處理用于顯示面板的超薄玻璃的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種處理用于顯示面板的超薄玻璃的方法，更具體地，涉及一種處理 用于顯示面板的超薄玻璃的方法，該方法能夠使得所述超薄玻璃被容易地附接于承載玻璃 并從所述承載玻璃脫離，所述承載玻璃在所述超薄玻璃為了應(yīng)用于所述顯示面板而需要的 表面處理之前和之后支撐所述超薄玻璃。
【背景技術(shù)】
[0002] 目前，顯示器工業(yè)中最大的議題之一是纖薄化。為了這個(gè)目的，用于液晶顯示器 (LCD)的加工工藝采用具有0.3_或更小厚度的超薄玻璃作為玻璃基底，以最小化液晶顯示 器的厚度。
[0003] 為了加工這種超薄玻璃，在相關(guān)領(lǐng)域，具有0.5mm或更小厚度的玻璃板被蝕刻成具 有0.1mm厚度的超薄玻璃板。然而，由于相關(guān)領(lǐng)域的這種方法遭受高成本，所以需要其它改 進(jìn)。
[0004] 近來，響應(yīng)超薄玻璃的發(fā)展，研究了能夠處理超薄玻璃的方法。例如，在相關(guān)領(lǐng)域， 超薄玻璃被附接于承載玻璃，超薄玻璃經(jīng)受該超薄玻璃為了應(yīng)用于顯示面板而需要的表面 處理，然后經(jīng)表面處理過的超薄玻璃與承載玻璃分離。然而，由于超薄玻璃是柔性的，所以 超薄玻璃在加工或與承載玻璃分離的過程中遭受例如刮傷、翹曲或者斷裂之類的常見問 題。也就是說，難于處理超薄玻璃。
[0005] 這樣，在相關(guān)領(lǐng)域處理超薄玻璃遇到了巨大的困難，這導(dǎo)致缺陷和加工成本的增 加。
[0006] 相關(guān)領(lǐng)域文獻(xiàn)：
[0007] 專利文獻(xiàn)1:韓國專利No. 10-0590724(2006年6月9日）

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008] 本發(fā)明的各個(gè)方面提供一種處理用于顯示面板的超薄玻璃的方法，該方法能夠使 得所述超薄玻璃被容易地附接于承載玻璃并從所述承載玻璃脫離，在使所述超薄玻璃能夠 被用于所述顯示面板而進(jìn)行的表面處理之前和之后，所述承載玻璃支撐所述超薄玻璃。
[0009] 在本發(fā)明一方面，提供一種處理用于顯示面板的超薄玻璃的方法。該方法包括以 下步驟:通過相變材料將超薄玻璃與承載玻璃結(jié)合在一起，使得所述承載玻璃支撐所述超 薄玻璃;對所述超薄玻璃進(jìn)行表面處理；以及將所述超薄玻璃從所述承載玻璃分離。
[0010] 根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，所述相變材料可以是導(dǎo)電材料。
[0011] 所述相變材料可以是添加有摻雜劑的氧化銦錫。
[0012] 所述摻雜劑可以是從由Ga、Zn、Ce、Mg、Zr和Nb組成的元素組中選擇的一個(gè)或者從 該元素組中選擇的至少兩個(gè)的組合。
[0013] 添加到氧化銦錫的所述摻雜劑可以是Ga2〇3,所述Ga2〇3的含量的重量百分比在 0.5%至7%的范圍內(nèi)。
[0014] 所述Ga2〇3的含量的重量百分比可以為2.9%。
[0015] 設(shè)置在所述超薄玻璃和所述承載玻璃之間的所述相變材料的厚度可以是100nm或 更小。
[0016] 設(shè)置在所述超薄玻璃和所述承載玻璃之間的所述相變材料的厚度可以在30nm至 50nm的范圍內(nèi)。
[0017] 將所述超薄玻璃與所述承載玻璃結(jié)合在一起的所述步驟可以包括用所述相變材 料涂覆所述承載玻璃的結(jié)合表面。
[0018] 在這種情況下，所述超薄玻璃可以從所述相變材料的已經(jīng)結(jié)合到所述超薄玻璃的 一個(gè)表面分離，所述相變材料的所述一個(gè)表面的粗糙度大于所述相變材料的結(jié)合到所述承 載玻璃的另一表面的粗糙度。
[0019] 將所述超薄玻璃與所述承載玻璃結(jié)合在一起的步驟可以包括用所述相變材料涂 覆所述超薄玻璃的結(jié)合表面。
[0020] 所述承載玻璃可以從所述相變材料的已經(jīng)結(jié)合到所述承載玻璃的一個(gè)表面分離， 所述相變材料的所述一個(gè)表面的粗糙度大于所述相變材料的結(jié)合到所述超薄玻璃的另一 表面的粗糙度。
[0021] 對所述超薄玻璃進(jìn)行表面處理可以伴隨有在等于或高于所述相變材料的相變溫 度的溫度的熱處理。
[0022] 所述超薄玻璃可以是具有0.3_或更小的厚度的玻璃。
[0023]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，當(dāng)承載玻璃被附接于超薄玻璃使得在對所述超薄玻璃進(jìn)行 使得所述超薄玻璃能夠用于顯示面板的表面處理過程中所述超薄玻璃被處理時(shí)，所述超薄 玻璃和所述承載玻璃通過相變材料附接在一起。因此，能夠在表面處理過程中在所述超薄 玻璃和所述承載玻璃之間獲得較高的附著力。在該表面處理之后，由于所述相變材料通過 表面處理過程中的熱處理而結(jié)晶，所述超薄玻璃能夠容易地從所述承載玻璃分離。
[0024] 此外，由于所述超薄玻璃能夠容易地從所述承載玻璃分離，所以能夠防止所述承 載玻璃被損壞，從而所述承載玻璃能夠被重新用于處理另外的超薄玻璃，其帶來成本的降 低。
[0025] 此外，所述超薄玻璃在被附接到所述承載玻璃之前被涂覆導(dǎo)電的相變材料，從而 從所述承載玻璃分離的所述超薄玻璃可以具有抗靜電功能。
【附圖說明】
[0026]圖1是順序顯示根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的處理用于顯示面板的超薄玻璃的方 法的工序的流程圖；
[0027]圖2至圖5是順序顯示根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的處理用于顯示面板的超薄玻 璃的方法的工序的剖視圖；以及
[0028]圖6至圖9是順序顯示根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實(shí)施例的處理用于顯示面板的超 薄玻璃的方法的工序的剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0029]現(xiàn)在將詳細(xì)參考根據(jù)本發(fā)明的處理用于顯示面板的超薄玻璃的方法，其實(shí)施例被 例示在附圖中并在下面進(jìn)行描述，從而本發(fā)明所涉及領(lǐng)域中的技術(shù)人員能夠容易地實(shí)現(xiàn)本 發(fā)明。
[0030] 貫穿該文獻(xiàn)，應(yīng)當(dāng)參考附圖，在附圖中，相同的附圖標(biāo)記和符號在不同的附圖中使 用以表示相同或相似的部件。在本發(fā)明的以下描述中，當(dāng)本文包含的已知功能和部件的詳 細(xì)描述可能使得本發(fā)明的主題不清楚時(shí)，將省略該詳細(xì)描述。
[0031] 如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的處理用于顯示面板的超薄玻璃的方法 是一種在對超薄玻璃110進(jìn)行表面處理時(shí)能夠防止超薄玻璃110的表面被刮傷或者能夠防 止超薄玻璃斷裂的處理方法，該表面處理使得超薄玻璃能夠用作例如液晶顯示(LCD)面板 之類的顯示面板中的相互面對的上基底和下基底中的任意一個(gè)。如圖1所示，該處理方法包 括結(jié)合步驟S1、表面處理步驟S2以及分離步驟S3。
[0032] 首先，如圖2和圖3所示，結(jié)合步驟S1通過將超薄玻璃110與承載玻璃120結(jié)合在一 起而被執(zhí)行。在結(jié)合步驟S1，能夠用于液晶顯示面板的玻璃基底的超薄玻璃110可以是從硅 酸鹽玻璃、石英玻璃、硼硅酸鹽玻璃以及無堿玻璃中選擇的玻璃但是不限于此，其厚度為 0.3mm或更小。承載玻璃120可以與超薄玻璃110為相同類型的玻璃。由于承載玻璃120用于 在超薄玻璃110進(jìn)行表面處理時(shí)支撐超薄玻璃110,所以承載玻璃120的厚度優(yōu)選大于超薄 玻璃110的厚度。
[0033] 在根據(jù)該示例性實(shí)施例的結(jié)合步驟S1，超薄玻璃110和承載玻璃120通過相變材料 130結(jié)合在一起。根據(jù)該示例性實(shí)施例，相變材料130可以是導(dǎo)電材料。例如，相變材料130可 以是添加有摻雜劑的氧化銦錫（ΙΤ0)。摻雜劑可以是從Ga、Zn、Ce、Mg、Zr和Nb組成的元素組 中選擇的一個(gè)或者從該元素組中選擇的至少兩個(gè)的組合，但是不限于此。例如，相變材料 130可以是添加有Ga2〇3的II^GaW的含量的重量百分比在0.5%至7%的范圍內(nèi)，優(yōu)選為 2.9%〇
[0034] 由于即使相變材料130的厚度為幾十納米，相變材料130在低于其相變溫度的溫度 下仍然保持非晶態(tài)，所以相變材料130常常容易附接于超薄玻璃110和承載玻璃120。相比之 下，當(dāng)相變材料130通過隨后的表面處理步驟S2過程中的熱處理而結(jié)晶時(shí)，相變材料130變 得可容易脫離。
[0035] 相變材料130的這些特性可在超薄玻璃110附接于承載玻璃120時(shí)提供較高的附著 力，承載玻璃120旨在在表面處理步驟S2之前牢固地支撐超薄玻璃110，表面處理步驟S2是 將在超薄玻璃110的表面上實(shí)施的隨后的工序。因此，能夠防止超薄玻璃110在表面處理步 驟S2中從承載玻璃120脫離或者被損壞。也能夠在表面處理步驟S2之后使超薄玻璃110從承 載玻璃120容易地脫離。
[0036] 根據(jù)該示例性實(shí)施例，相變材料130可在超薄玻璃110與承載玻璃120之間被形成 為使得其厚度為l〇〇nm或者更小，并且優(yōu)選地，在30nm至50nm的范圍內(nèi)。
[0037] 如圖2所示，根據(jù)該示例性實(shí)施例，在超薄玻璃110和承載玻璃120結(jié)合在一起之 前，相變材料130可被應(yīng)用于涂覆承載玻璃120的一個(gè)表面，即承載玻璃120的將被結(jié)合到超 薄玻璃110的結(jié)合表面。根據(jù)該示例性實(shí)施例，相變材料130可通過例如濺射方法、沉積方 法、化學(xué)汽相淀積(CVD)方法和溶膠-凝膠方法之類的涂覆方法形成在承載玻璃120的結(jié)合 表面上。
[0038] 此后，如圖3所示，實(shí)施結(jié)合步驟S1，從而產(chǎn)生超薄玻璃110和承載玻璃120通過相 變材料130附接在一起的多