本發(fā)明涉及利用空氣的浮力，將各種顯示板及大尺寸薄板以非接觸的方式移送的輸送板，具體是，輸送大尺寸面板時(shí)，可以抑制晃動(dòng)，提高移送時(shí)的穩(wěn)定性，且抑制邊緣下垂現(xiàn)象而保持平坦度的大尺寸面板用輸送板。

背景技術(shù)：
在線檢測(cè)裝備（In-LineFPDAutomaticOpticalInspection）是指引導(dǎo)TFTLCD板或PDP、彩色濾光片等顯示板（displaypanel）等同時(shí)使用光學(xué)透鏡和CCD攝像頭捕捉圖像之后，應(yīng)用圖像處理算法檢測(cè)出用戶(hù)需要找出的各種缺陷的裝備。所述在線檢測(cè)裝備大體上分為檢測(cè)不良的掃描部（scansection）、reviewsection、unlaodsection。所述檢驗(yàn)裝備為發(fā)揮作為檢驗(yàn)系統(tǒng)的作用，不僅需要準(zhǔn)確檢測(cè)出缺陷所在位置和大小，而且從掃描部到unlaodsection引導(dǎo)被輸送體（檢驗(yàn)對(duì)象）的輸送裝置的作用也是一個(gè)重要的因素。作為傳統(tǒng)的輸送裝置，曾公開(kāi)了一種利用滾輪（roller）的旋轉(zhuǎn)力輸送被輸送體的接觸式輸送裝置，但該裝置因滾輪的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生斑點(diǎn)，而且摩擦力小或者旋轉(zhuǎn)力弱，輸送體被下滑而輸送上并不順利。為解決所述問(wèn)題，目前正在使用對(duì)多個(gè)氣孔上充入壓縮空氣，用從氣孔上噴出的空氣將被輸送體浮起輸送的非接觸式輸送裝置。所述接觸式輸送板中韓國(guó)專(zhuān)利注冊(cè)第650290號(hào)（2006.11.27.公告）和韓國(guó)專(zhuān)利注冊(cè)第886968號(hào)(2009.03.09.公告)是在空氣噴出的氣孔內(nèi)部任意形成細(xì)縫從中噴出空氣。首先，專(zhuān)利第650290號(hào)如圖1所示，在輸送板的上板110上形成的氣孔a1內(nèi)部連接螺栓112，在該螺栓112上裝配形成細(xì)縫的墊圈113，由墊圈113和螺栓112的螺線形成噴出空氣的結(jié)構(gòu)。專(zhuān)利第886968號(hào)如圖2所示，在輸送板的上板220上形成的氣孔221的內(nèi)部插入彈簧銷(xiāo)222，使銷(xiāo)部223被插進(jìn)氣孔221的內(nèi)側(cè)而形成一定的細(xì)縫。專(zhuān)利第650290號(hào)是將螺栓112和墊圈113作為阻力裝置，噴出低流量空氣，但氣孔111上形成的內(nèi)螺紋和螺栓112上形成的外螺紋不能始終按一定規(guī)格提供，而從氣孔111上噴出的空氣不均勻。就是說(shuō)，內(nèi)螺紋是用人工加工（TAP加工）方式形成而具有一定規(guī)格，但螺栓不是根據(jù)內(nèi)螺紋的規(guī)格進(jìn)行加工，一般使用成品，因此從螺線之間泄漏出去的氣體量在每個(gè)氣孔之間的差異較大。因每個(gè)氣孔的氣體噴出量相差較大，而在輸送板上的懸浮的被浮體會(huì)失去平坦度，振動(dòng)較大而檢驗(yàn)的可靠性也隨之下降。專(zhuān)利第886968號(hào)是在具有一定規(guī)格的氣孔221和在此氣孔上插入具有一定規(guī)格的銷(xiāo)部223，使整個(gè)區(qū)段分布均勻地噴出空氣，但具有固定作用的彈簧部224不能始終被垂直地固定住而銷(xiāo)部223被傾斜插入，或者對(duì)銷(xiāo)部223的直進(jìn)性而無(wú)法均勻地對(duì)準(zhǔn)氣孔221的細(xì)縫。為解決所述問(wèn)題，本申請(qǐng)人通過(guò)韓國(guó)專(zhuān)利注冊(cè)第10-0938355號(hào)（2010.01.22公告）提出了一種通過(guò)螺旋線均勻地噴出高壓氣體的非接觸式輸送板。本申請(qǐng)人提供的非接觸式輸送板其組成包括：外部的空氣流入后填充上部面上形成的空氣室的中板；結(jié)合于所述中板的上部，使所述空氣室內(nèi)的空氣從上部面上噴出，且形成所述空氣室連通的多個(gè)氣孔的上板。所述氣孔的內(nèi)部下側(cè)形成直徑大于所述氣孔的延伸部，所述延伸部?jī)?nèi)形成節(jié)圓（pitch）較大的螺旋線，所述螺旋線上插入銷(xiāo)使其具有既定的摩擦力。所述結(jié)構(gòu)的非接觸式輸送板是使空氣在氣孔的內(nèi)部的銷(xiāo)和螺旋線槽之間縫隙流動(dòng)，而使從氣孔上噴出的流量的偏差最小化的同時(shí)，使各氣孔的氣壓和噴出量保持均勻。但，本申請(qǐng)人提出的非接觸式輸送板是需要在氣孔的內(nèi)面上加工螺旋線，加工難度太大而不利于批量生產(chǎn)，輸送率也大幅下降。而且從氣孔噴出的空氣的推進(jìn)旋轉(zhuǎn)力是其性能雖然優(yōu)于傳統(tǒng)技術(shù)，但仍然存在很多缺陷，無(wú)法將被輸送體被穩(wěn)定支承的狀態(tài)下輸送。為解決所述問(wèn)題，本申請(qǐng)人曾經(jīng)通過(guò)韓國(guó)專(zhuān)利注冊(cè)第10-1091561號(hào)（2011.12.13公告）提出過(guò)一種“非接觸式輸送板”。本申請(qǐng)人提出的非接觸式輸送板的組成包括：下板，形成外部空氣被流入的通氣口；空氣分支板，在所述下板的上部形成，形成與所述通氣口相對(duì)應(yīng)的貫通孔，以及使空氣分支的空氣通路；以及作為在所述空氣分支板的上部形成，且將被輸送體浮起移送的空氣的噴出要素的空氣室，將通過(guò)所述貫通孔流入的空氣傳遞到氣路；漩渦發(fā)生部，連接于所述氣路而流入的空氣通過(guò)而形成旋風(fēng)形態(tài)的具有直進(jìn)旋轉(zhuǎn)力的螺旋槽而形成；上板，位于旋渦發(fā)生的上部，包括形成垂直面使旋渦以具有直進(jìn)性的噴出的由直進(jìn)引導(dǎo)部形成的氣孔。所述結(jié)構(gòu)的非接觸式輸送板是對(duì)氣孔的結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn)，在具有旋風(fēng)形態(tài)的推進(jìn)旋轉(zhuǎn)力的狀態(tài)下保持直進(jìn)性而將被輸送體穩(wěn)定無(wú)晃動(dòng)地移送。但，所述本申請(qǐng)人提出的非接觸式輸送板是將形成螺旋線槽的渦形銷(xiāo)硬夾進(jìn)氣孔內(nèi)而組成，但渦形銷(xiāo)的加工難度太大，生產(chǎn)性低，裝配也需要高精密度而無(wú)法達(dá)到量產(chǎn)水平，且制造成本也很高。而且，目前顯示板和太陽(yáng)能電池板等各種面板逐漸走向大型化趨勢(shì)，在保持平坦度的同時(shí)穩(wěn)定移送的難度也隨之加大，尤其如圖3所示，隨著顯示板的尺寸逐漸加大，沿移送方向的左右側(cè)邊緣部分下垂現(xiàn)象逐漸嚴(yán)重而導(dǎo)致工藝不良等問(wèn)題。就是說(shuō)，根據(jù)圖3，從位于被輸送體（p）的下部中心側(cè)的氣孔噴出的氣壓因無(wú)法被排到外部而形成停滯的停留氣流（a），從位于被輸送體（p）邊緣側(cè)的氣孔噴出的氣壓是在與外氣接觸的狀態(tài)下而噴出的空氣無(wú)法向所述停留氣流（a）流動(dòng)，形成向外側(cè)快速排放的排氣氣流（b）而最終導(dǎo)致被輸送體（p）如圖所示的中心部分凸出等平坦度不良的問(wèn)題。最近作為環(huán)保能源備受矚目的太陽(yáng)能電池板是因尺寸大，為輸送較重的玻璃基板（Borosilicate和Sodalime系列）進(jìn)行蒸鍍等工藝而在局部負(fù)載作用下難以控制平坦度，最終無(wú)法實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)，且輸送性低，從經(jīng)濟(jì)角度不宜制造。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的在于提供一種在輸送由大尺寸的薄型面板以及各種顯示板形成的被運(yùn)輸體時(shí)，能夠抑制面板的局部下垂，且輸送同時(shí)保證其平坦度的大尺寸面板用輸送板，從而解決所述傳統(tǒng)技術(shù)上存在的問(wèn)題。就是說(shuō)，本發(fā)明的目的在于提供一種移送被輸送體時(shí)從移送方向上位于兩側(cè)的空氣噴出壓對(duì)于位于中心的空氣噴出壓保持高壓，從而抑制被輸送體兩側(cè)邊緣部分下垂，并精密地控制移送平坦度而保證穩(wěn)定移送的大尺寸面板用輸送板。根據(jù)本發(fā)明，移送太陽(yáng)能電池板使用的玻璃基板等尺寸大且重量較大的產(chǎn)品時(shí)，可以補(bǔ)償局部負(fù)載，精密地控制平坦度，從而提高輸送率，節(jié)省制造成本。本發(fā)明的另一個(gè)目的在于，提供一種噴出的空氣保持旋風(fēng)形態(tài)的推進(jìn)旋力，保證無(wú)晃動(dòng)地移送被輸送體的大尺寸面板用輸送板。為實(shí)現(xiàn)所述目的，本發(fā)明優(yōu)選的大尺寸面板用輸送板，該組成包括：下板，一面形成由外部供應(yīng)的空氣被填入的槽形空氣室；空氣分支板，位于所述下板的上部，形成多個(gè)將由所述空氣室供應(yīng)的空氣分支的空氣通路；上板，位于所述空氣分支板的上部，形成從所述空氣通路接收空氣向上側(cè)噴出的氣孔；所述空氣通路包括：快速通路，由空氣快速流動(dòng)的狹縫形成；延遲通路，具備可以使空氣比該快速通路相對(duì)較慢的速度流動(dòng)的阻力要素。本發(fā)明的另一個(gè)優(yōu)選的大尺寸面板用輸送板該組成包括：下板，具備從外部分別供應(yīng)空氣和真空壓的通氣口和真空口，上面連接于所述真空口而形成真空壓產(chǎn)生作用的槽形真空室；上板，位于所述下板的上部，下面形成由通氣口供應(yīng)的空氣被填入的槽形空氣室和向上噴出空氣以及真空壓產(chǎn)生作用的氣孔和真空孔；真空分支板，位于所述下板和上板之間，形成與所述真空室連接而將真空壓傳輸給所述真空孔的真空通路；空氣分支板，位于所述真空室的上側(cè)或者下側(cè)，與所述空氣室連接形成將供應(yīng)到的空氣分支供應(yīng)給所述氣孔的空氣通路；所述空氣通路還包括：快速通路，由空氣快速流動(dòng)的狹縫形成；延遲通路，具備使空氣相對(duì)于所述快速通路以較慢速度流動(dòng)的阻力要素。本發(fā)明的另一個(gè)優(yōu)選的大尺寸面板用輸送板，該組成包括：下板，從外部分別接收空氣和真空壓，對(duì)上面形成的空氣室和真空室產(chǎn)生作用；上板，位于所述下板的上部，下面形成由通氣口供應(yīng)的空氣被填入的槽形空氣室和向上噴出空氣以及真空壓產(chǎn)生作用的氣孔和真空孔；真空分支板，位于所述下板和上板之間，與所述真空到連接形成將真空傳輸給所述真空孔的真空通路；空氣分支板，位于所述真空分支板的上側(cè)或者下側(cè)，形成將從所述空氣室供應(yīng)的空氣分支供應(yīng)給所述氣孔的空氣通路；所述空氣通路包括快速通路，由空氣快速流動(dòng)的狹縫形成；延遲通路，具備空氣比該快速通路相對(duì)較慢速度流動(dòng)的阻力要素。本發(fā)明的優(yōu)選是，所述空氣通路具備相互連接接收空氣使之分支的所述快速通路和所述延遲通路，或者具備相互獨(dú)立接收空氣的所述快速通路和延遲通路。本發(fā)明的另一個(gè)優(yōu)選是，所述空氣通路其結(jié)構(gòu)上向被輸送體的中心部側(cè)安排延遲通路，向被輸送體的外圍部側(cè)安排所述快速通路。本發(fā)明的又一個(gè)優(yōu)選是，所述延遲通路是在具備對(duì)于所述快速通路向空氣發(fā)生流動(dòng)阻力，使噴出速度變慢的彎曲形狀區(qū)段的阻力要素，或者所述延遲通路形成比所述快速通路相對(duì)較長(zhǎng)的流動(dòng)距離使空氣的噴出速度變慢的阻力要素，或者所述延遲通路從大小上比所述快速通路空氣的總通過(guò)量減少的阻力要素中，包括一種或者一種以上組合而成。本發(fā)明的另一優(yōu)選是，所述快速通路和所述延遲通路在各一側(cè)末端部形成半圓弧狀排放部，該排放部的直徑大小小于所述氣孔的內(nèi)部直徑。本發(fā)明的又一個(gè)優(yōu)選是，所述氣孔的組成包括：渦流發(fā)生部，引導(dǎo)流入的空氣通過(guò)的同時(shí)具有旋風(fēng)形態(tài)的推進(jìn)旋轉(zhuǎn)力；直進(jìn)引導(dǎo)部，位于所述渦流發(fā)生部的上部，由引導(dǎo)渦流具有直進(jìn)性地噴出的垂直面形成。本發(fā)明的又一個(gè)優(yōu)選是，所述渦流發(fā)生部占所述氣孔全長(zhǎng)的50-80%范圍，外面夾入形成螺旋線的金屬材料渦形銷(xiāo)對(duì)接組成，或者在占所述氣全長(zhǎng)50-80%范圍的區(qū)段內(nèi)周面形成螺旋線，或者所述氣孔的內(nèi)周面形成螺旋線并夾入圓柱形態(tài)銷(xiāo)對(duì)接插入形成。本發(fā)明的又一個(gè)優(yōu)選是，所述真空通路其組成包括：快速狹縫，由與所述真空室連接形成真空壓產(chǎn)生作用的長(zhǎng)孔形成；延遲狹縫，包括形成真空壓比所述快速狹縫相對(duì)較慢的速度產(chǎn)生作用的彎曲形狀區(qū)段，或者比所述快速狹縫具有更長(zhǎng)的流動(dòng)距離，或者大小與所述快速狹縫相比真空壓產(chǎn)生作用的容積減少的阻力要素；吸入部，分別形成于所述快速狹縫和延遲狹縫的各側(cè)端，連接于所述真空孔。本發(fā)明的大尺寸面板用輸送板的有益效果在于，移送大尺寸的薄形板或者各種顯示板乃至各種被輸送體時(shí)，有效抑制局部下垂現(xiàn)象，保證以平坦?fàn)顟B(tài)穩(wěn)定移送。尤其，噴出的空氣的形成旋風(fēng)形態(tài)的上升氣流而不但保持高直進(jìn)性，且中心部的壓力比起周邊相對(duì)較低而浮起被輸送體時(shí)，從低壓的中心部產(chǎn)生吸引作用而最大限度地減少因移送被輸送體時(shí)發(fā)生的振動(dòng)所致的抖動(dòng)現(xiàn)象，且良好地保持被輸送體的懸浮平坦度。本發(fā)明在制造過(guò)程中考慮到被輸送體的尺寸和移送速度，不同地設(shè)定各個(gè)氣孔的噴出壓，而可一對(duì)一地定制具有被輸送體優(yōu)化的懸浮壓的大尺寸面板用輸送板。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，由形成空氣被分支的分支狹縫孔的中板，以及形成連接于所述分支狹縫孔的氣孔和室形成上、下板組成，制造簡(jiǎn)便，節(jié)省成本，厚度和重量比先前的產(chǎn)品大幅減少，從安裝上不受限制而可以預(yù)期有益的工業(yè)效果。附圖說(shuō)明圖1和圖2是利用傳統(tǒng)技術(shù)的輸送板圖示；圖3是說(shuō)明利用傳統(tǒng)技術(shù)的被輸送體的移送狀態(tài)的圖示；圖4是本發(fā)明的大尺寸面板用輸送板的立體圖；圖5是本發(fā)明的大尺寸面板用輸送板的分解立體圖；圖6是本發(fā)明的大尺寸面板用輸送板的仰視圖；圖7是本發(fā)明的大尺寸面板用輸送板中的空氣分支板的平面圖；圖8是圖7的A-A線截面圖；圖9是圖7的B-B線截面圖；圖10是圖9的其它實(shí)施例的截面圖；圖11是本發(fā)明其它實(shí)施例大尺寸面板用輸送板立體圖；圖12是說(shuō)明圖11的結(jié)構(gòu)的分解立體圖；圖13是說(shuō)明圖11的平面例示圖。圖中：1:大尺寸面板用輸送板；10:下板；13,34:空氣室；20:空氣分支板；21:空氣通路；21a:快速通路；21b:延遲通路；30:上板；33:氣孔；33a:渦流發(fā)生部；33b:直進(jìn)引導(dǎo)部；33ap′：圓柱形態(tài)銷(xiāo)；35ah：螺旋線槽；37：真空孔；40:真空分支板；41：真空通路；41a：快速狹縫；41b：延遲狹縫；a1:通氣口；a2：第一通氣口；a3：第二通氣口；ap：空氣供應(yīng)線；p：被輸送體；s：螺絲部件；v1:真空口。具體實(shí)施方式下面參照附圖，對(duì)發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例詳細(xì)進(jìn)行描述。說(shuō)明內(nèi)容和各附圖中的實(shí)際同一個(gè)構(gòu)件是用同一個(gè)符號(hào)表示，不再重復(fù)說(shuō)明。而且說(shuō)明本發(fā)明時(shí)，若對(duì)有關(guān)的公知功能或者結(jié)構(gòu)的具體說(shuō)明使本發(fā)明宗旨變得模糊則省略該說(shuō)明。圖4是本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的大尺寸面板用輸送板的立體圖。圖中，中間隔著薄金屬板材的空氣分支板，上側(cè)配置具備多個(gè)氣孔33的上板，所述空氣分支板20的下側(cè)顯示有從結(jié)構(gòu)上配置下板10的大尺寸面板用輸送板1。圖5是本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的大尺寸面板用輸送板的分解立體圖。圖中顯示，利用多個(gè)螺絲部件（s）用螺絲擰緊成一體的下板10，以及由空氣分支板20和上板30形成的大尺寸面板用輸送板1，所述下板10接收外部流入的空氣，上面形成空氣室13，所述空氣分支板20由緊貼于所述下板10的上部面的薄金屬板材提供且形成將從所述空氣室13流入的空氣分支引導(dǎo)的空氣通路21，所述上板30是形成有將從所述空氣分支板20流入的空氣噴出使之具有旋轉(zhuǎn)推進(jìn)力的氣孔33。圖6是本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的大尺寸面板用輸送板的仰視圖。圖中顯示形成有用于接收空氣的通氣口（a1）的下板，以及連接于該下板10的通氣口（a1）而成為供應(yīng)空氣的線路的空氣供應(yīng)線（ap）。圖7是本發(fā)明的大尺寸面板用輸送板中的空氣分支板的平面圖。圖中顯示空氣分支板20并形成有由上板30和下板10之間緊貼著的金屬薄板材料構(gòu)成，且連接于所述下板10的空氣室13接收空氣使之分支的空氣通路21。所述空氣通路21由將由所述空氣通路21提供的空氣快速?lài)姵龅目焖偻?1a，以及向該快速通路21a以較慢速度噴出空氣的延遲通路21b構(gòu)成。圖8是表示圖7的A-A線的截面圖。圖中顯示用螺絲部件（s）接合成一體的大尺寸面板用輸送板1，構(gòu)件之一的下板10上貫通形成用于接收空氣的通氣口（a1），從該通氣口（a1）流入的空氣被充入下板10上面形成的空氣室13。圖9是表示圖7的B-B線的截面圖。圖中顯示由填充下板10的空氣室13的空氣是經(jīng)過(guò)空氣分支板20上形成的多個(gè)空氣通路21，再通過(guò)上板30的氣孔33從上側(cè)噴出結(jié)構(gòu)的大尺寸面板用輸送板1。所述上板30上形成的氣孔33由引導(dǎo)噴出的空氣引起旋風(fēng)形態(tài)的推進(jìn)旋轉(zhuǎn)力的渦流發(fā)生部33a，以及在該渦流發(fā)生部33a的上部形成垂直面引導(dǎo)空氣具有直進(jìn)性的直進(jìn)引導(dǎo)部33b構(gòu)成。圖10是圖9的其它實(shí)施例的截面圖。圖中顯示有上板30，并具備在外周面夾入形成螺旋線的渦形銷(xiāo)33ap而對(duì)接裝配的渦流發(fā)生部33a。下面根據(jù)以上附圖，對(duì)本發(fā)明的結(jié)構(gòu)詳細(xì)進(jìn)行描述。本實(shí)施例的大尺寸面板用輸送板1由以幾大部分組成：下板10，配置于下部；空氣分支板20，緊貼于該下板10上部的由金屬薄板形成；上板30，緊貼于該空氣分支板20上部且與所述下板10和空氣分支板20結(jié)合成為一體。下板10上形成通氣口（a1）用于接收從外部提供的空氣，上面形成通過(guò)所述通氣口（a1）流入的空氣被填滿(mǎn)的空氣室13，在與所述通氣口（a1）和空氣室13不產(chǎn)生位置干擾的位置上貫通形成可以插入螺絲部件（s）通過(guò)的第一連接孔（h1）。所述空氣室13是在下板10的上部面上沿長(zhǎng)度方向形成較長(zhǎng)的凹槽，為浮起被輸送體（p）根據(jù)所需的氣壓決定該安裝位置和槽的深度或?qū)挾取Ｋ鐾饪冢╝1）的結(jié)構(gòu)是與作為接收從外部供應(yīng)的高壓空氣的連通分支即空氣供應(yīng)線（ap）連接的。根據(jù)所述結(jié)構(gòu)，其下板10是空氣從外部通過(guò)所述空氣供應(yīng)線（ap）流入，則經(jīng)過(guò)所述通氣口（a1）填入空氣室13?？諝夥种О?0是由所述下板10和下述的上板30之間具備的金屬薄板形成，并采用激光加工形成具有又長(zhǎng)又細(xì)的孔的空氣通路21，以便與所述空氣室13連接接收空氣使之分支。所述結(jié)構(gòu)的空氣分支板20在與所述第一連接孔（h1）相對(duì)應(yīng)的位置貫通形成第二連接孔（h2）。上板30是在所述空氣分支板20的上部層疊形成的板材型部件，下面形成具有圓桶形直管形態(tài)的多個(gè)氣孔33，使空氣經(jīng)過(guò)所述空氣分支板20的空氣通路21向上側(cè)噴出，所述氣孔33是由流入的空氣通過(guò)的同時(shí)引導(dǎo)其具有旋風(fēng)形態(tài)的推進(jìn)旋轉(zhuǎn)力的渦流發(fā)生部33a，以及位于該渦流發(fā)生部33a的上部引導(dǎo)生面的渦流以保持直進(jìn)性的狀態(tài)噴出的由垂直面形成的直進(jìn)引導(dǎo)道部33b形成。所述渦流發(fā)生部33a是引導(dǎo)利用螺旋線流入的空氣具備旋風(fēng)形態(tài)的較強(qiáng)推進(jìn)旋轉(zhuǎn)力的部分，在本發(fā)明中如圖9所示，在氣孔33的內(nèi)面形成螺旋線槽35ah，或者在所述氣孔33的內(nèi)周面形成的螺旋線槽35ah上夾入圓柱形態(tài)銷(xiāo)33ap′對(duì)接插入而形成。此外，如圖10所示，所述渦流發(fā)生部33a是占所述氣孔33全長(zhǎng)的50-80%范圍，外面夾入形成螺旋線槽的金屬材料渦形銷(xiāo)33ap對(duì)接裝配而形成。此時(shí)，所述渦流發(fā)生部33a是優(yōu)選地占所述氣孔33全長(zhǎng)的50-80%，因?yàn)闇u流發(fā)生部33a所占范圍小于50%時(shí)，無(wú)法形成具有推進(jìn)旋轉(zhuǎn)力的渦流，相對(duì)地隨著直進(jìn)引導(dǎo)部33b的區(qū)段加大，空氣會(huì)逐漸喪失所具有的渦流性質(zhì)，推進(jìn)性下降，無(wú)法噴出空氣而無(wú)法浮起被輸送體（p）。所述直進(jìn)引導(dǎo)部33b是在所述渦流發(fā)生部33a的上部側(cè)形成垂直面而使通過(guò)所述渦流發(fā)生部33a的空氣以保持直進(jìn)性的狀態(tài)噴出，優(yōu)選地，與所述上板30的上面形成直角。所述結(jié)構(gòu)的上板30在與所述第一連接孔（h1）和第二連接孔（h2）對(duì)應(yīng)的位置上有第三連接孔（h3）貫通形成，所述第三連接孔（h3）被螺絲部件（s）與所述下板10和空氣分支板20結(jié)合成為一體。如上所述構(gòu)成的大尺寸面板用輸送板1的結(jié)構(gòu)與以前的輸送板的結(jié)構(gòu)相似。但本發(fā)明是在所述上板30上形成的氣孔33上提供用于分支供應(yīng)空氣的空氣通路21時(shí)，其技術(shù)特征在于，構(gòu)成快速通路21a和延遲通路21b，改變對(duì)各個(gè)氣孔供應(yīng)的空氣的噴出壓，抑制被輸送體（p）的局部下垂現(xiàn)象而提高平坦度的保持性能。就是說(shuō)，本發(fā)明的空氣通路21包括具備直線區(qū)段或緩和曲線區(qū)段的快速通路21a，以及具備阻力部分而空氣對(duì)于該快速通路21a以相對(duì)較慢的速度流動(dòng)的延遲通路21b。所述空氣通路21可以具備多種形態(tài)的模樣，如本發(fā)明的圖中顯示，將所述快速通路21a和延遲通路21b相互連接，從所述下板10的空氣室13接收空氣使之分支，或者雖然沒(méi)有圖示，但也可以不連接所述快速通路21a和延遲通路21b，以切斷的形態(tài)相互獨(dú)立地接收空氣。而且本發(fā)明中，構(gòu)成所述空氣通路21的快速通路21a和延遲通路21b對(duì)局部下垂發(fā)揮防止作用，因此在被輸送體（p）中下垂的可能性較高的部分可以安排快速通路21a，使氣壓快速?lài)姵龆∑?，相?duì)不發(fā)生局部下垂現(xiàn)象的部分可以安排延遲通路21b。本發(fā)明中，如圖9所示，以被輸送體（p）為準(zhǔn)位于中心部側(cè)的氣孔33是安排延遲通路21b供應(yīng)空氣，位于被輸送體（p）的外圍側(cè)的氣孔是安排快速通路21a供應(yīng)空氣。因?yàn)椋虮惠斔腕w（p）的中心部側(cè)供應(yīng)的空氣不能向輸送體（p）的外部迅速流動(dòng)，而是被關(guān)閉即被停留而保持一定的浮力，所以安排了空氣噴出速度相對(duì)所述快速通路21a較慢的延遲通路21b，而向被輸送體（p）外圍側(cè)供應(yīng)的空氣是因快速流向外部而安排了噴出速度相對(duì)延遲通路21b較慢的快速通路21a。另一方面，本發(fā)明中快速通路21a和延遲通路21b的特征是空氣的噴出速度被相對(duì)不同地設(shè)置，為此本發(fā)明建議增加引導(dǎo)經(jīng)過(guò)所述延遲通路21b的空氣受到阻力而其速度被放慢的阻力要素。該阻力要素可以由多種方法實(shí)施，本發(fā)明大體地提出以下三種方法。第一、所述延遲通路21b包括具有彎曲形狀的區(qū)段，對(duì)于所述快速通路21a向空氣發(fā)生流動(dòng)阻力，使空氣的噴出速度相對(duì)地變慢。也就是說(shuō)，所述快速通路21a是形成直線區(qū)段，或者形成具備緩和曲線區(qū)段的細(xì)長(zhǎng)孔形態(tài)，所述延遲通路21b如圖所示，以彎曲形狀即具備波紋形狀區(qū)段的細(xì)長(zhǎng)孔形態(tài)形成。由于所述結(jié)構(gòu)，經(jīng)過(guò)所述快速通路21a的空氣會(huì)快速流動(dòng)流向氣孔33側(cè)，但經(jīng)過(guò)所述延遲通路21b的空氣因波紋形狀阻力要素，比所述快速通路21a較延遲地流動(dòng)流向氣孔側(cè)。第二、所述延遲通路21b對(duì)于所述快速通路21a形成相對(duì)較長(zhǎng)的流動(dòng)距離，使空氣的噴出速度的緩慢。也就是說(shuō)，所述快速通路21a和延遲通路21b是以由所述空氣室13供應(yīng)的供應(yīng)位置為準(zhǔn)，在各個(gè)氣孔上形成供應(yīng)路徑時(shí)，所述延遲通路21b距離比所述快速通路21a相對(duì)更長(zhǎng)地形成，進(jìn)而引導(dǎo)經(jīng)過(guò)延遲通路21b的空氣噴出速度比所述快速通路21a慢。第三、所述延遲通路21b以空氣總通過(guò)量小于所述快速通路21a大小的方式形成。也就是說(shuō)，所述快速通路21a的孔的大?。▽挾然蛘呱疃龋┐笥谒鲅舆t通路21b，進(jìn)而經(jīng)過(guò)延遲通路21b的空氣的噴出速度比所述快速通路21a慢。另一方面，所述快速通路21a和延遲通路21b是分別在一側(cè)端部一體地形成半圓弧形狀的排出部21c，所述排出部21c的直徑大小小于所述氣孔33的內(nèi)部直徑。所述排出部21c優(yōu)選地具有以形成所述氣孔33的渦流發(fā)生部33a的螺旋線為準(zhǔn)的螺紋與螺桿之間中間部分的直徑，因所述結(jié)構(gòu)，通過(guò)所述排出部21c排出的空氣沿螺旋線能夠順利地流向上側(cè)。下面對(duì)形成所述結(jié)構(gòu)的本發(fā)明的大尺寸面板用輸送板的作用進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。首先，通過(guò)下板10的通氣口（a1）流入的空氣經(jīng)過(guò)空氣室13沿其上側(cè)的所述空氣分支板20的空氣通路21被分支流動(dòng)之后，通過(guò)上板30形成的氣孔33從其上部側(cè)噴出。此時(shí)，所述空氣通路21由空氣快速流動(dòng)的快速通路21a和與該快速通路21a以相對(duì)較慢速度流動(dòng)的延遲通路21b組成，所述快速通路21a連接于安排在被輸送體（p）外圍側(cè)的氣孔，所述延遲通路21b連接于安排在被輸送體（p）中心部側(cè)的氣孔，抑制被輸送體（p）下垂現(xiàn)象而實(shí)現(xiàn)以平坦?fàn)顟B(tài)浮起。圖11是本發(fā)明其它實(shí)施例的大尺寸面板用輸送板的立體圖，圖12是說(shuō)明圖11結(jié)構(gòu)的分解立體圖，圖3是說(shuō)明圖11的平面例示圖。如圖所示，本實(shí)施例中，緊貼在大尺寸面板用輸送板1大致由安排在下部的下板10、緊貼于該下板10上部的金屬薄板材料的真空分支板40、緊貼于該真空分支板40上部的空氣分支板20以及位于最上部的上板30組成。下板10具有從外部分別供應(yīng)空氣和真空壓的通氣口（a1）和真空口（v1）分別形成且無(wú)位置干擾，上面連接于所述真空口（v1）而形成真空壓發(fā)揮作用的槽狀真空室14。根據(jù)所述結(jié)構(gòu)，下板10與上述的一個(gè)實(shí)施例結(jié)構(gòu)相似，只是多具備由真空壓產(chǎn)生作用的真空口（v1）。上板30位于所述下板10的上部，下面形成由所述通氣口（a1）供應(yīng)的空氣被填入的槽狀空氣室13，上側(cè)形成噴出空氣的氣孔33和真空壓起作用的真空孔37且相互無(wú)位置干擾。根據(jù)所述結(jié)構(gòu)，上板30與上述的一個(gè)實(shí)施例結(jié)構(gòu)大同小異，只是底面多形成空氣室34。真空分支板40是位于所述下板10和上板30之間的金屬薄板，連接于所述真空室14而形成將真空壓傳輸給真空孔37的多個(gè)真空通路41，此時(shí)，所述真空通路41采用激光加工方式，形成細(xì)長(zhǎng)的狹縫（Slit）狀孔?？諝夥种О?0位于所述真空室14的上側(cè)或下側(cè)，并形成連接于所述空氣室13而將所供應(yīng)的空氣分支供應(yīng)給所述氣孔33的空氣通路21。所述空氣通路21由為空氣快速流動(dòng)而形成窄縫的快速通路21a，以及具有阻力要素而比該快速通路21a相對(duì)較慢速度流動(dòng)的延遲通路21b形成。所述空氣分支板20在與所述真空孔37相一致的位置形成第一真空口（v2），形成與所述下板10的通氣口（a1）連接的貫通孔即第二通氣口（a3）。所述真空分支板40形成連接所述第二通氣口（a3）和所述通氣口（a1）的第一通氣口（a2）。根據(jù)所述結(jié)構(gòu)，本實(shí)施例的大尺寸面板用輸送板1的結(jié)構(gòu)與上述的一個(gè)實(shí)施例結(jié)構(gòu)基本相似，只是對(duì)所述上板30的上部有空氣壓和真空壓同時(shí)產(chǎn)生影響。本實(shí)施例中，大尺寸面板輸送板1的技術(shù)特征部由空氣通路21與真空通路41相互以不同壓力產(chǎn)生影響的結(jié)構(gòu)形成。本實(shí)施例中，空氣通路21由具備使空氣快速流動(dòng)的直線區(qū)段或者緩和曲線區(qū)段的快速通路21a，以及具備阻力要素而空氣比該快速通路21a相對(duì)較慢的速度流動(dòng)的延遲通路21b形成，所述快速通路21a和延遲通路21b按照與上述的一個(gè)實(shí)施例相同的實(shí)施方式，故不再詳述。本實(shí)施例的真空通路41其組成包括：快速狹縫41a，為真空產(chǎn)生作用形成長(zhǎng)孔形態(tài)；延遲狹縫41b，包括真空壓比所述快速狹縫41a相對(duì)較慢速度產(chǎn)生作用而形成彎曲形狀的區(qū)段或流動(dòng)距離比所述快速狹縫41a更長(zhǎng)或者從大小上真空壓產(chǎn)生作用的容積比所述快速狹縫41a減少的阻力要素；吸入部41c，形成所述快速狹縫41a側(cè)端和延遲狹縫41b的側(cè)端連接于所述真空孔37的貫通孔狀。所述真空通路41與上述的一個(gè)實(shí)施例的空氣通路21相同，改變真空壓的大小產(chǎn)生作用，其基本結(jié)構(gòu)與形態(tài)可以與上述的空氣通路21相同的方式實(shí)施，故不再詳述。另外，雖然附圖中沒(méi)有圖示，但如果本發(fā)明包含空氣通路或者真空通路具有的技術(shù)特征，則下板和上板的結(jié)構(gòu)可以采用多種實(shí)施方式和變形。例如，分別具備接收空氣和真空壓的端口；上面具備下板，形成通過(guò)各端口供應(yīng)的氣壓產(chǎn)生作用的空氣室和真空室；以及上板，在該下板上側(cè)相對(duì)地配置，且分別連接于所述空氣室和真空室形成噴出空氣的氣孔和真空壓產(chǎn)生作用的真空孔；真空分支板，在該下板和上板之間形成使真空壓分支的真空通路；以及層疊構(gòu)成使空氣分支的空氣通路形成的空氣分支板；所述空氣分支板和真空分支板包含沿垂直方向傳遞空氣或者真空壓的路徑形成的貫通孔狀的大尺寸面板用輸送板也可以實(shí)施。根據(jù)所述結(jié)構(gòu)，下面對(duì)本發(fā)明實(shí)施例的大尺寸面板用輸送板的作用進(jìn)行說(shuō)明。首先，通過(guò)下板10的通氣口（a1）流入的空氣是經(jīng)過(guò)空氣室13沿其上側(cè)具備的所述空氣分支板20的空氣通路21分支流動(dòng)后從上板30的氣孔噴出，而構(gòu)成所述空氣通路21的快速通路21a與安排在被輸送體（p）外圍側(cè)的氣孔連接，所述延遲通路21b是與安排在被輸送體（p）中心部位的氣孔連接，從而將被輸送體（p）完整地浮起且無(wú)下垂現(xiàn)象。對(duì)提供于所述下板10的通氣口（a1）一側(cè)的真空口（v1）產(chǎn)生作用的真空壓經(jīng)過(guò)真空室14通過(guò)真空分支板40的真空通路41對(duì)所述上板30的真空孔37產(chǎn)生作用，所述真空通路41與所述空氣通路21相同，由具有不同真空壓的快速狹縫41a和延遲狹縫41b形成，對(duì)被輸送體（p）的局部真空壓不同而精確地控制平坦性。以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所述的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實(shí)施例所述技術(shù)方案的范圍。