本實(shí)用新型涉及一種搬運(yùn)裝置。

背景技術(shù)：

在馬達(dá)等工業(yè)產(chǎn)品的制造工序中，使用一種一邊在搬運(yùn)方向上搬運(yùn)對(duì)象物體一邊按順序進(jìn)行零件的組裝、檢查等處理的模塊式自動(dòng)機(jī)。在這種模塊式自動(dòng)機(jī)中，為了提高產(chǎn)品的生產(chǎn)效率，需要一種向搬運(yùn)方向連續(xù)地、高效地搬運(yùn)多個(gè)對(duì)象物體的搬運(yùn)技術(shù)。并且，需要一種能夠高效地實(shí)現(xiàn)以下的復(fù)雜動(dòng)作的搬運(yùn)技術(shù)：將搬運(yùn)路徑內(nèi)的對(duì)象物體暫時(shí)搬出至搬運(yùn)路徑外的處理室，并再次返回搬運(yùn)路徑，然后向搬運(yùn)方向搬運(yùn)。

關(guān)于以往的搬運(yùn)技術(shù)，例如被記載于日本公開公報(bào)2005-189775號(hào)公報(bào)中。在該公報(bào)所述的曝光裝置的搬運(yùn)技術(shù)中，在分開的兩臺(tái)X軸移動(dòng)臺(tái)的背面分別安裝有線性引導(dǎo)裝置。并且，兩臺(tái)X軸移動(dòng)臺(tái)被支承為能夠沿導(dǎo)軌在X軸方向上移動(dòng)。另外，各X軸移動(dòng)臺(tái)都平行地配置有專用的導(dǎo)軌，將左側(cè)的X軸移動(dòng)臺(tái)專用的導(dǎo)軌在基座上沿X軸方向平行地配置，并且使右側(cè)的X軸移動(dòng)臺(tái)專用的導(dǎo)軌位于左側(cè)的X軸移動(dòng)臺(tái)專用的導(dǎo)軌的外側(cè)且在基座上沿X軸方向平行地設(shè)置(參照段落0010、0020和圖3)。

并且，在日本公開公報(bào)2005-189775號(hào)公報(bào)中，在Y軸移動(dòng)臺(tái)的背面也安裝有線性引導(dǎo)裝置，Y軸移動(dòng)臺(tái)被支承為能夠沿導(dǎo)軌在Y軸方向上移動(dòng)。由此，基板工作臺(tái)的X軸和Y軸這兩個(gè)軸能夠移動(dòng)。(參照段落0026和圖6)。

但是，在日本公開公報(bào)2005-189775號(hào)公報(bào)的技術(shù)中，基座和導(dǎo)軌這兩方為錯(cuò)綜復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。并且，為了在搬運(yùn)方向上搬運(yùn)對(duì)象物體，需要準(zhǔn)備兩種基座。因此，如果將該搬運(yùn)技術(shù)應(yīng)用于連續(xù)進(jìn)行多個(gè)處理的模塊式自動(dòng)機(jī)的話，則搬運(yùn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜。因此，需要能夠通過在搬運(yùn)方向上排列同一種搬運(yùn)裝置來建立搬運(yùn)系統(tǒng)。

并且，在日本公開公報(bào)2005-189775號(hào)公報(bào)的技術(shù)中，僅對(duì)基座設(shè)置有一個(gè)單元的線性引導(dǎo)裝置。因此，在X軸方向的搬運(yùn)時(shí)，線性引導(dǎo)裝置的往返動(dòng)作需要時(shí)間。因此，如果能夠提高該線性引導(dǎo)裝置的往返動(dòng)作的效率，則能夠縮短對(duì)象物體的搬運(yùn)時(shí)間，能夠進(jìn)一步提高生產(chǎn)效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是提供一種通過在搬運(yùn)方向排列同一種搬運(yùn)裝置而能夠容易地構(gòu)成搬運(yùn)系統(tǒng)，并能夠縮短搬運(yùn)時(shí)間的技術(shù)。

本申請(qǐng)的例示性的第一方面為一種搬運(yùn)裝置，其在搬運(yùn)方向上搬運(yùn)對(duì)象物體，具有：兩個(gè)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)，它們使所述對(duì)象物體在搬運(yùn)方向上移動(dòng)；以及控制部，其控制所述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述搬運(yùn)裝置的特征在于，所述兩個(gè)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)以與搬運(yùn)方向平行地移動(dòng)的方式配置，所述控制部分別單獨(dú)或者同時(shí)控制所述兩個(gè)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)。

根據(jù)本申請(qǐng)的例示性的第一方面，由于兩個(gè)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠單獨(dú)地驅(qū)動(dòng)，因此能夠在搬運(yùn)方向上高效地搬運(yùn)多個(gè)對(duì)象物體。并且，不需要搬運(yùn)裝置間的復(fù)雜的引導(dǎo)結(jié)構(gòu)，僅通過并列設(shè)置相同的搬運(yùn)裝置，就能夠任意地增減搬運(yùn)路徑。

本申請(qǐng)的例示性的第二方面為根據(jù)本實(shí)用新型的例示性的第一方面所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述控制部通過所述兩個(gè)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)中的一個(gè)所述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述對(duì)象物體移動(dòng)至搬運(yùn)方向下游側(cè)之后，通過所述兩個(gè)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)中的另一個(gè)所述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述對(duì)象物體進(jìn)一步向搬運(yùn)方向下游側(cè)移動(dòng)。

本申請(qǐng)的例示性的第三方面為根據(jù)本實(shí)用新型的例示性的第二方面所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)具有：第一保持機(jī)構(gòu)，其保持所述對(duì)象物體；以及第一運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其使所述第一保持機(jī)構(gòu)沿搬運(yùn)方向移動(dòng)。

本申請(qǐng)的例示性的第四方面為根據(jù)本實(shí)用新型的例示性的第三方面所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述第一保持機(jī)構(gòu)通過在與搬運(yùn)方向正交的上下方向上的移動(dòng)來切換所述對(duì)象物體的保持狀態(tài)與解除狀態(tài)。

本申請(qǐng)的例示性的第五方面為根據(jù)本實(shí)用新型的例示性的第四方面所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述對(duì)象物體具有第一凹部，所述第一保持機(jī)構(gòu)具有第一凸部，通過所述第一凸部插入所述第一凹部來保持所述對(duì)象物體。

本申請(qǐng)的例示性的第六方面為根據(jù)本實(shí)用新型的例示性的第一方面所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述搬運(yùn)裝置還具有第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述對(duì)象物體在與搬運(yùn)方向和水平方向正交的搬出方向上移動(dòng)，所述控制部還控制所述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)。

本申請(qǐng)的例示性的第七方面為根據(jù)本實(shí)用新型的例示性的第六方面所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)具有：第二保持機(jī)構(gòu)，其保持所述對(duì)象物體；以及第二運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其使所述第二保持機(jī)構(gòu)沿搬出方向移動(dòng)，所述第二運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)具有至少一個(gè)第二運(yùn)轉(zhuǎn)部。

本申請(qǐng)的例示性的第八方面為根據(jù)本實(shí)用新型的例示性的第七方面所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述第二運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上下配置有在搬出方向上運(yùn)轉(zhuǎn)的兩個(gè)所述第二運(yùn)轉(zhuǎn)部。

本申請(qǐng)的例示性的第九方面為根據(jù)本實(shí)用新型的例示性的第七方面所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述第二保持機(jī)構(gòu)通過在與搬運(yùn)方向正交的上下方向上的移動(dòng)來切換所述對(duì)象物體的保持狀態(tài)與解除狀態(tài)。

本申請(qǐng)的例示性的第十方面為根據(jù)本實(shí)用新型的例示性的第九方面所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述對(duì)象物體具有第二凹部，所述第二保持機(jī)構(gòu)具有第二凸部，通過所述第二凸部插入所述第二凹部來保持所述對(duì)象物體。

本申請(qǐng)的例示性的第十一方面為根據(jù)本實(shí)用新型的例示性的第六方面所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述搬運(yùn)裝置還具有一個(gè)以上的第三移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第三移動(dòng)機(jī)構(gòu)配置于所述兩個(gè)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)之間，且所述第三移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述對(duì)象物體在與搬運(yùn)方向正交的上下方向上移動(dòng)，所述控制部還控制所述第三移動(dòng)機(jī)構(gòu)。

本申請(qǐng)的例示性的第十二方面為根據(jù)本實(shí)用新型的例示性的第十一方面所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述第三移動(dòng)機(jī)構(gòu)具有：第三保持機(jī)構(gòu)，其至少一處支承所述對(duì)象物體；以及第三運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其使所述第三保持機(jī)構(gòu)在上下方向上移動(dòng)。

本申請(qǐng)的例示性的第十三方面為根據(jù)本實(shí)用新型的例示性的第一方面至第十二方面的任一項(xiàng)所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述搬運(yùn)裝置還具有支承部，所述支承部配置于所述兩個(gè)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)之間，且所述支承部支承所述對(duì)象物體的下表面，所述控制部還控制所述支承部。

本申請(qǐng)的例示性的第十四方面為根據(jù)本實(shí)用新型的例示性的第十三方面所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述支承部具有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使所述對(duì)象物體以上下延伸的軸為中心旋轉(zhuǎn)。

參照附圖并通過以下對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式的詳細(xì)說明，本實(shí)用新型的上述以及其他特征、要素、步驟、特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)會(huì)變得更加清楚。

附圖說明

圖1是搬運(yùn)系統(tǒng)的俯視圖。

圖2是對(duì)象物體的俯視圖。

圖3a1、圖3a2、圖3a3、圖3a4是示出在搬運(yùn)方向上搬運(yùn)對(duì)象物體的狀態(tài)的圖。

圖4b1、圖4b2、圖4b3是示出在搬運(yùn)方向上搬運(yùn)對(duì)象物體的狀態(tài)的圖。

圖5c1、圖5c2、圖5c3、圖5c4、圖5c5是示出在寬度方向上搬運(yùn)對(duì)象物體的狀態(tài)的圖。

圖6是控制部的框圖。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖對(duì)本實(shí)用新型的例示性的實(shí)施方式進(jìn)行說明。另外，以下，將搬運(yùn)裝置所排列的方向作為“搬運(yùn)方向”，且將向與搬運(yùn)方向以及水平方向正交的方向搬出對(duì)象物體的搬出方向作為“寬度方向”，并將與搬運(yùn)方向正交的上下方向作為“高度方向”進(jìn)行說明。

<1.搬運(yùn)系統(tǒng)>

圖1是具有本實(shí)施方式所涉及的搬運(yùn)裝置的搬運(yùn)系統(tǒng)1的俯視圖。搬運(yùn)系統(tǒng)1是向搬送方向搬送對(duì)象物體8的同時(shí)暫時(shí)使對(duì)象物體8向?qū)挾确较?、高度方向移?dòng)的系統(tǒng)。搬運(yùn)系統(tǒng)1例如用于模塊式自動(dòng)機(jī)，該模塊式自動(dòng)機(jī)通過一邊搬運(yùn)對(duì)象物體8一邊對(duì)對(duì)象物體8連續(xù)地進(jìn)行零件的組裝、檢查等處理來制造馬達(dá)。但是，搬運(yùn)系統(tǒng)1也可以用于制造馬達(dá)以外的其他的工業(yè)產(chǎn)品的制造裝置。

如圖1所示，在搬運(yùn)系統(tǒng)1中，沿搬運(yùn)方向并列設(shè)置有第一搬運(yùn)裝置10、第二搬運(yùn)裝置20以及第三搬運(yùn)裝置30。并且，處理室6并列設(shè)置于第二搬運(yùn)裝置20的寬度方向。對(duì)象物體8若被搬入第一搬運(yùn)裝置10，則首先從第一搬運(yùn)裝置10向第二搬運(yùn)裝置20搬運(yùn)。接下來，被搬入第二搬運(yùn)裝置20的對(duì)象物體8向?qū)挾确较虻奶幚硎?搬運(yùn)并進(jìn)行處理。接下來，處理結(jié)束后，對(duì)象物體8被從處理室6再次向第二搬運(yùn)裝置20搬運(yùn)。然后，對(duì)象物體8被從第二搬運(yùn)裝置20向第三搬運(yùn)裝置30搬運(yùn)。像這樣，對(duì)象物體8一邊在搬運(yùn)方向搬運(yùn)一邊接受各種處理。由此來進(jìn)行馬達(dá)組裝。另外，在本實(shí)施方式中，雖然處理室6與第二搬運(yùn)裝置20連接，但是處理室6也可以分別與第一搬運(yùn)裝置10、還有第三搬運(yùn)裝置30連接。在本說明書中，對(duì)處理室6與第二搬運(yùn)裝置20連接的例子進(jìn)行說明。

<2.關(guān)于第一搬運(yùn)裝置>

接下來，對(duì)本實(shí)施方式所涉及的第一搬運(yùn)裝置10進(jìn)行說明。圖2是對(duì)象物體8的俯視圖。圖3a1、圖3a2、圖3a3、圖3a4是俯視觀察到的在搬運(yùn)方向上搬運(yùn)對(duì)象物體8的狀態(tài)的圖。圖4b1、圖4b2、圖4b3是從側(cè)面觀察到的在搬運(yùn)方向上搬運(yùn)對(duì)象物體8的狀態(tài)的圖。

第一搬運(yùn)裝置10是在搬運(yùn)方向上搬運(yùn)對(duì)象物體8的裝置。另外，搬運(yùn)系統(tǒng)1中的第一搬運(yùn)裝置10與第三搬運(yùn)裝置30是相同的裝置。第一搬運(yùn)裝置10具有一對(duì)第一引導(dǎo)部141、兩個(gè)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)11、以及控制部90。一對(duì)第一引導(dǎo)部141是相互平行地配置并朝向搬運(yùn)方向延伸的部件。對(duì)象物體8若被搬入第一搬運(yùn)裝置10，則載置于一對(duì)第一引導(dǎo)部141上。而且，對(duì)象物體8在一對(duì)第一引導(dǎo)部141上被卡合為能夠在搬運(yùn)方向上移動(dòng)。

兩個(gè)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)11是保持并在搬運(yùn)方向搬運(yùn)對(duì)象物體8的機(jī)構(gòu)。兩個(gè)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)11分別配置于一對(duì)第一引導(dǎo)部141，并與搬運(yùn)方向平行地移動(dòng)。并且，兩個(gè)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)11分別單獨(dú)地動(dòng)作。

如圖3a1所示，被搬入第一搬運(yùn)裝置10內(nèi)的對(duì)象物體8與兩個(gè)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)11中的至少一個(gè)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)11在上下方向上重疊，并被保持于第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)11。然后，如圖3a2所示，通過保持對(duì)象物體8的第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)11在搬運(yùn)方向上移動(dòng)而在搬運(yùn)方向上搬運(yùn)對(duì)象物體8。這時(shí)，對(duì)象物體8被搬運(yùn)至與配置于相鄰的第二搬運(yùn)裝置20的兩個(gè)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)21中的至少一個(gè)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)21在上下方向上重疊的位置。然后，如圖3a3所示，通過與對(duì)象物體8在上下方向上重疊的第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)21保持對(duì)象物體8并在搬運(yùn)方向上移動(dòng)，進(jìn)一步在搬運(yùn)方向上搬運(yùn)對(duì)象物體8。然后，如圖3a4所示，第二搬運(yùn)裝置20的兩個(gè)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)21中的另一個(gè)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)21進(jìn)一步向搬運(yùn)方向搬運(yùn)對(duì)象物體8。

像這樣，通過兩個(gè)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)11交替動(dòng)作，將對(duì)象物體8從搬運(yùn)方向的上游向下游搬運(yùn)。如此一來，在一個(gè)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)11搬運(yùn)對(duì)象物體8期間，另一個(gè)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)11能夠解除對(duì)對(duì)象物體8的保持向初始位置返回。因此，不需要在搬運(yùn)對(duì)象物體8的時(shí)間以外單獨(dú)確保第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)11返回初始位置所需的時(shí)間。由此，能夠高效地搬運(yùn)多個(gè)對(duì)象物體8。并且，由于在一對(duì)第一引導(dǎo)部141分別配置有第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)11，因此不需要搬運(yùn)裝置間的復(fù)雜的引導(dǎo)結(jié)構(gòu)。即，僅通過并列設(shè)置相同的第一搬運(yùn)裝置10，就能夠任意地增減搬運(yùn)路徑。因此，容易構(gòu)成用于實(shí)施多個(gè)處理的模塊式自動(dòng)機(jī)。

如圖4b1所示，本實(shí)施方式的第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)11具有第一保持機(jī)構(gòu)121和第一運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)131。第一保持機(jī)構(gòu)121是保持對(duì)象物體8的機(jī)構(gòu)。第一保持機(jī)構(gòu)121分別沿一對(duì)第一引導(dǎo)部141設(shè)置。并且，第一保持機(jī)構(gòu)121分別沿第一引導(dǎo)部141與搬運(yùn)方向平行地移動(dòng)。在本實(shí)施方式中，第一保持機(jī)構(gòu)121具有第一凸部122和氣缸123。

如圖2所示，本實(shí)施方式的對(duì)象物體8具有兩個(gè)第一凹部81。第一凹部81既可以是貫通孔也可以是凹陷。如果對(duì)象物體8配置在一對(duì)第一引導(dǎo)部141上，則兩個(gè)第一凹部81中的至少一個(gè)第一凹部81配置于沿一對(duì)第一引導(dǎo)部141配置的第一保持機(jī)構(gòu)121的上方。并且，第一凹部81以與第一凸部122的移動(dòng)路徑在上下方向重疊的方式配置。例如，凸部是與凹部卡合的銷。

第一凸部122利用提供給氣缸123的氣缸主體的氣壓來上下移動(dòng)。如圖4b2所示，上升了的第一凸部122插入對(duì)象物體8的第一凹部81。由此，對(duì)象物體8被固定為在搬運(yùn)方向上不能相對(duì)移動(dòng)。像這樣，第一保持機(jī)構(gòu)121通過第一凸部122的上下方向的移動(dòng)來切換對(duì)象物體8的保持狀態(tài)與解除狀態(tài)。

第一運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)131是使第一保持機(jī)構(gòu)121與搬運(yùn)方向平行地移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。對(duì)象物體8被第一保持機(jī)構(gòu)121保持的同時(shí)通過第一保持機(jī)構(gòu)121與搬運(yùn)方向平行地移動(dòng)被向搬運(yùn)方向搬運(yùn)。如圖4b1所示，本實(shí)施方式的第一運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)131分別具有作為驅(qū)動(dòng)源的馬達(dá)132、滾珠絲杠133以及螺母部件134。

滾珠絲杠133與第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)11中的對(duì)象物體8的移動(dòng)方向平行地延伸，且其一端與馬達(dá)132連接。螺母部件134以與設(shè)置于滾珠絲杠133的外周面的螺旋狀的螺紋槽嚙合的方式安裝于滾珠絲杠133。在螺母部件134的上方固定第一保持機(jī)構(gòu)121。使馬達(dá)132驅(qū)動(dòng)時(shí)，滾珠絲杠133繞其軸心旋轉(zhuǎn)。由此，螺母部件134沿滾珠絲杠133移動(dòng)。即，馬達(dá)132的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)通過滾珠絲杠133變換為螺母部件134的直進(jìn)運(yùn)動(dòng)。

如圖4b3所示，在第一凸部122插入第一凹部81的狀態(tài)下，如果使馬達(dá)132驅(qū)動(dòng)，則對(duì)象物體8同固定于螺母部件134的第一保持機(jī)構(gòu)121一起與滾珠絲杠133平行地移動(dòng)。由此，在搬運(yùn)方向上搬運(yùn)對(duì)象物體8。并且，如果通過氣缸123使第一凸部122下降，則第一凸部122從第一凹部81拔出。其結(jié)果是，對(duì)象物體8的固定被解除。然后，通過使馬達(dá)132驅(qū)動(dòng)，使第一保持機(jī)構(gòu)121與滾珠絲杠133平行地移動(dòng)，并返回初始位置。

<3.關(guān)于第二搬運(yùn)裝置>

接下來，對(duì)第二搬運(yùn)裝置20進(jìn)行說明。第二搬運(yùn)裝置20是在搬運(yùn)方向或者寬度方向上搬運(yùn)對(duì)象物體8的裝置。如圖1所示，第二搬運(yùn)裝置20具有：一對(duì)第一引導(dǎo)部241、第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)21、第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)22、第三移動(dòng)機(jī)構(gòu)23以及控制部90。另外，由于第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)21的結(jié)構(gòu)與上述的第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)11相同，因此省略說明。并且，一對(duì)第一引導(dǎo)部241在并列設(shè)置的第一搬運(yùn)裝置10的第一引導(dǎo)部141與第三搬運(yùn)裝置30的第一引導(dǎo)部341之間朝向搬運(yùn)方向延伸。

第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)22是保持并在寬度方向上搬送對(duì)象物體8的機(jī)構(gòu)。圖5c1、圖5c2、圖5c3、圖5c4、圖5c5是示出在寬度方向上搬運(yùn)對(duì)象物體8的狀態(tài)的圖。如圖5c1所示，本實(shí)施方式的第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)22具有第二保持機(jī)構(gòu)232和第二運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)242。第二保持機(jī)構(gòu)232是在寬度方向移動(dòng)時(shí)保持對(duì)象物體8的機(jī)構(gòu)。第二保持機(jī)構(gòu)232具有第二凸部233和氣缸234。第二凸部233利用提供給氣缸234的氣缸主體的氣壓而上下移動(dòng)。

如圖2所示，本實(shí)施方式的對(duì)象物體8具有第二凹部82。對(duì)象物體8配置于第二搬運(yùn)裝置20的第一引導(dǎo)部241上的搬運(yùn)方向的中央時(shí)，第二凹部82配置于第二保持機(jī)構(gòu)232的下方。并且，第二凹部82與第二凸部233上下重疊。如果第二凸部233利用氣缸234下降，則下降了的第二凸部233插入對(duì)象物體8的第二凹部82。由此，對(duì)象物體8相對(duì)于第二保持機(jī)構(gòu)232被固定為不能在寬度方向上相對(duì)移動(dòng)。并且，如果第二凸部233利用氣缸234上升，則第二凸部233從第二凹部82拔出。像這樣，通過使第二凸部233相對(duì)于第二凹部82在上下方向上移動(dòng)，能夠容易地切換對(duì)象物體8的保持狀態(tài)與解除狀態(tài)。

第二運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)242是使第二保持機(jī)構(gòu)232在寬度方向上移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。如圖5c1所示，本實(shí)施方式的第二運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)242由作為運(yùn)轉(zhuǎn)部的在寬度方向上伸縮的氣缸243構(gòu)成。第二保持機(jī)構(gòu)232隨著向氣缸243的寬度方向伸縮而在寬度方向上移動(dòng)。特別是，本實(shí)施方式的第二運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)242具有串聯(lián)連接的兩個(gè)氣缸243。第二保持機(jī)構(gòu)232根據(jù)兩個(gè)氣缸243的伸縮量的合計(jì)值而在寬度方向上移動(dòng)。并且，第二運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)242的兩個(gè)氣缸243上下重疊地配置。像這樣，通過使兩個(gè)氣缸243在上下方向上重疊，能夠減小第二運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)242的裝置面積。另外，通過使上下重疊的氣缸243伸縮，能夠使向第二保持機(jī)構(gòu)232的寬度方向的移動(dòng)距離變長(zhǎng)。另外，上下重疊的氣缸243的數(shù)量也可以是三個(gè)以上。并且，氣缸243的數(shù)量還可以是一個(gè)。

第三移動(dòng)機(jī)構(gòu)23是保持并在高度方向上移動(dòng)對(duì)象物體8的機(jī)構(gòu)。如圖1所示，第三移動(dòng)機(jī)構(gòu)23配置于兩個(gè)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)21之間。如圖5c1所示，本實(shí)施方式的第三移動(dòng)機(jī)構(gòu)23具有第三保持機(jī)構(gòu)253和第三運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)263。第三保持機(jī)構(gòu)253在兩處以上支承對(duì)象物體8的背面。由此，對(duì)象物體8相對(duì)于第三保持機(jī)構(gòu)253被固定為不能在高度方向上移動(dòng)。第三保持機(jī)構(gòu)253利用提供給作為第三運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)263的氣缸的氣缸主體的氣壓而上下移動(dòng)。對(duì)象物體8被第三保持機(jī)構(gòu)253支承的同時(shí)通過第三保持機(jī)構(gòu)253上下移動(dòng)而在高度方向上移動(dòng)。

另外，在本實(shí)施方式中，第三移動(dòng)機(jī)構(gòu)23在兩處支承對(duì)象物體8的背面。由此，能夠使對(duì)象物體8穩(wěn)定地在高度方向上移動(dòng)。但是，第三移動(dòng)機(jī)構(gòu)23支承對(duì)象物體8的位置也可以是一處，還可以是三處以上。

如圖5c2所示，通過第二搬運(yùn)裝置20在寬度方向搬運(yùn)對(duì)象物體8時(shí)，首先第三移動(dòng)機(jī)構(gòu)23使對(duì)象物體8上升。在與第二搬運(yùn)裝置20并列設(shè)置的處理室6，設(shè)置有在寬度方向上平行延伸的一對(duì)第二引導(dǎo)部62。一對(duì)第二引導(dǎo)部62配置于比第一引導(dǎo)部241靠上方的位置。第三移動(dòng)機(jī)構(gòu)23使對(duì)象物體8上升至能夠載置于第二引導(dǎo)部62上的位置。

接下來，如圖5c3所示，使第二凸部233下降。下降了的第二凸部233插入對(duì)象物體8的第二凹部82。由此，對(duì)象物體8相對(duì)于第二保持機(jī)構(gòu)232被固定為在寬度方向上不能相對(duì)移動(dòng)。然后，如圖5c4所示，上下重疊的氣缸243中，下方的氣缸243a在寬度方向上伸長(zhǎng)。由此，對(duì)象物體8在寬度方向上移動(dòng)，對(duì)象物體8的至少一部分載置于第二引導(dǎo)部62上。那樣的話，對(duì)象物體8在一對(duì)第二引導(dǎo)部62上被卡合為能夠在寬度方向上移動(dòng)。

然后，如圖5c5所示，在上下重疊的氣缸243中，上方的氣缸243b在寬度方向上伸長(zhǎng)。由此，對(duì)象物體8沿第二引導(dǎo)部62進(jìn)一步在寬度方向上移動(dòng)，并被搬送向處理室6。然后，對(duì)象物體8的處理結(jié)束時(shí)，上級(jí)和下級(jí)的氣缸243a、243b收縮，使對(duì)象物體8再次向第二搬運(yùn)裝置20返回。然后，第三移動(dòng)機(jī)構(gòu)23使對(duì)象物體8下降。如此一來，對(duì)象物體8載置于第二搬運(yùn)裝置20的第一引導(dǎo)部241上，并卡合為能夠在搬運(yùn)方向上移動(dòng)。然后，對(duì)象物體8被第二搬運(yùn)裝置20的第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)21搬送向第三搬運(yùn)裝置30。

并且，如圖1所示，本實(shí)施方式的第二搬運(yùn)裝置20還具有支承部27。支承部27配置于兩個(gè)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)21之間。支承部27例如與氣缸(省略圖示)連接，并利用提供給氣缸主體的氣壓而上下移動(dòng)。上升了的支承部27與對(duì)象物體8的下表面接觸并支承對(duì)象物體8。由此，即使對(duì)象物體8是重物也能夠被搬運(yùn)。并且，在第二搬運(yùn)裝置20內(nèi)，能夠?qū)?duì)象物體8實(shí)施壓入等在高度方向上施加力的處理。

并且，本實(shí)施方式的支承部27具有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)271。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)271例如與馬達(dá)連接，并通過馬達(dá)的動(dòng)力源使支承部27以上下延伸的軸為中心旋轉(zhuǎn)。由此，對(duì)象物體8能夠在第二搬運(yùn)裝置20內(nèi)改變相對(duì)于搬運(yùn)方向的朝向。即，在向處理室6搬運(yùn)對(duì)象物體8時(shí)，能夠通過利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)271改變對(duì)象物體8的朝向，而將對(duì)象物體8以不同的朝向向處理室6搬運(yùn)。

<4.關(guān)于控制部>

接下來，對(duì)控制部90進(jìn)行說明?？刂撇?0是用于對(duì)搬運(yùn)系統(tǒng)1內(nèi)的第一搬運(yùn)裝置10、第二搬運(yùn)裝置20以及第三搬運(yùn)裝置30的各部件進(jìn)行動(dòng)作控制的單元。如圖1中概略地示出的那樣，控制部90由可編程邏輯控制器構(gòu)成,該可編程邏輯控制器具有微型處理器等運(yùn)算處理部91、RAM等存儲(chǔ)器92、以及非易失性半導(dǎo)體存儲(chǔ)器等存儲(chǔ)部93。在存儲(chǔ)部93內(nèi)安裝有用于進(jìn)行對(duì)象物體8的搬運(yùn)處理的控制程序94。

圖6是示出了控制部90與搬運(yùn)系統(tǒng)1內(nèi)的各部件的連接結(jié)構(gòu)的框圖。如圖6所示，控制部90分別與第一搬運(yùn)裝置10的第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)11的馬達(dá)132、第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)11的氣缸123；第二搬運(yùn)裝置20的第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)21的馬達(dá)235、第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)21的氣缸、第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)22的第二保持機(jī)構(gòu)232的氣缸234、第二運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)242的氣缸243、第三移動(dòng)機(jī)構(gòu)23的氣缸、支承部27的氣缸、支承部27的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)271的馬達(dá)；以及第三搬運(yùn)裝置30的第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)31的馬達(dá)332、第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)31的氣缸可通信地連接?？刂撇?0將存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部93的控制程序94暫時(shí)讀取至存儲(chǔ)器92，并通過運(yùn)算處理部91根據(jù)該控制程序94進(jìn)行運(yùn)算處理來對(duì)上述各部件進(jìn)行動(dòng)作控制。由此，多個(gè)對(duì)象物體8被依次搬運(yùn)。

<5.變形例>

以上，雖然對(duì)本實(shí)用新型的例示性的實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但本實(shí)用新型并不限定為上述的實(shí)施方式。

在上述的實(shí)施方式中，在搬運(yùn)系統(tǒng)1內(nèi)并列設(shè)置有第一搬運(yùn)裝置、第二搬運(yùn)裝置以及第三搬運(yùn)裝置這三個(gè)搬運(yùn)裝置。但是，在搬運(yùn)系統(tǒng)內(nèi)并列設(shè)置的搬運(yùn)裝置的數(shù)量也可以是四個(gè)以上，還可以是兩個(gè)以下。并且，第二搬運(yùn)裝置也可以向在搬運(yùn)系統(tǒng)的寬度方向上并列設(shè)置的其他的搬運(yùn)系統(tǒng)搬運(yùn)對(duì)象物體。

在上述的實(shí)施方式中，兩個(gè)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)彼此交替移動(dòng)，在搬運(yùn)方向上搬運(yùn)對(duì)象物體。但是，兩個(gè)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)也可以同時(shí)在搬運(yùn)方向上移動(dòng)，在搬運(yùn)方向上搬運(yùn)對(duì)象物體。由此，即使對(duì)象物體是重物也能夠在搬運(yùn)方向上搬運(yùn)。

并且，在上述的實(shí)施方式中，第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)的運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使用了由滾珠絲杠和螺母部件構(gòu)成的滾珠絲杠機(jī)構(gòu)。但是，第一運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)也可以使用氣缸、傳送帶驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)等其他的機(jī)構(gòu)。

并且，在上述的實(shí)施方式中，為了使第一凸部和第二凸部上下移動(dòng)而使用氣缸。但是，第一凸部和第二凸部也可以通過滾珠絲杠機(jī)構(gòu)等其他的機(jī)構(gòu)來上下移動(dòng)。

并且，在上述的實(shí)施方式中，使第三保持機(jī)構(gòu)上下移動(dòng)的第三運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使用了氣缸。但是，第三運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)也可以使用滾珠絲杠機(jī)構(gòu)等其他的機(jī)構(gòu)。

并且，在上述的實(shí)施方式中，第二運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)是由氣缸構(gòu)成的。但是，第二運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)也可以由滾珠絲杠機(jī)構(gòu)等其他的機(jī)構(gòu)構(gòu)成。另外，第二運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)也可以通過兩個(gè)以上的滾珠絲杠機(jī)構(gòu)上下重疊而構(gòu)成。

并且，在上述的實(shí)施方式中，第一保持機(jī)構(gòu)和第二保持機(jī)構(gòu)通過將凸部插入對(duì)象物體的凹部來保持對(duì)象物體。但是，第一保持機(jī)構(gòu)和第二保持機(jī)構(gòu)也可以通過其他的方法來保持對(duì)象物體。第一保持機(jī)構(gòu)和第二保持機(jī)構(gòu)例如也可以通過鉤機(jī)構(gòu)鉤住對(duì)象物體來保持。并且，第一保持機(jī)構(gòu)和第二保持機(jī)構(gòu)也可以通過使用了磁鐵等的吸附機(jī)構(gòu)吸附對(duì)象物體來保持。

并且，在上述的實(shí)施方式中，對(duì)搬運(yùn)板狀的對(duì)象物體8的情況進(jìn)行了說明。但是，本實(shí)用新型的搬運(yùn)裝置也可以是搬運(yùn)其他的形狀的對(duì)象物體的裝置。并且，在上述的實(shí)施方式中，對(duì)象物體8自身設(shè)置有第一凹部81和第二凹部82。但是，本實(shí)用新型的搬運(yùn)裝置也可以是在具有第一凹部和第二凹部的板的上面載置對(duì)象物體進(jìn)行搬運(yùn)的裝置。

關(guān)于用于實(shí)現(xiàn)搬運(yùn)裝置的各部件的具體的結(jié)構(gòu)，也可以與上述的實(shí)施方式所示的結(jié)構(gòu)不同。并且，也可以在不產(chǎn)生矛盾的范圍內(nèi)適當(dāng)?shù)亟M合在上述的實(shí)施方式、変形例中出現(xiàn)的各要素。

以上對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但應(yīng)當(dāng)理解，對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，不超出本實(shí)用新型的范圍和精神的變形和變更是顯而易見的。因此，本實(shí)用新型的范圍由本權(quán)利要求書唯一地確定。