一種單晶圓棒拼接縫膠層控制裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于晶棒粘接技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種單晶圓棒拼接縫膠層控制裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，由于硅棒拉制長(zhǎng)度長(zhǎng)短不一，降低了晶棒切方、滾磨和切片的效率和質(zhì)量。為了提高上述工序的加工效率，避免硅片切割時(shí)夾斷鋼線，行業(yè)內(nèi)主要采取兩種拼接方法來解決上述問題:一種是進(jìn)行單晶圓棒拼接，另一種是進(jìn)行單晶方棒拼接。
[0003]前者是在晶棒開方前進(jìn)行拼接，采用該種方法時(shí)，晶棒拼接的步驟如下:首先，在找到晶棒圓心后將兩根晶棒圓心調(diào)整到同一直線上，涂抹拼棒膠后對(duì)兩者進(jìn)行粘接；其次，在晶棒底部涂抹拼棒膠后，與底座進(jìn)行粘接；再次，將凝固的晶棒上機(jī)進(jìn)行切割開方。該方法的優(yōu)點(diǎn)是提高了切方工段的開方效率，缺點(diǎn)是拼棒膠凝固后比較難處理，造成晶棒邊皮清洗困難；后者是在晶棒開方后進(jìn)行拼接，該方法的優(yōu)缺點(diǎn)正好與前者所述方法的優(yōu)缺點(diǎn)相反。
[0004]因此，需要一種單晶圓棒拼接縫膠層控制裝置能夠解決上述問題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)存在的上述不足，提供一種單晶圓棒拼接縫膠層控制裝置，該裝置能夠有效控制單晶圓棒拼接時(shí)膠層的厚度，以防止膠層溢流。
[0006]解決本實(shí)用新型技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是該單晶圓棒拼接縫膠層控制裝置包括柱體，所述柱體具有中空的內(nèi)腔，該內(nèi)腔的形狀和尺寸與單晶圓棒經(jīng)開方后形成的單晶方棒的橫截面形狀和尺寸相適配，柱體上設(shè)有開口，所述開口與所述內(nèi)腔相連通。
[0007]優(yōu)選的是，所述內(nèi)腔的形狀為四方形，該四方形的四個(gè)邊角為圓弧形邊角。
[0008]進(jìn)一步優(yōu)選的是，所述四方形的對(duì)角線長(zhǎng)度為145?205mm，四方形的邊長(zhǎng)為120 ?160mmo
[0009]更優(yōu)選的是，柱體上設(shè)有凸臺(tái)，所述凸臺(tái)圍設(shè)在所述內(nèi)腔的邊沿位置，凸臺(tái)的高度沿柱體的軸線方向延伸，以增加內(nèi)腔的高度。
[0010]進(jìn)一步優(yōu)選的是，凸臺(tái)采用兩個(gè)，所述兩個(gè)凸臺(tái)分別設(shè)置在柱體相對(duì)的兩個(gè)表面上，單個(gè)凸臺(tái)的寬度為2?3mm，單個(gè)凸臺(tái)的高度為3?4mm。
[0011]優(yōu)選所述凸臺(tái)采用彈性材料制成。
[0012]優(yōu)選的是，所述柱體外壁的橫截面為圓形。
[0013]更優(yōu)選的是，所述柱體外壁的橫截面直徑為150?210mm。
[0014]優(yōu)選的是，所述柱體采用彈性材料制成。
[0015]優(yōu)選的是，所述開口包括注膠口和排氣孔，所述注膠口和排氣孔均與內(nèi)腔連通。
[0016]本實(shí)用新型單晶圓棒拼接縫膠層控制裝置，柱體中部的內(nèi)腔為與單晶圓棒開方后的橫截面形狀和尺寸相適配的方形，該方形的內(nèi)腔用于固定拼棒膠膠層的形狀，以將拼棒膠限定在內(nèi)腔的位置，而不會(huì)使拼棒膠擴(kuò)散到單晶圓棒的整個(gè)橫截面區(qū)域；柱體的外壁為與單晶圓棒未開方時(shí)形狀相同的圓形；所述柱體上還設(shè)有與內(nèi)腔連通的注膠口和排氣孔，分別用于向內(nèi)腔中注入膠體和排除內(nèi)腔內(nèi)部的氣體；該單晶圓棒拼接縫膠層控制裝置具有一定厚度和彈性，受擠壓后能夠產(chǎn)生形變，從而起到密封和控制膠層的作用。
[0017]本實(shí)用新型該單晶圓棒拼接縫膠層控制裝置主要用于控制晶棒拼接縫膠層，起防止晶棒拼接時(shí)膠層溢流的作用，以控制膠層厚度，減少拼棒膠的使用量，降低了晶棒余料的清洗難度，提高了生產(chǎn)效率。
【附圖說明】
[0018]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例中單晶圓棒拼接縫膠層控制裝置的結(jié)構(gòu)俯視圖；
[0019]圖2是圖1中單晶圓棒拼接縫膠層控制裝置的剖面圖。
[0020]圖中:1_排氣孔；2_注膠口 ；3_柱體；4_內(nèi)腔；5_對(duì)角線；6-邊角；7-凸臺(tái)；8-凸臺(tái)的寬度；9_凸臺(tái)的高度；10-柱體的高度。
【具體實(shí)施方式】
[0021]下面將結(jié)合本實(shí)用新型中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整的描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0022]本實(shí)用新型單晶圓棒拼接縫膠層控制裝置包括柱體3，柱體3具有中空的內(nèi)腔4，其中內(nèi)腔4的形狀和尺寸均與經(jīng)開方后的單晶方棒(行業(yè)內(nèi)稱開方前的晶棒為“單晶圓棒”，開方后的晶棒為“單晶方棒”)的橫截面形狀和尺寸相適配，柱體3上設(shè)有開口，所述開口與內(nèi)腔4相連通。
[0023]優(yōu)選地，所述開口包括注膠口 2和排氣孔1，注膠口 2和排氣孔I均與內(nèi)腔4連通。更優(yōu)選地，注膠口 2的開口長(zhǎng)度與柱體的高度一致，即注膠口 2沿柱體的高度方向貫穿柱體的外表面，從而使得柱體的外壁不再構(gòu)成封閉的形狀，這種形狀有利于在拼接完成后將柱體從兩個(gè)單晶圓棒之間取出。
[0024]優(yōu)選地，柱體3采用彈性材料制成，經(jīng)擠壓后能夠變薄。柱體具體可采用橡膠制成。
[0025]優(yōu)選地，柱體上設(shè)有凸臺(tái)7，凸臺(tái)7圍設(shè)在內(nèi)腔4的邊沿位置上，凸臺(tái)7的高度沿柱體的軸線方向延伸，以增加內(nèi)腔的高度。
[0026]優(yōu)選地，內(nèi)腔4的形狀為四方形，該四方形的四個(gè)邊角6為圓弧形邊角。
[0027]優(yōu)選地，所述四方形的對(duì)角線5的長(zhǎng)度為145?205mm，四個(gè)圓弧形邊角的長(zhǎng)度為15 ?22mm0
[0028]優(yōu)選地，凸臺(tái)采用兩個(gè)，所述兩個(gè)凸臺(tái)分別設(shè)置在柱體相對(duì)設(shè)置的兩個(gè)表面上，單個(gè)凸臺(tái)7的厚度為2?3mm，單個(gè)凸臺(tái)7的高度為3?4mm。
[0029]優(yōu)選地，凸臺(tái)7采用彈性材料制成，擠壓后能夠變薄，凸臺(tái)具體可采用橡膠制成。這樣，當(dāng)凸臺(tái)7經(jīng)壓縮后，其高度可變?yōu)??2.5_。
[0030]優(yōu)選地，所述柱體外壁的橫截面為圓形。
[0031]優(yōu)選柱體外壁的橫截面直徑為150?210mm。
[0032]下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)敘述。
[0033]實(shí)施例1:
[0034]本實(shí)施例中，進(jìn)行拼接的2根單晶圓棒(即娃棒)的長(zhǎng)度為250mm，直徑為155mm，垂直偏差角度在90° ±1.5°以內(nèi)。
[0035]相應(yīng)地，選用的單晶圓棒拼接縫膠層控制裝置中，柱體外壁的橫截面直徑為160mm，在內(nèi)腔中，四方形的對(duì)角線5的長(zhǎng)度為151mm，四方形的邊長(zhǎng)為126mm ;單個(gè)凸臺(tái)7的寬度為2?3mm，單個(gè)凸臺(tái)7的高度為3?4mm。
[0036]使用該單晶圓棒拼接縫膠層控制裝置時(shí)，利用圓心定位裝置對(duì)長(zhǎng)度為250mm、直徑為155mm、垂直偏差角度在90° ±1.5°以內(nèi)的2根單晶圓棒的圓心進(jìn)行定位，以將兩圓心調(diào)整至同一水平直線上；
[0037]再將該裝置放入需要進(jìn)行拼接的上述2根單晶圓棒的拼接縫之間，