(qiáng)，調(diào)節(jié)精度和準(zhǔn)確性高。
【附圖說明】
[0015]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖2是本發(fā)明中推出螺栓、拉回螺栓和高度調(diào)節(jié)螺栓的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖中各標(biāo)號(hào)表不:
1、固定座；2、調(diào)節(jié)座；21、水平調(diào)節(jié)支座；22、高度調(diào)節(jié)支座；3、第一支撐件；4、第二支撐件；51、第一調(diào)節(jié)塊；52、第二調(diào)節(jié)塊；61、推出螺栓；62、拉回螺栓；63、高度調(diào)節(jié)螺栓；71、左螺母；72、右螺母；81、安裝孔；82、第一固定螺栓；83、調(diào)節(jié)孔；84、第二固定螺栓；9、擴(kuò)散爐爐體。
【具體實(shí)施方式】
[0018]以下結(jié)合說明書附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0019]圖1和圖2示出了本發(fā)明擴(kuò)散爐爐體調(diào)節(jié)裝置的一種實(shí)施例，該擴(kuò)散爐爐體調(diào)節(jié)裝置包括固定座1、調(diào)節(jié)座2以及用于支撐擴(kuò)散爐爐體9的第一支撐件3和第二支撐件4，調(diào)節(jié)座2包括水平調(diào)節(jié)支座21和高度調(diào)節(jié)支座22，第一支撐件3安裝于水平調(diào)節(jié)支座21上，第二支撐件4安裝于高度調(diào)節(jié)支座22上，水平調(diào)節(jié)支座21可沿固定座1移動(dòng)地安裝于固定座1上，高度調(diào)節(jié)支座22可沿水平調(diào)節(jié)支座21移動(dòng)地安裝于水平調(diào)節(jié)支座21上并帶動(dòng)第二支撐件4靠近或遠(yuǎn)離第一支撐件3。通過調(diào)節(jié)水平調(diào)節(jié)支座21的水平位置，從而可以調(diào)節(jié)擴(kuò)散爐爐體9左右調(diào)節(jié)，通過調(diào)節(jié)高度調(diào)節(jié)支座22的水平位置，使第一支撐件3和第二支撐件4之間的距離增大或減小，從而可以調(diào)節(jié)擴(kuò)散爐爐體9的高度。
[0020]本實(shí)施例中，第一支撐件3和第二支撐件4為支撐圓桿，支撐圓桿與擴(kuò)散爐爐體9的軸線平行，采用支撐圓桿支撐擴(kuò)散爐爐體9，支撐穩(wěn)定。
[0021]本實(shí)施例中，固定座1上設(shè)有第一調(diào)節(jié)塊51，水平調(diào)節(jié)支座21的一端設(shè)有第二調(diào)節(jié)塊52，第一調(diào)節(jié)塊51和第二調(diào)節(jié)塊52之間設(shè)有推出螺栓61和拉回螺栓62，推出螺栓61的尾端穿過第一調(diào)節(jié)塊51與水平調(diào)節(jié)支座21抵靠，推出螺栓61與第一調(diào)節(jié)塊51之間為螺紋配合，拉回螺栓62依次穿過第一調(diào)節(jié)塊51和第二調(diào)節(jié)塊52，拉回螺栓62與第一調(diào)節(jié)塊51之間為通孔配合，與第二調(diào)節(jié)塊52之間為螺紋配合。固定座1上設(shè)有腰型的調(diào)節(jié)孔83，調(diào)節(jié)孔83內(nèi)設(shè)有用于將水平調(diào)節(jié)支座21固定在固定座1上的第二固定螺栓84。水平調(diào)節(jié)支座21與固定座1的調(diào)節(jié)孔83為腰孔，水平調(diào)節(jié)支座21相對(duì)固定座1可進(jìn)行左右移動(dòng)；調(diào)節(jié)時(shí)，松開第二固定螺栓84，推出螺栓61推動(dòng)水平調(diào)節(jié)支座21向右運(yùn)動(dòng)