] 在設(shè)及本發(fā)明的一個方面的某些實施例中，制造裝置的方法在于所述方法通過使 用所述組合物中的任一者進行。
[0053]在設(shè)及本發(fā)明的一個方面的某些實施例中，一種方法包括：向襯底涂覆根據(jù)技術(shù) 方案15所述的組合物的溶液，使得包括所述組合物的涂料膜在所述襯底上形成；且使用第 一電磁射線和第一粒子射線中的至少一者第一照射所述涂料膜，使得所述涂料膜的第一部 分經(jīng)所述電磁射線和所述粒子射線中的至少一者照射，而所述涂料膜的第二部分不經(jīng)所述 電磁射線和所述粒子射線中的至少一者照射；使用第二電磁射線和第二粒子射線中的至少 一者第二照射所述涂料膜；移除所述第一部分；且蝕刻所述襯底，使得所述襯底的上面已 經(jīng)存在所述第一部分的第Ξ部分經(jīng)蝕刻。
[0054] 關(guān)于所述方法，優(yōu)選的是：波長為第一波長的第一電磁射線；波長為第二波長的 第二電磁射線；且所述第一波長短于所述第二波長。 陽化日]關(guān)于所述方法，優(yōu)選的是，所述第一波長等于或短于15nm。
[0056] 關(guān)于所述方法，優(yōu)選的是：所述第一波長等于或短于15nm;且所述第二波長等于 或長于300nm。
[0057] 關(guān)于所述方法，優(yōu)選的是，第二照射在無掩模的情況下進行。
[0058] 在設(shè)及本發(fā)明的一個方面的某些實施例中，上述方法中的任一者通過使用設(shè)備進 行。
【附圖說明】
[0059] 在圖中，說明了當前被視為實施本發(fā)明的最佳方式的內(nèi)容。
[0060] [圖1]圖1展示使用包括酸產(chǎn)生增強劑的光致抗蝕劑的裝置如集成電路（1C)的 制造工藝。
【具體實施方式】
[0061] 實驗程序：
[0062] 合成2, 4-二甲氧基-4' -甲氧基二苯甲酬
[0063] 將2.00g2,4-二?基-4'-?基二苯甲酬、1.95g硫酸二甲醋和2.14g碳酸鐘溶解 于16.Og丙酬中。在回流溫度下攬拌混合物8小時。此后，將混合物冷卻到攝氏25度且其 在添加80.Og水之后經(jīng)進一步攬拌。接著，用20.Og乙酸乙醋萃取，且有機相用水洗涂。其 后，蒸饋掉乙酸乙醋，且所得物通過硅膠柱色譜（乙酸乙醋：己燒=3:97)純化。由此，獲 得1. 43g2, 4-二甲氧基-4' -甲氧基二苯甲酬。 W64] 合成化4-二甲氧基苯基）-(4'-甲氧基苯基）-甲醇（實例1).
[0065] 將1.Og2, 4-二甲氧基-4' -甲氧基二苯甲酬和0.Olg氨氧化鐘溶解于12.Og甲 醇中。向甲醇溶液中添加0.4?棚氨化鋼。在回流溫度下攬拌混合物3小時。此后，向80g 水中添加混合物。接著，用20.Og乙酸乙醋萃取，且有機相用水洗涂。其后，蒸饋掉乙酸乙 醋。由此，獲得0.90g(2,4-二甲氧基苯基）-(4'-甲氧基苯基）-甲醇。
[0066] 化學(xué)物質(zhì)4
[0067]
W側(cè)制備含有5.Oga-甲基丙締酷氧基-g-下內(nèi)醋、6. 03g2-甲基金剛燒-2-甲基丙 締酸醋和4. 34g3-徑基金剛燒-1-甲基丙締酸醋、0. 51g二甲基-2, 2'-偶氮雙（2-甲基丙 酸醋）和26.Ig四氨巧喃的溶液。在攬拌和沸騰下持續(xù)4小時添加制備的溶液到放置在燒 瓶中的20.Og四氨巧喃中。在添加制備的溶液之后，將混合物加熱到回流后持續(xù)2小時，并 且冷卻到室溫。逐滴添加混合物到含有160g己燒和18g四氨巧喃的混合液體中（在劇烈 攬拌下）使共聚物沉淀。通過過濾來分離共聚物。共聚物的純化通過在利用70g己燒洗涂 兩次之后真空干燥來進行，且由此獲得8. 5g白色共聚物粉末。 W例化學(xué)物質(zhì)5
[0070]
[0071] 制備用于評估的樣品（"評估樣品"）
[0072] 評估樣品通過W下方式制備：將23.5mg化4-二甲氧基苯基）-(4'-甲氧基苯 基）-甲醇、600mg樹脂A和24.9mg九氣下橫酸二苯基艦鐵鹽作為光酸產(chǎn)生劑（PAG)溶解在 SOOOmg環(huán)己酬中。
[0073] 敏感性的評估 陽074] 在將評估樣品中的每一者施加到Si晶片之前，將六甲基二娃氮燒（HMDS，東京化 工（Tokyo化emicalIn化S付y))W2000巧m在Si晶片的表面上旋涂20秒且在攝氏110度 下烘烤1分鐘。接著，將評估樣品中的每一者旋涂在已用HMDSW2000rpm處理20秒的Si 晶片表面上W形成涂料膜。涂料膜的預(yù)烘烤在攝氏110度下進行60秒。接著，將評估樣品 的涂料膜曝露于來自EUV光源的極紫外線巧UV)輸出。在EUV光曝露之后，在周圍條件下用 UV光照射涂料膜。在UV光曝露之后，曝露后烘烤（PEB)在攝氏100度下進行60秒。涂料 膜用NMD-3(四甲基氨氧化錠2. 38%，東京應(yīng)化工燈okyoOhkaKogyo))在攝氏25度下顯 影60秒，且用去離子水沖洗10秒。使用膜厚度測量工具測量的涂料膜的厚度為約150nm。 陽0巧]敏感性巧。敏感性）通過使用30keVE化系統(tǒng)JSM-6500F(日本電子株式會社 (JEOL)，光束電流：12. 5pA，<lE-4Pa)與BeamDraw(東京技術(shù)（TokyoTechnology))W及 使用化-她L(亮線主要為320皿到380皿，東芝燈oshiba))的UV曝露測量形成由2mm線 (其中涂料膜的厚度不為零）和2mm空間（其中涂料膜的厚度為零）構(gòu)成的圖案的劑量大 小來評估。
[0076] 即使UV曝露是在無掩模的情況下進行，2mm空間也形成于已曝露于EUV光的涂料 膜的部分中。運指示了充當UV光的光敏化劑的產(chǎn)物是在曝露于EUV光的部分中產(chǎn)生。
[0077] 表1展示針對評估樣品1到4測量的對應(yīng)于E。敏感性的劑量大小。表1指示針 對E。敏感性的UV曝露的劑量隨著EUV光曝露的劑量的增加而減小。 |；007引[表1]
[0079] 評估樣品的根據(jù)EUV光和UV曝露的E。光的劑量
[0080]
[0081] 實例2、3、4和5中的每一者也優(yōu)選地用作AGE代替化4-二甲氧基苯基）-(4'-甲 氧基苯基）-甲醇。實例中的每一者轉(zhuǎn)化成可在EUV光或電子束曝露之后充當光敏化劑的 相應(yīng)的酬。 陽0間化學(xué)物質(zhì)6
[0083]
[0084] 實例1-5也利用保護基（如四氨化喃基和醋）保護。
[0085] 合成雙-(4-甲氧基苯基）甲醇.
[0086] 將2.0g4,4'-二甲氧基二苯甲酬和0.02g氨氧化鐘溶解于16.0g甲醇中。將 〇.94g棚氨化鋼添加到甲醇中。在回流溫度下攬拌混合物3小時。此后，將混合物添加到 8〇g水中。接著，用20.Og乙酸乙醋萃取且有機相用水洗涂。其后，蒸饋掉乙酸乙醋。由此， 獲得1.79g雙-(4-甲氧基苯基）甲醇。 W87] 合成2-[雙-(4-甲氧基-苯基）-甲氧基]-四氨-化喃（實例6) 陽0蝴化學(xué)物質(zhì)7 柳例合成2-[雙-(4-甲氧基-苯基）-甲氧基]-四氨-化喃（實例6)
[0090]
[0091] 將2. 75g2H-二氨化喃和0. 74g對甲苯橫酸化晚鐵溶解于30.Og二氯甲燒中。經(jīng) 30分鐘將利用8.Og二氯甲燒溶解的2.Og雙-(4-甲氧基苯基）甲醇逐滴添加到含有2H-二 氨化喃和對甲苯橫酸化晚鐵的混合物中，此后在攝氏25度下攬拌混合物3小時。此后，在添 加3%碳酸鋼水溶液之后進一步攬拌混合物。接著，用20.Og乙酸乙醋萃取，且有機相用水 洗涂。其后，蒸饋掉乙酸乙醋。由此，獲得1.99g2-[雙-(4-甲氧基-苯基）-甲氧基]-四 氨-化喃。
[0092] 制備評估樣品5和6
[0093] 通過將300mg樹脂A、36. 7mg九氣下橫酸二苯基艦鐵作為光酸產(chǎn)生劑（PAG)和 13. 7mg香豆素6作為指示劑溶解于2000mg環(huán)己酬中來制備評估樣品5。
[0094] 通過將14.Img2-[雙-(4-甲氧基-苯基）-甲氧基]-四氨-化喃、300mg樹脂 A、36. 7mg九氣下橫酸4, 4' -二-(叔下基苯基）艦鐵作為PAG和13. 7mg香豆素6作為指示 劑溶解于2000mg環(huán)己酬中來制備評估樣品6。 陽0巧]評估酸產(chǎn)生的效率
[0096] 通過旋涂評估樣品5和6在4英寸石英晶片上形成膜。膜中的每一者通過EUV光 光刻設(shè)備用量為〇、1〇、20、30和40mC/cm2輸出的EUV光照射。在EUV光照射之后，通過繪 制534nm下的吸光度獲得膜的效率，每個膜的吸光度分配到由對應(yīng)量的EUV產(chǎn)生的質(zhì)子化 香豆素6的量。
[0097] 表2展示了評估樣品5和6的相對酸產(chǎn)生效率。在表2中，將評估樣品5的 酸產(chǎn)生效率用作基準。表2中所示的結(jié)果指示，酸產(chǎn)生效率通過由從2-[雙-(4-甲氧 基-苯基）-甲氧基]-四氨-化喃形成的幾游基自由基還原光酸產(chǎn)生劑而改良。運指示了 2-[雙-(4-甲氧基-苯基）-甲氧基]-四氨-化喃的四氨化喃基通過曝露EUV光產(chǎn)生的酸 裂解且產(chǎn)生雙-(4-甲氧基苯基）甲醇。 陽09引[表引
[0099]表2評估樣品5和6的相對酸產(chǎn)生效率陽 100]
陽101] 如由結(jié)果理解，具有還原性特征的利用酸可離解基團保護的反應(yīng)中間物也視為增 強酸產(chǎn)生的效率。
[0102] 實例6與酸的反應(yīng)產(chǎn)生相應(yīng)的醇。相應(yīng)的醇被氧化成可