本發(fā)明涉及加工各種構(gòu)件時(shí)的構(gòu)件的暫時(shí)固定方法、以及適合前述暫時(shí)固定方法的組合物和粘接劑。本發(fā)明例如由硅鑄錠(siliconingot)加工硅晶圓時(shí)將該構(gòu)件暫時(shí)固定的方法、以及適合該用途的(甲基)丙烯酸系暫時(shí)固定用粘接劑組合物。
背景技術(shù)：
：作為硅晶圓等半導(dǎo)體安裝部件等的暫時(shí)固定用粘接劑，使用雙面膠帶、熱熔系粘接劑、環(huán)氧系粘接劑。將利用這些粘接劑接合或?qū)盈B的構(gòu)件切削加工成規(guī)定的形狀后，除去粘接劑、制造加工構(gòu)件。例如，關(guān)于半導(dǎo)體安裝部件，將這些部件以雙面膠帶固定于基材后，切削加工為所期望的部件，并進(jìn)一步對雙面膠帶照射紫外線，由此進(jìn)行從部件的剝離。熱熔系粘接劑的情形，將構(gòu)件接合并通過加熱使粘接劑浸透至間隙后，切削加工為所期望的部件，并在有機(jī)溶劑中進(jìn)行粘接劑的剝離。環(huán)氧系粘接劑的情形，計(jì)量主劑與固化劑、混合并與構(gòu)件接合后切削加工為所期望的部件，并在有機(jī)溶劑中進(jìn)行粘接劑的剝離。但雙面膠帶存在難以達(dá)成厚度精度、或者粘接強(qiáng)度弱故在部件加工時(shí)剝離之類的問題。另外，有些雙面膠帶通過加熱而剝離，也存在此時(shí)若不施加100℃以上的熱則無法剝離之類的問題。另外，也有些雙面膠通過紫外線照射而剝離，也存在此時(shí)若被粘物缺乏透過性則無法剝離這樣的問題。熱熔系粘接劑在粘接時(shí)若不施加100℃以上的熱，則大多難以接合應(yīng)用了前述粘接劑的構(gòu)件，因此可使用的構(gòu)件受到限制。另外，熱熔系粘接劑在剝離時(shí)需使用有機(jī)溶劑，因此利用堿性溶劑或鹵素系有機(jī)溶劑的有機(jī)溶劑的清洗工序繁瑣，而且會(huì)造成作業(yè)環(huán)境上的問題。環(huán)氧系粘接劑需要適當(dāng)計(jì)量主劑與固化劑并充分混合來使用，但該計(jì)量與混合不充分時(shí)存在引起粘接性顯著降低的情況。另外，與熱熔系粘接劑同樣地，環(huán)氧系粘接劑在剝離時(shí)需使用有機(jī)溶劑，因此堿性溶劑或鹵素系有機(jī)溶劑的清洗工序繁瑣，而且會(huì)造成作業(yè)環(huán)境上的問題。另外，環(huán)氧系粘接劑的固化速度慢，到固化為止的期間需要確保充分的固化時(shí)間。作為環(huán)氧系粘接劑的固化劑使用的聚硫醇或胺類會(huì)產(chǎn)生惡臭，故有安全性及作業(yè)性明顯較差的問題。作為環(huán)氧系粘接劑的主劑通常使用的雙酚A型二縮水甘油醚從安全性的方面考慮需慎重操作，在作業(yè)性上存在問題?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1：日本特開2010-248395號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2：國際公開第2013/022096號(hào)專利文獻(xiàn)3：日本特開2011-089055號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4：日本特開2013-138194號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)5：國際公開第2011/102341號(hào)專利文獻(xiàn)6：國際公開第2013/021945號(hào)專利文獻(xiàn)7：國際公開第2013/039226號(hào)專利文獻(xiàn)8：國際公開第2013/161221號(hào)專利文獻(xiàn)9：日本特開平7-153724號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)10：日本特開平11-60400號(hào)公報(bào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：發(fā)明要解決的問題另外，為解決這些問題，專利文獻(xiàn)1中提出一種(甲基)丙烯酸系暫時(shí)固定用粘接劑。但是在剝離時(shí)實(shí)用地需浸漬在70℃以上的溫水中，故從安全性出發(fā)優(yōu)選具有低溫下的剝離性能的暫時(shí)固定用粘接劑。另外，專利文獻(xiàn)2～8中提出了丙烯酸系暫時(shí)固定用粘接劑。但是，通過選擇本實(shí)施方式的(甲基)丙烯酸酯，例如拉伸粘接強(qiáng)度變大、固化物的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度提高，故切削加工時(shí)的構(gòu)件的尺寸精度變得良好、在使用水的清洗工序中也不易剝離、清洗性優(yōu)異，對此在專利文獻(xiàn)2～8中并無記載相關(guān)內(nèi)容。鑒于前述現(xiàn)狀，為了提升切削加工后構(gòu)件的尺寸精度，要求一種在加工時(shí)構(gòu)件不會(huì)脫落、另一方面在加工后的清洗工序中構(gòu)件不會(huì)剝離的(甲基)丙烯酸系粘接劑。本實(shí)施方式解決前述課題。用于解決問題的方案即，本發(fā)明如下所述。1.一種粘接劑組合物，其含有：(1)借助酯鍵而具有羥基與非環(huán)式飽和烴的單官能(甲基)丙烯酸酯單體、(2)借助酯鍵而具有環(huán)式烴的單官能(甲基)丙烯酸酯單體、(3)不具有乙二醇結(jié)構(gòu)的多官能(甲基)丙烯酸酯單體、(4)熱自由基聚合引發(fā)劑、以及(5)還原劑，且(1)、(2)、(3)的合計(jì)100質(zhì)量份中，(1)的用量為50～98質(zhì)量份，(2)的用量為1～40質(zhì)量份，(3)的用量為1～30質(zhì)量份。2.根據(jù)第1項(xiàng)所述的粘接劑組合物，其還含有(6)彈性體成分。3.根據(jù)第1或2項(xiàng)所述的粘接劑組合物，其還含有(7)密合性賦予成分。4.根據(jù)第1～3項(xiàng)中任一項(xiàng)所述的粘接劑組合物，其還含有(8)阻聚劑。5.根據(jù)第1～4項(xiàng)中任一項(xiàng)所述的粘接劑組合物，其中，相對于(1)、(2)、(3)的合計(jì)100質(zhì)量份，(4)的用量為0.5～15質(zhì)量份，相對于(1)、(2)、(3)的合計(jì)100質(zhì)量份，(5)的用量為0.01～5質(zhì)量份。6.根據(jù)第2項(xiàng)所述的粘接劑組合物，其中，相對于(1)、(2)、(3)的合計(jì)100質(zhì)量份，(6)的用量為5～45質(zhì)量份。7.根據(jù)第1～6項(xiàng)中任一項(xiàng)所述的粘接劑組合物，其中，(1)為選自(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯及甘油單(甲基)丙烯酸酯中的一種以上。8.根據(jù)第1～7項(xiàng)中任一項(xiàng)所述的粘接劑組合物，其中，(2)的環(huán)式烴具有選自苯環(huán)、二環(huán)戊基、二環(huán)戊烯基中的1種以上，且不具有羥基。9.根據(jù)第1～8項(xiàng)中任一項(xiàng)所述的粘接劑組合物，其中，(2)為選自(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸芐酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烯酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊基氧乙酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烯基氧乙酯中的1種以上。10.根據(jù)第1～9項(xiàng)中任一項(xiàng)所述的粘接劑組合物，其中，(3)為不具有芳香族環(huán)且分子量為1000以下的2官能(甲基)丙烯酸酯單體。11.根據(jù)第1～10項(xiàng)中任一項(xiàng)所述的粘接劑組合物，其中，(3)為選自1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,9-壬二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,10-癸二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、二羥甲基-三環(huán)癸烷二(甲基)丙烯酸酯中的1種以上。12.一種兩組分型的粘接劑組合物，其將第1～11項(xiàng)中任一項(xiàng)所述的粘接劑組合物分為兩組分，第一組分中至少含有(4)熱自由基聚合引發(fā)劑，第二組分中至少含有(5)還原劑。13.根據(jù)第1～12項(xiàng)中任一項(xiàng)所述的粘接劑組合物，其中，粘接劑組合物的固化物的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度處于90～250℃的范圍，以及使粘接劑組合物的固化物浸漬于23℃的純水中60分鐘時(shí)的溶脹率處于0.1～10％的范圍，并且使粘接劑組合物的固化物浸漬于50℃的純水中60分鐘時(shí)的溶脹率處于4～20％的范圍。14.根據(jù)第1～13項(xiàng)中任一項(xiàng)所述的粘接劑組合物，其用于暫時(shí)固定。15.一種層疊體，其使用了第1～14項(xiàng)中任一項(xiàng)所述的粘接劑組合物來粘接被粘物。16.根據(jù)第15項(xiàng)所述的層疊體，其還層疊有底漆。17.根據(jù)第16項(xiàng)所述的層疊體，其依次層疊有基材、底漆、粘接劑組合物、構(gòu)件。18.根據(jù)第15～17項(xiàng)中任一項(xiàng)所述的層疊體，其中，構(gòu)件為鑄錠。19.根據(jù)第18項(xiàng)所述的層疊體，其中，構(gòu)件為選自單晶硅鑄錠、多晶硅鑄錠、碳化硅鑄錠中的1種以上。20.一種構(gòu)件的暫時(shí)固定方法，其使用第1～14項(xiàng)中任一項(xiàng)所述的粘接劑組合物將構(gòu)件暫時(shí)固定于基材，將前述粘接劑組合物固化，對暫時(shí)固定的構(gòu)件進(jìn)行加工后，將前述粘接劑組合物的固化物浸漬于浸漬介質(zhì)，由此從基材取下加工后的構(gòu)件。21.根據(jù)第20項(xiàng)所述的構(gòu)件的暫時(shí)固定方法，其中，浸漬介質(zhì)為選自(a)水、(b)pH4以下的酸、(c)含有水、醇類、及表面活性劑的剝離劑中的1種以上。22.一種構(gòu)件的暫時(shí)固定方法，其使用第1～14項(xiàng)中任一項(xiàng)所述的粘接劑組合物將構(gòu)件暫時(shí)固定于基材，將前述粘接劑組合物固化，對前述暫時(shí)固定的構(gòu)件進(jìn)行加工后，加熱處理前述粘接劑組合物的固化物，由此從基材取下加工后的構(gòu)件。23.根據(jù)第22項(xiàng)所述的構(gòu)件的暫時(shí)固定方法，其中，在150～300℃的范圍內(nèi)加熱處理固化物。24.根據(jù)第20～23項(xiàng)中任一項(xiàng)所述的構(gòu)件的暫時(shí)固定方法，其中，使用底漆。25.根據(jù)第24項(xiàng)所述的構(gòu)件的暫時(shí)固定方法，其中，底漆應(yīng)用于基材。26.根據(jù)第24項(xiàng)所述的構(gòu)件的暫時(shí)固定方法，其中，底漆應(yīng)用于構(gòu)件。27.根據(jù)第24～26項(xiàng)中任一項(xiàng)所述的構(gòu)件的暫時(shí)固定方法，其中，底漆含有密合性賦予成分及溶劑。28.根據(jù)第20～27項(xiàng)中任一項(xiàng)所述的構(gòu)件的暫時(shí)固定方法，其中，構(gòu)件的加工是通過裁切來制作晶圓。29.根據(jù)第20～28項(xiàng)中任一項(xiàng)所述的構(gòu)件的暫時(shí)固定方法，其中，構(gòu)件為鑄錠。30.根據(jù)第29項(xiàng)所述的構(gòu)件的暫時(shí)固定方法，其中，構(gòu)件為選自單晶硅鑄錠、多晶硅鑄錠、碳化硅鑄錠中的1種以上。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明可提供一種暫時(shí)固定用粘接劑組合物，其在加工時(shí)構(gòu)件不會(huì)脫落，在加工后的清洗工序中構(gòu)件不會(huì)剝離。具體實(shí)施方式以下詳細(xì)說明本發(fā)明實(shí)施方式。本發(fā)明實(shí)施方式中，含有：(1)借助酯鍵而具有羥基與非環(huán)式飽和烴的單官能(甲基)丙烯酸酯單體、(2)借助酯鍵而具有環(huán)式烴的單官能(甲基)丙烯酸酯單體、(3)不具有乙二醇結(jié)構(gòu)的多官能(甲基)丙烯酸酯單體、(4)熱自由基聚合引發(fā)劑、及(5)還原劑。在此，單官能(甲基)丙烯酸酯是指分子內(nèi)具有1個(gè)(甲基)丙烯?；幕衔?，多官能(甲基)丙烯酸酯是指分子內(nèi)具有2個(gè)以上(甲基)丙烯?；幕衔铩１緦?shí)施方式所使用的(甲基)丙烯酸酯單體含有(1)借助酯鍵而具有羥基與非環(huán)式飽和烴的單官能(甲基)丙烯酸酯單體、(2)借助酯鍵而具有環(huán)式烴的單官能(甲基)丙烯酸酯單體、及(3)不具有乙二醇結(jié)構(gòu)的多官能(甲基)丙烯酸酯單體。本實(shí)施方式所使用的(1)借助酯鍵而具有羥基與非環(huán)式飽和烴的單官能(甲基)丙烯酸酯單體是指，例如在分子中借助酯鍵而具有一個(gè)以上的羥基與一個(gè)以上的非環(huán)式飽和烴的單官能(甲基)丙烯酸酯單體。優(yōu)選為非環(huán)式飽和烴的氫被羥基取代。作為(1)，可舉出(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸-3-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸-4-羥基丁酯等(甲基)丙烯酸羥烷基酯；聚己內(nèi)酯單(甲基)丙烯酸酯、聚四亞甲醚單(甲基)丙烯酸酯、聚四亞甲醚單(甲基)丙烯酸酯等通過多元醇類的羥基與(甲基)丙烯酸的酯化反應(yīng)等所得的化合物；三羥甲基丙烷單(甲基)丙烯酸酯、甘油單(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇單(甲基)丙烯酸酯等化合物，即，使含有2個(gè)以上羥基的化合物的至少1個(gè)羥基殘留而其他羥基與(甲基)丙烯酸進(jìn)行酯化反應(yīng)所得的化合物等?？墒褂眠@些物質(zhì)中的1種以上。從粘接性、耐熱性、剝離性、耐清洗性的方面出發(fā)，其中優(yōu)選選自(1-1)(甲基)丙烯酸羥烷基酯、(1-2)使含有2個(gè)以上羥基的化合物中的1個(gè)羥基與(甲基)丙烯酸進(jìn)行酯化反應(yīng)所得的化合物中的1種以上。(1-1)(甲基)丙烯酸羥烷基酯中，優(yōu)選(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯。(1-2)使含有2個(gè)以上羥基的化合物中的1個(gè)羥基與(甲基)丙烯酸進(jìn)行酯化反應(yīng)所得的化合物中，優(yōu)選甘油單(甲基)丙烯酸酯。在(1)、(2)、(3)的合計(jì)100質(zhì)量份中，(1)的用量優(yōu)選為50～98質(zhì)量份，更優(yōu)選為55～95質(zhì)量份。(1)的用量不過小時(shí)，例如為50質(zhì)量份以上，則可獲得用于提高切削加工后構(gòu)件的尺寸精度的高粘接強(qiáng)度，對于加工時(shí)所產(chǎn)生的加工熱的耐熱性也提高，且易于在水中溶脹，因此加工后的構(gòu)件的剝離性提高。(1)的用量不過大時(shí)，例如為98質(zhì)量份以下，則耐清洗性優(yōu)異。作為本實(shí)施方式所使用的(2)借助酯鍵而具有環(huán)式烴的單官能(甲基)丙烯酸酯單體，可舉例如以下(2-1)～(2-3)，可使用這些物質(zhì)中的1種以上。作為環(huán)式烴，從耐清洗性、與彈性體成分的溶解性出發(fā)，優(yōu)選為選自脂肪族環(huán)及芳香族環(huán)中的1種以上。也可使用它們的混合物。脂肪族環(huán)中，優(yōu)選選自二環(huán)戊烯基及二環(huán)戊基中的1種以上，更優(yōu)選為二環(huán)戊烯基。從耐清洗性、與彈性體成分的溶解性出發(fā)，芳香族環(huán)中優(yōu)選為苯環(huán)。(2-1)具有二環(huán)戊烯基的(甲基)丙烯酸酯作為具有二環(huán)戊烯基的(甲基)丙烯酸酯，可舉出(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烯酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烯基氧乙酯、二環(huán)戊烯基氧基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、二環(huán)戊烯基氧基三乙二醇(甲基)丙烯酸酯、及二環(huán)戊烯基氧基丙二醇(甲基)丙烯酸酯等，可使用這些物質(zhì)中的1種以上。其中，優(yōu)選為選自(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烯酯及(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烯基氧乙酯中的1種以上。(2-2)具有二環(huán)戊基的(甲基)丙烯酸酯作為具有二環(huán)戊基的(甲基)丙烯酸酯，可舉出(甲基)丙烯酸二環(huán)戊酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊基氧乙酯、二環(huán)戊基氧基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、二環(huán)戊基氧基三乙二醇(甲基)丙烯酸酯、及二環(huán)戊基氧基丙二醇(甲基)丙烯酸酯等，可使用這些物質(zhì)中的1種以上。其中，優(yōu)選為選自(甲基)丙烯酸二環(huán)戊酯及(甲基)丙烯酸二環(huán)戊基氧乙酯中的1種以上。(2-3)具有苯環(huán)的(甲基)丙烯酸酯作為具有苯環(huán)的(甲基)丙烯酸酯，可舉出通式(C)或(D)所示的(甲基)丙烯酸系單體等。通式(C)Z-O-(R5O)q-R6通式(D)Z-O-(R5)q-R6(式中，Z表示(甲基)丙烯?；?，R5表示-CH2-、-C2H4-、-C3H6-、-CH2CH(CH3)-、-C4H8-或-C6H12-，R6表示苯基或具有碳數(shù)1～3的烷基的苯基，q表示1～10的整數(shù)。)作為這樣的(甲基)丙烯酸酯，可舉出(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、苯氧基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、苯氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸苯氧基丙酯、苯氧基二丙二醇(甲基)丙烯酸酯、及苯氧基聚丙二醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸芐酯等，可使用這些物質(zhì)中的1種以上。這些物質(zhì)中，優(yōu)選為選自(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯及(甲基)丙烯酸芐酯中的1種以上。從暫時(shí)固定用粘接劑固化物難在水中溶脹、耐清洗性優(yōu)異、使用后述(6)彈性體成分時(shí)該(6)易溶解而易于制造暫時(shí)固定用粘接劑組合物這樣的觀點(diǎn)出發(fā)，(2)中優(yōu)選分子中不具有羥基。(1)、(2)、(3)的合計(jì)100質(zhì)量份中，(2)的用量優(yōu)選為1～40質(zhì)量份，更優(yōu)選為2～35質(zhì)量份，最優(yōu)選為3～20質(zhì)量份，進(jìn)一步優(yōu)選為8～16質(zhì)量份。(2)的用量不過小時(shí)，例如為1質(zhì)量份以上，則剝離性優(yōu)異。另外，同樣地，(2)的用量不過大時(shí)，例如為40質(zhì)量份以下，則耐清洗性優(yōu)異。作為本實(shí)施方式所使用的(3)不具有乙二醇結(jié)構(gòu)的多官能(甲基)丙烯酸酯，可舉出分子內(nèi)不具有乙二醇結(jié)構(gòu)且具有2個(gè)以上(甲基)丙烯酰基的多官能(甲基)丙烯酸酯單體?？墒褂眠@些物質(zhì)中的1種以上。這些物質(zhì)中優(yōu)選為具有烷二醇結(jié)構(gòu)(例如-O-R-O-結(jié)構(gòu)。R為亞烷基)但不具有乙二醇結(jié)構(gòu)(例如-O-CH2CH2-O-結(jié)構(gòu))的多官能(甲基)丙烯酸酯單體。作為2官能(甲基)丙烯酸酯單體，可舉出1,3-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,9-壬二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、2-乙基-2-丁基-丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二羥甲基-三環(huán)癸烷二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇改性三羥甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、硬脂酸改性季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、己二醇二(甲基)丙烯酸酯等。作為3官能(甲基)丙烯酸酯單體，可舉出三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三[(甲基)丙烯酰氧基乙基]異氰脲酸酯等。作為4官能以上的(甲基)丙烯酸酯單體，可舉出二羥甲基丙烷四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇乙氧基四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等。(3)中，優(yōu)選分子內(nèi)不具有芳香族環(huán)。(3)的分子量優(yōu)選為1000以下，更優(yōu)選為500以下，最優(yōu)選為400以下。(3)的分子量優(yōu)選為50以上，更優(yōu)選為100以上，最優(yōu)選為200以上。(3)中，優(yōu)選分子內(nèi)也不具有丙二醇結(jié)構(gòu)。從高粘接強(qiáng)度、耐熱性、耐清洗性、作業(yè)性、剝離性出發(fā)，這些物質(zhì)中，優(yōu)選為2官能(甲基)丙烯酸酯單體。2官能(甲基)丙烯酸酯單體中，優(yōu)選為選自1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,9-壬二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,10-癸二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、二羥甲基-三環(huán)癸烷二(甲基)丙烯酸酯中的1種以上，更優(yōu)選為1,9-壬二醇二(甲基)丙烯酸酯。從高粘接強(qiáng)度、耐熱性、耐清洗性、作業(yè)性、剝離性出發(fā)，(1)、(2)、(3)合計(jì)100質(zhì)量份中，(3)的用量優(yōu)選為1～30質(zhì)量份，更優(yōu)選為5～15質(zhì)量份。(1)的用量不過小時(shí)，例如為1質(zhì)量份以上，則可獲得用于提高切削加工后構(gòu)件的尺寸精度的高粘接強(qiáng)度，對于加工時(shí)所產(chǎn)生加工熱的耐熱性提高，不僅耐清洗性優(yōu)異而且剝離后粘接劑組合物的固化物形成膜狀，粘接劑固化物對于構(gòu)件表面不會(huì)殘膠，作業(yè)性優(yōu)異。另外，(3)的用量不過小時(shí)，例如為30質(zhì)量份以下，則加工后構(gòu)件的剝離性優(yōu)異。對于本實(shí)施方式所使用的(4)熱自由基聚合引發(fā)劑，例如在分成兩組分時(shí)反應(yīng)性的方面較優(yōu)異。作為熱自由基聚合引發(fā)劑，優(yōu)選為異丙苯過氧化氫、萜烷過氧化氫、叔丁基過氧化氫、二異丙苯二過氧化氫、甲基乙基酮過氧化物、苯甲酰過氧化物、及過氧化苯甲酸叔丁酯等有機(jī)過氧化物?？墒褂眠@些物質(zhì)中的1種以上。從與(1)、(2)、(3)的反應(yīng)性出發(fā)，這些物質(zhì)中，優(yōu)選異丙苯過氧化氫。相對于(1)、(2)、(3)的合計(jì)100質(zhì)量份，本實(shí)施方式所使用的(4)的用量優(yōu)選為0.5～15質(zhì)量份，更優(yōu)選為1～8質(zhì)量份。(4)的用量不過小時(shí)，例如為0.5質(zhì)量份以上，則固化速度快且作業(yè)性優(yōu)異，另外不過大時(shí)，例如為15質(zhì)量份以下，則貯存穩(wěn)定性優(yōu)異。對于本實(shí)施方式所使用的(5)還原劑，只要是例如與(4)聚合引發(fā)劑反應(yīng)并產(chǎn)生自由基的公知的還原劑就可使用。從與(4)的反應(yīng)性出發(fā)，作為(5)還原劑，優(yōu)選為乙酰丙酮氧釩(vanadylacetylacetonate)、乙酰丙酮釩、乙酰丙酮鈷、乙酰丙酮銅、環(huán)烷酸氧釩(vanadylnaphthenate)、硬脂酸氧釩、環(huán)烷酸銅、辛酸鈷等具有還原性的金屬鹽，更優(yōu)選為乙酰丙酮氧釩?？墒褂眠@些物質(zhì)中的1種以上。相對于(1)、(2)、(3)合計(jì)100質(zhì)量份，(5)的用量優(yōu)選為0.01～5質(zhì)量份，更優(yōu)選為0.05～2質(zhì)量份。(5)的用量不過小時(shí)，例如為0.01質(zhì)量份以上，則固化速度快且粘接性大，另外不過大時(shí)，例如為5質(zhì)量份以下，則不會(huì)殘留未反應(yīng)成分且粘接性大。本實(shí)施方式中，為了提高切削加工后構(gòu)件的尺寸精度并獲得高粘接強(qiáng)度，優(yōu)選使用(6)彈性體成分。作為本實(shí)施方式所使用的(6)彈性體成分，可舉出(甲基)丙烯腈-丁二烯-(甲基)丙烯酸共聚物、(甲基)丙烯腈-丁二烯-(甲基)丙烯酸酯共聚物、(甲基)丙烯酸甲酯-丁二烯-苯乙烯共聚物、(甲基)丙烯腈-苯乙烯-丁二烯共聚物、以及(甲基)丙烯腈-丁二烯橡膠、線狀聚氨酯、苯乙烯-丁二烯橡膠、氯丁二烯橡膠、及丁二烯橡膠等各種合成橡膠；天然橡膠；苯乙烯-聚丁二烯-苯乙烯系合成橡膠之類的苯乙烯系熱塑性彈性體；聚乙烯-EPDM合成橡膠之類的烯烴系熱塑性彈性體；以及己內(nèi)酯型、己二酸酯型、及PTMG型之類的氨基甲酸酯系熱塑性彈性體；聚對苯二酸丁二醇酯-聚四亞甲基二醇多嵌段聚合物之類的聚酯系熱塑性彈性體；尼龍-多元醇嵌段共聚物之類的聚酰胺系熱塑性彈性體；1,2-聚丁二烯系熱塑性彈性體、以及聚氯乙烯系熱塑性彈性體等。這些彈性體成分只要相容性良好則可使用1種以上。另外，也可使用末端(甲基)丙烯酸改性了的聚丁二烯。從對(甲基)丙烯酸系單體的溶解性、粘接性出發(fā)，這些物質(zhì)中，優(yōu)選(甲基)丙烯酸甲酯-丁二烯-苯乙烯共聚物及/或(甲基)丙烯腈-丁二烯橡膠，更優(yōu)選組合使用這些物質(zhì)。組合使用時(shí)，其使用比例例如在(甲基)丙烯酸甲酯-丁二烯-苯乙烯共聚物與丙烯腈-丁二烯橡膠的合計(jì)100質(zhì)量份中，以質(zhì)量比計(jì)，優(yōu)選為(甲基)丙烯酸甲酯-丁二烯-苯乙烯共聚物：(甲基)丙烯腈-丁二烯橡膠＝50～95：5～50，更優(yōu)選為60～80：20～40。使用(甲基)丙烯腈-丁二烯橡膠時(shí)，(甲基)丙烯腈含量(腈含量)優(yōu)選為36～45質(zhì)量％。相對于(1)、(2)、(3)的合計(jì)100質(zhì)量份，(6)的用量優(yōu)選為5～45質(zhì)量份，更優(yōu)選為20～35質(zhì)量份。(6)的用量不過小時(shí)，例如為5質(zhì)量份以上，則粘度及粘接性提高，另外，不過大時(shí)，例如為45質(zhì)量份以下，則粘度低且作業(yè)上不會(huì)產(chǎn)生不良情況。本實(shí)施方式的粘接劑組合物為了使接觸空氣的部分迅速固化，可使用各種石蠟類。作為石蠟類，可舉出石蠟、微晶蠟、巴西棕櫚蠟、蜜蠟、羊毛脂、鯨蠟、地蠟、及小燭樹蠟(candelillawax)等。可使用這些物質(zhì)中的1種以上。相對于(1)、(2)、(3)的合計(jì)100質(zhì)量份，石蠟類的用量優(yōu)選為0.1～5質(zhì)量份，更優(yōu)選為0.3～2.5質(zhì)量份。若為0.1質(zhì)量份以上，則接觸空氣部分的固化變好，若為5質(zhì)量份以下，則粘接強(qiáng)度提高。以改良貯存穩(wěn)定性的目的，本實(shí)施方式的粘接劑組合物可使用(8)阻聚劑。作為(8)阻聚劑，可舉出氫醌、對苯醌、氫醌單甲醚、2,6-二叔丁基對甲酚、2,2’-亞甲基雙(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、磷酸三苯酯、吩噻嗪(phenothiazine)、及N-異丙基-N’-苯基-對苯二胺等?？墒褂眠@些物質(zhì)中的1種以上。從貯存穩(wěn)定性出發(fā)，這些物質(zhì)中優(yōu)選選自對苯醌及氫醌單甲醚中的1種以上，更優(yōu)選對苯醌。相對于(1)、(2)、(3)的合計(jì)100質(zhì)量份，(8)阻聚劑的用量優(yōu)選為0.001～3質(zhì)量份，更優(yōu)選為0.01～1質(zhì)量份。0.001質(zhì)量份以上則有效果，3質(zhì)量份以下則粘接強(qiáng)度提高。本實(shí)施方式的粘接劑組合物可使用(7)密合性賦予成分。(7)密合性賦予成分中，優(yōu)選為選自硅烷偶聯(lián)劑及磷酸鹽中的1種以上。作為硅烷偶聯(lián)劑，可舉出γ-氯丙基三甲氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三氯硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基-三(β-甲氧基乙氧基)硅烷、γ-(甲基)丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、β-(3,4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷、γ-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、γ-巰基丙基三甲氧基硅烷、γ-氨基丙基三乙氧基硅烷、N-β-(氨基乙基)-γ-氨基丙基三甲氧基硅烷、N-β-(氨基乙基)-γ-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、γ-脲基丙基三乙氧基硅烷等。從粘接性出發(fā)，這些物質(zhì)中，優(yōu)選為γ-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷及/或γ-(甲基)丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷，更優(yōu)選為γ-(甲基)丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷。作為磷酸鹽，可舉出通式(A)所示的化合物等。式中，R8表示CH2＝CR9CO(OR10)u-基(其中，R9為氫或甲基，R10為-C2H4-、-C3H6-、-CH2CH(CH3)-、-C4H8-、-C6H12-或u表示1～10的整數(shù)。)，t表示1或2的整數(shù)。作為磷酸鹽，可舉出(甲基)丙烯酸酸式膦酰氧基乙酯、(甲基)丙烯酸酸式膦酰氧基丙酯、及磷酸雙(2-(甲基)丙烯酰氧基乙基)酯等?？墒褂眠@些物質(zhì)中的1種以上。從效果較好出發(fā)，這些物質(zhì)中優(yōu)選為(甲基)丙烯酸酸式膦酰氧基乙酯。相對于(1)、(2)、(3)的合計(jì)100質(zhì)量份，(7)密合性賦予成分的用量優(yōu)選為0.1～15質(zhì)量份，優(yōu)選為0.5～10質(zhì)量份，優(yōu)選為0.8～7質(zhì)量份，更優(yōu)選為1～5質(zhì)量份。若為0.1質(zhì)量份以上則粘接強(qiáng)度提高、且加工時(shí)的尺寸精度優(yōu)異，若為15質(zhì)量份以下則粘接強(qiáng)度提高。另外，除了這些物質(zhì)之外，也可根據(jù)需要使用增塑劑、填充劑、著色劑及防腐劑等已知的物質(zhì)。此外，出于調(diào)整粘度、流動(dòng)性的目的，也可使用氯磺化聚乙烯、聚氨酯、苯乙烯/丙烯腈共聚物、及聚甲基丙烯酸甲酯等熱塑性高分子以及微粉末二氧化硅等。作為本實(shí)施方式的實(shí)施方式，可舉出以兩組分型粘接劑組合物的形式使用。關(guān)于兩組分型，在貯存時(shí)不混合本實(shí)施方式的粘接劑組合物的所有必須成分，將粘接劑組合物分為第一組分及第二組分，并分別在第一組分中至少貯存(4)、在第二組分中至少貯存(5)。(7)密合性賦予成分優(yōu)選貯存在第二組分中。此時(shí)，將兩組分同時(shí)或分別涂布于被粘物并接觸、固化，由此可以以兩組分型粘接劑組合物的形式使用。作為其他實(shí)施方式，在第一組分及第二組分的任一者或兩者中預(yù)先含有(甲基)丙烯酸酯及其他任意成分，并在使用時(shí)混合兩者，由此可以以單組分型粘接劑組合物的形式使用。從貯存穩(wěn)定性優(yōu)異的方面出發(fā)，這些實(shí)施方式中，優(yōu)選以兩組分型粘接劑組合物的形式使用。本實(shí)施方式的粘接劑組合物不需要正確計(jì)量兩組分，即使不完全的計(jì)量、混合，有時(shí)僅兩組分接觸也會(huì)在常溫固化。本實(shí)施方式的粘接劑組合物的固化不需紫外線。本實(shí)施方式的粘接劑組合物的作業(yè)性優(yōu)異。本實(shí)施方式中，由粘接劑組合物得到的固化物的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度優(yōu)選為90～250℃的范圍內(nèi)。通過使由該粘接劑組合物得到的固化物的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度在前述范圍內(nèi)，即使被加工構(gòu)件因加工時(shí)的加工熱而發(fā)熱、該構(gòu)件與基材的粘接性降低，也能夠抑制尺寸精度的惡化，尺寸精度顯著提高。本實(shí)施方式中使用的由粘接性組合物得到的固化物的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度的測定方法并無特別限制，可以利用DSC、動(dòng)態(tài)粘彈性譜等公知方法進(jìn)行測定，優(yōu)選使用動(dòng)態(tài)粘彈性譜。使用本實(shí)施方式的粘接劑組合物貼合構(gòu)件(例如硅)與基板(例如毛玻璃)，測定拉伸粘接強(qiáng)度時(shí)，拉伸粘接強(qiáng)度優(yōu)選為10MPa以上。若拉伸粘接強(qiáng)度為10MPa以上，則被加工構(gòu)件與基材的粘接性變得充分，在加工中該構(gòu)件不會(huì)剝離，尺寸精度提高，加工裝置不會(huì)產(chǎn)生故障。從尺寸精度的方面出發(fā)，拉伸粘接強(qiáng)度更優(yōu)選為15MPa以上。本實(shí)施方式的粘接劑組合物可作為暫時(shí)固定用粘接劑組合物使用。作為本實(shí)施方式的暫時(shí)固定用粘接劑組合物的使用方法，可舉出如下方法：在固定的一個(gè)構(gòu)件或基板的粘接面涂布適量的暫時(shí)固定用粘接劑組合物，接著重疊另一個(gè)構(gòu)件或基板的方法；將預(yù)先暫時(shí)固定的構(gòu)件層疊多個(gè)，利用使暫時(shí)固定用粘接劑組合物浸透到間隙進(jìn)行涂布的方法等涂布暫時(shí)固定用粘接劑組合物，使暫時(shí)固定用粘接劑組合物固化，將構(gòu)件彼此暫時(shí)固定的方法等。作為基材(例如支持基板)，可舉出例如毛玻璃。毛玻璃優(yōu)選作為加工硅鑄錠等時(shí)的基材。使用毛玻璃時(shí)，具有以下優(yōu)點(diǎn)：不容易磨耗加工時(shí)所使用的線具或刀具等、易以低價(jià)獲得、易獲得粘接性。作為基材所使用的毛玻璃的表面粗糙度，一般使用Ra為0.2～10μm左右的毛玻璃。本實(shí)施方式的粘接劑組合物通過控制固化物的溶脹性能可兼具耐清洗性及剝離性。具體而言，在清洗所使用的23℃純水中浸漬該暫時(shí)固定用粘接劑組合物的固化物60分鐘時(shí)的溶脹率優(yōu)選為0.1～10％的范圍，且在50℃的純水中浸漬該粘接劑組合物的固化物60分鐘時(shí)的溶脹率優(yōu)選處于4～20％的范圍。若該粘接劑組合物的固化物與水接觸，則只有直接與水接觸的部分會(huì)溶脹，而未與水接觸的部分不會(huì)溶脹，因此會(huì)使粘接劑組合物的固化物的厚度產(chǎn)生不均，并在粘接劑組合物的固化物與構(gòu)件及/或基材之間產(chǎn)生間隙，水會(huì)侵入該間隙而達(dá)成剝離。但是，若清洗所使用的23℃左右的純水中產(chǎn)生由前述溶脹所造成的剝離，則有時(shí)會(huì)使得清洗不充分。從耐清洗性的方面出發(fā)，在23℃的純水中浸漬60分鐘時(shí)的溶脹率更優(yōu)選處于0.1～5％的范圍，且從剝離性的方面出發(fā)，在50℃的純水中浸漬60分鐘時(shí)的溶脹率更優(yōu)選處于6～20％的范圍。本實(shí)施方式的暫時(shí)固定用粘接劑組合物將各種構(gòu)件暫時(shí)固定于基材，對構(gòu)件實(shí)施裁切成所期望的形狀、研削、研磨等加工后，通過浸漬該暫時(shí)固定用粘接劑組合物的固化物，能夠從構(gòu)件剝離組合物。浸漬介質(zhì)優(yōu)選為選自(a)水及(b)pH4以下的酸及(c)含有水、醇類以及表面活性劑的剝離劑中的1種以上。作為暫時(shí)固定方法，可舉出以下暫時(shí)固定方法等：使用本實(shí)施方式的暫時(shí)固定用粘接劑組合物將構(gòu)件粘接暫時(shí)固定，制作前述暫時(shí)固定用粘接劑組合物的固化物，對該暫時(shí)固定的構(gòu)件進(jìn)行加工，浸漬該暫時(shí)固定用粘接劑組合物的固化物，剝離該暫時(shí)固定用粘接劑組合物的固化物。本實(shí)施方式的暫時(shí)固定方法中，從構(gòu)件剝離粘接劑組合物時(shí)，從能夠以短時(shí)間達(dá)成水中的剝離性、提高生產(chǎn)率的方面出發(fā)，(a)水優(yōu)選使用適度加熱的溫水、例如40～99℃的溫水。對于暫時(shí)固定用粘接劑組合物的固化物與水接觸的方法，從簡便的方面出發(fā)，優(yōu)選將以組合物的固化物使構(gòu)件接合的接合體一起浸漬于水中的方法。溫水的溫度優(yōu)選為45～85℃，更優(yōu)選為50～70℃。浸漬于水中的時(shí)間優(yōu)選為1～60分鐘的范圍。1分鐘以上則剝離性優(yōu)異，60分鐘以下則生產(chǎn)率優(yōu)異。從剝離性與生產(chǎn)率的均衡性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為5～30分鐘，更優(yōu)選為5～20分鐘。本實(shí)施方式的暫時(shí)固定方法中，剝離時(shí)可以使接合體浸漬于(b)pH4以下的酸。通過浸漬于pH4以下的酸，從而在構(gòu)件表面形成均勻的氧化膜，能夠防止因形成不規(guī)則的氧化膜而導(dǎo)致的表面污染。從安全、廉價(jià)的方面出發(fā)，作為pH4以下的酸，優(yōu)選為選自乳酸和檸檬酸中的1種以上。酸也可以以用水進(jìn)行了稀釋的稀釋液的形式使用。從成本與氧化膜的形成效果的方面出發(fā)，作為乳酸的稀釋率，以乳酸與水的質(zhì)量比計(jì)，優(yōu)選為100：0～1：99的范圍，更優(yōu)選為40：60～10：90的范圍，最優(yōu)選為25：75～15：85的范圍。從成本與氧化膜形成效果的方面出發(fā)，作為檸檬酸的稀釋率，以檸檬酸與水的質(zhì)量比計(jì)，優(yōu)選為99：1～1：99的范圍，更優(yōu)選為60：40～10：90的范圍，最優(yōu)選為55：45～15：85的范圍。浸漬在pH4以下的酸中的時(shí)間優(yōu)選為1～60分鐘的范圍。1分鐘以上則剝離性優(yōu)異，60分鐘以下則生產(chǎn)率優(yōu)異。從剝離性與生產(chǎn)率的均衡性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為5～30分鐘，更優(yōu)選為5～20分鐘。本實(shí)施方式的暫時(shí)固定方法中，剝離時(shí)可使接合體浸漬于(c)含有水、醇類、及表面活性劑的剝離劑中。作為表面活性劑，可舉出陰離子性表面活性劑、陽離子性表面活性劑、兩性表面活性劑、非離子性表面活性劑等。這些物質(zhì)中，優(yōu)選陰離子性表面活性劑。作為陰離子性表面活性劑，可舉出羧酸型(例如脂肪酸鹽、聚氧乙烯烷基醚羧酸鹽、N-烷基肌氨酸鹽、N-酰基谷氨酸鹽)、硫酸酯型(例如硫酸烷基酯鹽、聚氧乙烯烷基醚硫酸鹽、脂肪醇乙氧基硫酸鹽、油脂硫酸酯鹽)、磺酸型(例如：烷基苯磺酸鹽、烷烴磺酸鹽、α-烯烴磺酸鹽、二烷基磺基琥珀酸、二甲苯磺酸鹽、萘磺酸鹽-甲醛縮合物、烷基萘磺酸鹽、N-甲基-N-?；；撬猁})、磷酸酯型(例如烷基磷酸鹽、聚氧乙烯烷基醚磷酸鹽、聚氧乙烯烷基苯基醚磷酸鹽)等。這些物質(zhì)中，優(yōu)選為磺酸型?；撬嵝椭校瑑?yōu)選為二甲苯磺酸鹽。二甲苯磺酸鹽中，優(yōu)選為二甲苯磺酸鈉。醇類可舉出甲醇、乙醇、正丙醇、異丙醇、丁醇、芐醇等。這些物質(zhì)中，從剝離性與安全方面的均衡性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為芐醇。從安全方面、環(huán)境方面出發(fā)，對于水與醇類與表面活性劑的使用比例，在水與醇類與表面活性劑的合計(jì)100質(zhì)量份中，水與醇類與表面活性劑優(yōu)選以20～60：20～60：1～40的質(zhì)量比含有，更優(yōu)選以30～50：30～50：5～30的質(zhì)量比含有，最優(yōu)選以30～40：40～50：10～25的質(zhì)量比含有。剝離劑也可以僅由這三種構(gòu)成。關(guān)于暫時(shí)固定用粘接劑組合物的固化物與剝離劑接觸的方法，從簡便的方面出發(fā)，優(yōu)選將接合體一起浸漬于剝離劑中的方法。從能夠在短時(shí)間達(dá)成剝離性并提高生產(chǎn)率的方面出發(fā)，剝離劑的溫度優(yōu)選為15～50℃，更優(yōu)選為20～40℃。該剝離劑的溫度在15℃以上則剝離性優(yōu)異，在50℃以下則水、醇類不會(huì)揮發(fā)，安全方面、剝離性優(yōu)異。浸漬于剝離劑的時(shí)間優(yōu)選為1～60分鐘的范圍。1分鐘以上則剝離性優(yōu)異，60分鐘以下則生產(chǎn)率優(yōu)異。從剝離性與生產(chǎn)率的均衡性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為5～30分鐘。用前述方法固定構(gòu)件后，本實(shí)施方式中，對暫時(shí)固定的構(gòu)件實(shí)施裁切成所期望的形狀、研削、研磨、開孔等加工后，通過浸漬該暫時(shí)固定用粘接劑組合物的固化物，能夠從構(gòu)件剝離暫時(shí)固定用粘接劑組合物的固化物。本實(shí)施方式中，對暫時(shí)固定的構(gòu)件實(shí)施裁切成所期望的形狀、研削、研磨、開孔等加工后，通過對該暫時(shí)固定用粘接劑的固化物進(jìn)行加熱處理，也能夠從構(gòu)件剝離暫時(shí)固定用粘接劑組合物的固化物。加熱處理的溫度優(yōu)選為150～300℃，更優(yōu)選為150～250℃。本實(shí)施方式的暫時(shí)固定用粘接劑組合物可用于選自硅、樹脂、碳、金屬、水晶、藍(lán)寶石、碳化硅、及玻璃中的1種以上構(gòu)件的粘接。將選自硅、水晶、藍(lán)寶石、碳化硅中的1種以上鑄錠加工成厚度80～1000μm的晶圓時(shí)的粘接，使用本實(shí)施方式的暫時(shí)固定用粘接劑組合物時(shí)，具有更大的效果。晶圓的厚度為80μm以上則加工后的尺寸精度優(yōu)異，1000μm以下則剝離性優(yōu)異。晶圓的厚度優(yōu)選為100～800μm，更優(yōu)選為120～400μm，最優(yōu)選為150～250μm。特別是裁切硅鑄錠來制造硅晶圓時(shí)，本實(shí)施方式的暫時(shí)固定用粘接劑組合物具有更大的效果。從此觀點(diǎn)來看，本發(fā)明提供一種如下得到的層疊體：在加工構(gòu)件時(shí)，使用這樣的粘接劑組合物，將該構(gòu)件作為被粘物粘接于前述構(gòu)件的加工用的支持基材，從而得到。另外，該層疊體可適合用于該構(gòu)件、例如鑄錠的加工。作為其用途之一的制造硅晶圓的方法例如可舉出以下方法：使用本實(shí)施方式的暫時(shí)固定用粘接劑組合物，將硅鑄錠粘接暫時(shí)固定于基材后，裁切硅鑄錠而制作硅晶圓，將暫時(shí)固定用粘接劑組合物的固化物浸漬于水，再從基材取下硅晶圓的方法等?？赏ㄟ^使固體硅在加熱爐內(nèi)熔解、凝固的方法等獲得硅鑄錠。硅鑄錠通過線鋸等裁切。線鋸可舉出如日本特開平7-153724號(hào)公報(bào)、日本特開平11-60400號(hào)公報(bào)等中提及的鋼琴線等。硅晶圓可使用于太陽能電池、半導(dǎo)體等。從提高作業(yè)性的方面出發(fā)，本實(shí)施方式優(yōu)選使用底漆。底漆可應(yīng)用例如涂布或噴霧于構(gòu)件、基材的表面?？稍诘灼岬谋砻嫱坎蓟驀婌F暫時(shí)固定用粘接劑組合物。在基材的表面涂布或噴霧底漆，并在底漆的表面涂布或噴霧暫時(shí)固定用粘接劑組合物，在暫時(shí)固定用粘接劑組合物的表面粘接構(gòu)件時(shí)，在剝離暫時(shí)固定用粘接劑組合物的固化物時(shí)，暫時(shí)固定用粘接劑組合物的固化物僅附著于基材，從構(gòu)件剝離。因此，可省略從構(gòu)件去除暫時(shí)固定用粘接劑組合物的作業(yè)，作業(yè)性提高。底漆優(yōu)選含有溶劑和(7)密合性賦予成分。優(yōu)選使(7)溶解或分散于溶劑而形成底漆。例如不在構(gòu)件上涂布底漆而僅在基材上涂布底漆，由此從暫時(shí)固定用粘接劑組合物的固化物剝離構(gòu)件時(shí)，暫時(shí)固定用粘接劑組合物的固化物選擇性地附著于基材，作業(yè)性格外優(yōu)異。使用(7)作為底漆時(shí)，從容易溶解于溶劑且暫時(shí)固定用粘接劑組合物的固化物容易選擇性地附著于基材的方面出發(fā)，(7)優(yōu)選為選自前述硅烷偶聯(lián)劑和前述磷酸鹽中的1種以上。底漆所使用的溶劑只要可溶解(7)密合性賦予成分即可。從不影響暫時(shí)固定用粘接劑組合物的性能的方面出發(fā)，溶劑中優(yōu)選為(甲基)丙烯酸酯單體。(甲基)丙烯酸酯單體中，優(yōu)選為選自前述(1)及前述(2)中的1種以上。前述(1)及前述(2)中，優(yōu)選為選自(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯、甘油單(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸芐酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烯酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊基氧乙酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烯基氧乙酯中的1種以上。(甲基)丙烯酸酯以外的溶劑可舉出己烷及環(huán)己烷等脂肪族系溶劑；甲苯及二甲苯等烷基苯系溶劑；甲醇、乙醇、及異丙醇等醇類；丙酮及甲基異丁酮等酮類等有機(jī)溶劑。對于前述底漆中的密合性賦予成分及溶劑，在密合性賦予成分與溶劑的合計(jì)100質(zhì)量份中，密合性賦予成分與溶劑優(yōu)選為以0.5～10：99.5～90的質(zhì)量比含有，更優(yōu)選以1～5：99～95的質(zhì)量比含有。若密合性賦予成分的比率為0.5以上，則暫時(shí)固定用粘接劑組合物的固化物選擇性地附著于基材。若密合性賦予成分的比率為10以下，則密合性賦予成分不會(huì)借助暫時(shí)固定用粘接劑組合物而浸透至構(gòu)件側(cè)，故剝離后暫時(shí)固定用粘接劑組合物的固化物不會(huì)殘膠于構(gòu)件。若在基材的表面使用底漆、在底漆的表面使用暫時(shí)固定用粘接劑組合物、在暫時(shí)固定用粘接劑組合物的表面粘接構(gòu)件，則可提升清洗工序中構(gòu)件的耐清洗性。此處，使用是指涂布、噴霧等。本實(shí)施方式中，通過在構(gòu)件不使用底漆而僅在基材涂布底漆，從而能夠使剝離后的暫時(shí)固定用粘接劑組合物的固化物附著于基材。通過本實(shí)施方式制造晶圓時(shí)，構(gòu)件優(yōu)選為鑄錠。鑄錠優(yōu)選為選自由單晶硅鑄錠、多晶硅鑄錠、碳化硅鑄錠中的1種以上。通過使用選自單晶硅鑄錠、多晶硅鑄錠、碳化硅鑄錠中的1種以上作為構(gòu)件，本實(shí)施方式的暫時(shí)固定用粘接劑組合物具有更大的效果。若使用本實(shí)施方式則可實(shí)施以往難以加工的碳化硅的加工。實(shí)施例通過以下的實(shí)驗(yàn)例詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施方式，但本發(fā)明并不限于這些實(shí)驗(yàn)例。各使用材料的用量單位以質(zhì)量份表示。只要未特別說明，則在溫度為23℃、濕度50％RH的環(huán)境下進(jìn)行。(調(diào)制例1)[調(diào)制介質(zhì)]調(diào)制表1所示的介質(zhì)作為浸漬暫時(shí)固定用粘接劑組合物的固化物的介質(zhì)。將酸與水以表1所示的質(zhì)量比混合而調(diào)制介質(zhì)1～4。介質(zhì)5是以水：芐醇：磺酸型陰離子性表面活性劑＝35：45：20的質(zhì)量比混合所得的剝離劑。使用二甲苯磺酸鈉系表面活性劑作為磺酸型陰離子性表面活性劑。[表1]表1(調(diào)制例2)[底漆的調(diào)制]調(diào)制表2所示的底漆作為底漆。將(7)密合性賦予成分與溶劑以表2所示的質(zhì)量比混合而調(diào)制底漆。[表2]表2底漆1(7)密合性賦予成分溶劑成分甲基丙烯酸酸式膦酰氧基乙酯甲基丙烯酸苯氧基乙酯質(zhì)量比397底漆2(7)密合性賦予成分溶劑成分甲基丙烯酸酸式膦酰氧基乙酯甲基丙烯酸-2-羥基乙酯質(zhì)量比397底漆3(7)密合性賦予成分溶劑成分甲基丙烯酸酸式膦酰氧基乙酯丙酮質(zhì)量比595底漆4(7)密合性賦予成分溶劑成分甲基丙烯酸酸式膦酰氧基乙酯甲基丙烯酸芐酯質(zhì)量比199底漆5(7)密合性賦予成分溶劑成分γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷甲基丙烯酸二環(huán)戊烯基氧乙酯質(zhì)量比397(實(shí)驗(yàn)例1)以表3的組成混合各使用材料，調(diào)制包含第一組分和第二組分的暫時(shí)固定用粘接劑組合物，并評價(jià)物性。將結(jié)果示于表3。(使用材料)甲基丙烯酸-2-羥基乙酯：市售品甲基丙烯酸苯氧基乙酯：市售品甘油單甲基丙烯酸酯：市售品甲基丙烯酸芐酯：市售品甲基丙烯酸-2-羥基丙酯：市售品甲基丙烯酸2-乙基己酯：市售品甲基丙烯酸月桂酯：市售品2,2-雙[4-(甲基丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基]丙烷：市售品，具有乙二醇結(jié)構(gòu)的多官能(甲基)丙烯酸酯1,9-壬二醇二甲基丙烯酸酯：市售品甲基丙烯酸二環(huán)戊烯基氧乙酯：市售品二羥甲基三環(huán)癸烷二甲基丙烯酸酯：市售品γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷：市售品異丙苯過氧化氫：市售品甲基丙烯酸甲酯/丁二烯/苯乙烯共聚物(MMA-BD-ST共聚物)：市售品丙烯腈/丁二烯橡膠(AN-BD橡膠)：高腈NBR、腈含量41質(zhì)量％，市售品石蠟類：石蠟，市售品氫醌單甲醚：市售品對苯醌：市售品檸檬酸：市售品乳酸：市售品乙酰丙酮氧釩：市售品甲基丙烯酸酸式膦酰氧基乙酯鹽：市售品丙酮：市售品SPCC：SPCC-D噴砂處理鋼板，市售品硅晶圓(Si晶圓)：市售品硅鑄錠(Si鑄錠)：市售品多晶硅鑄錠：市售品，125mm×125mm×400mm單晶硅鑄錠：市售品，125mm×125mm×400mm碳化硅鑄錠：市售品，100mm×100mm×400mm毛玻璃：市售品，青板玻璃，125mm×400mm×20mmt，Ra為5μmU-bond：市售品，環(huán)氧系暫時(shí)固定粘接劑(日化精工公司制)物性如下測定。[固著時(shí)間]根據(jù)JISK-6856，將第一組分和第二組分等量混合并涂布于試驗(yàn)片(100mm×25mm×1.6mmt，SPCC-D噴砂處理)的一側(cè)，之后立刻重疊并貼合另一側(cè)的試驗(yàn)片作為試樣。對于試樣的固著時(shí)間(單位：分鐘)，在溫度23℃、濕度50％RH的環(huán)境下，測定從用推拉力計(jì)拉伸至測定到0.4MPa以上強(qiáng)度為止的時(shí)間。[拉伸粘接強(qiáng)度]根據(jù)JISK6849(1994)，將第一組分和第二組分等量混合并涂布于試驗(yàn)片(15mm×15mm×0.725mmt，Si晶圓)的一側(cè)，之后立刻重疊并貼合另一側(cè)的試驗(yàn)片(毛玻璃(青板玻璃，15mm×15mm×0.7mmt，Ra：5μm))后，使粘接部位為直徑8mm的圓形，在23℃固化24小時(shí)后作為試樣。在溫度23℃、濕度50％RH的環(huán)境下，以拉伸速度10mm/分鐘測定試樣的拉伸粘接強(qiáng)度(單位：MPa)。[23℃水溶脹率(％)]在PET薄膜上配置由1mm厚度的硅片形成的模板。在模板中流入暫時(shí)固定用粘接劑組合物。在流入有暫時(shí)固定用粘接劑組合物的模板的表面配置1mm厚度的PET薄膜。即，制作在2片PET薄膜間夾著流入有暫時(shí)固定用粘接劑組合物的模板而成的結(jié)構(gòu)體。之后，將暫時(shí)固定用粘接劑組合物在23℃固化24小時(shí)，制作厚度1mm的暫時(shí)固定用粘接劑組合物的固化物。將所制作的固化物裁切為25mm×25mm正方形后，根據(jù)ASTMD570的吸水率測定法測定所得的固化物。由下式求得水溶脹率(％)。水使用23℃的純水。將固化物浸漬于水中60分鐘后進(jìn)行測定。水溶脹率(％)＝100×(浸漬于水后的固化物質(zhì)量-浸漬于水前的固化物質(zhì)量)/(浸漬于水前的固化物質(zhì)量)[50℃水溶脹率(％)]在PET薄膜上配置由1mm厚度的硅片形成的模板。在模板中流入暫時(shí)固定用粘接劑組合物。在流入有暫時(shí)固定用粘接劑組合物的模板的表面配置1mm厚度的PET薄膜。即，制作在2片PET薄膜間夾著流入有暫時(shí)固定用粘接劑組合物的模板而成的結(jié)構(gòu)體。之后，將暫時(shí)固定用粘接劑組合物在23℃固化24小時(shí)，制作厚度1mm的暫時(shí)固定用粘接劑組合物的固化物。將所制作的固化物裁切為25mm×25mm正方形后，根據(jù)ASTMD570的吸水率測定法測定所得的固化物。由下式求得水溶脹率(％)。其中，水使用50℃的純水。將固化物浸漬于水中60分鐘后進(jìn)行測定。水溶脹率(％)＝100×(浸漬于水后的固化物質(zhì)量-浸漬于水前的固化物質(zhì)量)/(浸漬于水前的固化物質(zhì)量)[玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(℃)]在PET薄膜上配置由1mm厚度的硅片形成的模板。在模板中流入暫時(shí)固定用粘接劑組合物。在流入有暫時(shí)固定用粘接劑組合物的模板的表面配置1mm厚度的PET薄膜。即，制作在2片PET薄膜間夾著流入有暫時(shí)固定用粘接劑組合物的模板而成的結(jié)構(gòu)體。之后，將暫時(shí)固定用粘接劑組合物在23℃固化24小時(shí)，制作厚度1mm的暫時(shí)固定用粘接劑組合物的固化物。用刀具將固化物裁切為長50mm×寬5mm，作為玻璃化轉(zhuǎn)變溫度測定用固化物。利用SEIKO電子產(chǎn)業(yè)公司制的動(dòng)態(tài)粘彈性測定裝置“DMS210”測定玻璃化轉(zhuǎn)變溫度。在氮環(huán)境下、對前述固化物施加1Hz的拉伸方向的應(yīng)力及應(yīng)變，以每分鐘2℃的升溫速度一邊升溫一邊測定tanδ，將該tanδ的峰頂?shù)臏囟茸鳛椴ＡЩD(zhuǎn)變溫度。[表3]表3[表4]表3(續(xù))(實(shí)驗(yàn)例2)使用表4所示的暫時(shí)固定用粘接劑組合物、表4所示的底漆及表4所示的介質(zhì)進(jìn)行Si鑄錠加工試驗(yàn)，并評價(jià)物性。將結(jié)果示于表4。[Si鑄錠加工試驗(yàn)]用表4所示的暫時(shí)固定用粘接劑組合物將125mm×125mm×400mm的Si(硅)鑄錠(多晶硅鑄錠)與毛玻璃(青板玻璃、125mm×400mm×20mmt、Ra：5μm)粘接固化。使用鑄錠作為構(gòu)件，使用毛玻璃作為基材。此時(shí)，在實(shí)驗(yàn)例2-1～2-8及實(shí)驗(yàn)例2-10～2-13中對毛玻璃涂布表4所示的底漆(參照表2)。具體而言如下所述進(jìn)行。在毛玻璃表面涂布底漆。在底漆的表面涂布暫時(shí)固定用粘接劑組合物。不涂布底漆時(shí)，在毛玻璃表面涂布暫時(shí)固定用粘接劑組合物。在暫時(shí)固定用粘接劑組合物的表面配置Si鑄錠并粘接。進(jìn)而，為了在線鋸裝置上安裝Si鑄錠與毛玻璃的粘接試驗(yàn)體，而在毛玻璃(未貼合Si鑄錠的面)涂布表4所示的暫時(shí)固定用粘接劑組合物，在暫時(shí)固定用粘接劑組合物的表面貼合鋁制夾具。之后，將粘接試驗(yàn)體在23℃固化24小時(shí)。使用線鋸裝置僅將經(jīng)固化的粘接試驗(yàn)體的Si鑄錠部分裁切為180μm厚。觀察裁切中Si鑄錠有無脫落(Si鑄錠加工試驗(yàn)(脫落狀態(tài)))。將僅裁切Si鑄錠的粘接試驗(yàn)體浸漬于23℃純水60分鐘，觀察裁切的Si晶圓有無脫落(Si鑄錠加工試驗(yàn)(清洗試驗(yàn)))。接著，將該粘接試驗(yàn)體浸漬于表4所示的介質(zhì)，測定從浸漬于介質(zhì)至Si晶圓與青板玻璃完全剝離為止的時(shí)間(Si鑄錠加工試驗(yàn)(剝離時(shí)間))。此時(shí)，也觀察粘接劑固化物的剝離狀態(tài)(Si鑄錠加工試驗(yàn)(剝離狀態(tài)))。最后用加熱板將鋁制夾具以200℃加熱1小時(shí)，確認(rèn)鋁制夾具與毛玻璃能否分離((夾具剝離))。剝離狀態(tài)中，以暫時(shí)固定用粘接劑組合物在基材或構(gòu)件的表面上不會(huì)殘膠的方面出發(fā)，優(yōu)選在界面剝離。[表5][表6]表4(續(xù))Si晶圓界面剝離是指Si晶圓與粘接劑的界面剝離。毛玻璃界面剝離是指毛玻璃與粘接劑的界面剝離。底漆(基材)是涂布于基材表面的底漆。底漆(構(gòu)件)是涂布于構(gòu)件表面的底漆。(實(shí)驗(yàn)例3)使用表5所示的構(gòu)件、表5所示的暫時(shí)固定用粘接劑組合物、表5所示的底漆、表5所示的介質(zhì)進(jìn)行鑄錠加工試驗(yàn)，并評價(jià)物性。將結(jié)果示于表5。[鑄錠加工試驗(yàn)]用表5所示的暫時(shí)固定用粘接劑組合物使表5所示的鑄錠與毛玻璃(青板玻璃、125mm×400mm×20mmt、Ra：5μm)粘接固化。使用鑄錠作為構(gòu)件，使用毛玻璃作為基材。此時(shí)，在實(shí)驗(yàn)例2-1、實(shí)驗(yàn)例3-1、實(shí)驗(yàn)例3-3、實(shí)驗(yàn)例3-5中對毛玻璃(基材)涂布表5所示的底漆，在實(shí)驗(yàn)例3-1～3-3及實(shí)驗(yàn)例3-5中對鑄錠(構(gòu)件)涂布表5所示的底漆(參照表2)。具體而言，如下所述進(jìn)行。在毛玻璃或鑄錠的表面涂布底漆。在涂布于基材表面的底漆的表面涂布暫時(shí)固定用粘接劑組合物。不涂布底漆時(shí)，在毛玻璃的表面涂布暫時(shí)固定用粘接劑組合物。在暫時(shí)固定用粘接劑組合物的表面配置鑄錠并粘接。在鑄錠表面涂布底漆時(shí)，在暫時(shí)固定用粘接劑組合物的表面配置鑄錠表面的底漆表面并粘接。進(jìn)而，為了在線鋸裝置上安裝鑄錠與毛玻璃的粘接試驗(yàn)體，而在毛玻璃(未貼合鑄錠的面)涂布表5所示的暫時(shí)固定用粘接劑組合物，并在暫時(shí)固定用粘接劑組合物的表面貼合鋁制的夾具。之后，將粘接試驗(yàn)體在23℃固化24小時(shí)。僅對經(jīng)固化的粘接試驗(yàn)體的鑄錠部分，使用線鋸裝置將多晶硅鑄錠、單晶硅鑄錠裁切為180μm厚度，將碳化硅鑄錠裁切為400μm厚度。觀察裁切中的鑄錠有無脫落(鑄錠加工試驗(yàn)(脫落狀態(tài)))。將僅裁切鑄錠的粘接試驗(yàn)體浸漬于30℃純水中60分鐘，觀察裁切的晶圓有無脫落(鑄錠加工試驗(yàn)(清洗試驗(yàn)))。接著，將該粘接試驗(yàn)體浸漬于表5所示的介質(zhì)，測定從浸漬于介質(zhì)至晶圓與青板玻璃完全剝離為止的時(shí)間(鑄錠加工試驗(yàn)(剝離時(shí)間))。此時(shí)也觀察粘接劑固化物的剝離狀態(tài)(鑄錠加工試驗(yàn)(剝離狀態(tài)))。最后用加熱板將鋁制夾具以200℃加熱1小時(shí)，確認(rèn)鋁制夾具與毛玻璃能否分離((夾具剝離))。剝離狀態(tài)中，以暫時(shí)固定用粘接劑組合物在基材、構(gòu)件的表面上不會(huì)殘膠的方面出發(fā)，優(yōu)選在界面剝離。[表7]表5Si晶圓界面剝離是指Si晶圓與粘接劑的界面剝離。毛玻璃界面剝離是指毛玻璃與粘接劑的界面剝離。碳化硅晶圓界面剝離是指碳化硅晶圓與粘接劑的界面剝離。底漆(基材)是涂布于基材表面的底漆。底漆(構(gòu)件)是涂布于構(gòu)件表面的底漆。由實(shí)驗(yàn)例確認(rèn)以下事項(xiàng)。相當(dāng)于本發(fā)明實(shí)施方式的方案具有優(yōu)異的效果。使用具有乙二醇結(jié)構(gòu)的多官能(甲基)丙烯酸酯(2,2-雙[4-(甲基丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基]丙烷)代替(3)不具有乙二醇結(jié)構(gòu)的多官能(甲基)丙烯酸酯單體時(shí)，加工結(jié)束后、清洗試驗(yàn)后晶圓會(huì)脫落(實(shí)驗(yàn)例2-14、實(shí)驗(yàn)例2-15、實(shí)驗(yàn)例2-18、實(shí)驗(yàn)例3-5、實(shí)驗(yàn)例3-6)。(1)、(2)的用量若在本實(shí)施方式的范圍外，則加工結(jié)束后、清洗試驗(yàn)后晶圓會(huì)脫落(實(shí)驗(yàn)例2-16、實(shí)驗(yàn)例2-17)。使用環(huán)氧系暫時(shí)固定粘接劑時(shí)，加工結(jié)束后、清洗試驗(yàn)后晶圓會(huì)脫落(實(shí)驗(yàn)例3-7)。通過使用本實(shí)施方式的暫時(shí)固定用粘接劑組合物，可在短時(shí)間固化并顯示高粘接強(qiáng)度。前述固化物通過接觸水而粘接強(qiáng)度降低，且構(gòu)件間的粘接力或構(gòu)件與夾具的粘接力會(huì)降低，因此能夠容易地回收構(gòu)件。對于本實(shí)施方式的暫時(shí)固定用粘接劑組合物，通過將底漆僅涂布于基材表面，從而在回收構(gòu)件時(shí)暫時(shí)固定用粘接劑組合物會(huì)選擇性地附著于基材，故構(gòu)件表面上不會(huì)殘留暫時(shí)固定用粘接劑組合物，作業(yè)性優(yōu)異。通過將底漆涂布于基材表面，從而清洗工序中構(gòu)件的耐清洗性提高、生產(chǎn)率優(yōu)異。使用本實(shí)施方式的暫時(shí)固定用粘接劑組合物，在裁切硅鑄錠時(shí)硅鑄錠不會(huì)脫落，顯示良好的加工性且加工后容易剝離。本實(shí)施方式例如具有以下特征。通過本實(shí)施方式，可獲得安全的兩組分型(甲基)丙烯酸系粘接劑組合物，其切削加工后構(gòu)件的尺寸精度提高、具有高粘接強(qiáng)度、具有對于加工時(shí)所產(chǎn)生的加工熱的耐熱性、水中的剝離性優(yōu)異、在加工后的清洗工序中不會(huì)剝離、不會(huì)殘膠于構(gòu)件、環(huán)境性或作業(yè)性優(yōu)異、且固化速度快。本實(shí)施方式通過混合兩組分的(甲基)丙烯酸系粘接劑組合物而在短時(shí)間固化。因此，相較于環(huán)氧系粘接劑組合物，在作業(yè)性及縮短作業(yè)時(shí)間的方面顯著優(yōu)異，且不使用胺、聚硫醇之類的惡臭物質(zhì)作為固化劑，故安全性、作業(yè)性優(yōu)異。本實(shí)施方式不使用雙酚A型二縮水甘油醚，故安全性優(yōu)異。本實(shí)施方式的固化物不會(huì)受加工時(shí)所使用的切削水等所影響，具有高粘接強(qiáng)度和高彈性模量，故加工構(gòu)件時(shí)不容易產(chǎn)生偏差，容易獲得尺寸精度方面優(yōu)異的構(gòu)件。本實(shí)施方式的固化物的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度高，故具有對于加工時(shí)所生成加工熱的耐熱性，且尺寸精度的方面優(yōu)異。本實(shí)施方式中，固化物與溫水接觸會(huì)溶脹、剝離，但因控制其溶脹率，故對于使用水的清洗工序具有耐清洗性。本實(shí)施方式中，通過僅在基材涂布底漆，可使剝離后的暫時(shí)固定用粘接劑組合物的固化物附著于基材。由此，可省去從加工后的構(gòu)件去除暫時(shí)固定用粘接劑組合物的固化物的工序，作業(yè)性、生產(chǎn)率優(yōu)異。本實(shí)施方式中，通過在基材涂布底漆，從而清洗工序中構(gòu)件的耐清洗性提高。由此生產(chǎn)率優(yōu)異。當(dāng)前第1頁1 2 3