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      層片狀納米結(jié)構(gòu)的制備方法

      文檔序號(hào):9769744閱讀:1184來(lái)源:國(guó)知局
      層片狀納米結(jié)構(gòu)的制備方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本發(fā)明涉及一種高純度、高密度MoO2層片狀納米結(jié)構(gòu)的制備方法,屬于材料制備技術(shù)領(lǐng)域。
      【背景技術(shù)】
      [0002]納米材料比起傳統(tǒng)塊體材料在性能上往往有著不可比擬的優(yōu)勢(shì)。隨著納米技術(shù)的發(fā)展,材料制備工藝也不斷豐富起來(lái)。近年來(lái),隨著石墨烯的發(fā)現(xiàn),人們的目光又投向了二維納米材料。由于其特殊的微觀結(jié)構(gòu)和性質(zhì),二維納米材料已經(jīng)廣泛應(yīng)用于二極管、電子管,在催化劑、鋰電池、電化學(xué)等方面也有著廣泛的應(yīng)用前景。
      [0003]過(guò)渡金屬氧化物MoO2屬于單斜晶系,具有畸變的金紅石晶體結(jié)構(gòu)。在MoO2中,氧離子緊密堆積成八面體,Mo原子占據(jù)半個(gè)畸變的八面體空位,八面體行列間再共頂相連形成MoO2的三維網(wǎng)絡(luò)狀結(jié)構(gòu)。八面體行列間具有隧道狀空隙,該空隙可以嵌入Li離子,因此MoO2能被鋰離子電池等領(lǐng)域。
      [0004]此外,由于M0O2結(jié)構(gòu)中的單斜結(jié)構(gòu)的對(duì)稱(chēng)性相對(duì)比較低,而且Μ0Ο2每個(gè)八面體中的Mo原子偏離中心位置,使得MoO2具有金屬導(dǎo)電性,所以其層片狀納米結(jié)構(gòu)能夠用于制作納米電學(xué)器件,而當(dāng)其用于Li離子電池中的電極材料時(shí),對(duì)于提高電池性能也有重要的幫助。但是,目前MoO2層片狀納米結(jié)構(gòu)的高質(zhì)量合成仍然是一個(gè)難題。
      [0005]—般來(lái)講,納米結(jié)構(gòu)的制備方法可以分為化學(xué)法和物理法兩大類(lèi)。溶膠-凝膠法、水熱法、共沉淀法制備MoO2材料都屬于化學(xué)方法。相較于化學(xué)反應(yīng)的復(fù)雜、難于控制以及需要后續(xù)的提純除雜等工序,熱蒸發(fā)等物理氣相沉積具有成本低、制備過(guò)程簡(jiǎn)單、工藝參數(shù)可控性強(qiáng)和制備材料多為晶體等特點(diǎn)。而目前采用氣相沉積方法制備MoO2納米結(jié)構(gòu)的方法一般是在氣氛下氧化金屬鉬(粉),或者采用出還原鉬化合物(如MoO3粉)。前者反應(yīng)劇烈、難于控制,后者使用易燃易爆的氫氣,因此二者都具有一定危險(xiǎn)性;且兩種方法的產(chǎn)率均比較低。本發(fā)明首次利用熱蒸發(fā)技術(shù),以S粉和MoO3粉作為蒸發(fā)源,在基片上沉積得到了高純度、高密度的MoO2層片狀納米結(jié)構(gòu)。用這種方法制備得到的MoO2層片狀納米結(jié)構(gòu)產(chǎn)量大、收率高,形貌規(guī)整,無(wú)需后處理,且該方法反應(yīng)平和、進(jìn)程易于控制,更安全、經(jīng)濟(jì)和環(huán)境友好。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0006]本發(fā)明的目的在于提出一種高純度、高密度二氧化鉬(MoO2)層片狀納米結(jié)構(gòu)的制備方法;該方法在真空加熱爐中,采用三氧化鉬(MoO3)和硫(S)粉作為蒸發(fā)源,在真空環(huán)境中通過(guò)熱蒸發(fā)的方法,在載氣作用下,在基片上控合成和生長(zhǎng)MoO2層片狀納米結(jié)構(gòu)。該方法具有反應(yīng)平和、納米材料的合成與生長(zhǎng)條件嚴(yán)格可控、設(shè)備和工藝簡(jiǎn)單、產(chǎn)品收率和純度高、成本低廉、環(huán)保等優(yōu)點(diǎn);且通過(guò)精確控制制備工藝中參數(shù),所獲得的MoO2層片狀納米結(jié)構(gòu),厚度在200 nm以?xún)?nèi),直徑在1-3 μπι之間,產(chǎn)物密度高,納米結(jié)構(gòu)的厚度分布均勻,形狀清晰完整,可望在電子器件、鋰離子電池等方面獲得廣泛應(yīng)用。
      [0007]本發(fā)明提出的MoO2層片狀納米結(jié)構(gòu)制備方法,其特征在于,所述方法在真空加熱爐中、在載氣帶動(dòng)下,通過(guò)熱蒸發(fā)MoO3和S粉的方法,在基片上沉積得到MoO2層片狀納米結(jié)構(gòu)。
      [0008]本發(fā)明提出的層片狀納米結(jié)構(gòu)制備方法,包括以下步驟和內(nèi)容:
      (1)在雙溫區(qū)真空管式爐中,將分別裝有MoO3粉和S粉的氧化鋁陶瓷坩禍、或者裝有MoO3粉和S混合粉的氧化鋁陶瓷坩禍放置在高溫加熱區(qū)爐中央?yún)^(qū)域,在其氣流下游10-40cm處的低溫加熱區(qū)放置基片;
      (2)在加熱前,先用真空栗對(duì)整個(gè)系統(tǒng)抽真空至0.05Pa以下,然后向系統(tǒng)中通入高純惰性載氣,并重復(fù)多次,以排除系統(tǒng)中的殘余氧氣。然后將高溫加熱區(qū)以10-35 °C/min速率升溫到800-1000 °C,將低溫加熱區(qū)以10-40 °C/min速率升溫到400-650 °C,保溫1_4小時(shí)。在加熱過(guò)程中,在真空系統(tǒng)持續(xù)工作的前提下通入載氣并保持載氣流量為50-300標(biāo)準(zhǔn)立方厘米每分鐘(sccm),且整個(gè)加熱過(guò)程在惰性載氣保護(hù)下完成,最后自然降溫到室溫,即可在基片上得到高純度的MoO2層片狀納米結(jié)構(gòu)。
      [0009]在上述制備方法中,所述步驟(I)中的蒸發(fā)源為市售分析純MoO3粉和S粉。
      [0010]在上述制備方法中,所述步驟(I)中將分別裝有分析純MoO3粉和S粉的氧化鋁陶瓷坩禍放置在高溫加熱區(qū)爐中央?yún)^(qū)域時(shí),將裝有MoO3粉的氧化鋁陶瓷坩禍放置在爐的中央溫度最高的加熱區(qū)域,在其氣流上游或者下游距離裝有MoO3粉的坩禍3-5 cm處溫度較低的區(qū)域放置裝有S粉的氧化鋁陶瓷坩禍。
      [0011]在上述制備方法中,所述步驟(I)中將裝有MoO3粉和S混合粉的氧化鋁陶瓷坩禍放置在高溫加熱區(qū)爐中央?yún)^(qū)域時(shí),其中MoO3粉和S粉的質(zhì)量比控制在1:1到1:12之間。
      [00?2]在上述制備方法中,所述步驟(I)中的基片為娃片、神化嫁單晶片、SiC單晶片、尚金屬摻雜硅片、金箔、銀箔、鉑箔之中的一種。
      [0013]在上述制備方法中,所述步驟(I)中的蒸發(fā)源與基片之間的距離為10-40cm。
      [0014]在上述制備方法中,所述步驟(2)中高純惰性載氣為氬氣、氮?dú)庵械囊环N。
      [0015]在上述制備方法中,所述步驟(2)中的惰性載氣為高純氣體,純度在99.99vol.%以上。
      [0016]在上述制備方法中,所述步驟(2)中的惰性載氣流量為50-300標(biāo)準(zhǔn)立方厘米每分鐘(sccm)ο
      [0017]在上述制備方法中,所述步驟(2)中的高溫區(qū)用于蒸發(fā)MoO3粉和S粉的溫度為800-1000 °C,升溫速率為10-35 °C/min。
      [0018]在上述制備方法中,所述步驟(2)中的低溫區(qū)用于MoO2層片狀納米結(jié)構(gòu)合成和生長(zhǎng)的溫度為400-650 °C,升溫速率為10-40 °C/min。
      [0019]在上述制備方法中,所述步驟(2)中的整個(gè)加熱保溫時(shí)間1-4小時(shí)。
      [0020]采用本技術(shù)制備MoO2層片狀納米結(jié)構(gòu),具有設(shè)備和工藝簡(jiǎn)單、反應(yīng)平和、材料的合成與生長(zhǎng)條件嚴(yán)格可控、產(chǎn)品純度和收率高、成本低廉、環(huán)境友好等特點(diǎn),所獲得的MoO2層片狀納米結(jié)構(gòu)、形狀均勻、整齊,直徑厚度可控,密度高,純度高。
      【附圖說(shuō)明】
      [0021]圖1是本發(fā)明實(shí)施例1所制得的二氧化鉬層片狀納米結(jié)構(gòu)的X-射線(xiàn)衍射花樣;
      圖2是本發(fā)明實(shí)施例1所制得的二氧化鉬層片狀納米結(jié)構(gòu)的掃描電鏡照片。
      【具體實(shí)施方式】
      [0022]下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案做進(jìn)一步說(shuō)明。
      [0023]本發(fā)明提出一
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