本發(fā)明涉及帶支撐體的樹脂片。還涉及印刷布線板的制造方法、印刷布線板、及半導(dǎo)體裝置。

背景技術(shù)：

作為印刷布線板(以下也稱為“布線板”。)的制造方法，廣泛使用了交替堆積已進(jìn)行了電路形成的導(dǎo)體層和絕緣層的堆疊(buildup)方式，已知絕緣層是將包括與導(dǎo)體層接觸的一側(cè)和實施鍍覆加工的一側(cè)的2層的樹脂組合物層固化而形成的(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2014-17301號公報。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

發(fā)明所要解決的課題

近年來，信息通信量增大，因此，在印刷布線板的制造中，期望微細(xì)布線化。

為了達(dá)成微細(xì)布線化，使絕緣層表面成為低粗糙度，另外，在2層的樹脂組合物層中，對于實施鍍覆加工的一側(cè)(與導(dǎo)體層接觸的一側(cè))的樹脂組合物層，期望減少無機填充材料的含量。另一方面，從降低熱膨脹系數(shù)的觀點考慮，對于另一方(與基板接觸的一側(cè))的樹脂組合物層，期望增多無機填充材料的含量。

本發(fā)明人等嘗試了在將這樣的2層的樹脂組合物層固化而形成的絕緣層上形成通孔。結(jié)果發(fā)現(xiàn)，在通孔的側(cè)壁上的已固化的各樹脂組合物層的界面的延伸方向上產(chǎn)生凹損部(抉れ部)(參照圖1)。若產(chǎn)生這樣的凹損部，則導(dǎo)致在進(jìn)行鍍覆加工時產(chǎn)生空隙，可能成為微細(xì)布線化的障礙。

本發(fā)明的課題在于提供抑制了在已固化的各樹脂組合物層的界面的延伸方向上生成的凹損部的產(chǎn)生的帶支撐體的樹脂片、印刷布線板的制造方法、印刷布線板、及半導(dǎo)體裝置。

用于解決課題的手段

本發(fā)明人等針對上述課題進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過減小第一與第二樹脂組合物層的熱固化物的導(dǎo)熱系數(shù)之差，可減小在已固化的各樹脂組合物層的界面的延伸方向上產(chǎn)生的凹損部的長度。本發(fā)明人等進(jìn)行了更深入的研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過使進(jìn)行鍍覆加工的一側(cè)的第一樹脂組合物層的無機填充材料的含量少于第二樹脂組合物層的無機填充材料的含量，可減小上述導(dǎo)熱系數(shù)之差，從而完成了本發(fā)明。

即，本發(fā)明包括以下的內(nèi)容。

[1]帶支撐體的樹脂片，其具有支撐體、和設(shè)置于支撐體上的樹脂片，其特征在于，

樹脂片具有：

設(shè)置于支撐體側(cè)的由第一樹脂組合物形成的第一樹脂組合物層、和

設(shè)置在與支撐體側(cè)相反的一側(cè)的由第二樹脂組合物形成的第二樹脂組合物層，

第一樹脂組合物包含(a)無機填充材料，將第一樹脂組合物中的不揮發(fā)成分作為100質(zhì)量%時，(a)成分的含量為30質(zhì)量%以下，

第二樹脂組合物包含(a)無機填充材料，將第二樹脂組合物中的不揮發(fā)成分作為100質(zhì)量%時，(a)成分的含量為60質(zhì)量%以上，

第一熱固化物的導(dǎo)熱系數(shù)與第二熱固化物的導(dǎo)熱系數(shù)之差為0.4w/mk以下，

所述第一熱固化物是使第一樹脂組合物于100℃熱固化30分鐘、進(jìn)而于190℃熱固化90分鐘而得到的，

所述第二熱固化物是使第二樹脂組合物于100℃熱固化30分鐘、進(jìn)而于190℃熱固化90分鐘而得到的。

[2]根據(jù)[1]所述的帶支撐體的樹脂片，其中，樹脂片的厚度為40μm以下。

[3]根據(jù)[1]或[2]所述的帶支撐體的樹脂片，其中，樹脂片的厚度為25μm以下。

[4]根據(jù)[1]~[3]中任一項所述的帶支撐體的樹脂片，其中，將第一樹脂組合物中的(a)成分的平均粒徑記為r1(μm)，將第二樹脂組合物中的(a)成分的平均粒徑記為r2(μm)時，r1與r2之比、即r2/r1為1～15。

[5]根據(jù)[1]~[4]中任一項所述的帶支撐體的樹脂片，其中，第一樹脂組合物包含(b)環(huán)氧樹脂，(b)成分具有介晶骨架(mesogenicskeleton)。

[6]根據(jù)[5]所述的帶支撐體的樹脂片，其中，(b)成分為選自聯(lián)二甲酚型環(huán)氧樹脂、雙酚a型環(huán)氧樹脂、雙酚f型環(huán)氧樹脂、聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂、及萘型環(huán)氧樹脂中的1種以上。

[7]根據(jù)[1]~[6]中任一項所述的帶支撐體的樹脂片，其用于形成印刷布線板的絕緣層。

[8]印刷布線板的制造方法，所述方法包括下述工序：

工序(i)，將[1]～[7]中任一項所述的帶支撐體的樹脂片以第二樹脂組合物層與內(nèi)層基板接合的方式層疊在內(nèi)層基板上，

工序(ii)，將帶支撐體的樹脂片熱固化而形成絕緣層，以及

工序(iii)，在絕緣層上形成通孔，除去支撐體。

[9]根據(jù)[8]所述的印刷布線板的制造方法，其中，工序(iii)中，利用激光在絕緣層上形成通孔。

[10]根據(jù)[8]或[9]所述的印刷布線板的制造方法，其中，通孔的開口直徑為40μm以下。

[11]印刷布線板，其包含由[1]～[7]中任一項所述的帶支撐體的樹脂片形成的絕緣層。

[12]半導(dǎo)體裝置，其具備[11[所述的印刷布線板。

發(fā)明的效果

通過本發(fā)明，可提供抑制了在已固化的各樹脂組合物層的界面的延伸方向上生成的凹損部的產(chǎn)生的帶支撐體的樹脂片、印刷布線板的制造方法、印刷布線板、及半導(dǎo)體裝置。

附圖說明

圖1為具有凹損部的絕緣層的截面照片。

圖2為表示本發(fā)明的帶支撐體的樹脂片的一個方式的示意圖。

圖3為用于說明凹損部的長度的截面照片。

具體實施方式

以下，對本發(fā)明的帶支撐體的樹脂片、印刷布線板的制造方法、印刷布線板、及半導(dǎo)體裝置進(jìn)行詳細(xì)說明。

在對本發(fā)明的帶支撐體的樹脂片進(jìn)行詳細(xì)說明之前，對第一樹脂組合物及第二樹脂組合物進(jìn)行說明，所述第一樹脂組合物及第二樹脂組合物是，本發(fā)明的帶支撐體的樹脂片中、在形成樹脂片中包含的第一樹脂組合物層及第二樹脂組合物層時使用的。

(第一樹脂組合物)

形成第一樹脂組合物層的第一樹脂組合物包含(a)無機填充材料，將第一樹脂組合物中的不揮發(fā)成分作為100質(zhì)量%時，(a)成分的含量只要為30質(zhì)量%以下，就沒有特別限制，只要其固化物具有充分的鍍層剝離性和絕緣性即可。作為第一樹脂組合物，例如，可舉出除了包含無機填充材料之外還包含固化性樹脂及其固化劑的組合物。作為固化性樹脂，可使用在形成印刷布線板的絕緣層時可使用的以往公知的固化性樹脂，其中，優(yōu)選環(huán)氧樹脂。因此，在一個實施方式中，第一樹脂組合物包含(b)環(huán)氧樹脂、及(c)固化劑。根據(jù)需要，第一樹脂組合物還包含熱塑性樹脂、固化促進(jìn)劑、阻燃劑及有機填充材料。

以下，對可作為第一樹脂組合物的材料使用的各成分進(jìn)行詳細(xì)說明。

-(a)無機填充材料-

無機填充材料的材料沒有特別限制，例如，可舉出二氧化硅、氧化鋁、玻璃、堇青石、硅氧化物、硫酸鋇、碳酸鋇、滑石、粘土、云母粉、氧化鋅、水滑石、勃姆石、氫氧化鋁、氫氧化鎂、碳酸鈣、碳酸鎂、氧化鎂、氮化硼、氮化鋁、氮化錳、硼酸鋁、碳酸鍶、鈦酸鍶、鈦酸鈣、鈦酸鎂、鈦酸鉍、氧化鈦、氧化鋯、鈦酸鋇、鈦酸鋯酸鋇、鋯酸鋇、鋯酸鈣、磷酸鋯、及磷酸鎢酸鋯、碳化硅等。這些中，優(yōu)選為碳化硅、二氧化硅，特別優(yōu)選為二氧化硅。另外，作為二氧化硅，優(yōu)選為球形二氧化硅。無機填充材料可單獨使用1種，也可組合2種以上而使用。

無機填充材料的平均粒徑?jīng)]有特別限制，從得到表面粗糙度小的絕緣層的觀點、微細(xì)布線形成性提高的觀點考慮，優(yōu)選為2μm以下，更優(yōu)選為1.5μm以下，進(jìn)一步優(yōu)選為1μm以下。該平均粒徑的下限沒有特別限制，優(yōu)選為0.01μm以上，更優(yōu)選為0.1μm以上，進(jìn)一步優(yōu)選為0.3μm以上。作為具有這樣的平均粒徑的無機填充材料的市售品，例如，可舉出電氣化學(xué)工業(yè)株式會社制“ufp-30”、新日鐵住金材料株式會社(nipponsteel&sumikinmaterialsco.,ltd)制“sph516-05”、信濃電氣制煉株式會社制“ser-a06”等。

無機填充材料的平均粒徑可利用基于米氏(mie)散射理論的激光衍射-散射法測定。具體而言，可利用激光衍射散射式粒度分布測定裝置，按照體積基準(zhǔn)制成無機填充材料的粒度分布，將其中值粒徑作為平均粒徑，由此進(jìn)行測定。對于測定樣品而言，可優(yōu)選使用利用超聲波將無機填充材料分散于甲基乙基酮中而成的產(chǎn)物。作為激光衍射散射式粒度分布測定裝置，可使用株式會社島津制作所制“sald-2200”等。

對于無機填充材料而言，從提高耐濕性及分散性的觀點考慮，優(yōu)選用硅烷偶聯(lián)劑、烷氧基硅烷化合物、及有機硅氮烷化合物中的至少1種表面處理劑進(jìn)行表面處理。它們可以是低聚物。作為表面處理劑的例子，可舉出氨基硅烷系偶聯(lián)劑、環(huán)氧硅烷系偶聯(lián)劑、巰基硅烷系偶聯(lián)劑、硅烷系偶聯(lián)劑、有機硅氮烷化合物、鈦酸酯系偶聯(lián)劑等。作為表面處理劑的市售品，例如，可舉出信越化學(xué)工業(yè)株式會社制“kbm403”(3-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷)、信越化學(xué)工業(yè)株式會社制“kbm803”(3-巰基丙基三甲氧基硅烷)、信越化學(xué)工業(yè)株式會社制“kbe903”(3-氨基丙基三乙氧基硅烷)、信越化學(xué)工業(yè)株式會社制“kbm573”(n-苯基-3-氨基丙基三甲氧基硅烷)、信越化學(xué)工業(yè)株式會社制“sz-31”(六甲基二硅氮烷)、信越化學(xué)工業(yè)株式會社制“kbm103”(苯基三甲氧基硅烷)、信越化學(xué)工業(yè)株式會社制“kbm-4803”(長鏈環(huán)氧型硅烷偶聯(lián)劑)等。表面處理劑可單獨使用1種，也可組合使用2種以上。

基于表面處理劑的表面處理的程度可利用無機填充材料的每單位表面積的碳量進(jìn)行評價。對于無機填充材料的每單位表面積的碳量而言，從提高無機填充材料的分散性的觀點考慮，優(yōu)選為0.02mg/m²以上，更優(yōu)選為0.1mg/m²以上，進(jìn)一步優(yōu)選為0.2mg/m²以上。另一方面，從抑制樹脂清漆的熔融粘度及片材形態(tài)下的熔融粘度上升的觀點考慮，優(yōu)選為1mg/m²以下，更優(yōu)選為0.8mg/m²以下，進(jìn)一步優(yōu)選為0.5mg/m²以下。

無機填充材料的每單位表面積的碳量可在利用溶劑(例如，甲基乙基酮(mek))對表面處理后的無機填充材料進(jìn)行洗滌處理后進(jìn)行測定。具體而言，可將作為溶劑的足量的mek添加到用表面處理劑進(jìn)行了表面處理的無機填充材料中，于25℃進(jìn)行5分鐘超聲洗滌。除去上清液，使固體成分干燥，然后，使用碳分析計測定無機填充材料的每單位表面積的碳量。作為碳分析計，可使用株式會社堀場制作所制“emia-320v”等。

對于第一樹脂組合物中的無機填充材料的含量而言，從提高鍍層剝離性的觀點考慮，將第一樹脂組合物中的不揮發(fā)成分作為100質(zhì)量%時，為30質(zhì)量%以下，優(yōu)選為25質(zhì)量%以下，更優(yōu)選為20質(zhì)量%以下。第一樹脂組合物中的(c)成分的含量的下限沒有特別限制，可以為0質(zhì)量%，通?？梢詾?質(zhì)量%以上，10質(zhì)量%以上等。

-(b)環(huán)氧樹脂-

作為環(huán)氧樹脂，例如，可舉出聯(lián)二甲酚型環(huán)氧樹脂、雙酚a型環(huán)氧樹脂、雙酚f型環(huán)氧樹脂、雙酚s型環(huán)氧樹脂、雙酚af型環(huán)氧樹脂、二環(huán)戊二烯型環(huán)氧樹脂、三酚型環(huán)氧樹脂、萘酚酚醛型環(huán)氧樹脂(naphtholnovolacepoxyresin)、線型酚醛型環(huán)氧樹脂(phenolnovolacepoxyresin)、叔丁基-鄰苯二酚型環(huán)氧樹脂、萘型環(huán)氧樹脂、萘酚型環(huán)氧樹脂、蒽型環(huán)氧樹脂、縮水甘油基胺型環(huán)氧樹脂、縮水甘油基酯型環(huán)氧樹脂、甲酚甲醛(cresolnovolac)型環(huán)氧樹脂、聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂、線狀脂肪族環(huán)氧樹脂、具有丁二烯結(jié)構(gòu)的環(huán)氧樹脂、脂環(huán)族環(huán)氧樹脂、雜環(huán)式環(huán)氧樹脂、含有螺環(huán)的環(huán)氧樹脂、環(huán)己烷二甲醇型環(huán)氧樹脂、亞萘基醚型環(huán)氧樹脂、三羥甲基型環(huán)氧樹脂、四苯基乙烷型環(huán)氧樹脂等。環(huán)氧樹脂可單獨使用1種，也可組合2種以上而使用。從提高導(dǎo)熱系數(shù)方面考慮，(b)成分優(yōu)選為具有介晶骨架的環(huán)氧樹脂，更優(yōu)選為選自聯(lián)二甲酚型環(huán)氧樹脂、雙酚a型環(huán)氧樹脂、雙酚f型環(huán)氧樹脂、聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂、及萘型環(huán)氧樹脂中的1種以上。所謂介晶骨架，是指包含棒狀或板狀的、呈現(xiàn)液晶性那樣的剛直的基團(tuán)(芳香族環(huán))的基團(tuán)的總稱。

環(huán)氧樹脂優(yōu)選包含在1分子中具有2個以上環(huán)氧基的環(huán)氧樹脂。在將環(huán)氧樹脂的不揮發(fā)成分作為100質(zhì)量%時，優(yōu)選至少50質(zhì)量%以上為在1分子中具有2個以上環(huán)氧基的環(huán)氧樹脂。其中，優(yōu)選包含在1分子中具有2個以上環(huán)氧基且在20℃溫度下為液態(tài)的環(huán)氧樹脂(以下稱為“液態(tài)環(huán)氧樹脂”。)、和在1分子中具有3個以上環(huán)氧基且在20℃溫度下為固態(tài)的環(huán)氧樹脂(以下稱為“固態(tài)環(huán)氧樹脂”。)。通過并用液態(tài)環(huán)氧樹脂和固態(tài)環(huán)氧樹脂作為環(huán)氧樹脂，可得到具有優(yōu)異的撓性的樹脂組合物。另外，樹脂組合物的固化物的斷裂強度也提高。

作為液態(tài)環(huán)氧樹脂，優(yōu)選為雙酚a型環(huán)氧樹脂、雙酚f型環(huán)氧樹脂、雙酚af型環(huán)氧樹脂、萘型環(huán)氧樹脂、縮水甘油基酯型環(huán)氧樹脂、縮水甘油基胺型環(huán)氧樹脂、線型酚醛型環(huán)氧樹脂、具有酯骨架的脂環(huán)族環(huán)氧樹脂、環(huán)己烷二甲醇型環(huán)氧樹脂、縮水甘油基胺型環(huán)氧樹脂、及具有丁二烯結(jié)構(gòu)的環(huán)氧樹脂，更優(yōu)選為縮水甘油基胺型環(huán)氧樹脂、雙酚a型環(huán)氧樹脂、雙酚f型環(huán)氧樹脂、雙酚af型環(huán)氧樹脂及萘型環(huán)氧樹脂。作為液態(tài)環(huán)氧樹脂的具體例，可舉出dic株式會社制的“hp4032”、“hp4032d”、“hp4032ss”(萘型環(huán)氧樹脂)、三菱化學(xué)株式會社制的“828us”、“jer828el”、“825”(雙酚a型環(huán)氧樹脂)、“jer807”、“1750”(雙酚f型環(huán)氧樹脂)、“jer152”(線型酚醛型環(huán)氧樹脂)、“630”、“630lsd”(縮水甘油基胺型環(huán)氧樹脂)、新日鐵住金化學(xué)株式會社制的“zx1059”(雙酚a型環(huán)氧樹脂與雙酚f型環(huán)氧樹脂的混合品)、nagasechemtex株式會社制的“ex-721”(縮水甘油基酯型環(huán)氧樹脂)、株式會社大賽璐制的“celloxide2021p”(具有酯骨架的脂環(huán)族環(huán)氧樹脂)、“pb-3600”(具有丁二烯結(jié)構(gòu)的環(huán)氧樹脂)、新日鐵化學(xué)株式會社制的“zx1658”、“zx1658gs”(液態(tài)1,4-縮水甘油基環(huán)己烷)、三菱化學(xué)株式會社制的“630lsd”(縮水甘油基胺型環(huán)氧樹脂)等。它們可單獨使用1種，也可組合2種以上而使用。

作為固態(tài)環(huán)氧樹脂，優(yōu)選為萘型4官能環(huán)氧樹脂、甲酚甲醛型環(huán)氧樹脂、二環(huán)戊二烯型環(huán)氧樹脂、三酚型環(huán)氧樹脂、萘酚型環(huán)氧樹脂、聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂、亞萘基醚型環(huán)氧樹脂、蒽型環(huán)氧樹脂、雙酚a型環(huán)氧樹脂、四苯基乙烷型環(huán)氧樹脂，更優(yōu)選為萘型4官能環(huán)氧樹脂、萘酚型環(huán)氧樹脂、及聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂。作為固態(tài)環(huán)氧樹脂的具體例，可舉出dic株式會社制的“hp4032h”(萘型環(huán)氧樹脂)、“hp-4700”、“hp-4710”(萘型4官能環(huán)氧樹脂)、“n-690”(甲酚甲醛型環(huán)氧樹脂)、“n-695”(甲酚甲醛型環(huán)氧樹脂)、“hp-7200”(二環(huán)戊二烯型環(huán)氧樹脂)、“hp-7200hh”、“hp-7200h”、“exa-7311”、“exa-7311-g3”、“exa-7311-g4”、“exa-7311-g4s”、“hp6000”(亞萘基醚型環(huán)氧樹脂)、日本化藥株式會社制的“eppn-502h”(三酚型環(huán)氧樹脂)、“nc7000l”(萘酚酚醛型環(huán)氧樹脂)、“nc3000h”、“nc3000”、“nc3000l”、“nc3100”(聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂)、新日鐵住金化學(xué)株式會社制的“esn475v”(萘型環(huán)氧樹脂)、“esn485”(萘酚酚醛型環(huán)氧樹脂)、三菱化學(xué)株式會社制的“yx4000h”、“yl6121”(聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂)、“yx4000hk”(聯(lián)二甲酚型環(huán)氧樹脂)、“yx8800”(蒽型環(huán)氧樹脂)、大阪燃?xì)饣瘜W(xué)(大阪ガスケミカル)株式會社制的“pg-100”、“cg-500”、三菱化學(xué)株式會社制的“yl7760”(雙酚af型環(huán)氧樹脂)、“yl7800”(芴型環(huán)氧樹脂)、三菱化學(xué)株式會社制的“jer1010”(固態(tài)雙酚a型環(huán)氧樹脂)、“jer1031s”(四苯基乙烷型環(huán)氧樹脂)等。它們可單獨使用1種，也可組合2種以上而使用。

在并用液態(tài)環(huán)氧樹脂和固態(tài)環(huán)氧樹脂作為環(huán)氧樹脂時，它們的量比(液態(tài)環(huán)氧樹脂：固態(tài)環(huán)氧樹脂)以質(zhì)量比計優(yōu)選為1：0.1～1：15的范圍。通過使液態(tài)環(huán)氧樹脂與固態(tài)環(huán)氧樹脂的量比為上述范圍，可得到下述效果：i)在以樹脂片的形態(tài)使用時，可帶來適度的粘合性；ii)在以樹脂片的形態(tài)使用時，可得到充分的撓性，處理性提高；以及，iii)可得到具有充分的斷裂強度的固化物；等等。從上述i)～iii)的效果的觀點考慮，液態(tài)環(huán)氧樹脂與固態(tài)環(huán)氧樹脂的量比(液態(tài)環(huán)氧樹脂：固態(tài)環(huán)氧樹脂)以質(zhì)量比計更優(yōu)選為1：0.3～1：10的范圍，進(jìn)一步優(yōu)選為1：0.6～1：8的范圍。

對于第一樹脂組合物中的環(huán)氧樹脂的含量而言，從得到顯示良好的機械強度、絕緣可靠性的絕緣層的觀點考慮，優(yōu)選為1質(zhì)量%以上，更優(yōu)選為2質(zhì)量%以上，進(jìn)一步優(yōu)選為3質(zhì)量%以上。對于環(huán)氧樹脂的含量的上限而言，只要起到本發(fā)明的效果即可，沒有特別限制，優(yōu)選為80質(zhì)量%以下，更優(yōu)選為70質(zhì)量%以下，進(jìn)一步優(yōu)選為60質(zhì)量%以下。

需要說明的是，本發(fā)明中，對于樹脂組合物中的各成分的含量而言，只要沒有另行明確說明，是指將樹脂組合物中的不揮發(fā)成分作為100質(zhì)量%時的值。

環(huán)氧樹脂的環(huán)氧當(dāng)量優(yōu)選為50～5000，更優(yōu)選為50～3000，進(jìn)一步優(yōu)選為80～2000，更進(jìn)一步優(yōu)選為110～1000。通過成為上述范圍，從而固化物的交聯(lián)密度變得充分，可形成表面粗糙度小的絕緣層。需要說明的是，環(huán)氧當(dāng)量可按照jisk7236測定，是包含1當(dāng)量的環(huán)氧基的樹脂的質(zhì)量。

環(huán)氧樹脂的重均分子量優(yōu)選為100～5000，更優(yōu)選為250～3000，進(jìn)一步優(yōu)選為400～1500。此處，環(huán)氧樹脂的重均分子量是利用凝膠滲透色譜(gpc)法測得的按照聚苯乙烯換算的重均分子量。

-(c)固化劑-

作為固化劑，只要具有使環(huán)氧樹脂固化的功能即可，沒有特別限制，例如，可舉出苯酚(phenol)系固化劑、萘酚系固化劑、活性酯系固化劑、苯并噁嗪系固化劑、氰酸酯系固化劑、及碳二亞胺系固化劑等。固化劑可單獨使用1種，或者也可并用2種以上。(c)成分優(yōu)選為選自苯酚系固化劑、萘酚系固化劑、活性酯系固化劑、碳二亞胺系固化劑及氰酸酯系固化劑中的1種以上。

作為苯酚系固化劑及萘酚系固化劑，從耐熱性及耐水性的觀點考慮，優(yōu)選為具有酚醛樹脂(novolac)結(jié)構(gòu)的苯酚系固化劑、或具有酚醛樹脂結(jié)構(gòu)的萘酚系固化劑。另外，從與導(dǎo)體層的密合性的觀點考慮，優(yōu)選為含氮苯酚系固化劑，更優(yōu)選為含有三嗪骨架的苯酚系固化劑。其中，從高度滿足耐熱性、耐水性、及與導(dǎo)體層的密合性的觀點考慮，優(yōu)選為含有三嗪骨架的線型酚醛樹脂固化劑。

作為苯酚系固化劑及萘酚系固化劑的具體例，例如，可舉出明和化成株式會社制的“meh-7700”、“meh-7810”、“meh-7851”、“meh-7851h”、日本化藥株式會社制的“nhn”、“cbn”、“gph”、新日鐵住金株式會社制的“sn170”、“sn180”、“sn190”、“sn475”、“sn485”、“sn495”、“sn375”、“sn395”、dic株式會社制的“td-2090”、“l(fā)a-7052”、“l(fā)a-7054”、“l(fā)a-1356”、“l(fā)a-3018-50p”、“exb-9500”等。

從得到與導(dǎo)體層的密合性優(yōu)異的絕緣層的觀點考慮，還優(yōu)選活性酯系固化劑。作為活性酯系固化劑，沒有特別限制，通常，可優(yōu)選使用苯酚酯類、苯硫酚酯類、n-羥基胺酯類、雜環(huán)羥基化合物的酯類等在1分子中具有2個以上反應(yīng)活性高的酯基的化合物。該活性酯系固化劑優(yōu)選通過羧酸化合物及/或硫代羧酸化合物與羥基化合物及/或硫醇化合物的縮合反應(yīng)而得到。尤其是從提高耐熱性的觀點考慮，優(yōu)選為可由羧酸化合物與羥基化合物得到的活性酯系固化劑，更優(yōu)選為可由羧酸化合物與苯酚化合物及/或萘酚化合物得到的活性酯系固化劑。作為羧酸化合物，例如，可舉出苯甲酸、乙酸、琥珀酸、馬來酸、衣康酸、鄰苯二甲酸、間苯二甲酸、對苯二甲酸、均苯四酸等。作為苯酚化合物或萘酚化合物，例如，可舉出氫醌、間苯二酚、雙酚a、雙酚f、雙酚s、酚酞啉、甲基化雙酚a、甲基化雙酚f、甲基化雙酚s、苯酚、鄰甲酚、間甲酚、對甲酚、鄰苯二酚、α-萘酚、β-萘酚、1,5-二羥基萘、1,6-二羥基萘、2,6-二羥基萘、二羥基二苯甲酮、三羥基二苯甲酮、四羥基二苯甲酮、間苯三酚、苯三酚、二環(huán)戊二烯型二苯酚化合物、線型酚醛樹脂等。此處，“二環(huán)戊二烯型二苯酚化合物”是指，在1分子二環(huán)戊二烯上縮合2分子苯酚而得到的二苯酚化合物。

具體而言，優(yōu)選為包含二環(huán)戊二烯型二苯酚結(jié)構(gòu)的活性酯化合物、包含萘結(jié)構(gòu)的活性酯化合物、包含線型酚醛樹脂的乙?；锏幕钚怎セ衔?、包含線型酚醛樹脂的苯甲?；锏幕钚怎セ衔铮渲?，更優(yōu)選包含萘結(jié)構(gòu)的活性酯化合物、包含二環(huán)戊二烯型二苯酚結(jié)構(gòu)的活性酯化合物?！岸h(huán)戊二烯型二苯酚結(jié)構(gòu)”表示由亞苯基-二亞環(huán)戊基(ジシクロペンチレン)-亞苯基形成的2價的結(jié)構(gòu)單元。

作為活性酯系固化劑的市售品，可舉出作為包含二環(huán)戊二烯型二苯酚結(jié)構(gòu)的活性酯化合物的“exb9451”、“exb9460”、“exb9460s”、“hpc-8000-65t”、“hpc-8000h-65tm”、“exb-8000l-65tm”(dic株式會社制)、作為包含萘結(jié)構(gòu)的活性酯化合物的“exb9416-70bk”(dic株式會社制)、作為包含線型酚醛樹脂的乙?；锏幕钚怎セ衔锏摹癲c808”(三菱化學(xué)株式會社制)、作為包含線型酚醛樹脂的苯甲酰化物的活性酯化合物的“ylh1026”(三菱化學(xué)株式會社制)、作為為線型酚醛樹脂的乙酰化物的活性酯系固化劑的“dc808”(三菱化學(xué)株式會社制)、作為為線型酚醛樹脂的苯甲?；锏幕钚怎ハ倒袒瘎┑摹皔lh1026”(三菱化學(xué)株式會社制)、“ylh1030”(三菱化學(xué)株式會社制)、“ylh1048”(三菱化學(xué)株式會社制)等。

作為苯并噁嗪系固化劑的具體例，可舉出昭和高分子株式會社制的“hfb2006m”、四國化成工業(yè)株式會社制的“p-d”、“f-a”。

作為氰酸酯系固化劑，例如，可舉出雙酚a二氰酸酯、多酚氰酸酯、低聚(3-亞甲基-1,5-亞苯基氰酸酯)、4,4’-亞甲基雙(2,6-二甲基苯基氰酸酯)、4,4’-亞乙基(ethylidene)二苯基二氰酸酯、六氟雙酚a二氰酸酯、2,2-雙(4-氰酸酯基)苯基丙烷、1,1-雙(4-氰酸酯基苯基甲烷)、雙(4-氰酸酯基-3,5-二甲基苯基)甲烷、1,3-雙(4-氰酸酯基苯基-1-(甲基亞乙基))苯、雙(4-氰酸酯基苯基)硫醚、及雙(4-氰酸酯基苯基)醚等2官能氰酸酯樹脂、由線型酚醛樹脂及甲酚甲醛樹脂等衍生的多官能氰酸酯樹脂、這些氰酸酯樹脂進(jìn)行一部分三嗪化而得到的預(yù)聚物等。作為氰酸酯系固化劑的具體例，可舉出lonzajapan株式會社制的“pt30”及“pt60”(均為線型酚醛樹脂型多官能氰酸酯樹脂)、“ba230”、“ba230s75”(雙酚a二氰酸酯的一部分或全部進(jìn)行三嗪化而形成三聚物而成的預(yù)聚物)等。

作為碳二亞胺系固化劑的具體例，可舉出nisshinbochemical株式會社制的“v-03”、“v-07”等。

對于環(huán)氧樹脂與固化劑的量比而言，以[環(huán)氧樹脂的環(huán)氧基的合計數(shù)]：[固化劑的反應(yīng)基團(tuán)的合計數(shù)]的比率計，優(yōu)選為1：0.01～1：2的范圍，更優(yōu)選為1：0.015～1：1.5，進(jìn)一步優(yōu)選為1：0.02～1：1。此處，固化劑的反應(yīng)基團(tuán)是活性羥基、活性酯基等，根據(jù)固化劑的種類的不同而不同。另外，環(huán)氧樹脂的環(huán)氧基的合計數(shù)是指針對全部的環(huán)氧樹脂計算將各環(huán)氧樹脂的固體成分質(zhì)量除以環(huán)氧當(dāng)量而得到的值的總和而得到的值，固化劑的反應(yīng)基團(tuán)的合計數(shù)是指針對全部的固化劑計算將各固化劑的固體成分質(zhì)量除以反應(yīng)基團(tuán)當(dāng)量而得到的值的總和而得到的值。通過使環(huán)氧樹脂與固化劑的量比為上述范圍，使得樹脂組合物的固化物的耐熱性進(jìn)一步提高。

在一個實施方式中，第一樹脂組合物包含前述的(b)環(huán)氧樹脂及(c)固化劑。對于樹脂組合物而言，優(yōu)選的是，分別地，作為(b)環(huán)氧樹脂，包含液態(tài)環(huán)氧樹脂與固態(tài)環(huán)氧樹脂的混合物(液態(tài)環(huán)氧樹脂：固態(tài)環(huán)氧樹脂的質(zhì)量比優(yōu)選為1：0.1～1：15，更優(yōu)選為1：0.3～1：12，進(jìn)一步優(yōu)選為1：0.6～1：10)，作為(c)固化劑，包含選自由苯酚系固化劑、萘酚系固化劑、活性酯系固化劑、碳二亞胺系固化劑及氰酸酯系固化劑組成的組中的1種以上。

第一樹脂組合物中的固化劑的含量沒有特別限制，優(yōu)選為45質(zhì)量%以下，更優(yōu)選為43質(zhì)量%以下，進(jìn)一步優(yōu)選為40質(zhì)量%以下。另外，下限沒有特別限制，優(yōu)選為10質(zhì)量%以上，更優(yōu)選為15質(zhì)量%以上。

-(d)熱塑性樹脂-

第一樹脂組合物除了含有(a)～(c)成分之外，還可含有(d)熱塑性樹脂。

作為熱塑性樹脂，例如，可舉出苯氧基樹脂、聚乙烯醇縮醛樹脂、聚烯烴樹脂、聚丁二烯樹脂、聚酰亞胺樹脂、聚酰胺酰亞胺樹脂、聚醚酰亞胺樹脂、聚砜樹脂、聚醚砜樹脂、聚苯醚樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚醚醚酮樹脂、聚酯樹脂，優(yōu)選為苯氧基樹脂。熱塑性樹脂可單獨使用1種，或者也可組合使用2種以上。

熱塑性樹脂的按照聚苯乙烯換算的重均分子量優(yōu)選為8,000～70,000的范圍，更優(yōu)選為10,000～60,000的范圍，進(jìn)一步優(yōu)選為20,000～60,000的范圍。熱塑性樹脂的按照聚苯乙烯換算的重均分子量可利用凝膠滲透色譜(gpc)法測定。具體而言，對于熱塑性樹脂的按照聚苯乙烯換算的重均分子量而言，使用株式會社島津制作所制lc-9a/rid-6a作為測定裝置，使用昭和電工株式會社制shodexk-800p/k-804l/k-804l作為柱，使用氯仿等作為流動相，在40℃的柱溫下進(jìn)行測定，使用標(biāo)準(zhǔn)聚苯乙烯的標(biāo)準(zhǔn)曲線進(jìn)行計算。

作為苯氧基樹脂，例如，可舉出具有選自由雙酚a骨架、雙酚f骨架、雙酚s骨架、雙酚苯乙酮骨架、酚醛樹脂骨架、聯(lián)苯骨架、芴骨架、二環(huán)戊二烯骨架、降冰片烯骨架、萘骨架、蒽骨架、金剛烷骨架、萜烯骨架、及三甲基環(huán)己烷骨架組成的組中的1種以上的骨架的苯氧基樹脂。苯氧基樹脂的末端可以是酚式羥基、環(huán)氧基等的任一種官能團(tuán)。苯氧基樹脂可單獨使用1種，也可組合2種以上而使用。作為苯氧基樹脂的具體例，可舉出三菱化學(xué)株式會社制的“1256”及“4250”(均為含有雙酚a骨架的苯氧基樹脂)、“yx8100”(含有雙酚s骨架的苯氧基樹脂)、及“yx6954”(含有雙酚苯乙酮骨架的苯氧基樹脂)，此外，還可舉出新日鐵住金化學(xué)株式會社制的“fx280”及“fx293”、三菱化學(xué)株式會社制的“yx6954bh30”、“yx7553”、“yx7553bh30”、“yl7769bh30”、“yl6794”、“yl7213”、“yl7290”、“yl7891bh30”及“yl7482”等。

作為聚乙烯醇縮醛樹脂，例如，可舉出聚乙烯醇縮甲醛樹脂、聚乙烯醇縮丁醛樹脂，優(yōu)選為聚乙烯醇縮丁醛樹脂。作為聚乙烯醇縮醛樹脂的具體例，例如，可舉出電氣化學(xué)工業(yè)株式會社制的“denkabutyral4000-2”、“denkabutyral5000-a”、“denkabutyral6000-c”、“denkabutyral6000-ep”、積水化學(xué)工業(yè)株式會社制的s-lecbh系列、bx系列(例如bx-5z)、ks系列(例如ks-1)、bl系列、bm系列等。

作為聚酰亞胺樹脂的具體例，可舉出新日本理化株式會社制的“rikacoatsn20”及“rikacoatpn20”。作為聚酰亞胺樹脂的具體例，另外，可舉出使2官能性羥基末端聚丁二烯、二異氰酸酯化合物和四元酸酐反應(yīng)而得到的線狀聚酰亞胺(日本特開2006-37083號公報記載的聚酰亞胺)、含有聚硅氧烷骨架的聚酰亞胺(日本特開2002-12667號公報及日本特開2000-319386號公報等中記載的聚酰亞胺)等改性聚酰亞胺。

作為聚酰胺酰亞胺樹脂的具體例，可舉出東洋紡績株式會社制的“vylomaxhr11nn”及“vylomaxhr16nn”。作為聚酰胺酰亞胺樹脂的具體例，另外，可舉出日立化成工業(yè)株式會社制的“ks9100”、“ks9300”(含有聚硅氧烷骨架的聚酰胺酰亞胺)等改性聚酰胺酰亞胺。

作為聚醚砜樹脂的具體例，可舉出住友化學(xué)株式會社制的“pes5003p”等。

作為聚砜樹脂的具體例，可舉出solvayadvancedpolymers株式會社制的聚砜“p1700”、“p3500”等。

作為聚苯醚樹脂的具體例，可舉出三菱瓦斯化學(xué)株式會社制的低聚聚苯醚-苯乙烯樹脂“ope-2st1200”等。

其中，作為熱塑性樹脂，優(yōu)選為苯氧基樹脂、聚乙烯醇縮醛樹脂。因此，在優(yōu)選的一個實施方式中，熱塑性樹脂包含選自由苯氧基樹脂及聚乙烯醇縮醛樹脂組成的組中的1種以上。

第一樹脂組合物含有熱塑性樹脂時，熱塑性樹脂的含量優(yōu)選為0.5質(zhì)量%～15質(zhì)量%，更優(yōu)選為0.6質(zhì)量%～12質(zhì)量%，進(jìn)一步優(yōu)選為0.7質(zhì)量%～10質(zhì)量%。

-(e)固化促進(jìn)劑-

第一樹脂組合物除了含有(a)～(c)成分之外，還可含有(e)固化促進(jìn)劑。

作為固化促進(jìn)劑，例如，可舉出磷系固化促進(jìn)劑、胺系固化促進(jìn)劑、咪唑系固化促進(jìn)劑、胍系固化促進(jìn)劑、金屬系固化促進(jìn)劑、有機過氧化物系固化促進(jìn)劑等，優(yōu)選為磷系固化促進(jìn)劑、胺系固化促進(jìn)劑、咪唑系固化促進(jìn)劑、金屬系固化促進(jìn)劑，更優(yōu)選為胺系固化促進(jìn)劑、咪唑系固化促進(jìn)劑、金屬系固化促進(jìn)劑。固化促進(jìn)劑可單獨使用1種，也可組合2種以上而使用。

作為磷系固化促進(jìn)劑，例如，可舉出三苯基膦、鏻硼酸鹽化合物、四苯基鏻四苯基硼酸鹽、正丁基鏻四苯基硼酸鹽、四丁基鏻癸酸鹽、(4-甲基苯基)三苯基鏻硫氰酸鹽、四苯基鏻硫氰酸鹽、丁基三苯基鏻硫氰酸鹽等，優(yōu)選為三苯基膦、四丁基鏻癸酸鹽。

作為胺系固化促進(jìn)劑，例如，可舉出三乙基胺、三丁基胺等三烷基胺、4-二甲基氨基吡啶、芐基二甲基胺、2,4,6-三(二甲基氨基甲基)苯酚、1,8-二氮雜雙環(huán)(5,4,0)-十一碳烯等，優(yōu)選為4-二甲基氨基吡啶、1,8-二氮雜雙環(huán)(5,4,0)-十一碳烯。

作為咪唑系固化促進(jìn)劑，例如，可舉出2-甲基咪唑、2-十一烷基咪唑、2-十七烷基咪唑、1,2-二甲基咪唑、2-乙基-4-甲基咪唑、1,2-二甲基咪唑、2-乙基-4-甲基咪唑、2-苯基咪唑、2-苯基-4-甲基咪唑、1-芐基-2-甲基咪唑、1-芐基-2-苯基咪唑、1-氰基乙基-2-甲基咪唑、1-氰基乙基-2-十一烷基咪唑、1-氰基乙基-2-乙基-4-甲基咪唑、1-氰基乙基-2-苯基咪唑、1-氰基乙基-2-十一烷基咪唑鎓偏苯三酸鹽、1-氰基乙基-2-苯基咪唑鎓偏苯三酸鹽、2,4-二氨基-6-[2’-甲基咪唑基-(1’)]-乙基均三嗪、2,4-二氨基-6-[2’-十一烷基咪唑基-(1’)]-乙基均三嗪、2,4-二氨基-6-[2’-乙基-4’-甲基咪唑基-(1’)]-乙基均三嗪、2,4-二氨基-6-[2’-甲基咪唑基-(1’)]-乙基均三嗪異氰脲酸加成物、2-苯基咪唑異氰脲酸加成物、2-苯基-4,5-二羥基甲基咪唑、2-苯基-4-甲基-5-羥基甲基咪唑、2,3-二氫-1h-吡咯并[1,2-a]苯并咪唑、1-十二烷基-2-甲基-3-芐基咪唑鎓氯化物、2-甲基咪唑啉、2-苯基咪唑啉等咪唑化合物及咪唑化合物與環(huán)氧樹脂的加合物，優(yōu)選為2-乙基-4-甲基咪唑、1-芐基-2-苯基咪唑。

作為咪唑系固化促進(jìn)劑，可使用市售品，例如，可舉出三菱化學(xué)株式會社制的“p200-h50”等。

作為胍系固化促進(jìn)劑，例如，可舉出雙氰胺、1-甲基胍、1-乙基胍、1-環(huán)己基胍、1-苯基胍、1-(鄰甲苯基)胍、二甲基胍、二苯基胍、三甲基胍、四甲基胍、五甲基胍、1,5,7-三氮雜雙環(huán)[4.4.0]癸-5-烯、7-甲基-1,5,7-三氮雜雙環(huán)[4.4.0]癸-5-烯、1-甲基雙胍、1-乙基雙胍、1-正丁基雙胍、1-正十八烷基雙胍、1,1-二甲基雙胍、1,1-二乙基雙胍、1-環(huán)己基雙胍、1-烯丙基雙胍、1-苯基雙胍、1-(鄰甲苯基)雙胍等，優(yōu)選雙氰胺、1,5,7-三氮雜雙環(huán)[4.4.0]癸-5-烯。

作為金屬系固化促進(jìn)劑，例如，可舉出鈷、銅、鋅、鐵、鎳、錳、錫等金屬的有機金屬絡(luò)合物或有機金屬鹽。作為有機金屬絡(luò)合物的具體例，可舉出乙酰丙酮鈷(ii)、乙酰丙酮鈷(iii)等有機鈷絡(luò)合物、乙酰丙酮銅(ii)等有機銅絡(luò)合物、乙酰丙酮鋅(ii)等有機鋅絡(luò)合物、乙酰丙酮鐵(iii)等有機鐵絡(luò)合物、乙酰丙酮鎳(ii)等有機鎳絡(luò)合物、乙酰丙酮錳(ii)等有機錳絡(luò)合物等。作為有機金屬鹽，例如，可舉出辛酸鋅、辛酸錫、環(huán)烷酸鋅、環(huán)烷酸鈷、硬脂酸錫、硬脂酸鋅等。

作為有機過氧化物系固化促進(jìn)劑，例如，可舉出二枯基過氧化物、環(huán)己酮過氧化物、過氧苯甲酸叔丁酯、甲基乙基酮過氧化物、二枯基過氧化物、叔丁基枯基過氧化物、二叔丁基過氧化物、過氧化氫二異丙苯、過氧化氫異丙苯、叔丁基過氧化氫等。作為有機過氧化物系固化促進(jìn)劑，可使用市售品，例如，可舉出日油公司制的“percumyld”等。

第一樹脂組合物中的固化促進(jìn)劑的含量沒有特別限制，在將環(huán)氧樹脂和固化劑的不揮發(fā)成分作為100質(zhì)量%時，優(yōu)選為0.01質(zhì)量%～3質(zhì)量%。

-(f)阻燃劑-

第一樹脂組合物可包含(f)阻燃劑。作為阻燃劑，例如，可舉出有機磷系阻燃劑、有機系含氮的磷化合物、氮化合物、有機硅系阻燃劑、金屬氫氧化物等。阻燃劑可單獨使用1種，或者也可并用2種以上。

作為阻燃劑，可使用市售品，例如，可舉出三光株式會社制的“hca-hq”、大八化學(xué)工業(yè)株式會社制的“px-200”等。

第一樹脂組合物含有阻燃劑時，阻燃劑的含量沒有特別限制，優(yōu)選為0.5質(zhì)量%～20質(zhì)量%，更優(yōu)選為0.5質(zhì)量%～15質(zhì)量%，進(jìn)一步優(yōu)選為0.5質(zhì)量%～10質(zhì)量%。

-(g)有機填充材料-

對于樹脂組合物而言，從提高伸長率的觀點考慮，可包含(g)有機填充材料。作為有機填充材料，可使用在形成印刷布線板的絕緣層時可使用的任意的有機填充材料，例如，可舉出橡膠粒子、聚酰胺微粒、有機硅粒子等。

作為橡膠粒子，可使用市售品，例如，可舉出陶氏化學(xué)日本株式會社制的“exl2655”、ガンツ化成株式會社制的“ac3816n”等。

第一樹脂組合物含有有機填充材料時，有機填充材料的含量優(yōu)選為0.1質(zhì)量%～20質(zhì)量%，更優(yōu)選為0.2質(zhì)量%～10質(zhì)量%，進(jìn)一步優(yōu)選為0.3質(zhì)量%～5質(zhì)量%、或0.5質(zhì)量%～3質(zhì)量%。

-(h)任選的添加劑-

根據(jù)需要，第一樹脂組合物還可包含其他添加劑，作為所述其他添加劑，例如，可舉出有機銅化合物、有機鋅化合物及有機鈷化合物等有機金屬化合物、以及增稠劑、消泡劑、均化劑、密合性賦予劑、及著色劑等樹脂添加劑等。

(第二樹脂組合物)

形成第二樹脂組合物層的第二樹脂組合物包含(a)無機填充材料，對于(a)成分的含量而言，將第二樹脂組合物中的不揮發(fā)成分作為100質(zhì)量%時，如果是60質(zhì)量%以上，即組成與第一樹脂組合物不同，就沒有特別限制，作為第二樹脂組合物，優(yōu)選包含無機填充材料、環(huán)氧樹脂、及固化劑。

作為第二樹脂組合物中的無機填充材料，可舉出與在(第一樹脂組合物)欄中說明的無機填充材料同樣的無機填充材料。

第二樹脂組合物中的無機填充材料的平均粒徑?jīng)]有特別限制，從通孔(via)的側(cè)壁形狀均勻性的觀點考慮，優(yōu)選為2.5μm以下，更優(yōu)選為2.0μm以下，進(jìn)一步優(yōu)選為1.5μm以下。該平均粒徑的下限沒有特別限制，優(yōu)選為0.8μm以上，更優(yōu)選為0.9μm以上，進(jìn)一步優(yōu)選為1.0μm以上。作為具有這樣的平均粒徑的無機填充材料的市售品，例如，可舉出新日鐵住金材料株式會社制“sp60-05”、“sp507-05”、株式會社admatechs制“yc100c”、“ya050c”、“ya050c-mje”、“ya010c”、電氣化學(xué)工業(yè)株式會社制“ufp-30”、株式會社德山(トクヤマ)制“シルフィルnss-3n”、“シルフィルnss-4n”、“シルフィルnss-5n”、株式會社admatechs制“sc2500sq”、“so-c4”、“so-c2”、“so-c1”等。

將第一樹脂組合物中的無機填充材料的平均粒徑記為r1(μm)，將第二樹脂組合物中的無機填充材料的平均粒徑記為r2(μm)時，優(yōu)選滿足r1≤r2的關(guān)系。另外，r1與r2之比(r2/r1)優(yōu)選為1以上，更優(yōu)選為1.1以上，進(jìn)一步優(yōu)選為1.5以上、或為2以上。r2/r1的上限沒有特別限制，優(yōu)選為15以下，更優(yōu)選為10以下，進(jìn)一步優(yōu)選為8以下。需要說明的是，例如，在第一樹脂組合物含有多種無機填充材料時，將多種無機填充材料的各平均粒徑的平均值記為r1(針對第二樹脂組合物也同樣。)。

作為第二樹脂組合物，從抑制翹曲的觀點考慮，將第二樹脂組合物中的不揮發(fā)成分作為100質(zhì)量%時的無機填充材料的含量為60質(zhì)量%以上，優(yōu)選為65質(zhì)量%以上，更優(yōu)選為67質(zhì)量%以上。第二樹脂組合物中的無機填充材料的含量的上限優(yōu)選為95質(zhì)量%以下，更優(yōu)選為90質(zhì)量%以下，進(jìn)一步優(yōu)選為80質(zhì)量%以下。

將第一樹脂組合物中的無機填充材料的含量記為a1(質(zhì)量%)，將第二樹脂組合物中的無機填充材料的含量記為a2(質(zhì)量%)時，優(yōu)選滿足a1＜a2的關(guān)系。另外，a1和a2之差(a2-a1)優(yōu)選為30質(zhì)量%以上，更優(yōu)選為40質(zhì)量%以上，進(jìn)一步優(yōu)選為50質(zhì)量%以上。差(a2-a1)的上限沒有特別限制，通常可以為90質(zhì)量%以下、80質(zhì)量%以下等。

在一個實施方式中，第二樹脂組合物除了包含無機填充材料之外，還包含環(huán)氧樹脂及固化劑。根據(jù)需要，第二樹脂組合物還可包含熱塑性樹脂、固化促進(jìn)劑、阻燃劑及有機填充材料等添加劑。

作為第二樹脂組合物中包含的環(huán)氧樹脂、固化劑及添加劑，可舉出與在＜第一樹脂組合物＞欄中說明的(b)環(huán)氧樹脂、(c)固化劑、及添加劑同樣的物質(zhì)。

對于第二樹脂組合物中的環(huán)氧樹脂的含量而言，從得到顯示良好的機械強度、絕緣可靠性的絕緣層的觀點考慮，優(yōu)選為0.1質(zhì)量%以上，更優(yōu)選為5質(zhì)量%以上，進(jìn)一步優(yōu)選為10質(zhì)量%以上。環(huán)氧樹脂的含量的上限沒有特別限制，只要起到本發(fā)明的效果即可，優(yōu)選為30質(zhì)量%以下，更優(yōu)選為25質(zhì)量%以下，進(jìn)一步優(yōu)選為22質(zhì)量%以下。因此，第二樹脂組合物中的(b)環(huán)氧樹脂的含量優(yōu)選為0.1～30質(zhì)量%，更優(yōu)選為5～25質(zhì)量%，進(jìn)一步優(yōu)選為8～22質(zhì)量%。

將第一樹脂組合物中的環(huán)氧樹脂的含量記為b1(質(zhì)量%)，將第二樹脂組合物中的環(huán)氧樹脂的含量記為b2(質(zhì)量%)時，優(yōu)選滿足b1＞b2的關(guān)系。另外，b1與b2之差(b1-b2)優(yōu)選為5質(zhì)量%以上，更優(yōu)選為8質(zhì)量%以上，進(jìn)一步優(yōu)選為10質(zhì)量%以上。差(b1-b2)的上限沒有特別限制，通常，可以為60質(zhì)量%以下、50質(zhì)量%以下等。

在并用液態(tài)環(huán)氧樹脂和固態(tài)環(huán)氧樹脂作為環(huán)氧樹脂時，它們的量比(液態(tài)環(huán)氧樹脂：固態(tài)環(huán)氧樹脂)以質(zhì)量比計優(yōu)選為1：0.1～1：15的范圍。通過使液態(tài)環(huán)氧樹脂與固態(tài)環(huán)氧樹脂的量比為上述范圍，由此，可得到下述效果：i)在以樹脂片的形態(tài)使用時，可帶來適度的粘合性；ii)在以樹脂片的形態(tài)使用時，可得到充分的撓性，處理性提高；以及，iii)可得到具有充分的斷裂強度的固化物；等等。從上述i)～iii)的效果的觀點考慮，液態(tài)環(huán)氧樹脂與固態(tài)環(huán)氧樹脂的量比(液態(tài)環(huán)氧樹脂：固態(tài)環(huán)氧樹脂)以質(zhì)量比計更優(yōu)選為1：0.3～1：10的范圍，進(jìn)一步優(yōu)選為1：0.6～1：8的范圍。

需要說明的是，第二樹脂組合物中的環(huán)氧樹脂的環(huán)氧當(dāng)量及環(huán)氧樹脂的重均分子量的優(yōu)選范圍與第一樹脂組合物中包含的環(huán)氧樹脂同樣。

第二樹脂組合物中的固化劑的含量沒有特別限制，從得到低介質(zhì)損耗角正切的絕緣層的觀點考慮，優(yōu)選為0.1質(zhì)量%以上，更優(yōu)選為1質(zhì)量%以上，進(jìn)一步優(yōu)選為5質(zhì)量%以上。固化劑的含量的上限沒有特別限制，只要起到本發(fā)明的效果即可，優(yōu)選為20質(zhì)量%以下，更優(yōu)選為15質(zhì)量%以下，進(jìn)一步優(yōu)選為12質(zhì)量%以下。因此，第二樹脂組合物中的固化劑的含量優(yōu)選為0.1～20質(zhì)量%，更優(yōu)選為1～15質(zhì)量%，進(jìn)一步優(yōu)選為5～12質(zhì)量%。

對于第二樹脂組合物中的環(huán)氧樹脂與固化劑的量比而言，以[環(huán)氧樹脂的環(huán)氧基的合計數(shù)]：[固化劑的反應(yīng)基團(tuán)的合計數(shù)]的比率計，優(yōu)選為1：0.2～1：2的范圍，更優(yōu)選為1：0.3～1：1.5，進(jìn)一步優(yōu)選為1：0.4～1：1。通過使環(huán)氧樹脂與固化劑的量比為上述范圍，從而第二樹脂組合物的固化物的耐熱性進(jìn)一步提高。

第二樹脂組合物中的熱塑性樹脂的含量沒有特別限制，優(yōu)選為0質(zhì)量%～10質(zhì)量%，更優(yōu)選為0.2質(zhì)量%～8質(zhì)量%，進(jìn)一步優(yōu)選為0.5質(zhì)量%～5質(zhì)量%。

第二樹脂組合物中的固化促進(jìn)劑的含量沒有特別限制，優(yōu)選以0.001質(zhì)量%～3質(zhì)量%的范圍使用。

第二樹脂組合物中的阻燃劑的含量沒有特別限制，優(yōu)選為0.2質(zhì)量%～20質(zhì)量%，更優(yōu)選為0.5質(zhì)量%～15質(zhì)量%，進(jìn)一步優(yōu)選為0.8質(zhì)量%～10質(zhì)量%。

第二樹脂組合物中的有機填充材料的含量優(yōu)選為0.1質(zhì)量%～20質(zhì)量%，更優(yōu)選為0.2質(zhì)量%～10質(zhì)量%。

第二樹脂組合物與第一樹脂組合物同樣，根據(jù)需要，可包含任意的添加劑，例如，有機銅化合物、有機鋅化合物及有機鈷化合物等有機金屬化合物、以及有機填料、增稠劑、消泡劑、均化劑、密合性賦予劑、及著色劑等樹脂添加劑等。

[帶支撐體的樹脂片]

本發(fā)明的帶支撐體的樹脂片是具有支撐體、和設(shè)置在支撐體上的樹脂片的帶支撐體的樹脂片，樹脂片具有：設(shè)置于支撐體側(cè)的由第一樹脂組合物形成的第一樹脂組合物層、和設(shè)置在與支撐體側(cè)相反的一側(cè)的由第二樹脂組合物形成的第二樹脂組合物層；第一樹脂組合物包含(a)無機填充材料，將第一樹脂組合物中的不揮發(fā)成分作為100質(zhì)量%時，(a)成分的含量為30質(zhì)量%以下，第二樹脂組合物包含(a)無機填充材料，將第二樹脂組合物中的不揮發(fā)成分作為100質(zhì)量%時，(a)成分的含量為60質(zhì)量%以上，第一熱固化物的導(dǎo)熱系數(shù)與第二熱固化物的導(dǎo)熱系數(shù)之差為0.4w/mk以下，所述第一熱固化物是使第一樹脂組合物于100℃熱固化30分鐘、進(jìn)而于190℃熱固化90分鐘而得到的，所述第二熱固化物是使第二樹脂組合物于100℃熱固化30分鐘、進(jìn)而于190℃熱固化90分鐘而得到的。

將本發(fā)明的帶支撐體的樹脂片的一例示于圖2。圖2中，帶支撐體的樹脂片10具有支撐體11、和設(shè)置于支撐體11上的樹脂片12。圖2中，樹脂片12包括：設(shè)置于支撐體側(cè)的第一樹脂組合物層13、以及設(shè)置在與支撐體側(cè)相反的一側(cè)的第二樹脂組合物層14。

以下，對本發(fā)明的帶支撐體的樹脂片的支撐體及樹脂片進(jìn)行詳細(xì)說明。

＜支撐體＞

作為支撐體，例如，可優(yōu)選舉出由塑料材料形成的膜、金屬箔、脫模紙，優(yōu)選為由塑料材料形成的膜、金屬箔。

使用由塑料材料形成的膜作為支撐體時，作為塑料材料，例如，可舉出聚對苯二甲酸乙二醇酯(以下有時簡稱為“pet”。)、聚萘二甲酸乙二醇酯(以下有時簡稱為“pen”。)等聚酯、聚碳酸酯(以下有時簡稱為“pc”。)、聚甲基丙烯酸甲酯(pmma)等丙烯酸類、環(huán)狀聚烯烴、三乙酰纖維素(tac)、聚醚硫化物(pes)、聚醚酮、聚酰亞胺等。其中，優(yōu)選為聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯，特別優(yōu)選廉價的聚對苯二甲酸乙二醇酯。

使用金屬箔作為支撐體時，作為金屬箔，例如，可舉出銅箔、鋁箔等，優(yōu)選為銅箔。作為銅箔，可使用由單獨的金屬銅形成的箔，也可使用由銅與其他金屬(例如，錫、鉻、銀、鎂、鎳、鋯、硅、鈦等)的合金形成的箔。

對于支撐體而言，可對與第一樹脂組合物層接合的面實施消光處理、電暈處理。

另外，作為支撐體，可使用在與第一樹脂組合物層接合的面上具有脫模層的帶有脫模層的支撐體。作為在帶有脫模層的支撐體的脫模層中使用的脫模劑，例如，可舉出選自由醇酸樹脂、聚烯烴樹脂、聚氨酯樹脂、及有機硅樹脂組成的組中的1種以上的脫模劑。帶有脫模層的支撐體可使用市售品，例如，可舉出作為具有以醇酸樹脂系脫模劑為主成分的脫模層的pet膜的琳得科株式會社制的“sk-1”、“al-5”、“al-7”等。

作為支撐體的厚度，沒有特別限制，優(yōu)選為5μm～75μm的范圍，更優(yōu)選為10μm～60μm的范圍。需要說明的是，在使用帶有脫模層的支撐體時，優(yōu)選帶有脫模層的支撐體整體的厚度為上述范圍。

＜樹脂片＞

樹脂片具有：設(shè)置于支撐體側(cè)的第一樹脂組合物層、和設(shè)置在與支撐體側(cè)相反的一側(cè)的由第二樹脂組合物形成的第二樹脂組合物層，所述第二樹脂組合物與形成第一樹脂組合物層的第一樹脂組合物為不同的組成。

本發(fā)明的帶支撐體的樹脂片中，樹脂片的厚度優(yōu)選為3μm以上，更優(yōu)選為5μm以上。對于樹脂片的厚度的上限而言，從導(dǎo)體上的樹脂層的厚度設(shè)定的觀點考慮，優(yōu)選為40μm以下，更優(yōu)選為35μm以下，進(jìn)一步優(yōu)選為30μm以下、或為25μm以下。

由第一樹脂組合物形成的第一樹脂組合物層的厚度優(yōu)選為10μm以下，更優(yōu)選為7μm以下，進(jìn)一步優(yōu)選為8μm以下。第一樹脂組合物層的厚度的下限沒有特別限制，從得到在粗糙化處理后相對于導(dǎo)體層呈現(xiàn)優(yōu)異的剝離強度的絕緣層的觀點、帶支撐體的樹脂片的制造容易性的觀點考慮，通常，可以為0.05μm以上、0.1μm以上等。通過存在第一樹脂組合物層，可提高鍍層剝離性。

由第二樹脂組合物形成的第二樹脂組合物層的厚度優(yōu)選為2.5μm以上，更優(yōu)選為5μm以上，進(jìn)一步優(yōu)選為7μm以上、8μm以上、9μm以上或10μm以上。第二樹脂組合物層的厚度的上限優(yōu)選為30μm以下，更優(yōu)選為25μm以下，進(jìn)一步優(yōu)選為20μm以下。通過存在第二樹脂組合物層，可抑制翹曲。

本發(fā)明的帶支撐體的樹脂片10可在樹脂片12的不與支撐體11接合的面(即，與支撐體相反的一側(cè)的面)上還包括保護(hù)膜。保護(hù)膜有助于防止灰塵等附著于樹脂片12的表面等，防止樹脂片12產(chǎn)生損傷。作為保護(hù)膜的材料，可使用與關(guān)于支撐體11而說明的材料相同的材料。保護(hù)膜的厚度沒有特別限制，例如，為1μm～40μm。對于帶支撐體的樹脂片10而言，制造印刷布線板時，可通過將保護(hù)膜剝離而使用。

使第一樹脂組合物于100℃熱固化30分鐘、進(jìn)而于190℃熱固化90分鐘而得到的第一熱固化物的導(dǎo)熱系數(shù)優(yōu)選為1w/mk以下，更優(yōu)選為0.7w/mk以下，進(jìn)一步優(yōu)選為0.5w/mk以下。對下限沒有特別限制，可以為0.01w/mk以上。導(dǎo)熱系數(shù)可按照后述的〔固化物的導(dǎo)熱系數(shù)的測定〕的步驟測定。

使第二樹脂組合物于100℃熱固化30分鐘、進(jìn)而于190℃熱固化90分鐘而得到的第二熱固化物的導(dǎo)熱系數(shù)優(yōu)選為1.5w/mk以下，更優(yōu)選為1.0w/mk以下，進(jìn)一步優(yōu)選為0.7w/mk以下。對下限沒有特別限制，可以為0.01w/mk以上。導(dǎo)熱系數(shù)可按照后述的〔固化物的導(dǎo)熱系數(shù)的測定〕的步驟測定。

本發(fā)明中，第一熱固化物與第二熱固化物的導(dǎo)熱系數(shù)之差為0.4w/mk以下。通過如上所述地使第一熱固化物與第二熱固化物的導(dǎo)熱系數(shù)之差為0.4w/mk以下，可減小在已固化的各熱固化物的界面的延伸方向產(chǎn)生的凹損部的長度。關(guān)于其機理，考慮是基于如下機理：通過減小第一熱固化物與第二熱固化物的導(dǎo)熱系數(shù)之差，從而因激光而導(dǎo)致的第一熱固化物與第二熱固化物的熱分解性變得均勻。

本發(fā)明中，第一熱固化物與第二熱固化物的導(dǎo)熱系數(shù)之差為0.4w/mk以下，優(yōu)選為0.35w/mk以下，更優(yōu)選為0.3w/mk以下。對于下限沒有特別限制，可以為0.01w/mk以上。

界面延伸方向的凹損部的長度如下定義。觀察通孔的垂直截面時，引出外插于通孔的側(cè)壁的直線，將從該直線至第一樹脂組合物層與第二樹脂組合物層的界面的距離記為凹損部的長度d。具體而言，對于凹損部的長度而言，圖3中所示的一例那樣，引出直線，凹損部的長度是指從第一樹脂組合物層與第二樹脂組合物層的界面至直線的距離d。

對于凹損部的長度而言，從抑制在進(jìn)行鍍覆加工時產(chǎn)生空隙的觀點考慮，優(yōu)選為2.0μm以下，更優(yōu)選為1.8μm以下，進(jìn)一步優(yōu)選為1.5μm以下、或1.4μm以下。對于下限沒有特別限制，為0.01μm以上。凹損部的長度可按照后述的“通孔的形狀的確認(rèn)(凹損部的長度和激光加工性的評價)”的步驟進(jìn)行測定。

對于本發(fā)明的帶支撐體的樹脂片而言，由于可減小在已固化的各樹脂組合物層的界面的延伸方向上產(chǎn)生的凹損部的長度，因此，顯示以下的特性：即使開口直徑(頂部直徑)為40μm以下，激光加工性也優(yōu)異。由此，印刷布線板的微細(xì)布線化成為可能。

[帶支撐體的樹脂片的制造方法]

以下，說明本發(fā)明的帶支撐體的樹脂片的制造方法的例子。

首先，在支撐體上形成由第一樹脂組合物形成的第一樹脂組合物層、和由第二樹脂組合物形成的第二樹脂組合物層。

作為形成第一樹脂組合物層及第二樹脂組合物層的方法，例如，可舉出以將第一樹脂組合物層與第二樹脂組合物層相互接合的方式進(jìn)行層疊方法。作為以將第一樹脂組合物層與第二樹脂組合物層相互接合的方式進(jìn)行層疊的方法，例如，可舉出下述方法：在支撐體上涂布第一樹脂組合物并使涂布膜干燥從而形成第一樹脂組合物層，然后在第一樹脂組合物層上涂布第二樹脂組合物，將涂布膜干燥而設(shè)置第二樹脂組合物層。

該方法中，第一樹脂組合物層可通過以下方法制作：制備將第一樹脂組合物溶解于有機溶劑中而成的樹脂清漆，利用金屬型涂布機(diecoater)等將該樹脂清漆涂布于支撐體上，使樹脂清漆干燥。

作為有機溶劑，例如，可舉出丙酮、甲基乙基酮及環(huán)己酮等酮類、乙酸乙酯、乙酸丁酯、溶纖劑乙酸酯、丙二醇單甲基醚乙酸酯及卡必醇乙酸酯等乙酸酯類、溶纖劑及丁基卡必醇等卡必醇類、甲苯及二甲苯等芳香族烴類、二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺及n-甲基吡咯烷酮等酰胺系溶劑等。有機溶劑可單獨使用1種，或者也可并用2種以上。

樹脂清漆的干燥可利用加熱、吹熱風(fēng)等公知的干燥方法實施。雖然隨著樹脂清漆中的有機溶劑的沸點的不同而不同，但例如使用包含30質(zhì)量%～60質(zhì)量%的有機溶劑的樹脂清漆時，通過于50℃～150℃干燥1分鐘～10分鐘，可在支撐體上形成第一樹脂組合物層。

上述方法中，第二樹脂組合物層可通過以下方法制作：制備將第二樹脂組合物溶解于有機溶劑而成的樹脂清漆，利用金屬型涂布機等將將該樹脂清漆涂布于在支撐體上形成的第一樹脂組合物層上，使樹脂清漆干燥。

作為溶解有第二樹脂組合物的樹脂清漆的制備中所用的有機溶劑，可使用與溶解有第一樹脂組合物的樹脂清漆的制備中所用的有機溶劑同樣的有機溶劑，溶解有第二樹脂組合物的樹脂清漆，可利用與溶解有第一樹脂組合物的樹脂清漆的干燥方法同樣的方法進(jìn)行干燥。

需要說明的是，除了上述的涂布法以外，樹脂片還可利用在1個涂布生產(chǎn)線上依序涂布2種樹脂清漆的串聯(lián)涂布法形成。另外，樹脂片還可利用以下方法形成：在第二樹脂組合物層上涂布第一樹脂組合物，將涂布膜干燥而設(shè)置第一樹脂組合物層的方法；以及，以將分別地準(zhǔn)備的第一樹脂組合物層與第二樹脂組合物層相互接合的方式進(jìn)行層疊的方法；等等。

此外，本發(fā)明中，例如，還可在保護(hù)膜上依序形成第二樹脂組合物層和第一樹脂組合物層，然后將支撐體層疊于第一樹脂組合物層上而制作帶支撐體的樹脂片。

[印刷布線板及印刷布線板的制造方法]

本發(fā)明的印刷布線板包含由本發(fā)明的帶支撐體的樹脂片中的樹脂片的固化物形成的絕緣層。另外，本發(fā)明的印刷布線板的制造方法包括：

工序(i)，將本發(fā)明的帶支撐體的樹脂片以第二樹脂組合物層與內(nèi)層基板接合的方式層疊在內(nèi)層基板上，

工序(ii)，將帶支撐體的樹脂片熱固化而形成絕緣層，以及，

工序(iii)，在絕緣層上形成通孔，除去支撐體。

工序(i)中使用的“內(nèi)層基板”主要是指玻璃環(huán)氧基板、金屬基板、聚酯基板、聚酰亞胺基板、bt樹脂基板、熱固化型聚苯醚基板等基板、或在該基板的一面或兩面形成有經(jīng)圖案加工的導(dǎo)體層(電路)的電路基板。另外，本發(fā)明中所說的“內(nèi)層基板”還包括在制造印刷布線板時、應(yīng)進(jìn)一步形成絕緣層及/或?qū)w層的中間制造物的內(nèi)層電路基板。印刷布線板為部件內(nèi)置電路板時，使用內(nèi)置有部件的內(nèi)層基板即可(也將導(dǎo)體層稱為布線層)。

內(nèi)層基板與帶支撐體的樹脂片的層疊例如可通過從支撐體側(cè)將帶支撐體的樹脂片加熱壓接于內(nèi)層基板而進(jìn)行。作為將帶支撐體的樹脂片加熱壓接于內(nèi)層基板的構(gòu)件(以下也稱為“加熱壓接構(gòu)件”。)，例如，可舉出經(jīng)加熱的金屬板(sus端板等)或金屬輥(sus輥)等。需要說明的是，優(yōu)選的是，并非直接將加熱壓接構(gòu)件向帶支撐體的樹脂片加壓，而是隔著耐熱橡膠等彈性材料進(jìn)行加壓，以使得帶支撐體的樹脂片充分追隨內(nèi)層基板的表面凹凸。

內(nèi)層基板與帶支撐體的樹脂片的層疊可利用真空層壓法實施。真空層壓法中，加熱壓接溫度優(yōu)選為60℃～160℃，更優(yōu)選為80℃～140℃的范圍，加熱壓接壓力優(yōu)選為0.098mpa～1.77mpa，更優(yōu)選為0.29mpa～1.47mpa的范圍，加熱壓接時間優(yōu)選為20秒～400秒，更優(yōu)選為30秒～300秒的范圍。層疊優(yōu)選在壓力為26.7hpa以下的減壓條件下實施。

層疊可利用市售的真空層壓裝置進(jìn)行。作為市售的真空層壓裝置，例如，可舉出株式會社名機制作所制的真空加壓式層壓裝置、nikko-materials株式會社制的真空敷料器(vacuumapplicator)等。

在層疊后，在常壓下(大氣壓下)，例如，從支撐體側(cè)對加熱壓接構(gòu)件進(jìn)行加壓，由此，可進(jìn)行層疊的樹脂片的平滑化處理。平滑化處理的加壓條件可設(shè)定為與上述層疊的加熱壓接條件同樣的條件。平滑化處理可利用市售的層壓裝置進(jìn)行。需要說明的是，層疊與平滑化處理可使用上述的市售的真空層壓裝置連續(xù)地進(jìn)行。

工序(ii)中，將帶支撐體的樹脂片的樹脂片熱固化而形成絕緣層。

樹脂片(第一及第二樹脂組合物層)的熱固化條件沒有特別限制，可使用在形成印刷布線板的絕緣層時通常可采用的條件。

例如，樹脂片的熱固化條件根據(jù)第一及第二樹脂組合物的種類等的不同而不同，可使固化溫度為120℃～240℃的范圍(優(yōu)選為150℃～220℃的范圍，更優(yōu)選為170℃～200℃的范圍)，固化時間為5分鐘～120分鐘的范圍(優(yōu)選為10分鐘～100分鐘，更優(yōu)選為15分鐘～90分鐘)。

在使樹脂片熱固化之前，可在比固化溫度更低的溫度下對樹脂片進(jìn)行預(yù)加熱。例如，在使樹脂片熱固化之前，在50℃以上且低于120℃(優(yōu)選為60℃以上110℃以下，更優(yōu)選為70℃以上100℃以下)的溫度下，對樹脂片進(jìn)行5分鐘以上(優(yōu)選為5分鐘～150分鐘，更優(yōu)選為15分鐘～120分鐘)預(yù)加熱。

工序(iii)中，在絕緣層上形成通孔，除去支撐體。通孔的形成沒有特別限制，可舉出激光照射、蝕刻、機械鉆孔等，優(yōu)選利用激光照射進(jìn)行。從進(jìn)一步抑制凹損部產(chǎn)生的觀點考慮，優(yōu)選在絕緣層上形成通孔之后剝離支撐體，詳細(xì)而言，優(yōu)選在利用激光在絕緣層上形成通孔之后將支撐體剝離。

該激光照射可利用使用二氧化碳激光、yag激光、準(zhǔn)分子激光等作為光源的任意的合適的激光加工機進(jìn)行。作為可使用的激光加工機，例如，可舉出維亞機械(viamechanics)株式會社制co2激光加工機“l(fā)c-2k212/2c”、三菱電機株式會社制的605gtwiii(-p)、松下溶接システム(panasonicweldingsystems)株式會社制的激光加工機。

激光照射的條件沒有特別限制，激光照射可通過按照與選擇的手段對應(yīng)的常規(guī)方法的任意的合適的工序?qū)嵤?/p>

通孔的形狀、即沿延伸方向觀察時的開口的輪廓的形狀沒有特別限制，通常為圓形(大致圓形)。以下，在提到通孔的“徑(直徑)”時，是指沿延伸方向觀察時的開口的輪廓的徑(直徑)。本說明書中，開口直徑(頂部直徑)是指通孔的絕緣層(第一樹脂組合物層的固化物)側(cè)的輪廓的直徑，底部直徑r2是指通孔的布線層側(cè)的輪廓的直徑。

優(yōu)選以通孔的開口直徑r1成為下述值的方式形成通孔：優(yōu)選為40μm以下，更優(yōu)選為35μm以下，進(jìn)一步優(yōu)選為30μm以下、或25μm以下。

可按照開口直徑r1大于底部直徑r2的方式形成通孔，也可按照通孔的開口直徑r1與通孔的底部直徑r2相同的方式形成通孔。如果這樣做，則通孔的埋入性變得良好，可抑制空隙產(chǎn)生。

在制造印刷布線板時，可進(jìn)一步實施(iv)對絕緣層進(jìn)行粗糙化處理的工序；(v)形成導(dǎo)體層的工序。上述工序(iv)～(v)可按照印刷布線板的制造中可使用的本領(lǐng)域技術(shù)人員公知的各種方法實施。

工序(iv)是對絕緣層進(jìn)行粗糙化處理的工序。粗糙化處理的步驟、條件沒有特別限制，可采用在形成印刷布線板的絕緣層時通常使用的公知的步驟、條件。例如，可依次實施基于溶脹液的溶脹處理、基于氧化劑的粗糙化處理、基于中和液的中和處理，對絕緣層進(jìn)行粗糙化處理。作為溶脹液，沒有特別限制，可舉出堿溶液、表面活性劑溶液等，優(yōu)選為堿溶液，作為該堿溶液，更優(yōu)選為氫氧化鈉溶液、氫氧化鉀溶液。作為市售的溶脹液，例如，可舉出atotechjapan株式會社制的“swellingdipsecuriganthp”、“swellingdipsecuriganthsbu”等。基于溶脹液的溶脹處理沒有特別限制，例如，可通過將絕緣層浸漬于30℃～90℃的溶脹液中1分鐘～20分鐘而進(jìn)行。從將絕緣層的樹脂的溶脹抑制為適度的水平的觀點考慮，優(yōu)選將固化體浸漬于40℃～80℃的溶脹液中5分鐘～15分鐘。作為氧化劑(粗糙化液)，沒有特別限制，例如，可舉出在氫氧化鈉的水溶液中溶解高錳酸鉀、高錳酸鈉而成的堿性高錳酸溶液。基于堿性高錳酸溶液等氧化劑的粗糙化處理可通過將絕緣層浸漬于已加熱至60℃～80℃的氧化劑溶液中10分鐘～30分鐘而進(jìn)行。另外，堿性高錳酸溶液中的高錳酸鹽的濃度優(yōu)選為5質(zhì)量%～10質(zhì)量%。作為市售的氧化劑，例如，可舉出atotechjapan株式會社制的“concentratecompactcp”、“concentratecompactp”、“dosingsolutionsecuriganthp”等堿性高錳酸溶液。另外，作為中和液，優(yōu)選為酸性的水溶液，作為市售品，例如，可舉出atotechjapan株式會社制的“reductionsolutionsecuriganthp”?；谥泻鸵旱奶幚砜赏ㄟ^將進(jìn)行了基于氧化劑的粗糙化處理的處理面浸漬于30℃～80℃的中和液中5分鐘～30分鐘而進(jìn)行。從操作性等方面考慮，優(yōu)選將進(jìn)行了基于氧化劑的粗糙化處理的對象物浸漬于40℃～70℃的中和液中5分鐘～20分鐘的方法。

工序(v)是形成導(dǎo)體層的工序。

導(dǎo)體層中使用的導(dǎo)體材料沒有特別限制。在優(yōu)選的實施方式中，導(dǎo)體層包含選自由金、鉑、鈀、銀、銅、鋁、鈷、鉻、鋅、鎳、鈦、鎢、鐵、錫及銦組成的組中的1種以上的金屬。導(dǎo)體層可以為單金屬層，也可以為合金層，作為合金層，例如，可舉出由選自上述組中的2種以上的金屬的合金(例如，鎳-鉻合金、銅-鎳合金及銅-鈦合金)形成的層。其中，從導(dǎo)體層形成的通用性、成本、圖案形成的容易性等觀點考慮，優(yōu)選為鉻、鎳、鈦、鋁、鋅、金、鈀、銀或銅的單金屬層、或鎳-鉻合金、銅-鎳合金、銅-鈦合金的合金層，更優(yōu)選為鉻、鎳、鈦、鋁、鋅、金、鈀、銀或銅的單金屬層、或鎳-鉻合金的合金層，進(jìn)一步優(yōu)選為銅的單金屬層。

導(dǎo)體層可以為單層結(jié)構(gòu)，也可以為由不同種類的金屬或合金形成的單金屬層或合金層層疊2層以上而成的多層結(jié)構(gòu)。導(dǎo)體層為多層結(jié)構(gòu)時，與絕緣層接觸的層優(yōu)選為鉻、鋅或鈦的單金屬層、或鎳-鉻合金的合金層。

導(dǎo)體層的厚度取決于所期望的印刷布線板的設(shè)計，通常為3μm～35μm，優(yōu)選為5μm～30μm。

在一個實施方式中，導(dǎo)體層可通過鍍覆形成。例如，可利用半添加法、全添加法等以往公知的技術(shù)在絕緣層的表面上進(jìn)行鍍覆，形成具有所期望的布線圖案的導(dǎo)體層。以下，示出利用半添加法形成導(dǎo)體層的例子。

首先，利用化學(xué)鍍(無電解めっき)在絕緣層的表面上形成鍍覆籽晶層(めっきシード層)。接下來，在形成的鍍覆籽晶層上，對應(yīng)于所期望的布線圖案，形成使鍍覆籽晶層的一部分露出的掩模圖案。在露出的鍍覆籽晶層上，利用電解鍍覆形成金屬層，然后，除去掩模圖案。然后，利用蝕刻等將不需要的鍍覆籽晶層除去，可形成具有所期望的布線圖案的導(dǎo)體層。

[半導(dǎo)體裝置]

本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置包括本發(fā)明的印刷布線板。本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置可使用本發(fā)明的印刷布線板制造。

作為半導(dǎo)體裝置，可舉出被供于電氣制品(例如，計算機、移動電話、數(shù)碼相機及電視機等)及交通工具(例如，摩托車、汽車、電車、船舶及飛機等)等的各種半導(dǎo)體裝置。

本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置可通過在印刷布線板的導(dǎo)通位置安裝部件(半導(dǎo)體芯片)而制造?！皩?dǎo)通位置”是指“印刷布線板中的傳遞電信號的位置”，其位置為表面、或為被埋入的位置均可。另外，半導(dǎo)體芯片只要是以半導(dǎo)體為材料的電氣電路元件，就沒有特別限制。

對于制造本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置時的半導(dǎo)體芯片的安裝方法而言，只要使半導(dǎo)體芯片有效地發(fā)揮功能即可，沒有特別限制，具體而言，可舉出引線鍵合安裝方法、倒裝芯片安裝方法、基于內(nèi)建非凹凸層(bumplessbuild-uplayer,bbul)的安裝方法、基于各向異性導(dǎo)電膜(acf)的安裝方法、基于非導(dǎo)電性膜(ncf)的安裝方法等等。此處，“基于內(nèi)建非凹凸層(bbul)的安裝方法”是指，“將半導(dǎo)體芯片直接埋入印刷布線板的凹部，使半導(dǎo)體芯片與印刷布線板上的布線連接的安裝方法”。

實施例

以下，利用實施例具體地說明本發(fā)明，但本發(fā)明不受這些實施例的限制。需要說明的是，在以下的記載中，對于“份”及“%”而言，只要沒有另行明確說明，分別表示“質(zhì)量份”及“質(zhì)量%”。

[帶支撐體的樹脂片的制作]

使用利用以下的步驟制備的樹脂清漆(樹脂組合物)，制作實施例及比較例的帶支撐體的樹脂片。

(樹脂清漆1的制備)

一邊攪拌一邊使聯(lián)二甲酚型環(huán)氧樹脂(三菱化學(xué)株式會社制“yx4000hk”，環(huán)氧當(dāng)量約為185)10份、聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂(日本化藥株式會社制“nc3000l”，環(huán)氧當(dāng)量為288)25份、及苯氧基樹脂(三菱化學(xué)株式會社制“yx7553bh30”，固體成分為30質(zhì)量%的環(huán)己酮：甲基乙基酮(mek)的1：1溶液)20份加熱溶解于溶劑石腦油5份和環(huán)己酮5份的混合溶劑中。冷卻至室溫后，在其中混合含有三嗪骨架的線型酚醛樹脂系固化劑(羥基當(dāng)量為125，dic株式會社制“l(fā)a-7054”，固體成分為60%的mek溶液)10份、聯(lián)苯酚醛樹脂系固化劑(羥基當(dāng)量為218，明和化成株式會社制“meh-7851h”，固體成分為60%的mek溶液)15份、聚乙烯醇縮丁醛樹脂(玻璃化轉(zhuǎn)變溫度105℃，積水化學(xué)工業(yè)株式會社制“ks-1”的固體成分15%的乙醇與甲苯的1：1的混合溶液)10份、胺系固化促進(jìn)劑(4-二甲基氨基吡啶(dmap)，固體成分5質(zhì)量%的mek溶液)1份、咪唑系固化促進(jìn)劑(三菱化學(xué)株式會社制“p200-h50”，固體成分為50質(zhì)量%的丙二醇單甲基醚溶液)2份、用氨基硅烷系偶聯(lián)劑(信越化學(xué)工業(yè)株式會社制“kbm573”)進(jìn)行了表面處理的球狀二氧化硅(新日鐵住金材料株式會社制“sph516-05”，平均粒徑為0.2μm，每單位表面積的碳量為0.43mg/m²)22份，用高速旋轉(zhuǎn)混合機將其均勻分散，然后，用筒式過濾器(rokitechno制“shp020”)進(jìn)行過濾，制備樹脂清漆1。

(樹脂清漆2的制備)

一邊攪拌一邊使雙酚f型環(huán)氧樹脂(三菱化學(xué)株式會社制“1750”，環(huán)氧當(dāng)量約為159)5份、聯(lián)二甲酚型環(huán)氧樹脂(三菱化學(xué)株式會社制“yx4000hk”，環(huán)氧當(dāng)量約為185)10份、聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂(日本化藥株式會社制“nc3000l”，環(huán)氧當(dāng)量為288)20份、萘型環(huán)氧樹脂(dic株式會社制“hp-4710”，環(huán)氧當(dāng)量約為170)3份、及苯氧基樹脂(三菱化學(xué)株式會社制“yx7553bh30”，固體成分為30質(zhì)量%的環(huán)己酮：甲基乙基酮(mek)的1：1溶液)5份加熱溶解于溶劑石腦油20份及環(huán)己酮5份的混合溶劑中。冷卻至室溫后，在其中混合含有三嗪骨架的線型酚醛樹脂系固化劑(羥基當(dāng)量為125，dic株式會社制“l(fā)a-7054”，固體成分為60%的mek溶液)5份、含有三嗪骨架的甲酚甲醛樹脂系固化劑(羥基當(dāng)量為151，dic株式會社制“l(fā)a-3018-50p”，固體成分為50%的2-甲氧基丙醇溶液)10份、萘酚系固化劑(新日鐵住金化學(xué)株式會社制“sn485”，羥基當(dāng)量為215，固體成分為60%的mek溶液)10份、胺系固化促進(jìn)劑(4-二甲基氨基吡啶(dmap)，固體成分為5質(zhì)量%的mek溶液)1份、阻燃劑(三光株式會社制“hca-hq”、10-(2,5-二羥基苯基)-10-氫-9-氧雜-10-磷雜菲-10-氧化物，平均粒徑為1.5μm)3份、用氨基硅烷系偶聯(lián)劑(信越化學(xué)工業(yè)株式會社制“kbm573”)進(jìn)行了表面處理的球狀二氧化硅(新日鐵住金材料株式會社制“sp60-05”，平均粒徑為1.3μm，每單位表面積的碳量為0.30mg/m²)190份，用高速旋轉(zhuǎn)混合機將其均勻分散，然后，用筒式過濾器(rokitechno制“shp050”)進(jìn)行過濾，制備樹脂清漆2。

(樹脂清漆3的制備)

一邊攪拌一邊使萘型環(huán)氧樹脂(環(huán)氧當(dāng)量144，dic株式會社制“hp4032ss”)5份、聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂(日本化藥株式會社制“nc3100”，環(huán)氧當(dāng)量為258)5份、亞萘基醚型環(huán)氧樹脂(dic株式會社制“exa-7311”，環(huán)氧當(dāng)量為277)20份、及苯氧基樹脂(三菱化學(xué)株式會社制“yx7553bh30”，固體成分為30質(zhì)量%的環(huán)己酮：甲基乙基酮(mek)的1：1溶液)6份加熱溶解于溶劑石腦油5份和環(huán)己酮5份的混合溶劑中。冷卻至室溫后，混合活性酯化合物(dic株式會社制“hpc-8000-65t”，重均分子量約為2700，活性基當(dāng)量約223的不揮發(fā)成分65質(zhì)量%的甲苯溶液)5份、碳二亞胺樹脂(nisshinbochemical株式會社制“v-03”、不揮發(fā)成分50質(zhì)量%的甲苯溶液)5份、雙酚a二氰酸酯的預(yù)聚物(lonzajapan株式會社制“ba230s75”、氰酸酯當(dāng)量約232、不揮發(fā)成分75質(zhì)量%的mek溶液)30份、固化促進(jìn)劑(4-二甲基氨基吡啶(dmap)，固體成分為5質(zhì)量%的mek溶液)1份、咪唑系固化促進(jìn)劑(三菱化學(xué)株式會社制“p200-h50”，固體成分為50質(zhì)量%的丙二醇單甲基醚溶液)0.1份、固化促進(jìn)劑(東京化成株式會社制，乙酰丙酮鈷(iii)[co(iii)ac，固體成分為1質(zhì)量%的mek溶液])3份、橡膠粒子(陶氏化學(xué)日本株式會社制，paraloidexl2655)2份、用苯基氨基硅烷系偶聯(lián)劑(信越化學(xué)工業(yè)株式會社制，“kbm573”)進(jìn)行了表面處理的球狀二氧化硅(新日鐵住金材料株式會社制“sph516-05”，平均粒徑為0.2μm，每單位表面積的碳量為0.43mg/m²)12份，用高速旋轉(zhuǎn)混合機將其均勻分散，然后，用筒式過濾器(rokitechno制“shp020”)進(jìn)行過濾，制備樹脂清漆3。

(樹脂清漆4的制備)

一邊攪拌一邊使雙酚a型環(huán)氧樹脂(三菱化學(xué)株式會社制“825”，環(huán)氧當(dāng)量約為176)10份、亞萘基醚型環(huán)氧樹脂(dic株式會社制“exa-7311”，環(huán)氧當(dāng)量為277)20份、及苯氧基樹脂(三菱化學(xué)株式會社制“yx7553bh30”，固體成分為30質(zhì)量%的環(huán)己酮：甲基乙基酮(mek)的1：1溶液)12份加熱溶解于溶劑石腦油12份及環(huán)己酮5份的混合溶劑中。冷卻至室溫后，混合活性酯化合物(dic株式會社制“hpc-8000-65t”，重均分子量約為2700，活性基當(dāng)量約223的不揮發(fā)成分65質(zhì)量%的甲苯溶液)30份、固化促進(jìn)劑(4-二甲基氨基吡啶，固體成分為5質(zhì)量%的mek溶液)2份、咪唑系固化促進(jìn)劑(四國化成工業(yè)株式會社制“1b2pz”1-芐基-2-苯基咪唑，固體成分為5%的mek溶液)0.5份、阻燃劑(三光株式會社制“hca-hq”、10-(2,5-二羥基苯基)-10-氫-9-氧雜-10-磷雜菲-10-氧化物，平均粒徑為2μm)3份、用氨基硅烷系偶聯(lián)劑(信越化學(xué)工業(yè)株式會社制“kbm573”)進(jìn)行了表面處理的球狀二氧化硅(新日鐵住金材料株式會社制“sp507-05”，平均粒徑為1.0μm，每單位表面積的碳量為0.35mg/m²)120份，用高速旋轉(zhuǎn)混合機將其均勻分散，然后，用筒式過濾器(rokitechno制“shp050”)進(jìn)行過濾，制備樹脂清漆4。

(樹脂清漆5的制備)

一邊攪拌一邊使雙酚f型環(huán)氧樹脂(三菱化學(xué)株式會社制“1750”，環(huán)氧當(dāng)量約為159)5份、聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂(日本化藥株式會社制“nc3000l”，環(huán)氧當(dāng)量為288)20份、聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂(日本化藥株式會社制“nc3100”，環(huán)氧當(dāng)量為258)3份、及苯氧基樹脂(三菱化學(xué)株式會社制“yx7553bh30”，固體成分為30質(zhì)量%的環(huán)己酮：甲基乙基酮(mek)的1：1溶液)12份加熱溶解于溶劑石腦油5份和環(huán)己酮5份的混合溶劑中。冷卻至室溫后，在其中混合含有三嗪骨架的甲酚甲醛樹脂系固化劑(羥基當(dāng)量為151，dic株式會社制“l(fā)a-3018-50p”，固體成分為50%的2-甲氧基丙醇溶液)5份、活性酯化合物(dic株式會社制“hpc-8000-65t”，重均分子量約為2700，活性基當(dāng)量約223的不揮發(fā)成分65質(zhì)量%的甲苯溶液)15份、胺系固化促進(jìn)劑(4-二甲基氨基吡啶(dmap)，固體成分為5質(zhì)量%的mek溶液)2份、咪唑系固化促進(jìn)劑(四國化成工業(yè)株式會社制“1b2pz”1-芐基-2-苯基咪唑，固體成分為5%的mek溶液)2份、環(huán)氧硅烷系偶聯(lián)劑(信越化學(xué)工業(yè)株式會社制“kbm403”)0.1份、微粉碳化硅(信濃電氣制煉株式會社制“ser-a06”，平均粒徑為0.6μm)5份，用高速旋轉(zhuǎn)混合機將其均勻分散，然后，用筒式過濾器(rokitechno制“shp030”)進(jìn)行過濾，制備樹脂清漆5。

(樹脂清漆6的制備)

一邊攪拌一邊使雙酚a型環(huán)氧樹脂(三菱化學(xué)株式會社制“825”，環(huán)氧當(dāng)量約為176)10份、二甲苯型環(huán)氧樹脂(三菱化學(xué)株式會社制“yx7700”，環(huán)氧當(dāng)量為270)25份、及苯氧基樹脂(三菱化學(xué)株式會社制“yx7553bh30”，固體成分為30質(zhì)量%的環(huán)己酮：甲基乙基酮(mek)的1：1溶液)20份加熱溶解于溶劑石腦油5份和環(huán)己酮5份的混合溶劑中。冷卻至室溫后，混合含有三嗪骨架的線型酚醛樹脂系固化劑(羥基當(dāng)量為125，dic株式會社制“l(fā)a-7054”，固體成分為60%的mek溶液)10份、萘酚系固化劑(新日鐵住金化學(xué)株式會社制“sn485”，羥基當(dāng)量為215，固體成分為60%的mek溶液)15份、聚乙烯醇縮丁醛樹脂(玻璃化轉(zhuǎn)變溫度105℃，積水化學(xué)工業(yè)株式會社制“ks-1”)的固體成分15%的乙醇與甲苯的1：1的混合溶液)10份、胺系固化促進(jìn)劑(4-二甲基氨基吡啶(dmap)，固體成分為5質(zhì)量%的mek溶液)1份、咪唑系固化促進(jìn)劑(三菱化學(xué)株式會社制“p200-h50”，固體成分為50質(zhì)量%的丙二醇單甲基醚溶液)2份、用氨基硅烷系偶聯(lián)劑(信越化學(xué)工業(yè)株式會社制“kbm573”)進(jìn)行了表面處理的球狀二氧化硅(株式會社admatechs制“so-c1”，平均粒徑為0.4μm，每單位表面積的碳量為0.35mg/m²)22份，用高速旋轉(zhuǎn)混合機將其均勻分散，然后，用筒式過濾器(rokitechno制“shp030”)進(jìn)行過濾，制備樹脂清漆6。

(樹脂清漆7的制備)

一邊攪拌一邊使雙酚a型環(huán)氧樹脂(三菱化學(xué)株式會社制“825”，環(huán)氧當(dāng)量約為176)5份、聯(lián)二甲酚型環(huán)氧樹脂(三菱化學(xué)株式會社制“yx4000hk”，環(huán)氧當(dāng)量約為185)10份、聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂(日本化藥株式會社制“nc3000l”，環(huán)氧當(dāng)量為288)20份、萘型環(huán)氧樹脂(dic株式會社制“hp-4710”，環(huán)氧當(dāng)量約為170)3份、及苯氧基樹脂(三菱化學(xué)株式會社制“yx7553bh30”，固體成分為30質(zhì)量%的環(huán)己酮：甲基乙基酮(mek)的1：1溶液)5份加熱溶解于溶劑石腦油10份及環(huán)己酮5份的混合溶劑中。冷卻至室溫后，在其中混合含有三嗪骨架的線型酚醛樹脂系固化劑(羥基當(dāng)量為125，dic株式會社制“l(fā)a-7054”，固體成分為60%的mek溶液)5份、含有三嗪骨架的甲酚甲醛樹脂系固化劑(羥基當(dāng)量為151，dic株式會社制“l(fā)a3018-50p”，固體成分為50%的2-甲氧基丙醇溶液)10份、萘酚系固化劑(新日鐵住金化學(xué)株式會社制“sn485”，羥基當(dāng)量為215，固體成分為60%的mek溶液)10份、胺系固化促進(jìn)劑(4-二甲基氨基吡啶(dmap)，固體成分為5質(zhì)量%的mek溶液)1份、阻燃劑(三光株式會社制“hca-hq”、10-(2,5-二羥基苯基)-10-氫-9-氧雜-10-磷雜菲-10-氧化物，平均粒徑為1.5μm)3份、用氨基硅烷系偶聯(lián)劑(信越化學(xué)工業(yè)株式會社制“kbm573”)進(jìn)行了表面處理的粉碎二氧化硅(株式會社龍森制“imsila-8”，平均粒徑為2μm，每單位表面積的碳量為0.21mg/m²)120份，用高速旋轉(zhuǎn)混合機將其均勻分散，然后，用筒式過濾器(rokitechno制“shp050”)進(jìn)行過濾，制備樹脂清漆7。

將在各樹脂清漆的制作中使用的材料及其配合量(不揮發(fā)成分的質(zhì)量份)示于表1。

[表1]

。

＜實施例1：帶支撐體的樹脂片的制作＞

作為支撐體，準(zhǔn)備用醇酸樹脂系脫模劑(琳得科株式會社制“al-5”)進(jìn)行了脫模處理的pet膜(東麗株式會社制“露米勒r80”，厚度38μm，軟化點130℃，“脫模pet”)。

以干燥后的第一樹脂組合物層的厚度成為5μm的方式，使用金屬型涂布機，將樹脂清漆1均勻涂布于脫模pet上，在從80℃至160℃的溫度下進(jìn)行5分鐘干燥，由此，在脫模pet上得到第一樹脂組合物層。接下來，在第一樹脂組合物層上涂布樹脂清漆2，使得干燥后與第一樹脂組合物層的合計厚度成為20μm，于70℃～110℃(平均90℃)進(jìn)行3分鐘干燥，形成2層的樹脂組合物層(樹脂片)。接下來，在樹脂片的不與支撐體接合的面(即第二樹脂組合物層的不與第一樹脂組合物層接合的面)上，將作為保護(hù)膜的聚丙烯膜(王子エフテックス株式會社制“アルファンma-411”，厚度15μm)的粗面，以與第二樹脂組合物層接合的方式進(jìn)行層疊。由此，得到由支撐體、第一樹脂組合物層(源自樹脂清漆1)、第二樹脂組合物層(源自樹脂清漆2)、及保護(hù)膜依序形成的帶支撐體的樹脂片1。

＜實施例2：帶支撐體的樹脂片2的制作＞

實施例1中，1)使用樹脂清漆3代替樹脂清漆1，以干燥后的第一樹脂組合物層的厚度成為3μm的方式進(jìn)行涂布，2)使用樹脂清漆4代替樹脂清漆2，除此之外，與實施例1同樣地操作，得到帶支撐體的樹脂片2。

＜實施例3：帶支撐體的樹脂片3的制作＞

實施例1中，1)使用樹脂清漆5代替樹脂清漆1，以干燥后的第一樹脂組合物層的厚度成為4μm的方式進(jìn)行涂布，2)使用樹脂清漆4代替樹脂清漆2，除此之外，與實施例1同樣地操作，得到帶支撐體的樹脂片3。

＜比較例1：帶支撐體的樹脂片4的制作＞

實施例1中，使用樹脂清漆6代替樹脂清漆1，以干燥后的第一樹脂組合物層的厚度成為4μm的方式進(jìn)行涂布，除此之外，與實施例1同樣地操作，得到帶支撐體的樹脂片4。

＜比較例2：帶支撐體的樹脂片5的制作＞

實施例1中，使用樹脂清漆7代替樹脂清漆2，除此之外，與實施例1同樣地操作，得到帶支撐體的樹脂片5。

(各樹脂組合物的固化物的制作)

以干燥后的樹脂組合物層的厚度成為50μm的方式，使用金屬型涂布機，將各樹脂清漆1～7均勻涂布于與實施例、比較例相同的脫模pet膜上，在從70℃至120℃的溫度下進(jìn)行5分鐘干燥，由此，得到在脫模pet膜上形成有樹脂組合物層的樹脂膜。

以脫模pet膜(琳得科株式會社制“501010”，厚度為38μm，240mm見方)的未處理面與玻璃布基材環(huán)氧樹脂兩面覆銅層疊板(松下電工株式會社制“r5715es”，厚度0.7mm，255mm見方)接觸的方式，將所述脫模pet膜設(shè)置于玻璃布基材環(huán)氧樹脂兩面覆銅層疊板上，用聚酰亞胺粘接膠帶(寬10mm)固定該脫模膜的四邊。

針對樹脂組合物層的厚度為50μm的各樹脂膜(167×107mm見方)，使用分批式真空加壓層壓裝置(nikko-materials株式會社制2階段堆疊層壓裝置cvp700)，以樹脂組合物層與脫模pet膜的脫模面接觸的方式，在中央進(jìn)行層壓處理。層壓處理通過以下方法進(jìn)行：進(jìn)行30秒減壓，使氣壓成為13hpa以下，然后在溫度為100℃、壓力為0.74mpa的條件下進(jìn)行30秒壓接。

接下來，將支撐體剝離，在相同條件下從樹脂組合物層的上方進(jìn)而層壓相同樹脂膜的樹脂組合物層，制成50μm×2＝100μm厚的樹脂組合物層，然后，在剝離支撐體的狀態(tài)下，在100℃固化30分鐘、進(jìn)而190℃固化90分鐘的固化條件下使樹脂組合物層熱固化。

熱固化后，將聚酰亞胺粘接膠帶剝離，從玻璃布基材環(huán)氧樹脂兩面覆銅層疊板取下樹脂組合物層。進(jìn)而從樹脂組合物層剝離脫模pet膜，得到約100μm厚的片狀固化物。將片狀固化物稱為評價用固化物。

〔固化物的導(dǎo)熱系數(shù)的測定〕

(1)熱擴散率α的測定

使用ai-phase公司制“ai-phasemobile1u”，利用溫度波分析法，測定評價用固化物的厚度方向的熱擴散率α(m²/s)。針對同一試樣進(jìn)行3次測定，算出平均值。

(2)比熱容cp的測定

使用差示掃描量熱計(siinanotechnology株式會社制“dsc7020”)，以10℃/分鐘從-40℃升溫至80℃，進(jìn)行測定，由此，算出固化物試樣的20℃下的比熱容cp(j/kg?k)。

(3)密度ρ的測定

使用mettlertoledo株式會社制分析天平xp105(使用比重測定套組)測定評價用固化物的密度(kg/m³)。

(4)導(dǎo)熱系數(shù)λ的算出

將上述(1)~(3)中得到的熱擴散率α(m²/s)、比熱容cp(j/kg?k)、及密度ρ(kg/m³)代入下述式(i)，算出導(dǎo)熱系數(shù)λ(w/m?k)。將結(jié)果示于下表；

λ＝α×cp×ρ(i)。

＜凹損部的長度及激光加工性的評價＞

(樣品的制作)

(1)布線基板的基底處理

針對在兩面形成有直徑150μm的圓形的導(dǎo)體圖案(布線圖案)的玻璃布基材環(huán)氧樹脂層疊板(銅箔的厚度12μm、基板的厚度0.3mm、尺寸510mm×340mm、使用松下株式會社制“r-1515a”形成了導(dǎo)體圖案(殘銅率約70%)的布線基板)的兩面，進(jìn)行處理(i)：使用mec株式會社制“cz8101”，對于厚度進(jìn)行約0.8μm蝕刻并除去，進(jìn)行導(dǎo)體圖案的表面的粗糙化處理。

(2)樹脂片的層疊工序

將實施例及比較例中制作的具有2層樹脂組合物的各帶支撐體的樹脂片(尺寸504mm×334mm)的保護(hù)膜剝離，使用分批式真空加壓層壓裝置(nikko-materials株式會社制，2階段堆疊層壓裝置cvp700)，以第二樹脂組合物層與經(jīng)前述(1)處理過的布線基板接觸的方式，層疊于布線基板的兩面。該層疊工序通過以下方法實施：進(jìn)行30秒減壓，使氣壓成為13hpa以下，然后在溫度為120℃、壓力為0.74mpa的條件下進(jìn)行30秒壓接。接下來，在溫度為110℃、壓力為0.5mpa的條件下進(jìn)行60秒熱壓工序。

(3)樹脂組合物層的固化

針對層疊有帶支撐體的樹脂片的布線基板，在100℃下30分鐘、接著175℃下30分鐘的固化條件下，使樹脂組合物層熱固化，形成絕緣層(導(dǎo)體上約15μm厚)。

(4)通孔的形成

從支撐體側(cè)的上方照射激光，在位于內(nèi)側(cè)的直徑為150μm的圓形的導(dǎo)體圖案的正上方的絕緣層上形成小直徑的通孔，得到評價基板。

通孔的形成工序在如下所示的條件下進(jìn)行。

使用三菱電機株式會社制co2激光加工機“605gtwiii(-p)”，從支撐體側(cè)的上方照射激光，在絕緣層上形成頂部直徑(直徑)為30μm的通孔。激光的照射條件為：掩模直徑為1mm，脈沖寬度為16μs，能量為0.20mj/槍(shot)，槍數(shù)為2，以成組方式(burstmode)(10khz)進(jìn)行。

(評價)

(5)通孔的形狀的確認(rèn)(凹損部的長度和激光加工性的評價)

針對上述(4)中得到的評價基板，將支撐體剝離，切割成適當(dāng)?shù)拇笮?，將包含通孔的試樣包埋于冷態(tài)埋入樹脂中，利用試樣研磨裝置(struers公司制rotopol-22)，制成通孔中央部截面，利用掃描型電子顯微鏡(株式會社日立ハイテクノロジーズ制s4800)進(jìn)行觀察。由得到的圖像測定在第一樹脂組合物層與第二樹脂組合物層的界面處產(chǎn)生的沿界面的延伸方向產(chǎn)生的凹損部的長度(μm)。具體而言，引出外插于通孔的側(cè)壁的直線，測定從該直線至第一樹脂組合物層與第二樹脂組合物層的界面的距離d。對4個通孔進(jìn)行測定，分別求出平均值，按照以下的基準(zhǔn)進(jìn)行評價；

○：凹損部的長度為3μm以下

×：凹損部的長度超過3μm。

[表2]

。

符號說明

10帶支撐體的樹脂片

11支撐體

12樹脂片

13第一樹脂組合物層

14第二樹脂組合物層。