本發(fā)明涉及一種表面處理劑,具體而言,涉及一種含有含全氟(聚)醚基硅烷化合物的表面處理劑。
背景技術(shù):
:已知有某種含氟硅烷化合物,用于基材的表面處理時,可以提供優(yōu)異的撥水性、撥油性、防污性等。由含有含氟硅烷化合物的表面處理劑獲得的層(以下,也稱為“表面處理層”),作為所謂的功能性薄膜,被施用于例如玻璃、塑料、纖維、建筑材料等各種各樣的基材。作為這樣的含氟硅烷化合物,已知有在分子主鏈中具有全氟聚醚基、分子末端或末端部具有與si原子結(jié)合的能夠水解的基團的含全氟聚醚基硅烷化合物。例如,在專利文獻1和2中記載了分子末端或末端部具有與si原子結(jié)合的能夠水解的基團的含全氟聚醚基硅烷化合物。現(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1:國際公開第97/07155號專利文獻2:日本特表2008-534696號公報技術(shù)實現(xiàn)要素:發(fā)明所要解決的課題為了向基材長期提供所希望的功能,對表面處理層要求高的耐久性。由含有含全氟聚醚基硅烷化合物的表面處理劑獲得的層,即使在薄膜的狀態(tài)下也能夠發(fā)揮上述那樣的功能,因此,被適當(dāng)用于要求透光性或透明性的眼鏡和觸摸面板等光學(xué)部件,特別是在這些用途中,要求摩擦耐久性的進一步提高。然而,關(guān)于由含有如上所述的現(xiàn)有的含全氟聚醚基硅烷化合物的表面處理劑獲得的層,在響應(yīng)逐漸增長的提高摩擦耐久性的要求方面,還未必能夠說成是充分的。本發(fā)明的目的在于:提供能夠形成具有撥水性、撥油性、防污性、防水性、并且具有高的摩擦耐久性的層的含有含全氟(聚)醚基硅烷化合物的表面處理劑。用于解決課題的方法本發(fā)明人的發(fā)明人進行精心研究,結(jié)果發(fā)現(xiàn),在含有含全氟(聚)醚基硅烷化合物的表面處理劑中,在表面處理劑所含的含全氟(聚)醚基硅烷化合物中,使分子量為3000以下的含全氟(聚)醚基硅烷化合物的比率為9mol%以下,能夠形成具有更優(yōu)異的摩擦耐久性的表面處理層,直至完成本發(fā)明。即,根據(jù)本發(fā)明的第一要旨,提供一種表面處理劑,其特征在于:該表面處理劑包含下述通式(a1)、(a2)、(b1)、(b2)、(c1)和(c2)中任一個所示的至少1種的含全氟(聚)醚基硅烷化合物,(rf-pfpe)β’-x5-(sir1nr23-n)β…(b1)(r23-nr1nsi)β-x5-pfpe-x5-(sir1nr23-n)β…(b2)(rf-pfpe)γ’-x7-(sirakrb1rcm)γ…(c1)(rcmrb1raksi)γ-x7-pfpe-x7-(sirakrb1rcm)γ…(c2)[式中:pfpe在每次出現(xiàn)時分別獨立地為式:-(oc4f8)a-(oc3f6)b-(oc2f4)c-(ocf2)d-所示的基團(式中,a、b、c和d分別獨立地為0~200的整數(shù),a、b、c和d的和至少為1,標(biāo)有下標(biāo)a、b、c或d并用括號括起來的各重復(fù)單元的存在順序在式中是任意的。);rf在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示可以被1個以上的氟原子取代的碳原子數(shù)1~16的烷基;r1在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示氫原子或碳原子數(shù)1~22的烷基;r2在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示羥基或能夠水解的基團;r11在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示氫原子或鹵原子;r12在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示氫原子或低級烷基;n在每個(-sir1nr23-n)單元中,獨立地為0~3的整數(shù);其中,在式(a1)、(a2)、(b1)和(b2)中,存在至少1個r2;x1分別獨立地表示單鍵或2~10價的有機基團;x2在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示單鍵或2價的有機基團;t在每次出現(xiàn)時分別獨立地為1~10的整數(shù);α分別獨立地為1~9的整數(shù);α’分別獨立地為1~9的整數(shù);x5分別獨立地表示單鍵或2~10價的有機基團;β分別獨立地為1~9的整數(shù);β’分別獨立地為1~9的整數(shù);x7分別獨立地表示單鍵或2~10價的有機基團;γ分別獨立地為1~9的整數(shù);γ’分別獨立地為1~9的整數(shù);ra在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示-z-sir71pr72qr73r;z在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示氧原子或2價的有機基團;r71在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示ra’;ra’的意義與ra相同;ra中,通過z基連結(jié)成直鏈狀的si最多為5個;r72在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示羥基或能夠水解的基團;r73在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示氫原子或低級烷基;p在每次出現(xiàn)時分別獨立地為0~3的整數(shù);q在每次出現(xiàn)時分別獨立地為0~3的整數(shù);r在每次出現(xiàn)時分別獨立地為0~3的整數(shù);其中,在一個ra中,p、q和r的和為3,在式(c1)和(c2)中,存在至少1個r72;rb在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示羥基或能夠水解的基團;rc在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示氫原子或低級烷基;k在每次出現(xiàn)時分別獨立地為1~3的整數(shù);l在每次出現(xiàn)時分別獨立地為0~2的整數(shù);m在每次出現(xiàn)時分別獨立地為0~2的整數(shù);其中,在標(biāo)有γ并用括號括起來的單元中,k、l和m的和為3。]在上述通式所示的含全氟(聚)醚基硅烷化合物中,分子量為3000以下的含全氟(聚)醚基硅烷化合物的比率是9mol%以下。根據(jù)本發(fā)明的第二要旨,提供一種含有上述表面處理劑的粒料。根據(jù)本發(fā)明的第三要旨,提供一種包含基材和在該基材的表面由含有上述含全氟(聚)醚基硅烷化合物的表面處理劑形成的層的物品。發(fā)明效果利用本發(fā)明,能夠提供一種新型的含有含全氟(聚)醚基硅烷化合物的表面處理劑。通過使用該表面處理劑,能夠形成具有撥水性、撥油性、防污性、并且具有優(yōu)異的摩擦耐久性的表面處理層。具體實施方式以下,對本發(fā)明的化合物進行說明。在本說明書中使用的情況下,所謂“烴基”,是含有碳和氫的基團,是指從烴脫除1個氫原子而得到的基團。作為這樣的烴基,沒有特別限定,可以列舉可以被1個以上的取代基取代的碳原子數(shù)1~20的烴基,例如脂肪族烴基、芳香族烴基等。上述“脂肪族烴基”可以是直鏈狀、支鏈狀或環(huán)狀的任意種,也可以是飽和或不飽和的任意種。另外,烴基還可以含有1個以上的環(huán)結(jié)構(gòu)。另外,上述烴基也可以在其末端或分子鏈中具有1個以上的n、o、s、si、酰胺基、磺酰基、硅氧烷基、羰基、羰氧基等。在本說明書中使用的情況下,作為“烴基”的取代基,沒有特別限定,例如可以列舉鹵原子;可以被1個以上的鹵原子取代的選自c1-6烷基、c2-6烯基、c2-6炔基、c3-10環(huán)烷基、c3-10不飽和環(huán)烷基、5~10元的雜環(huán)基、5~10元的不飽和雜環(huán)基、c6-10芳基和5~10元的雜芳基中的1個以上的基團。在本說明書中使用的情況下,所謂“2~10價的有機基團”,是指含有碳的2~10價的基團。作為這樣的2~10價的有機基團,沒有特別限定,可以列舉從烴基進一步脫除1~9個氫原子而得到的2~10價的基團。例如,作為2價的有機基團,沒有特別限定,可以列舉從烴基進一步脫除1個氫原子而得到的2價的基團。本發(fā)明提供一種表面處理劑,其特征在于:該表面處理劑(以下,也稱為“本發(fā)明的表面處理劑”)包含下述式(a1)、(a2)、(b1)、(b2)、(c1)和(c2)中任一個所示的至少1種的含全氟(聚)醚基硅烷化合物,在上述通式所示的含全氟(聚)醚基硅烷化合物中,分子量為3000以下的含全氟(聚)醚基硅烷化合物的比率是9mol%以下。(rf-pfpe)β’-x5-(sir1nr23-n)β…(b1)(r23-nr1nsi)β-x5-pfpe-x5-(sir1nr23-n)β…(b2)(rf-pfpe)γ’-x7-(sirakrb1rcm)γ…(c1)(rcmrb1raksi)γ-x7-pfpe-x7-(sirakrb1rcm)γ…(c2)以下,對上述式(a1)、(a2)、(b1)、(b2)、(c1)和(c2)所示的含全氟(聚)醚基硅烷化合物進行說明。式(a1)和(a2):在上述式中,pfpe為-(oc4f8)a-(oc3f6)b-(oc2f4)c-(ocf2)d-,相當(dāng)于全氟(聚)醚基。其中,a、b、c和d分別獨立地為0或1以上的整數(shù),a、b、c和d的和至少為1。優(yōu)選a、b、c和d分別獨立地為0以上200以下的整數(shù)、例如1~200的整數(shù),更優(yōu)選分別獨立地為0以上100以下的整數(shù)。還優(yōu)選a、b、c和d的和為5以上,更優(yōu)選為10以上,例如為10以上100以下。另外,標(biāo)有a、b、c或d并用括號括起來的各重復(fù)單元的存在順序在式中是任意的。這些重復(fù)單元中,-(oc4f8)-可以為-(ocf2cf2cf2cf2)-、-(ocf(cf3)cf2cf2)-、-(ocf2cf(cf3)cf2)-、-(ocf2cf2cf(cf3))-、-(oc(cf3)2cf2)-、-(ocf2c(cf3)2)-、-(ocf(cf3)cf(cf3))-、-(ocf(c2f5)cf2)-和-(ocf2cf(c2f5))-中的任意種,優(yōu)選為-(ocf2cf2cf2cf2)-。-(oc3f6)-可以為-(ocf2cf2cf2)-、-(ocf(cf3)cf2)-和-(ocf2cf(cf3))-中的任意種,優(yōu)選為-(ocf2cf2cf2)-。另外,-(oc2f4)-可以為-(ocf2cf2)-和-(ocf(cf3))-中的任意種,優(yōu)選為-(ocf2cf2)-。在一個方式中,pfpe為-(oc3f6)b-(式中,b為1以上200以下、優(yōu)選5以上200以下、更優(yōu)選10以上200以下的整數(shù)),優(yōu)選為-(ocf2cf2cf2)b-(式中,b為1以上200以下、優(yōu)選5以上200以下、更優(yōu)選10以上200以下的整數(shù))或-(ocf(cf3)cf2)b-(式中,b為1以上200以下、優(yōu)選5以上200以下、更優(yōu)選10以上200以下的整數(shù)),更優(yōu)選為-(ocf2cf2cf2)b-(式中,b為1以上200以下、優(yōu)選5以上200以下、更優(yōu)選10以上200以下的整數(shù))。在其他方式中,pfpe為-(oc4f8)a-(oc3f6)b-(oc2f4)c-(ocf2)d-(式中,a和b分別獨立地為0以上30以下的整數(shù),c和d分別獨立地為1以上200以下、優(yōu)選5以上200以下、更優(yōu)選10以上200以下的整數(shù),標(biāo)有下標(biāo)a、b、c或d并用括號括起來的各重復(fù)單元的存在順序在式中是任意的),優(yōu)選為-(ocf2cf2cf2cf2)a-(ocf2cf2cf2)b-(ocf2cf2)c-(ocf2)d-。在一個方式中,pfpe也可以為-(oc2f4)c-(ocf2)d-(式中,c和d分別獨立地為1以上200以下、優(yōu)選5以上200以下、更優(yōu)選10以上200以下的整數(shù),標(biāo)有下標(biāo)c或d并用括號括起來的各重復(fù)單元的存在順序在式中是任意的)。另外,在其他方式中,pfpe為-(oc2f4-r8)f-所示的基團。式中,r8為選自oc2f4、oc3f6和oc4f8中的基團,或者為獨立選自這些基團中的2或3個基團的組合。作為獨立選自oc2f4、oc3f6和oc4f8中的2或3個基團的組合,沒有特別限定,例如可以列舉-oc2f4oc3f6-、-oc2f4oc4f8-、-oc3f6oc2f4-、-oc3f6oc3f6-、-oc3f6oc4f8-、-oc4f8oc4f8-、-oc4f8oc3f6-、-oc4f8oc2f4-、-oc2f4oc2f4oc3f6-、-oc2f4oc2f4oc4f8-、-oc2f4oc3f6oc2f4-、-oc2f4oc3f6oc3f6-、-oc2f4oc4f8oc2f4-、-oc3f6oc2f4oc2f4-、-oc3f6oc2f4oc3f6-、-oc3f6oc3f6oc2f4-和-oc4f8oc2f4oc2f4-等。上述f為2~100的整數(shù),優(yōu)選為2~50的整數(shù)。上述式中,oc2f4、oc3f6和oc4f8可以為直鏈或支鏈的任意種,優(yōu)選為直鏈。在該方式中,pfpe優(yōu)選為-(oc2f4-oc3f6)f-或-(oc2f4-oc4f8)f-。在上述式中,rf表示可以被1個以上的氟原子取代的碳原子數(shù)1~16的烷基。上述可以被1個以上的氟原子取代的碳原子數(shù)1~16的烷基中的“碳原子數(shù)1~16的烷基”可以為直鏈,也可以為支鏈,優(yōu)選為直鏈或支鏈的碳原子數(shù)1~6、特別是碳原子數(shù)1~3的烷基,更優(yōu)選為直鏈的碳原子數(shù)1~3的烷基。上述rf優(yōu)選為可以被1個以上的氟原子取代的碳原子數(shù)1~16的烷基,更優(yōu)選為cf2h-c1-15氟亞烷基,進一步優(yōu)選為碳原子數(shù)1~16的全氟烷基。該碳原子數(shù)1~16的全氟烷基可以為直鏈,也可以為支鏈,優(yōu)選為直鏈或支鏈的碳原子數(shù)1~6、特別是碳原子數(shù)1~3的全氟烷基,更優(yōu)選為直鏈的碳原子數(shù)1~3的全氟烷基,具體而言,為-cf3、-cf2cf3或-cf2cf2cf3。在上述式中,r1在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示氫原子或碳原子數(shù)1~22的烷基、優(yōu)選碳原子數(shù)1~4的烷基。在上述式中,r2在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示羥基或能夠水解的基團。上述“能夠水解的基團”,在本說明書中使用的情況下,是指通過水解反應(yīng)能夠從化合物的主骨架脫除的基團。作為能夠水解的基團的例子,可以列舉-or、-ocor、-o-n=cr2、-nr2、-nhr、鹵素(這些式中,r表示取代或非取代的碳原子數(shù)1~4的烷基)等,優(yōu)選為-or(即,烷氧基)。在r的例子中,包括甲基、乙基、丙基、異丙基、正丁基、異丁基等非取代烷基;氯甲基等取代烷基。這些中,優(yōu)選烷基、特別是非取代烷基,更優(yōu)選甲基或乙基。羥基沒有特別限定,可以為能夠水解的基團水解而生成的基團。在上述式中,r11在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示氫原子或鹵原子。鹵原子優(yōu)選為碘原子、氯原子或氟原子,更優(yōu)選為氟原子。在上述式中,r12在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示氫原子或低級烷基。低級烷基優(yōu)選為碳原子數(shù)1~20的烷基,更優(yōu)選為碳原子數(shù)1~6的烷基,例如可以列舉甲基、乙基、丙基等。在上述式中,n在每個(-sir1nr23-n)單元中獨立地為0~3的整數(shù),優(yōu)選為0~2,更優(yōu)選為0。其中,式中,全部的n不能同時為0。換言之,式中,存在至少1個r2。在上述式中,x1分別獨立地表示單鍵或2~10價的有機基團。該x1應(yīng)理解為,在式(a1)和(a2)所示的化合物中,將主要提供撥水性和表面光滑性等的全氟聚醚部(即,rf-pfpe部或-pfpe-部)、和提供與基材的結(jié)合能的硅烷部(即,標(biāo)有α并用括號括起來的基團)連結(jié)的連結(jié)部。因此,該x1只要是能夠使式(a1)和(a2)所示的化合物穩(wěn)定存在的基團,就可以是任意的有機基團。在上述式中,α為1~9的整數(shù),α’為1~9的整數(shù)。這些α和α’可以根據(jù)x1的價數(shù)變化。在式(a1)中,α和α’的和與x1的價數(shù)相同。例如,x1為10價的有機基團時,α和α’的和為10,例如可以是α為9且α’為1、α為5且α’為5、或α為1且α’為9。另外,x1為2價的有機基團時,α和α’為1。在式(a2)中,α為從x1的價數(shù)減去1后的值。上述x1優(yōu)選為2~7價的有機基團、更優(yōu)選為2~4價的有機基團、進一步優(yōu)選為2價的有機基團。在一個方式中,x1為2~4價的有機基團,α為1~3,α’為1。在其他方式中,x1為2價的有機基團,α為1,α’為1。在這種情況下,式(a1)和(a2)由下述式(a1’)和(a2’)表示。作為上述x1的例子,沒有特別限定,例如可以列舉下述式:-(r31)p’-(xa)q’-所示的2價的基團[式中:r31表示單鍵、-(ch2)s’-或鄰亞苯基、間亞苯基或?qū)啽交瑑?yōu)選為-(ch2)s’-;s’為1~20的整數(shù),優(yōu)選為1~6的整數(shù),更優(yōu)選為1~3的整數(shù),更進一步優(yōu)選為1或2;xa表示-(xb)l’-;xb在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示選自-o-、-s-、鄰亞苯基、間亞苯基或?qū)啽交?、-c(o)o-、-si(r33)2-、-(si(r33)2o)m’-si(r33)2-、-conr34-、-o-conr34-、-nr34-和-(ch2)n’-中的基團;r33在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示苯基、c1-6烷基或c1-6烷氧基,優(yōu)選為苯基或c1-6烷基,更優(yōu)選為甲基;r34在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示氫原子、苯基或c1-6烷基(優(yōu)選甲基);m’在每次出現(xiàn)時分別獨立地為1~100的整數(shù),優(yōu)選為1~20的整數(shù);n’在每次出現(xiàn)時分別獨立地為1~20的整數(shù),優(yōu)選為1~6的整數(shù),更優(yōu)選為1~3的整數(shù);l’為1~10的整數(shù),優(yōu)選為1~5的整數(shù),更優(yōu)選為1~3的整數(shù);p’為0或1;q’為0或1;其中,p’和q’中的至少一者為1,標(biāo)有p’或q’并用括號括起來的各重復(fù)單元的存在順序是任意的]。其中,r31和xa(典型地為r31和xa的氫原子)可以被選自氟原子、c1-3烷基和c1-3氟烷基中的1個以上的取代基取代。優(yōu)選上述x1為-(r31)p’-(xa)q’-r32-。r32表示單鍵、-(ch2)t’-或鄰亞苯基、間亞苯基或?qū)啽交瑑?yōu)選為-(ch2)t’-。t’為1~20的整數(shù),優(yōu)選為2~6的整數(shù),更優(yōu)選為2~3的整數(shù)。其中,r32(典型地為r32的氫原子)可以被選自氟原子、c1-3烷基和c1-3氟烷基中的1個以上的取代基取代。優(yōu)選上述x1可以為:c1-20亞烷基、-r31-xc-r32-、或-xd-r32-[式中,r31和r32的意義與上述相同。]。更優(yōu)選上述x1為:c1-20亞烷基、-(ch2)s’-xc-、-(ch2)s’-xc-(ch2)t’-、-xd-、或-xd-(ch2)t’-[式中,s’和t’的意義與上述相同。]。在上述式中,xc表示:-o-、-s-、-c(o)o-、-conr34-、-o-conr34-、-si(r33)2-、-(si(r33)2o)m’-si(r33)2-、-o-(ch2)u’-(si(r33)2o)m’-si(r33)2-、-o-(ch2)u’-si(r33)2-o-si(r33)2-ch2ch2-si(r33)2-o-si(r33)2-、-o-(ch2)u’-si(och3)2osi(och3)2-、-conr34-(ch2)u’-(si(r33)2o)m’-si(r33)2-、-conr34-(ch2)u’-n(r34)-、或-conr34-(鄰亞苯基、間亞苯基或?qū)啽交?-si(r33)2-[式中,r33、r34和m’的意義與上述相同;u’為1~20的整數(shù),優(yōu)選為2~6的整數(shù),更優(yōu)選為2~3的整數(shù)。]。xc優(yōu)選為-o-。在上述式中,xd表示:-s-、-c(o)o-、-conr34-、-conr34-(ch2)u’-(si(r33)2o)m’-si(r33)2-、-conr34-(ch2)u’-n(r34)-、或-conr34-(鄰亞苯基、間亞苯基或?qū)啽交?-si(r33)2-[式中,各符號的意義與上述相同。]。更優(yōu)選上述x1可以為:c1-20亞烷基、-(ch2)s’-xc-(ch2)t’-、或-xd-(ch2)t’-[式中,各符號的意義與上述相同。]。更進一步優(yōu)選上述x1為:c1-20亞烷基、-(ch2)s’-o-(ch2)t’-、-(ch2)s’-(si(r33)2o)m’-si(r33)2-(ch2)t’-、-(ch2)s’-o-(ch2)u’-(si(r33)2o)m’-si(r33)2-(ch2)t’-、或-(ch2)s’-o-(ch2)t’-si(r33)2-(ch2)u’-si(r33)2-(cvh2v)-[式中,r33、m’、s’、t’和u’的意義與上述相同,v為1~20的整數(shù),優(yōu)選為2~6的整數(shù),更優(yōu)選為2~3的整數(shù)。]。在上述式中,-(cvh2v)-可以為直鏈,也可以為支鏈,例如可以為-ch2ch2-、-ch2ch2ch2-、-ch(ch3)-、-ch(ch3)ch2-。上述x1基可以被選自氟原子、c1-3烷基和c1-3氟烷基(優(yōu)選c1-3全氟烷基)中的1個以上的取代基取代。在其他方式中,作為x1基,例如可以列舉下述的基團:[式中,r41分別獨立地為氫原子、苯基、碳原子數(shù)1~6的烷基、或c1-6烷氧基,優(yōu)選為甲基;d為選自以下的式所示的基團:-ch2o(ch2)2-、-ch2o(ch2)3-、-cf2o(ch2)3-、-(ch2)2-、-(ch2)3-、-(ch2)4-、-conh-(ch2)3-、-con(ch3)-(ch2)3-、-con(ph)-(ch2)3-(式中,ph表示苯基)、和(式中,r42分別獨立地表示氫原子、c1-6的烷基或c1-6的烷氧基,優(yōu)選表示甲基或甲氧基,更優(yōu)選表示甲基。);e為-(ch2)n-(n為2~6的整數(shù));d與分子主鏈的pfpe結(jié)合,e與和pfpe相反的基團結(jié)合。]作為上述x1的具體例,例如可以列舉:-ch2o(ch2)2-、-ch2o(ch2)3-、-ch2o(ch2)6-、-ch2o(ch2)3si(ch3)2osi(ch3)2(ch2)2-、-ch2o(ch2)3si(ch3)2osi(ch3)2osi(ch3)2(ch2)2-、-ch2o(ch2)3si(ch3)2o(si(ch3)2o)2si(ch3)2(ch2)2-、-ch2o(ch2)3si(ch3)2o(si(ch3)2o)3si(ch3)2(ch2)2-、-ch2o(ch2)3si(ch3)2o(si(ch3)2o)10si(ch3)2(ch2)2-、-ch2o(ch2)3si(ch3)2o(si(ch3)2o)20si(ch3)2(ch2)2-、-ch2ocf2chfocf2-、-ch2ocf2chfocf2cf2-、-ch2ocf2chfocf2cf2cf2-、-ch2och2cf2cf2ocf2-、-ch2och2cf2cf2ocf2cf2-、-ch2och2cf2cf2ocf2cf2cf2-、-ch2och2cf2cf2ocf(cf3)cf2ocf2-、-ch2och2cf2cf2ocf(cf3)cf2ocf2cf2-、-ch2och2cf2cf2ocf(cf3)cf2ocf2cf2cf2-、-ch2och2chfcf2ocf2-、-ch2och2chfcf2ocf2cf2-、-ch2och2chfcf2ocf2cf2cf2-、-ch2och2chfcf2ocf(cf3)cf2ocf2-、-ch2och2chfcf2ocf(cf3)cf2ocf2cf2-、-ch2och2chfcf2ocf(cf3)cf2ocf2cf2cf2--ch2och2(ch2)7ch2si(och3)2osi(och3)2(ch2)2si(och3)2osi(och3)2(ch2)2-、-ch2och2ch2ch2si(och3)2osi(och3)2(ch2)3-、-ch2och2ch2ch2si(och2ch3)2osi(och2ch3)2(ch2)3-、-ch2och2ch2ch2si(och3)2osi(och3)2(ch2)2-、-ch2och2ch2ch2si(och2ch3)2osi(och2ch3)2(ch2)2-、-(ch2)2-、-(ch2)3-、-(ch2)4-、-(ch2)6-、-(ch2)2-si(ch3)2-(ch2)2--conh-(ch2)3-、-con(ch3)-(ch2)3-、-con(ph)-(ch2)3-(式中,ph表示苯基)、-conh-(ch2)6-、-con(ch3)-(ch2)6-、-con(ph)-(ch2)6-(式中,ph表示苯基)、-conh-(ch2)2nh(ch2)3-、-conh-(ch2)6nh(ch2)3-、-ch2o-conh-(ch2)3-、-ch2o-conh-(ch2)6-、-s-(ch2)3-、-(ch2)2s(ch2)3-、-conh-(ch2)3si(ch3)2osi(ch3)2(ch2)2-、-conh-(ch2)3si(ch3)2osi(ch3)2osi(ch3)2(ch2)2-、-conh-(ch2)3si(ch3)2o(si(ch3)2o)2si(ch3)2(ch2)2—、-conh-(ch2)3si(ch3)2o(si(ch3)2o)3si(ch3)2(ch2)2-、-conh-(ch2)3si(ch3)2o(si(ch3)2o)10si(ch3)2(ch2)2-、-conh-(ch2)3si(ch3)2o(si(ch3)2o)20si(ch3)2(ch2)2--c(o)o-(ch2)3-、-c(o)o-(ch2)6-、-ch2-o-(ch2)3-si(ch3)2-(ch2)2-si(ch3)2-(ch2)2-、-ch2-o-(ch2)3-si(ch3)2-(ch2)2-si(ch3)2-ch(ch3)-、-ch2-o-(ch2)3-si(ch3)2-(ch2)2-si(ch3)2-(ch2)3-、-ch2-o-(ch2)3-si(ch3)2-(ch2)2-si(ch3)2-ch(ch3)-ch2-、等。另外,在其他方式中,x1為式:-(r16)x-(cfr17)y-(ch2)z-所示的基團。式中,x、y和z分別獨立地為0~10的整數(shù),x、y和z的和為1以上,用括號括起來的各重復(fù)單元的存在順序在式中是任意的。在上述式中,r16在每次出現(xiàn)時分別獨立地為氧原子、亞苯基、亞咔唑基(carbazolylene)、-nr26-(式中,r26表示氫原子或有機基團)或2價的有機基團。優(yōu)選r16為氧原子或2價的極性基團。作為上述“2價的極性基團”,沒有特別限定,可以列舉-c(o)-、-c(=nr27)-和-c(o)nr27-(這些式中,r27表示氫原子或低級烷基)。該“低級烷基”例如為碳原子數(shù)1~6的烷基、例如甲基、乙基、正丙基,它們也可以被1個以上的氟原子取代。在上述式中,r17在每次出現(xiàn)時分別獨立地為氫原子、氟原子或低級氟烷基,優(yōu)選為氟原子。該“低級氟烷基”例如為碳原子數(shù)1~6、優(yōu)選碳原子數(shù)1~3的氟烷基,優(yōu)選為碳原子數(shù)1~3的全氟烷基,更優(yōu)選為三氟甲基、五氟乙基,進一步優(yōu)選為三氟甲基。在該方式中,x1優(yōu)選式:-(o)x-(cf2)y-(ch2)z-(式中,x、y和z的意義與上述相同,用括號括起來的各重復(fù)單元的存在順序在式中是任意的)所示的基團。作為上述式:-(o)x-(cf2)y-(ch2)z-所示的基團,例如可以列舉-(o)x’-(ch2)z”-o-[(ch2)z”’-o-]z””和-(o)x’-(cf2)y”-(ch2)z”-o-[(ch2)z”’-o-]z””(式中,x’為0或1,y”、z”和z”’分別獨立地為1~10的整數(shù),z””為0或1)所示的基團。其中,這些基團的左端與pfpe側(cè)結(jié)合。在其他優(yōu)選方式中,x1為-o-cfr13-(cf2)e-。上述r13分別獨立地表示氟原子或低級氟烷基。低級氟烷基例如為碳原子數(shù)1~3的氟烷基,優(yōu)選為碳原子數(shù)1~3的全氟烷基,更優(yōu)選為三氟甲基、五氟乙基,進一步優(yōu)選為三氟甲基。上述e分別獨立地為0或1。在一個具體例中,r13為氟原子,e為1。另外,在其他方式中,作為x1基的例子,可以列舉下述的基團:[式中:r41分別獨立地為氫原子、苯基、碳原子數(shù)1~6的烷基或c1-6烷氧基,優(yōu)選為甲基;在各x1基中,t中的任意幾個為與分子主鏈的pfpe結(jié)合的以下的基團:-ch2o(ch2)2-、-ch2o(ch2)3-、-cf2o(ch2)3-、-(ch2)2-、-(ch2)3-、-(ch2)4-、-conh-(ch2)3-、-con(ch3)-(ch2)3-、-con(ph)-(ch2)3-(式中,ph表示苯基)、或[式中,r42分別獨立地表示氫原子、c1-6的烷基或c1-6的烷氧基,優(yōu)選表示甲基或甲氧基,更優(yōu)選表示甲基。],其他的幾個t為與和分子主鏈的pfpe相反的基團(即,式(a1)和(a2)中的碳原子、以及下述的式(b1)、(b2)、(c1)和(c2)中的si原子)結(jié)合的-(ch2)n”-(n”為2~6的整數(shù)),若存在,則剩余的t分別獨立地為甲基、苯基、c1-6烷氧基或自由基捕捉基團或者紫外線吸收基團。自由基捕捉基團只要能夠捕捉因光照射而生成的自由基,就沒有特別限定,例如可以列舉二苯甲酮類、苯并三唑類、苯甲酸酯類、水楊酸苯酯類、巴豆酸類、丙二酸酯類、有機丙烯酸酯類、受阻胺類、受阻酚類或三嗪類的殘基。紫外線吸收基團只要能夠吸收紫外線,就沒有特別限定,例如可以列舉苯并三唑類、羥基二苯甲酮類、取代和未取代苯甲酸或者水楊酸化合物的酯類、丙烯酸酯或肉桂酸烷氧酯類、草酰胺類、草酰替苯胺類、苯并噁嗪酮類、苯并噁唑類的殘基。在優(yōu)選方式中,作為優(yōu)選的自由基捕捉基團或紫外線吸收基團,可以列舉在該方式中,x1、x5和x7可以分別獨立地為3~10價的有機基團。在上述式中,t分別獨立地為1~10的整數(shù)。在優(yōu)選方式中,t為1~6的整數(shù)。在其他優(yōu)選方式中,t為2~10的整數(shù),優(yōu)選為2~6的整數(shù)。在上述式中,x2在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示單鍵或2價的有機基團。x2優(yōu)選為碳原子數(shù)1~20的亞烷基,更優(yōu)選為-(ch2)u-(式中,u為0~2的整數(shù))。優(yōu)選的式(a1)和(a2)所示的化合物為下述式(a1’)和(a2’)所示的化合物:[式中:pfpe分別獨立地為式:-(oc4f8)a-(oc3f6)b-(oc2f4)c-(ocf2)d-所示的基團(式中,a、b、c和d分別獨立地為0~200的整數(shù),a、b、c和d的和至少為1,標(biāo)有下標(biāo)a、b、c或d并用括號括起來的各重復(fù)單元的存在順序在式中是任意的。);rf在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示可以被1個以上的氟原子取代的碳原子數(shù)1~16的烷基;r1在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示氫原子或碳原子數(shù)1~22的烷基;r2在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示羥基或能夠水解的基團;r11在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示氫原子或鹵原子;r12在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示氫原子或低級烷基;n為0~2的整數(shù),優(yōu)選為0;x1為-o-cfr13-(cf2)e-;r13為氟原子或低級氟烷基;e為0或1;x2為-(ch2)u-;u為0~2的整數(shù)(u為0時,x2為單鍵);t為1~10的整數(shù)。]。上述式(a1)和(a2)所示的化合物例如可以通過以下的方式獲得:以與rf-pfpe-部分相對應(yīng)的全氟聚醚衍生物為原料,在末端導(dǎo)入碘后,使與-ch2cr12(x2-sir1nr23-n)-相對應(yīng)的乙烯基單體反應(yīng)而獲得。式(b1)和(b2):(rf-pfpe)β’-x5-(sir1nr23-n)β…(b1)(r23-nr1nsi)β-x5-pfpe-x5-(sir1nr23-n)β…(b2)在上述式(b1)和(b2)中,rf、pfpe、r1、r2和n的意義與關(guān)于上述式(a1)和(a2)的記載相同。在上述式中,x5分別獨立地表示單鍵或2~10價的有機基團。該x5應(yīng)理解為,在式(b1)和(b2)所示的化合物中,將主要提供撥水性和表面光滑性等的全氟聚醚部(rf-pfpe部或-pfpe-部)、和提供與基材的結(jié)合能的硅烷部(具體而言,-sir1nr23-n)連結(jié)的連結(jié)部。因此,該x5只要是能夠使式(b1)和(b2)所示的化合物穩(wěn)定存在的基團,就可以是任意的有機基團。上述式中的β為1~9的整數(shù),β’為1~9的整數(shù)。這些β和β’可以根據(jù)x3的價數(shù)決定,在式(b1)中,β和β’的和與x5的價數(shù)相同。例如,x5為10價的有機基團時,β和β’的和為10,例如可以是β為9且β’為1、β為5為β’為5、或β為1為β’為9。另外,x5為2價的有機基團時,β和β’為1。在式(b2)中,β為從x5的價數(shù)的值減去1后的值。上述x5優(yōu)選為2~7價的有機基團、更優(yōu)選2~4價的有機基團、進一步優(yōu)選2價的有機基團。在一個方式中,x5為2~4價的有機基團,β為1~3,β’為1。在其他方式中,x5為2價的有機基團,β為1,β’為1。在這種情況下,式(b1)和(b2)由下述式(b1’)和(b2’)表示。rf-pfpe-x5-sir1nr23-n…(b1’)r23-nr1nsi-x5-pfpe-x5-sir1nr23-n…(b2’)作為上述x5的例子,沒有特別限定,例如可以列舉與關(guān)于x1而記載的基團相同的基團。其中,優(yōu)選的具體的x5可以列舉:-ch2o(ch2)2-、-ch2o(ch2)3-、-ch2o(ch2)6-、-ch2o(ch2)3si(ch3)2osi(ch3)2(ch2)2-、-ch2o(ch2)3si(ch3)2osi(ch3)2osi(ch3)2(ch2)2-、-ch2o(ch2)3si(ch3)2o(si(ch3)2o)2si(ch3)2(ch2)2-、-ch2o(ch2)3si(ch3)2o(si(ch3)2o)3si(ch3)2(ch2)2-、-ch2o(ch2)3si(ch3)2o(si(ch3)2o)10si(ch3)2(ch2)2-、-ch2o(ch2)3si(ch3)2o(si(ch3)2o)20si(ch3)2(ch2)2-、-ch2ocf2chfocf2-、-ch2ocf2chfocf2cf2-、-ch2ocf2chfocf2cf2cf2-、-ch2och2cf2cf2ocf2-、-ch2och2cf2cf2ocf2cf2-、-ch2och2cf2cf2ocf2cf2cf2-、-ch2och2cf2cf2ocf(cf3)cf2ocf2-、-ch2och2cf2cf2ocf(cf3)cf2ocf2cf2-、-ch2och2cf2cf2ocf(cf3)cf2ocf2cf2cf2-、-ch2och2chfcf2ocf2-、-ch2och2chfcf2ocf2cf2-、-ch2och2chfcf2ocf2cf2cf2-、-ch2och2chfcf2ocf(cf3)cf2ocf2-、-ch2och2chfcf2ocf(cf3)cf2ocf2cf2-、-ch2och2chfcf2ocf(cf3)cf2ocf2cf2cf2--ch2och2(ch2)7ch2si(och3)2osi(och3)2(ch2)2si(och3)2osi(och3)2(ch2)2-、-ch2och2ch2ch2si(och3)2osi(och3)2(ch2)3-、-ch2och2ch2ch2si(och2ch3)2osi(och2ch3)2(ch2)3-、-ch2och2ch2ch2si(och3)2osi(och3)2(ch2)2-、-ch2och2ch2ch2si(och2ch3)2osi(och2ch3)2(ch2)2-、-(ch2)2-、-(ch2)3-、-(ch2)4-、-(ch2)6-、-(ch2)2-si(ch3)2-(ch2)2--conh-(ch2)3-、-con(ch3)-(ch2)3-、-con(ph)-(ch2)3-(式中,ph表示苯基)、-conh-(ch2)6-、-con(ch3)-(ch2)6-、-con(ph)-(ch2)6-(式中,ph表示苯基)、-conh-(ch2)2nh(ch2)3-、-conh-(ch2)6nh(ch2)3-、-ch2o-conh-(ch2)3-、-ch2o-conh-(ch2)6-、-s-(ch2)3-、-(ch2)2s(ch2)3-、-conh-(ch2)3si(ch3)2osi(ch3)2(ch2)2-、-conh-(ch2)3si(ch3)2osi(ch3)2osi(ch3)2(ch2)2-、-conh-(ch2)3si(ch3)2o(si(ch3)2o)2si(ch3)2(ch2)2-、-conh-(ch2)3si(ch3)2o(si(ch3)2o)3si(ch3)2(ch2)2-、-conh-(ch2)3si(ch3)2o(si(ch3)2o)10si(ch3)2(ch2)2-、-conh-(ch2)3si(ch3)2o(si(ch3)2o)20si(ch3)2(ch2)2--c(o)o-(ch2)3-、-c(o)o-(ch2)6-、-ch2-o-(ch2)3-si(ch3)2-(ch2)2-si(ch3)2-(ch2)2-、-ch2-o-(ch2)3-si(ch3)2-(ch2)2-si(ch3)2-ch(ch3)-、-ch2-o-(ch2)3-si(ch3)2-(ch2)2-si(ch3)2-(ch2)3-、-ch2-o-(ch2)3-si(ch3)2-(ch2)2-si(ch3)2-ch(ch3)-ch2-、等。優(yōu)選的式(b1)和(b2)所示的化合物為下述式(b1’)和(b2’)所示的化合物:rf-pfpe-x5-sir1nr23-n…(b1’)r23-nr1nsi-x5-pfpe-x5-sir1nr23-n…(b2’)[式中:pfpe分別獨立地為式:-(oc4f8)a-(oc3f6)b-(oc2f4)c-(ocf2)d-所示的基團(式中,a、b、c和d分別獨立地為0~200的整數(shù),a、b、c和d的和至少為1,標(biāo)有下標(biāo)a、b、c或d并用括號括起來的各重復(fù)單元的存在順序在式中是任意的。);rf在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示可以被1個以上的氟原子取代的碳原子數(shù)1~16的烷基;r1在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示氫原子或碳原子數(shù)1~22的烷基;r2在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示羥基或能夠水解的基團;n為0~2的整數(shù),優(yōu)選為0;x5為-ch2o(ch2)2-、-ch2o(ch2)3-或-ch2o(ch2)6-]。上述式(b1)和(b2)所示的化合物可以利用公知的方法、例如專利文獻1所記載的方法或其改良方法制造。例如,式(b1)和(b2)所示的化合物可以通過以下的方式獲得:使下述式(b1-4)或(b2-4)所示的化合物與hsim3(式中,m分別獨立地為鹵原子、r1或r2,r1在每次出現(xiàn)時分別獨立地為氫原子或碳原子數(shù)1~22的烷基,r2在每次出現(xiàn)時分別獨立地為羥基或能夠水解的基團)反應(yīng),根據(jù)需要,將上述鹵原子變換為r1或r2,作為式(b1”)或(b2”)所示的化合物而獲得。(rf-pfpe)β’-x5’-(r82-ch=ch2)β…(b1-4)(ch2=ch-r82)β-x5’-pfpe-x5’-(r82-ch=ch2)β…(b2-4)[式中:pfpe分別獨立地為式:-(oc4f8)a-(oc3f6)b-(oc2f4)c-(ocf2)d-所示的基團(式中,a、b、c和d分別獨立地為0~200的整數(shù),a、b、c和d的和至少為1,標(biāo)有下標(biāo)a、b、c或d并用括號括起來的各重復(fù)單元的存在順序在式中是任意的。);rf在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示可以被1個以上的氟原子取代的碳原子數(shù)1~16的烷基;x5’分別獨立地表示單鍵或2~10價的有機基團;β分別獨立地為1~9的整數(shù);β’分別獨立地為1~9的整數(shù);r82為單鍵或2價的有機基團。](rf-pfpe)β’-x5’-(r82-ch2ch2-sir1nr23-n)β…(b1”)(r1nr23-nsi-ch2ch2-r82)β-x5’-pfpe-x5’-**(r82-ch2ch2-sir1nr23-n)β…(b2”)[式中,pfpe、rf、x5’、β、β’和r82的意義與上述相同;n為0~3的整數(shù)。]在式(b1”)或(b2”)中,從x5’至r82-ch2ch2-的部分與式(b1)或(b2)中的x5相對應(yīng)。式(c1)和(c2):(rf-pfpe)γ’-x7-(sirakrb1rcm)γ…(c1)(rcmrb1raksi)γ-x7-pfpe-x7-(sirakrb1rcm)γ…(c2)在上述式(c1)和(c2)中,rf和pfpe的意義與關(guān)于上述式(a1)和(a2)的記載相同。在上述式中,x7分別獨立地表示單鍵或2~10價的有機基團。該x7應(yīng)理解為,在式(c1)和(c2)所示的化合物中,將主要提供撥水性和表面光滑性等的全氟聚醚部(rf-pfpe部或-pfpe-部)、和提供與基材的結(jié)合能的硅烷部(具體而言,-sirakrb1rcm基)連結(jié)的連結(jié)部。因此,該x7只要是能夠使式(c1)和(c2)所示的化合物穩(wěn)定存在的基團,就可以是任意的有機基團。上述式中的γ為1~9的整數(shù),γ’為1~9的整數(shù)。這些γ和γ’可以根據(jù)x7的價數(shù)決定,在式(c1)中,γ和γ’的和與x7的價數(shù)相同。例如,x7為10價的有機基團時,γ和γ’的和為10,例如可以是γ為9且γ’為1、γ為5為γ’為5、或γ為1且γ’為9。另外,x7為2價的有機基團時,γ和γ’為1。在式(c1)中,γ為從x7的價數(shù)的值減去1后的值。上述x7優(yōu)選為2~7價的有機基團、更優(yōu)選為2~4價的有機基團、進一步優(yōu)選為2價的有機基團。在一個方式中,x7為2~4價的有機基團,γ為1~3,γ’為1。在其他方式中,x7為2價的有機基團,γ為1,γ’為1。在這種情況下,式(c1)和(c2)由下述式(c1’)和(c2’)表示。rf-pfpe-x7-sirakrb1rcm…(c1’)rcmrb1raksi-x7-pfpe-x7-sirakrb1rcm…(c2’)作為上述x7的例子,沒有特別限定,例如可以列舉與關(guān)于x1而記載的基團相同的基團。其中,優(yōu)選的具體的x7可以列舉:-ch2o(ch2)2-、-ch2o(ch2)3-、-ch2o(ch2)6-、-ch2o(ch2)3si(ch3)2osi(ch3)2(ch2)2-、-ch2o(ch2)3si(ch3)2osi(ch3)2osi(ch3)2(ch2)2-、-ch2o(ch2)3si(ch3)2o(si(ch3)2o)2si(ch3)2(ch2)2-、-ch2o(ch2)3si(ch3)2o(si(ch3)2o)3si(ch3)2(ch2)2-、-ch2o(ch2)3si(ch3)2o(si(ch3)2o)10si(ch3)2(ch2)2-、-ch2o(ch2)3si(ch3)2o(si(ch3)2o)20si(ch3)2(ch2)2-、-ch2ocf2chfocf2-、-ch2ocf2chfocf2cf2-、-ch2ocf2chfocf2cf2cf2-、-ch2och2cf2cf2ocf2-、-ch2och2cf2cf2ocf2cf2-、-ch2och2cf2cf2ocf2cf2cf2-、-ch2och2cf2cf2ocf(cf3)cf2ocf2-、-ch2och2cf2cf2ocf(cf3)cf2ocf2cf2-、-ch2och2cf2cf2ocf(cf3)cf2ocf2cf2cf2-、-ch2och2chfcf2ocf2-、-ch2och2chfcf2ocf2cf2-、-ch2och2chfcf2ocf2cf2cf2-、-ch2och2chfcf2ocf(cf3)cf2ocf2-、-ch2och2chfcf2ocf(cf3)cf2ocf2cf2-、-ch2och2chfcf2ocf(cf3)cf2ocf2cf2cf2--ch2och2(ch2)7ch2si(och3)2osi(och3)2(ch2)2si(och3)2osi(och3)2(ch2)2-、-ch2och2ch2ch2si(och3)2osi(och3)2(ch2)3-、-ch2och2ch2ch2si(och2ch3)2osi(och2ch3)2(ch2)3-、-ch2och2ch2ch2si(och3)2osi(och3)2(ch2)2-、-ch2och2ch2ch2si(och2ch3)2osi(och2ch3)2(ch2)2-、-(ch2)2-、-(ch2)3-、-(ch2)4-、-(ch2)6-、-(ch2)2-si(ch3)2-(ch2)2--conh-(ch2)3-、-con(ch3)-(ch2)3-、-con(ph)-(ch2)3-(式中,ph表示苯基)、-conh-(ch2)6-、-con(ch3)-(ch2)6-、-con(ph)-(ch2)6-(式中,ph表示苯基)、-conh-(ch2)2nh(ch2)3-、-conh-(ch2)6nh(ch2)3-、-ch2o-conh-(ch2)3-、-ch2o-conh-(ch2)6-、-s-(ch2)3-、-(ch2)2s(ch2)3-、-conh-(ch2)3si(ch3)2osi(ch3)2(ch2)2-、-conh-(ch2)3si(ch3)2osi(ch3)2osi(ch3)2(ch2)2-、-conh-(ch2)3si(ch3)2o(si(ch3)2o)2si(ch3)2(ch2)2-、-conh-(ch2)3si(ch3)2o(si(ch3)2o)3si(ch3)2(ch2)2-、-conh-(ch2)3si(ch3)2o(si(ch3)2o)10si(ch3)2(ch2)2-、-conh-(ch2)3si(ch3)2o(si(ch3)2o)20si(ch3)2(ch2)2--c(o)o-(ch2)3-、-c(o)o-(ch2)6-、-ch2-o-(ch2)3-si(ch3)2-(ch2)2-si(ch3)2-(ch2)2-、-ch2-o-(ch2)3-si(ch3)2-(ch2)2-si(ch3)2-ch(ch3)-、-ch2-o-(ch2)3-si(ch3)2-(ch2)2-si(ch3)2-(ch2)3-、-ch2-o-(ch2)3-si(ch3)2-(ch2)2-si(ch3)2-ch(ch3)-ch2-、等。在上述式中,ra在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示-z-sir71pr72qr73r。式中,z在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示氧原子或2價的有機基團。上述z優(yōu)選為2價的有機基團,不包括與式(c1)或式(c2)中的分子主鏈的末端的si原子(ra結(jié)合的si原子)形成硅氧烷鍵的基團。上述z優(yōu)選為c1-6亞烷基、-(ch2)g-o-(ch2)h-(式中,g為1~6的整數(shù),h為1~6的整數(shù))、或-亞苯基-(ch2)i-(式中,i為0~6的整數(shù)),更優(yōu)選為c1-3亞烷基。這些基團例如可以被選自氟原子、c1-6烷基、c2-6烯基和c2-6炔基中的1個以上的取代基取代。式中,r71在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示ra’。ra’的意義與ra相同。ra中,通過z基連結(jié)成直鏈狀的si最多為5個。即,在上述ra中,存在至少1個r71時,ra中存在2個以上的通過z基連結(jié)成直鏈狀的si原子,但這樣的通過z基連結(jié)成直鏈狀的si原子的數(shù)量最多為5個。其中,所謂“ra中的通過z基連結(jié)成直鏈狀的si原子的數(shù)量”,與ra中連結(jié)成直鏈狀的-z-si-的重復(fù)數(shù)量相等。例如,以下表示ra中通過z基連結(jié)成si原子的一個例子。在上述式中,*表示與主鏈的si結(jié)合的部位,…表示結(jié)合有zsi以外的規(guī)定的基團的情況,即在si原子的3個鍵全部為…的情況下,表示zsi的重復(fù)的結(jié)束部位。另外,si的右肩的數(shù)字表示從*開始計數(shù)的通過z基連結(jié)成直鏈狀的si的出現(xiàn)數(shù)量。即,以si2結(jié)束zsi重復(fù)的鏈中,“ra中的通過z基連結(jié)成直鏈狀的si原子的數(shù)量”為2個,同樣地,以si3、si4和si5結(jié)束zsi重復(fù)的鏈中,“ra中的通過z基連結(jié)成直鏈狀的si原子的數(shù)量”分別為3、4和5個。另外,如上述式所明確的那樣,在ra中,雖然存在多條zsi鏈,但不需要它們都是相同的長度,可以分別是任意的長度。在優(yōu)選方式中,如下所述,“ra中的通過z基連結(jié)成直鏈狀的si原子的數(shù)量”在全部的鏈中為1個(左式)或2個(右式)。在一個方式中,ra中的通過z基連結(jié)成直鏈狀的si原子的數(shù)量為1個或2個,優(yōu)選為1個。式中,r72在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示羥基或能夠水解的基團。上述“能夠水解的基團”,在本說明書中使用的情況下,是指可以發(fā)生水解反應(yīng)的基團。作為能夠水解的基團的例子,可以列舉-or、-ocor、-o-n=c(r)2、-n(r)2、-nhr、鹵素(這些式中,r表示取代或非取代的碳原子數(shù)1~4的烷基)等,優(yōu)選為-or(烷氧基)。在r的例中,包括甲基、乙基、丙基、異丙基、正丁基、異丁基等非取代烷基;氯甲基等取代烷基。這些中,優(yōu)選烷基、特別是非取代烷基,更優(yōu)選甲基或乙基。羥基沒有特別限定,可以是能夠水解的基團水解而生成的基團。優(yōu)選r72為-or(式中,r表示取代或非取代的c1-3烷基,更優(yōu)選表示甲基)。式中,r73在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示氫原子或低級烷基。該低級烷基優(yōu)選為碳原子數(shù)1~20的烷基,更優(yōu)選為碳原子數(shù)1~6的烷基,進一步優(yōu)選為甲基。式中,p在每次出現(xiàn)時分別獨立地為0~3的整數(shù);q在每次出現(xiàn)時分別獨立地為0~3的整數(shù);r在每次出現(xiàn)時分別獨立地為0~3的整數(shù)。其中,p、q和r的和為3。在優(yōu)選方式中,在ra中的末端的ra’(不存在ra’時,為ra)中,上述q優(yōu)選為2以上、例如為2或3,更優(yōu)選為3。在優(yōu)選方式中,ra的末端部的至少1個可以為-si(-z-sir72qr73r)2或-si(-z-sir72qr73r)3,優(yōu)選為-si(-z-sir72qr73r)3。式中,(-z-sir72qr73r)的單元優(yōu)選為(-z-sir723)。在進一步優(yōu)選的方式中,ra的末端部可以全部為-si(-z-sir72qr73r)3,優(yōu)選為-si(-z-sir723)3。在上述式(c1)和(c2)中,存在至少1個r72。在上述式中,rb在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示羥基或能夠水解的基團。上述rb優(yōu)選為羥基、-or、-ocor、-o-n=c(r)2、-n(r)2、-nhr、鹵素(這些式中,r表示取代或非取代的碳原子數(shù)1~4的烷基),優(yōu)選為-or。r包括甲基、乙基、丙基、異丙基、正丁基、異丁基等非取代烷基;氯甲基等取代烷基。這些中,優(yōu)選烷基、特別是非取代烷基,更優(yōu)選甲基或乙基。羥基沒有特別限定,可以是能夠水解的基團水解而生成的基團。更優(yōu)選rc為-or(式中,r表示取代或非取代的c1-3烷基,更優(yōu)選表示甲基)。在上述式中,rc在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示氫原子或低級烷基。該低級烷基優(yōu)選為碳原子數(shù)1~20的烷基,更優(yōu)選為碳原子數(shù)1~6的烷基,進一步優(yōu)選為甲基。式中,k在每次出現(xiàn)時分別獨立地為0~3的整數(shù);l在每次出現(xiàn)時分別獨立地為0~3的整數(shù);m在每次出現(xiàn)時分別獨立地為0~3的整數(shù)。其中,k、l和m的和為3。上述式(c1)和(c2)所示的化合物例如可以通過以下的方式獲得:以與rf-pfpe-部分相對應(yīng)的全氟聚醚衍生物為原料,在末端導(dǎo)入羥基后,在末端導(dǎo)入具有不飽和鍵的基團,使具有該不飽和鍵的基團與具有鹵原子的硅烷基衍生物反應(yīng),進一步,在該硅烷基的末端導(dǎo)入羥基,使所導(dǎo)入的具有不飽和鍵的基團與硅烷基衍生物反應(yīng)而獲得。例如,可以按照以下的方法獲得。優(yōu)選的式(c1)和(c2)所示的化合物為下述式(c1”)和(c2”)所示的化合物:rf-pfpe-x7-sira3…(c1”)ra3si-x7-pfpe-x7-sira3…(c2”)[式中:pfpe分別獨立地為式:-(oc4f8)a-(oc3f6)b-(oc2f4)c-(ocf2)d-所示的基團(式中,a、b、c和d分別獨立地為0~200的整數(shù),a、b、c和d的和至少為1,標(biāo)有下標(biāo)a、b、c或d并用括號括起來的各重復(fù)單元的存在順序在式中是任意的。);rf在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示可以被1個以上的氟原子取代的碳原子數(shù)1~16的烷基;x7表示-ch2o(ch2)2-、-ch2o(ch2)3-或-ch2o(ch2)6-;ra在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示-z-sir71pr72qr73r;z表示c1-6亞烷基;r71在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示ra’;ra’的意義與ra相同;ra中,通過z基連結(jié)成直鏈狀的si最多為5個;r72在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示羥基或能夠水解的基團;r73在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示氫原子或低級烷基;p在每次出現(xiàn)時分別獨立地為0~2的整數(shù);q在每次出現(xiàn)時分別獨立地為1~3的整數(shù),優(yōu)選為3;r在每次出現(xiàn)時分別獨立地為0~2的整數(shù);其中,在一個ra中,p、q和r的和為3。]。上述式(c1)和(c2)所示的化合物例如可以按照以下的方法制造。使下述式(c1-4)或(c2-4)所示的化合物與hsir83krb1rcm(式中,r83為鹵原子、例如氟原子、氯原子、溴原子或碘原子,優(yōu)選為氯原子,rb在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示羥基或能夠水解的基團,rc在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示氫原子或低級烷基,k為1~3的整數(shù),l和m分別獨立地為0~2的整數(shù),k、l和m的和為3。)所示的化合物反應(yīng),獲得式(c1-5)或(c2-5)所示的化合物。(rf-pfpe)γ’-x7’-(r82-ch=ch2)γ…(c1-4)(ch2=ch-r82)γ-x7’-pfpe-x7’-(r82-ch=ch2)γ…(c2-4)[式中:pfpe分別獨立地為式:-(oc4f8)a-(oc3f6)b-(oc2f4)c-(ocf2)d-所示的基團(式中,a、b、c和d分別獨立地為0~200的整數(shù),a、b、c和d的和至少為1,標(biāo)有下標(biāo)a、b、c或d并用括號括起來的各重復(fù)單元的存在順序在式中是任意的。);rf在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示可以被1個以上的氟原子取代的碳原子數(shù)1~16的烷基;x7’分別獨立地表示單鍵或2~10價的有機基團;γ分別獨立地為1~9的整數(shù);γ’分別獨立地為1~9的整數(shù);r82為單鍵或2價的有機基團。](rf-pfpe)γ’-x7’-(r82-ch2ch2-sir83krb1rcm)γ…(c1-5)(rcmrb1r83ksi-ch2ch2-r82)γ-x7’-pfpe-**x7’-(r82-ch2ch2-sir83krb1rcm)γ…(c2-5)[式中,rf、pfpe、r82、r83、rb、rc、γ、γ’、x7’、k、l和m的意義與上述相同。]使所獲得的式(c1-5)或(c2-5)所示的化合物與hal-j-r84-ch=ch2(式中,hal表示鹵原子(例如,i、br、cl、f等),j表示mg、cu、pd或zn,r84表示單鍵或2價的有機基團。)所示的化合物反應(yīng),獲得式(c1-6)或(c2-6)所示的化合物。(rf-pfpe)γ’-x7’-(r82-ch2ch2-sirb1rcm(r84-ch=ch2)k)γ…(c1-6)((ch=ch2-r84)krcmrb1si-ch2ch2-r82)γ-x7’-pfpe-**x7’-(r82-ch2ch2-sirb1rcm(r84-ch=ch2)k)γ…(c2-6)[式中、rf、pfpe、r82、r84、rb、rc、γ、γ’、x7’、k、l和m的意義與上述相同。]使所獲得的式(c1-6)或(c2-6)所示的化合物與hsim3(式中,m分別獨立地為鹵原子、r72或r73,r72在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示羥基或能夠水解的基團,r73在每次出現(xiàn)時分別獨立地表示氫原子或低級烷基。)反應(yīng),根據(jù)需要,將上述鹵原子變換為r72或r73,能夠獲得式(c1”’)或(c2”’)所示的化合物。(rf-pfpe)γ’-x7’-(r82-ch2ch2-sirb1rcm(r84-ch2ch2-sir72qr73r)k)γ…(c1”’)((r72qr73rsi-ch2ch2-r84)krcmrb1si-ch2ch2-r82)γ-x7’-pfpe-**x7’-(r82-ch2ch2-sirb1rcm(r84-ch2ch2-sir72qr73r)k)γ…(c2”’)[式中,rf、pfpe、r72、r73、r82、r84、rb、rc、γ、γ’、x7’、k、l和m的意義與上述相同;q在每次出現(xiàn)時分別獨立地為1~3的整數(shù);r在每次出現(xiàn)時分別獨立地為0~2的整數(shù)。]在式(c1”’)或(c2”’)中,從x7’至r82-ch2ch2-的部分與式(c1)或(c2)中的x7相對應(yīng),-r84-ch2ch2-與式(c1)或(c2)中的z相對應(yīng)。在本發(fā)明的表面處理劑中,在上述通式(a1)、(a2)、(b1)、(b2)、(c1)或(c2)所示的含全氟(聚)醚基硅烷化合物中,分子量為3000以下的含全氟(聚)醚基硅烷化合物的比率是9mol%以下,優(yōu)選是7mol%以下,進一步優(yōu)選是5mol%以下。通過使分子量為3000以下的含全氟(聚)醚基硅烷化合物的比率為9mol%以下,能夠形成摩擦耐久性更優(yōu)異的表面處理層。另外,該比率是本發(fā)明的表面處理劑所含的分子量為3000以下的含全氟(聚)醚基硅烷化合物相對于上述通式所示的含全氟(聚)醚基硅烷化合物的總量的比率。作為使表面處理劑中的分子量為3000以下的含全氟(聚)醚基硅烷化合物相對于全部含全氟(聚)醚基硅烷化合物的比率為9mol%以下的方法,沒有特別限定,例如可以列舉利用蒸餾等除去低分子量的化合物的方法。蒸餾優(yōu)選分子蒸餾,可以針對含全氟(聚)醚基硅烷化合物進行,或者也可以針對原料、例如針對具有全氟聚醚基的?;M行。只要是本領(lǐng)域技術(shù)人員,就可以根據(jù)作為蒸餾的對象的化合物,適當(dāng)選擇蒸餾的條件。表面處理劑中的分子量為3000以下的含全氟(聚)醚基硅烷化合物相對于含全氟(聚)醚基硅烷化合物全部的比率可以利用gpc(凝膠滲透色譜)分析進行測定。上述gpc測定例如可以使用具有tda-302作為檢測器的gpcmax(hplc系統(tǒng):malverninstruments公司制造)進行。本發(fā)明的表面處理劑所含的含全氟(聚)醚基硅烷化合物的數(shù)均分子量優(yōu)選為5,000以上,更優(yōu)選為6,000以上,優(yōu)選為100,000以下,更優(yōu)選為30,000以下,進一步優(yōu)選為10,000以下。本發(fā)明的表面處理劑所含的含全氟(聚)醚基硅烷化合物中的pfpe部分的數(shù)均分子量沒有特別限定,可以優(yōu)選為4,000~30,000,更優(yōu)選為5,000~10,000。在本發(fā)明中,“數(shù)均分子量”可以利用gpc(凝膠滲透色譜)分析進行測定。本發(fā)明的表面處理劑能夠向基材賦予撥水性、撥油性、防污性、防水性和高的摩擦耐久性,沒有特別限定,可以適當(dāng)用作防污性涂敷劑或防水性涂敷劑。本發(fā)明的表面處理劑可以用溶劑稀釋。作為這樣的溶劑,沒有特別限定,例如可以列舉選自全氟己烷、cf3cf2chcl2、cf3ch2cf2ch3、cf3chfchfc2f5、1,1,1,2,2,3,3,4,4,5,5,6,6-十三氟辛烷、1,1,2,2,3,3,4-七氟環(huán)戊烷((zeororah(商品名)等)、c4f9och3、c4f9oc2h5、cf3ch2ocf2chf2、c6f13ch=ch2、二甲苯六氟化物、全氟苯、甲基十五氟庚酮、三氟乙醇、五氟丙醇、六氟異丙醇、hcf2cf2ch2oh、三氟甲磺酸甲酯、三氟乙酸和cf3o(cf2cf2o)m(cf2o)ncf2cf3[式中,m和n分別獨立地為0以上1000以下的整數(shù),標(biāo)有m或n并用括號括起來的各重復(fù)單元的存在順序在式中是任意,其中m和n的和為1以上。]、1,1-二氯-2,3,3,3-四氟-1-丙烯、1,2-二氯-1,3,3,3-四氟-1-丙烯、1,2-二氯-3,3,3-三氟-1-丙烯、1,1-二氯-3,3,3-三氟-1-丙烯、1,1,2-三氯―3,3,3-三氟-1-丙烯、1,1,1,4,4,4-六氟-2-丁烯中的溶劑。這些溶劑可以單獨使用,或者作為2種以上的混合物使用。本發(fā)明的表面處理劑除了含全氟(聚)醚基硅烷化合物以外,還可以包含其他成分。作為這樣的其他成分,沒有特別限定,例如可以列舉可以被理解為含氟油的(非反應(yīng)性的)氟聚醚化合物、優(yōu)選全氟(聚)醚化合物(以下,稱為“含氟油”)、可以被理解為硅油的(非反應(yīng)性的)硅酮化合物(以下,稱為“硅油”)、催化劑等。作為上述含氟油,沒有特別限定,例如可以列舉以下的通式(3)所示的化合物(全氟(聚)醚化合物)。rf1-(oc4f8)a’-(oc3f6)b’-(oc2f4)c’-(ocf2)d’-rf2···(3)式(3)中,rf1表示可以被1個以上的氟原子取代的c1-16的烷基(優(yōu)選c1―16的全氟烷基),rf2表示可以被1個以上的氟原子取代的c1-16的烷基(優(yōu)選c1-16的全氟烷基)、氟原子或氫原子,rf1和rf2更優(yōu)選分別獨立地為c1-3的全氟烷基。a’、b’、c’和d’分別表示構(gòu)成聚合物的主骨架的4種全氟(聚)醚的重復(fù)單元數(shù),彼此獨立地為0以上300以下的整數(shù),a’、b’、c’和d’的和至少為1,優(yōu)選為1~300,更優(yōu)選為20~300。標(biāo)有下標(biāo)a’、b’、c’或d’并用括號括起來的各重復(fù)單元的存在順序在式中是任意的。在這些重復(fù)單元中,-(oc4f8)-可以為-(ocf2cf2cf2cf2)-、-(ocf(cf3)cf2cf2)-、-(ocf2cf(cf3)cf2)-、-(ocf2cf2cf(cf3))-、-(oc(cf3)2cf2)-、-(ocf2c(cf3)2)-、-(ocf(cf3)cf(cf3))-、-(ocf(c2f5)cf2)-和-(ocf2cf(c2f5))-中的任意種,優(yōu)選為-(ocf2cf2cf2cf2)-。-(oc3f6)-可以為-(ocf2cf2cf2)-、-(ocf(cf3)cf2)-和-(ocf2cf(cf3))-中的任意種,優(yōu)選為-(ocf2cf2cf2)-。-(oc2f4)-可以為-(ocf2cf2)-和-(ocf(cf3))-中的任意種,優(yōu)選為-(ocf2cf2)-。作為上述通式(3)所示的全氟(聚)醚化合物的例子,可以列舉以下的通式(3a)和(3b)中任一個所示的化合物(可以為1種或2種以上的混合物)。rf1-(ocf2cf2cf2)b”-rf2···(3a)rf1-(ocf2cf2cf2cf2)a”-(ocf2cf2cf2)b”-(ocf2cf2)c”-(ocf2)d”-rf2···(3b)在這些式中,rf1和rf2如上所述;在式(3a)中,b”為1以上100以下的整數(shù);在式(3b)中,a”和b”分別獨立地為0以上30以下、例如1以上30以下的整數(shù),c”和d”分別獨立地為1以上300以下的整數(shù)。標(biāo)有下標(biāo)a”、b”、c”、d”并用括號括起來的各重復(fù)單元的存在順序在式中是任意的。上述含氟油可以具有1,000~30,000的平均分子量。由此,能夠獲得高的表面光滑性。在本發(fā)明的表面處理劑中,關(guān)于含氟油,相對于上述含全氟(聚)醚基硅烷化合物的合計100質(zhì)量份(各自為2種以上時,為它們的合計,下同),例如可以含有0~500質(zhì)量份,優(yōu)選含有0~400質(zhì)量份,更優(yōu)選含有5~300質(zhì)量份。通式(3a)所示的化合物和通式(3b)所示的化合物可以分別單獨使用,也可以組合使用。與通式(3a)所示的化合物相比,使用通式(3b)所示的化合物能夠獲得更高的表面光滑性,因而優(yōu)選。將它們組合使用時,通式(3a)所示的化合物與通式(3b)所示的化合物的質(zhì)量比優(yōu)選1﹕1~1﹕30,更優(yōu)選1﹕1~1﹕10。利用這樣的質(zhì)量比,能夠獲得表面光滑性和摩擦耐久性的平衡優(yōu)異的表面處理層。在一個方式中,含氟油包含通式(3b)所示的1種以上的化合物。在這樣的方式中,表面處理劑中的含全氟(聚)醚基硅烷化合物的合計與式(3b)所示的化合物的質(zhì)量比優(yōu)選10﹕1~1﹕10,更優(yōu)選4﹕1~1﹕4。在一個方式中,式(3a)所示的化合物的數(shù)均分子量優(yōu)選為2,000~8,000。在一個方式中,式(3b)所示的化合物的數(shù)均分子量優(yōu)選為8,000~30,000。在其他方式中,式(3b)所示的化合物的數(shù)均分子量優(yōu)選為3,000~8,000。在優(yōu)選方式中,利用真空蒸鍍法形成表面處理層時,可以使含氟油的數(shù)均分子量大于含全氟(聚)醚基硅烷化合物的數(shù)均分子量。通過成為這樣的數(shù)均分子量,能夠獲得更優(yōu)異的摩擦耐久性和表面光滑性。另外,從另一個觀點考慮,含氟油也可以為通式rf3-f(式中,rf3為c5-16全氟烷基。)所示的化合物。另外,也可以為氯三氟乙烯低聚物。從獲得與末端為c1-16全氟烷基的上述分子末端具有碳-碳不飽和鍵的含氟化合物所示的化合物高的親合性方面考慮,優(yōu)選rf3-f所示的化合物和氯三氟乙烯低聚物。含氟油有助于提高表面處理層的表面光滑性。作為上述硅油,例如可以使用硅氧烷鍵為2,000以下的直鏈狀或環(huán)狀的硅油。直鏈狀的硅油可以是所謂的純硅油(straightsiliconeoil)和改性硅油。作為純硅油,可以列舉二甲基硅油、甲基苯基硅油、甲基含氫硅油。作為改性硅油,可以列舉利用烷基、芳烷基、聚醚、高級脂肪酸酯、氟烷基、氨基、環(huán)氧基、羧基、醇等對純硅油進行改性而獲得的改性硅油。環(huán)狀的硅油例如可以列舉環(huán)狀二甲基硅氧烷油等。在本發(fā)明的表面處理劑中,關(guān)于這樣的硅油,相對于含全氟(聚)醚基硅烷化合物的合計100質(zhì)量份(2種以上時,為它們的合計,下同),例如可以含有0~300質(zhì)量份,優(yōu)選含有0~200質(zhì)量份。硅油有助于提高表面處理層的表面光滑性。作為上述催化劑,可以列舉酸(例如乙酸、三氟乙酸等)、堿(例如氨、三乙胺、二乙胺等)、過渡金屬(例如ti、ni、sn等)等。催化劑促進含全氟(聚)醚基硅烷化合物的水解和脫水縮合,促進表面處理層的形成。本發(fā)明的表面處理劑能夠浸滲至多孔物質(zhì)、例如多孔的陶瓷材料、將金屬纖維、例如鋼絲棉固定成棉狀而成的物質(zhì)中,形成粒料。該粒料例如可以用于真空蒸鍍。接著,對本發(fā)明的物品進行說明。本發(fā)明的物品包含基材和在該基材的表面由本發(fā)明的表面處理劑形成的層(表面處理層)。該物品例如可以按照以下的方法制造。首先,準(zhǔn)備基材。本發(fā)明能夠使用的基材例如可以由玻璃、藍寶石玻璃、樹脂(天然或合成樹脂,例如可以為一般的塑料材料,也可以為板狀、膜、其他的形態(tài))、金屬(可以為鋁、銅、鐵等的金屬單體或合金等的復(fù)合體)、陶瓷、半導(dǎo)體(硅、鍺等)、纖維(紡織品、無紡布等)、毛皮、皮革、木材、陶磁器、石材等、建筑部件等、任意合適的材料構(gòu)成。優(yōu)選基材為玻璃或藍寶石玻璃。作為上述玻璃,優(yōu)選鈉鈣玻璃、堿性鋁硅酸鹽玻璃、硼硅酸玻璃、無堿玻璃、水晶玻璃、石英玻璃,特別優(yōu)選經(jīng)化學(xué)強化的鈉鈣玻璃、經(jīng)化學(xué)強化的堿性鋁硅酸鹽玻璃、和經(jīng)化學(xué)鍵合的硼硅酸玻璃。作為樹脂,優(yōu)選丙烯酸樹脂、聚碳酸酯。例如,所制造的物品為光學(xué)部件時,構(gòu)成基材的表面的材料可以為光學(xué)部件用材料,例如為玻璃或透明塑料等。另外,所制造的物品為光學(xué)部件時,也可以在基材的表面(最外層)形成某種層(或膜)、例如硬涂層、防反射層等。防反射層可以使用單層防反射層和多層防反射層中的任意種。作為能夠用于防反射層的無機物的例子,可以列舉sio2、sio、zro2、tio2、tio、ti2o3、ti2o5、al2o3、ta2o5、ceo2、mgo、y2o3、sno2、mgf2、wo3等。這些無機物可以單獨使用,或者將它們的2種以上組合(例如作為混合物)使用。形成多層防反射層時,優(yōu)選在其最外層使用sio2和/或sio。所制造的物品為觸摸面板用的光學(xué)玻璃部件時,可以在基材(玻璃)的表面的一部分具有透明電極、例如使用了氧化銦錫(ito)和氧化銦鋅等的薄膜。另外,關(guān)于基材,根據(jù)其具體的規(guī)格等,也可以具有絕緣層、粘合層、保護層、裝飾框?qū)?i-con)、霧化膜層、硬涂膜層、偏光膜、相位差膜和液晶顯示模塊等?;牡男螤顩]有特別限定。另外,形成表面處理層的基材的表面區(qū)域可以是基材表面的至少一部分,也可以根據(jù)所制造的物品的用途和具體的規(guī)格等適當(dāng)決定。作為這樣的基材,可以是至少其表面部分由本來具有羥基的材料形成。作為這樣的材料,可以列舉玻璃,還可以列舉表面形成自然氧化膜或熱氧化膜的金屬(特別是賤金屬)、陶瓷、半導(dǎo)體等?;蛘?,如樹脂等那樣,在即使具有羥基也不充分的情況下,或者在本來就不具有羥基的情況下,通過對基材實施某種前處理,能夠向基材的表面導(dǎo)入或增加羥基。作為這樣的前處理的例子,可以列舉等離子體處理(例如電暈放電)和離子束照射。適當(dāng)利用等離子體處理不僅可以向基材表面導(dǎo)入或增加羥基,還能夠進行對基材表面進行凈化(除去異物等)。另外,作為這樣的前處理的其他的例子,可以列舉利用lb法(langmuir-blodgett法)或化學(xué)吸附法等,在基材表面預(yù)先以單分子膜的形態(tài)形成具有碳-碳不飽和鍵基團的界面吸附劑,之后,在含有氧、氮等的氣氛下使不飽和鍵斷裂的方法。還或者,作為這樣的基材,可以是至少其表面部分由具有1個以上的其他的反應(yīng)性基團、例如si-h(huán)基的硅酮化合物、或包含烷氧基硅烷的材料形成。接著,在這樣的基材的表面形成上述的本發(fā)明的表面處理劑的膜,根據(jù)需要對該膜進行后處理,由此,由本發(fā)明的表面處理劑形成表面處理層。關(guān)于本發(fā)明的表面處理劑的膜形成,可以通過對基材的表面、以覆蓋該表面的方式應(yīng)用上述的表面處理劑而實施。覆蓋方法沒有特別限定。例如,可以使用濕潤覆蓋法和干燥覆蓋法。作為濕潤覆蓋法的例子,可以列舉浸涂、旋涂、流涂、噴涂、輥涂、凹版涂敷和類似的方法。作為干燥覆蓋法的例子,可以列舉蒸鍍(通常為真空蒸鍍)、濺射、cvd和類似的方法。作為蒸鍍法(通常為真空蒸鍍法)的具體例,可以列舉電阻加熱、電子束、使用微波等的高頻加熱、離子束和類似的方法。作為cvd方法的具體例,可以列舉等離子體-cvd、光學(xué)cvd、熱cvd和類似的方法。另外,也可以是利用常壓等離子體法的覆蓋。使用濕潤覆蓋法時,本發(fā)明的表面處理劑可以用溶劑稀釋后用于基材表面。從本發(fā)明的表面處理劑的穩(wěn)定性和溶劑的揮發(fā)性的觀點考慮,優(yōu)選使用以下的溶劑:c5-12的全氟脂肪族烴(例如,全氟己烷、全氟甲基環(huán)己烷和全氟-1,3-二甲基環(huán)己烷);多氟芳香族烴(例如,雙(三氟甲基)苯);多氟脂肪族烴(例如,c6f13ch2ch3(例如,旭硝子株式會社制的asahiklin(注冊商標(biāo))ac-6000)、1,1,2,2,3,3,4-七氟環(huán)戊烷(例如,日本zeon株式會社制的zeorora(注冊商標(biāo))h);氫氟烴(hfc)(例如,1,1,1,3,3-五氟丁烷(hfc-365mfc));氫氯氟烴(例如,hcfc-225(asahiklin(注冊商標(biāo))ak225));氫氟醚(hfe)(例如,全氟丙基甲基醚(c3f7och3)(例如,住友3m株式會社制的novec(商標(biāo)名)7000)、全氟丁基甲基醚(c4f9och3)(例如,住友3m株式會社制的novec(商標(biāo)名)7100)、全氟丁基乙基醚(c4f9oc2h5)(例如,住友3m株式會社制的novec(商標(biāo)名)7200)、全氟己基甲基醚(c2f5cf(och3)c3f7)(例如,住友3m株式會社制的novec(商標(biāo)名)7300)等的烷基全氟烷基醚(全氟烷基和烷基可以為直鏈或支鏈狀)、或者cf3ch2ocf2chf2(例如,旭硝子株式會社制的asahiklin(注冊商標(biāo))ae-3000))、1,2-二氯-1,3,3,3-四氟-1-丙烯(例如,三井杜邦氟化學(xué)株式會社(dupont-mitsuifluorochemicalsco.,ltd.)制的vertrel(注冊商標(biāo))scion)等。這些溶劑可以單獨使用,或者將2種以上組合作為混合物使用。另外,例如為了調(diào)整含全氟(聚)醚基硅烷化合物的溶解性,也可以與其他溶劑混合。使用干燥覆蓋法時,本發(fā)明的表面處理劑可以直接用于干燥覆蓋法,或者也可以用上述的溶劑稀釋后用于干燥覆蓋法。膜形成優(yōu)選以在膜中本發(fā)明的表面處理劑與用于水解和脫水縮合的催化劑同時存在的方式實施。簡單而言,在利用濕潤覆蓋法的情況下,可以將本發(fā)明的表面處理劑用溶劑稀釋后,在即將用于基材表面之前,向本發(fā)明的表面處理劑的稀釋液中添加催化劑。在利用干燥覆蓋法的情況下,可以對添加了催化劑的本發(fā)明的表面處理劑直接進行蒸鍍(通常為真空蒸鍍)處理,或者也可以使用使添加了催化劑的本發(fā)明的表面處理劑浸滲至鐵、銅等的金屬多孔材料中而獲得的粒料狀物質(zhì),進行蒸鍍(通常為真空蒸鍍)處理。催化劑可以使用任意合適的酸或堿。作為酸催化劑,例如可以使用乙酸、甲酸、三氟乙酸等。另外,作為堿催化劑,例如可以使用氨、有機胺類等。接著,根據(jù)需要,對膜進行后處理。該后處理沒有特別限定,例如可以逐步地實施水分供給和干燥加熱,更詳細而言,可以按照以下的方式實施。如上所述,在基材表面將本發(fā)明的表面處理劑形成膜后,向該膜(以下,也稱為“前體膜”)供給水分。水分的供給方法沒有特別限定,例如可以使用利用前體膜(和基材)與周圍氣氛的溫度差產(chǎn)生的結(jié)露、和水蒸氣(蒸汽)的噴霧等的方法。考慮是在向前體膜供給水分時,本發(fā)明的表面處理劑中的含全氟(聚)醚基硅烷化合物的與si結(jié)合的能夠水解的基團與水發(fā)生作用,能夠使該化合物快速地水解。水分的供給可以在例如0~250℃、優(yōu)選60℃以上、進一步優(yōu)選100℃以上、優(yōu)選180℃以下、進一步優(yōu)選150℃以下的氣氛下實施。通過在這樣的溫度范圍內(nèi)供給水分,能夠進行水解。此時的壓力沒有特別限定,簡單而言,可以為常壓。接著,在該基材的表面、在超過60℃的干燥氣氛下對該前體膜進行加熱。干燥加熱方法沒有特別限定,可以在超過60℃、優(yōu)選超過100℃的溫度且例如250℃以下、優(yōu)選180℃以下的溫度下、并且在不飽和蒸氣壓的氣氛下將前體膜與基材一起配置。此時的壓力沒有特別限定,簡單而言,可以為常壓。在這樣的氣氛下,在本發(fā)明的含pfpe硅烷化合物之間,水解后的與si結(jié)合的基團彼此快速地進行脫水縮合。另外,在這樣的化合物與基材之間,該化合物水解后的與si結(jié)合的基團與存在于基材表面的反應(yīng)性基團之間快速地反應(yīng),在存在于基材表面的反應(yīng)性基為羥基時,進行脫水縮合。作為其結(jié)果,可以在含全氟(聚)醚基硅烷化合物與基材之間形成鍵。上述的水分供給和干燥加熱可以通過使用過熱水蒸氣而連續(xù)地實施。過熱水蒸氣是對飽和水蒸氣在比沸點高的溫度下進行加熱而獲得的氣體,常壓下,是在超過100℃、通常為500℃以下、例如為300℃以下的溫度下,并且通過加熱至超過沸點的溫度的而成為不飽和蒸氣壓的氣體。在本發(fā)明中,從抑制含全氟(聚)醚基硅烷化合物的分解的觀點考慮,優(yōu)選將250℃以下、優(yōu)選180℃以下的過熱水蒸氣用于水分供給和干燥加熱。將形成有前體膜的基材暴露于過熱水蒸氣時,首先,利用過熱水蒸氣與比較低溫的前體膜之間的溫度差,在前體膜表面發(fā)生結(jié)露,由此向前體膜供給水分。不久,隨著過熱水蒸氣與前體膜之間的溫度差變小,前體膜表面的水分在過熱水蒸氣的干燥氣氛中氣化,前體膜表面的水分量逐步下降。在前體膜表面的水分量下降期間、即前體膜處于干燥氣氛下期間,基材表面的前體膜通過與過熱水蒸氣接觸而被加熱至該過熱水蒸氣的溫度(常壓下超過100℃的溫度)。因此,使用過熱水蒸氣時,只要將形成有前體膜的基材暴露于過熱水蒸氣中,就能夠連續(xù)地實施水分供給和干燥加熱。如上所述,可以實施后處理。為了進一步提高摩擦耐久性,可以實施這樣的后處理,但應(yīng)注意其在制造本發(fā)明的物品中不是必須的。例如,在將本發(fā)明的表面處理劑用于基材表面后,可以只原樣靜置。如上所述,在基材的表面形成來自本發(fā)明的表面處理劑的膜的表面處理層,制造本發(fā)明的物品。由此獲得的表面處理層具有高的摩擦耐久性。另外,該表面處理層除了具有高的摩擦耐久性以外,由于所使用的表面處理劑的組分,也可以具有撥水性、撥油性、防污性(例如防止指紋等污漬的附著)、防水性(防止水浸入電子部件等)、表面光滑性(或潤滑性,例如指紋等污漬的可擦拭性和對手指的優(yōu)異的觸感)等,可以適當(dāng)用作功能性薄膜。本發(fā)明所獲得的具有表面處理層的物品沒有特別限定,可以為光學(xué)部件。作為光學(xué)部件,例如可以列舉下述的光學(xué)部件:例如陰極射線管(crt:例如tv、電腦顯示器)、液晶顯示器、等離子體顯示器、有機el顯示器、無機薄膜el點陣顯示器、背面投影型顯示器、熒光顯示管(vfd)、場發(fā)射顯示器(fed:fieldemissiondisplay)等顯示器或這些顯示器的前面保護板、防反射板、偏光板、防眩光板、或者對它們的表面實施防反射膜處理而得到的材料;眼鏡等的鏡片;手機、便攜式信息終端等設(shè)備的觸摸面板片材;藍光(blu-ray(注冊商標(biāo)))光盤、dvd光盤、cd-r、mo等的光盤的盤面;光纖;鐘表的顯示面等。本發(fā)明所獲得的具有表面處理層的其他物品可以列舉窯業(yè)制品、涂面、布制品、皮革制品、醫(yī)療品和石膏等。另外,本發(fā)明所獲得的具有表面處理層的其他物品也可以是醫(yī)療設(shè)備或醫(yī)療材料。表面處理層的厚度沒有特別限定。為光學(xué)部件時,從光學(xué)性能、表面光滑性、摩擦耐久性和防污性的方面考慮,優(yōu)選表面處理層的厚度為1~50nm、優(yōu)選1~30nm、更優(yōu)選1~15nm的范圍。以上,對使用本發(fā)明的表面處理劑所獲得的物品進行了詳細敘述。其中,本發(fā)明的表面處理劑的用途、使用方法以及物品的制造方法等并不限定于上述示例。實施例通過以下的實施例對本發(fā)明的表面處理劑進行更具體地說明,但本發(fā)明并不限定于實施例。其中,在本實施例中,以下所示的化學(xué)式全部表示平均組分。使用下述表1所示的含全氟(聚)醚基硅烷化合物。分子量3000以下的化合物的比率基于gpc(凝膠滲透色譜)測定而求出。將測定條件表示如下。(gpc測定)使用將以下的柱(昭和電工株式會社制造)依次串聯(lián)配置而成的串聯(lián)柱進行測定。另外,使用全氟聚醚油a、b、c對分子量進行校正?!ばU脴悠啡勖延蚢:數(shù)均分子量7250mw/mn1.08全氟聚醚油b:數(shù)均分子量4180mw/mn1.08全氟聚醚油c:數(shù)均分子量2725mw/mn1.08·柱gpckf-g(4.6mmi.d.×1cm)gpckf806l(8.0mmi.d.×30cm)gpckf806l(8.0mmi.d.×30cm)·裝置malverninstruments公司制造gpcmax(hplc系統(tǒng))和tda-302(檢測器)·洗脫液asahiklinak225(hcfc-225)/1,1,1,3,3,3-六氟-2-丙醇[90/10(w/w)]·樣品濃度20mg/ml[表1]*結(jié)構(gòu)式a和b如下所述?!そY(jié)構(gòu)式a·結(jié)構(gòu)式bcf3cf2cf2o(cf2cf2cf2o)mcf2cf2ch2och2ch2ch2si[ch2ch2ch2si(och3)3]3**m的值為由19f-nmr測得的值,mn和mw為由gpc測得的值。以濃度成為20wt%的方式使下述表所示的化合物溶解于氫氟醚(3m公司制造、novechfe7200)中,制備表面處理劑。將所制備的表面處理劑在化學(xué)強化玻璃(corning公司制造、“gorilla”玻璃、厚度0.7mm)上進行真空蒸鍍。真空蒸鍍的處理條件為壓力3.0×10-3pa,首先,利用電子束蒸鍍方式,將二氧化硅蒸鍍于化學(xué)強化玻璃的表面,接著,在每1塊化學(xué)強化玻璃(55mm×100mm)上蒸鍍表面處理劑2mg(即,含有0.4mg的含全氟(聚)醚基硅烷化合物)。之后,將附著蒸鍍膜的化學(xué)強化玻璃在溫度20℃和濕度65%的氣氛下靜置24小時。[表2](評價)·摩擦耐久性評價針對上述實施例1~4和比較例1~4的表面處理層,測定水的靜態(tài)接觸角。關(guān)于水的靜態(tài)接觸角,使用接觸角測定裝置(協(xié)和界面科學(xué)公司制造),用水1μl實施。首先,作為初期評價,形成表面處理層后,在與其表面尚未有任何接觸的狀態(tài)下,測定水的靜態(tài)接觸角(摩擦次數(shù):零次)。之后,作為摩擦耐久性評價,實施鋼絲棉摩擦耐久性評價。具體而言,將形成有表面處理層的基材水平配置,使鋼絲棉(編號#0000、尺寸5mm×10mm×10mm)與表面處理層露出的上表面接觸,在其上施加1,000gf的載重,之后,在施加載重的狀態(tài)下使鋼絲棉以140mm/秒的速度往復(fù)。每隔一定的往復(fù)次數(shù)對水的靜態(tài)接觸角(度)進行測定(在接觸角的測定值小于100度時,中止評價。另外,對于實施例2,因鋼絲棉磨耗而在20,000次時中止了評價。將結(jié)果示于下述表。[表3]鋼絲棉耐久性(次)分子量3000以下的化合物的比率(mol%)實施例115,0000.5實施例220,000以上1.9實施例315,0004.5實施例412,5006.7比較例15,0009.6比較例212,50013.8比較例32,00081.7比較例47,50012.8如根據(jù)表3的結(jié)果所理解的那樣,可以確認分子量3000以下的化合物的比率為本發(fā)明的范圍的表面處理劑(實施例1~4)顯示優(yōu)異的摩擦耐久性。另一方面,分子量3000以下的化合物的比率高于9.0mol%的表面處理劑(比較例1~4)與上述本發(fā)明的表面處理劑相比,摩擦耐久性差。本發(fā)明雖然不受任何理論的約束,但考慮這是由于分子量3000以下的化合物的比率過高時,該低分子量的化合物先與基材結(jié)合,阻礙了具有高功能的高分子量的化合物與基材結(jié)合。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明能夠適當(dāng)用于在各種各樣的基材、特別是要求透光性的光學(xué)部件的表面形成表面處理層。當(dāng)前第1頁12