一種用于真空設(shè)備的閥門裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種閥門裝置，尤其涉及一種用于真空設(shè)備的閥門裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]單晶爐是生產(chǎn)單晶硅棒的設(shè)備，其生產(chǎn)過程為將裝滿多晶硅料的石英坩禍放入單晶爐內(nèi)在負(fù)壓狀態(tài)下加熱融化為液體硅料，再通過籽晶拉制成單晶硅，石英坩禍內(nèi)的液體硅料全部被拉制成單晶硅棒，待冷卻后打開單晶爐取出單晶硅棒成品。
[0003]真空栗是單晶爐上很重要的機(jī)械系統(tǒng)之一，單晶生產(chǎn)過程中，必須排除爐體內(nèi)的空氣以及使?fàn)t腔內(nèi)達(dá)到一定的爐壓，而真空栗則為其提供動(dòng)力。單晶爐有四個(gè)真空主栗，主栗頻率為400次/min。現(xiàn)有的真空主栗的閥門裝置如圖1所示，該閥門裝置包括閥體1、分別連接閥體1兩端的閥蓋2和閥座3，所述閥座3設(shè)置有進(jìn)氣口 4，所述閥蓋2設(shè)置排氣口5，閥體1內(nèi)設(shè)置有一通氣管件6，通氣管件6設(shè)置有一彈簧7，所述彈簧7的一端與閥蓋2連接，另一端延伸至閥座3，閥座3內(nèi)還設(shè)置有一閥片8，閥片8呈平板狀結(jié)構(gòu)。所述閥座3的進(jìn)氣口4連通至氣體壓縮栗(附圖中未示出)的出氣口，氣體壓縮栗從爐腔內(nèi)吸氣經(jīng)過壓縮后從該閥門裝置排出。具體地，當(dāng)氣體壓縮栗從爐腔內(nèi)吸氣時(shí)，外部氣壓較大，閥片8被緊貼在閥座3底部，密封進(jìn)氣口 4，外部空氣不可進(jìn)入到氣體壓縮栗內(nèi)；當(dāng)氣體壓縮栗對(duì)從爐腔內(nèi)吸取的氣體壓縮然后排出時(shí)，氣體壓縮栗的氣壓較大，閥片8被從閥座3底部頂起，撞擊在彈簧7以及通氣管件6的端面上。氣體壓縮栗吸氣/排氣的頻率為400次/min左右，閥片8在閥座3底部和彈簧7之間往復(fù)運(yùn)動(dòng)，可以實(shí)現(xiàn)氣體不斷排出。
[0004]如上結(jié)構(gòu)的閥門裝置中，由于閥片8與彈簧7的接觸面積小，閥片8的厚度也較小，而工作過程中，彈簧7與閥片8不斷地相互撞擊，導(dǎo)致閥片8的磨損較大，平均2個(gè)月時(shí)間損壞一個(gè)閥片，需要更換，降低了生產(chǎn)效率。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]有鑒于此，本實(shí)用新型的目的是提供一種用于真空設(shè)備的閥門裝置，以解決目前的閥門裝置中閥片損耗嚴(yán)重、壽命低的問題。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了如下的技術(shù)方案:
[0007]—種用于真空設(shè)備的閥門裝置，該閥門裝置包括:閥體，所述閥體中設(shè)置有通氣管件，所述通氣管件中設(shè)置有一彈簧；閥蓋，連接于所述閥體的第一端，所述閥蓋設(shè)置有與所述通氣管件連通的排氣口 ；所述彈簧的一端連接在所述閥蓋上；閥座，連接于所述閥體的第二端，所述閥座設(shè)置有進(jìn)氣口 ；所述閥座中設(shè)置有閥片，所述閥片與所述通氣管件設(shè)置有一隔離墊片；所述隔離墊片呈圓柱狀的凸臺(tái)結(jié)構(gòu)，包括上方的第一圓柱部和下方的第二圓柱部，所述第一圓柱部的直徑小于所述通氣管件的內(nèi)徑，所述第一圓柱部可插入到所述通氣管件中并與所述彈簧接觸，所述第二圓柱部的直徑大于所述通氣管件的內(nèi)徑。
[0008]具體地，所述第一圓柱部的直徑為10?20mm，所述第二圓柱部的直徑比第一圓柱部的直徑大5?15_。
[0009]具體地，所述第一圓柱部的高度為3?6_，所述第二圓柱部的高度為2?4_。
[0010]具體地，設(shè)置于所述閥體中的通氣管件，其第一端不高于所述閥體的第一端，其第二端不低于所述閥體的第二端。
[0011]具體地，設(shè)置于所述閥體中的通氣管件，其第一端低于所述閥體的第一端，其第二端高于所述閥體的第二端。
[0012]具體地，所述閥蓋上設(shè)置有一凸臺(tái)，該凸臺(tái)填充所述通氣管件的第一端低于所述閥體的第一端所形成的空間。
[0013]具體地，所述閥體的第二端上設(shè)置有多個(gè)限位部，所述閥座卡合在多個(gè)限位部包圍形成的空間中。
[0014]具體地，所述多個(gè)限位部呈圓周對(duì)稱地分布在所述閥體的第二端上。
[0015]具體地，所述限位部的數(shù)量為3個(gè)。
[0016]具體地，所述閥蓋的邊緣上設(shè)置有多個(gè)螺紋緊固件，該些螺紋緊固件用于固定所述閥門裝置。
[0017]相比于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的閥門裝置中，通過在閥片和彈簧之間增加了隔離墊片，增加了彈簧對(duì)閥片作用力的接觸面積，減小了閥片的磨損，增加閥片壽命，提高工作效率。
【附圖說明】
[0018]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的閥門裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的閥門裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例中的隔離墊片的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)例，而不是全部實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)范圍。
[0022]在此，還需要說明的是，為了避免因不必要的細(xì)節(jié)而模糊了本實(shí)用新型，在附圖中僅僅示出了與根據(jù)本實(shí)用新型的方案密切相關(guān)的結(jié)構(gòu)和/或處理步驟，而省略了與本實(shí)用新型關(guān)系不大的其他細(xì)節(jié)。
[0023]如圖2所示，本實(shí)施例提供了一種用于真空設(shè)備的閥門裝置，該閥門裝置包括閥體10、閥蓋20和閥座30。其中，所述閥體10中設(shè)置有通氣管件11，所述通氣管件11中設(shè)置有一彈簧12。所述閥蓋20連接于所述閥體10的第一端10a，所述閥蓋20設(shè)置有與所述通氣管件11連通的排氣口 21 ;所述彈簧12的一端連接在所述閥蓋20上。所述閥座30連接于所述閥體10的第二端10b，所述閥座30設(shè)置有進(jìn)氣口 31 ;所述閥座30中設(shè)置有閥片40，所述閥片40與所述通氣管件11設(shè)置有一隔離墊片50。
[0024]其中，閥片40、隔離墊片50以及彈簧12三者之間是自由的(非固定連接)。所述閥座30的進(jìn)氣口 31連通至氣體壓縮栗(附圖中未示出)的出氣口，氣體壓縮栗從爐腔內(nèi)吸氣經(jīng)過壓縮后從該閥門裝置排出。具體地，當(dāng)氣體壓縮栗從爐腔內(nèi)吸氣時(shí)，外部氣壓較大，閥片40和隔離墊片50掉落在閥座30底部，其中閥片40被緊貼(在大氣壓力下)在閥座30底部，密封進(jìn)氣口 31，外部空氣不可進(jìn)入到氣體壓縮栗內(nèi)；當(dāng)氣體壓縮栗對(duì)從爐腔內(nèi)吸取的氣體壓縮然后排出時(shí)，氣體壓縮栗的氣壓較大，閥片40和隔離墊片50被從閥座30底部頂起，撞擊在彈簧12上。氣體壓縮栗吸氣/排氣的頻率為400次/min左右，閥片40和隔離墊片50在閥座30底部和彈簧12之間往復(fù)運(yùn)動(dòng)，可以實(shí)現(xiàn)氣體不斷排出。
[0025]具體地，參閱圖3，其中，圖3中的(a)為隔離墊片50的剖面圖，圖3中的(b)為隔離墊片50的俯視圖。所述隔離墊片50呈圓柱狀的凸臺(tái)結(jié)構(gòu)，包括上方的第一圓柱部51和下方的第二圓柱部52，所述第一圓柱部51的直徑