1.一種輸送系統(tǒng),其依次包括原料供應裝置、分流裝置、沉積裝置,所述原料供應裝置、分流裝置、沉積裝置之間通過管道連接形成流體原料輸送管路,所述沉積裝置的末端連接到各個用料點上,其特征在于,所述分流裝置和沉積裝置之間設有汽化裝置,所述汽化裝置包括若干原料加熱罐、設置在所述原料加熱罐的送料口上的輸送閥組面板和質(zhì)量流量計。
2.根據(jù)權利要求1所述的輸送系統(tǒng),其特征在于,還包括壓送吹掃支路一和壓送吹掃支路二,所述壓送吹掃支路一連接到所述原料供應裝置的輸送管路上,所述壓送吹掃支路二連接到所述分流裝置的輸送管路上。
3.根據(jù)權利要求2所述的輸送系統(tǒng),其特征在于,所述壓送吹掃支路一和壓送吹掃支路二均包括:氮氣壓送裝置和吹掃裝置,所述吹掃裝置上設有文丘里抽真空裝置。
4.根據(jù)權利要求3所述的輸送系統(tǒng),其特征在于,所述原料供應裝置包括:至少兩個原料罐,所述原料罐上設有自動輸送面板。
5.根據(jù)權利要求4所述的輸送系統(tǒng),其特征在于,所述自動輸送面板包括兩個壓力蓋、和連接所述兩個壓力蓋的合并管一,所述合并管一上設有兩個自動閥,兩個自動閥之間的合并管一連接有輸送管一,所述輸送管一將所述合并管一和所述分流裝置連接在一起;所述合并管一連接所述壓送吹掃支路一。
6.根據(jù)權利要求5所述的輸送系統(tǒng),其特征在于,所述分流裝置包括至少兩個緩沖罐,所述緩沖罐之間連接有合并管二和分流管,所述分流管通過分流閥與所述汽化裝置的各個原料加熱罐連接。
7.根據(jù)權利要求6所述的輸送系統(tǒng),其特征在于,所述分流管連接所述壓送吹掃支路二。
8.根據(jù)權利要求1所述的輸送系統(tǒng),其特征在于,所述沉積裝置包括與所述汽化裝置連接的若干沉積管路和沉積爐管,所述沉積爐管連接到各個用料點上。