本實用新型涉及硅片背面損傷設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于硅片背面損傷設(shè)備的片盒架。

背景技術(shù)：

軟損傷吸雜技術(shù)是在原有的機械損傷技術(shù)的基礎(chǔ)上，為了提高有效吸雜能力，降低機械損傷產(chǎn)生的不良副作用上發(fā)展起來的一種新型的機械損傷吸雜技術(shù)。軟損傷吸雜顧名思義就是一種利用非常輕微的背面機械損傷作為外吸除中心的吸雜技術(shù)。

硅片背面軟損傷設(shè)備是用于實現(xiàn)硅片背面損傷的機器。硅片在經(jīng)過濕法噴砂后，會沿著一條水道進入出料部片盒中，每進一片，片盒下降一次，為下一次進片做準備。然而現(xiàn)有的硅片背面軟損傷設(shè)備使用的片盒架的片臺只能放置規(guī)定尺寸的片盒，造成硅片背面損傷設(shè)備利用率低。且片盒架在使用時被放置在水槽中，硅片在通過導(dǎo)流水道進入片盒時，因為水流的沖擊，造成片盒的移位，并出現(xiàn)硅片不能順利進入片盒、硅片斜插等問題，同時影響產(chǎn)了硅片的產(chǎn)品質(zhì)量。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的是提供一種用于硅片背面損傷設(shè)備的片盒架，不僅能放置多種尺寸類型的片盒，且片盒固定牢固，在提高硅片背面損傷設(shè)備的利用率的同時解決了因水流的沖擊造成片盒移位的問題，提高了硅片的產(chǎn)品質(zhì)量。

為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型所采用的技術(shù)方案是：一種用于硅片背面損傷設(shè)備的片盒架，包括設(shè)置在硅片背面損傷設(shè)備出料部的支撐架和若干個設(shè)置在支撐架上用于放置片盒的片臺，所述片盒一端設(shè)置有尾部卡槽，另一端開設(shè)有進料口，且進料口的兩個側(cè)壁外翻形成凸緣，所述片盒通過兩個側(cè)角卡具以及一個尾部卡具固定安裝在片臺上，兩個側(cè)角卡具沿片盒長度方向?qū)ΨQ設(shè)置在片盒進料口的兩個頂角處，所述側(cè)角卡具包括連接塊和片盒固定卡條，該片盒固定卡條設(shè)置在連接塊的上表面且通過連接塊與片臺固定連接，所述片盒固定卡條一端具有加強塊，片盒固定卡條的另一端延伸出連接塊的側(cè)邊緣以擋住片盒的凸緣，防止因水流的沖擊造成片盒移位；所述尾部卡具包括固定擋塊，在固定擋塊的兩側(cè)對稱設(shè)置有呈臺階狀分布的多個卡臺，且處于同一高度的兩側(cè)卡臺與不同尺寸的片盒尾部卡槽配合卡接。

優(yōu)選地，所述加強塊一端的側(cè)面與連接塊一端的側(cè)面相平齊。

優(yōu)選地，所述側(cè)角卡具還包括若干個螺絲a，所述連接塊上沿其長度方向設(shè)置有若干個與所述螺絲a相配合的螺絲通孔a，在片臺上設(shè)置有若干個與所述螺絲通孔a位置相對應(yīng)的螺絲孔a，所述螺絲a一端穿過螺絲通孔a并置于螺絲孔a內(nèi)。

優(yōu)選地，所述尾部卡具還包括若干個螺絲b，所述固定擋塊上沿其厚度方向設(shè)置有若干個與所述螺絲b相配合的螺絲通孔b，在片臺上設(shè)置有若干個與所述螺絲通孔b位置相對應(yīng)的螺絲孔b，所述螺絲b一端穿過螺絲通孔b并置于螺絲孔b內(nèi)。

優(yōu)選地，所述螺絲a、螺絲通孔a和螺絲孔a均為兩個。

優(yōu)選地，所述螺絲b、螺絲通孔b和螺絲孔b均為兩個。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下有益效果：本實用新型所述的一種用于硅片背面損傷設(shè)備的片盒架，能放置多種尺寸類型的片盒，提高了硅片背面損傷設(shè)備的兼容性和利用率。通過兩個側(cè)角卡具和尾部卡具將片盒固定在片臺上，防止因水流的沖擊造成片盒的移位，因而不會出現(xiàn)硅片不能順利進入片盒、硅片斜插等問題，提高了硅片的產(chǎn)品質(zhì)量。

附圖說明

圖1是本實用新型用于硅片背面損傷設(shè)備的片盒架的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實用新型尾部卡具的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中標記：1、片臺，2、片盒，3、側(cè)角卡具，301、連接塊，302、片盒固定卡條，303、加強塊，4、尾部卡具，401、固定擋塊，402、6英寸位卡臺，403、5英寸位卡臺，404、4英寸位卡臺。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型作詳細說明，本實施例以本實用新型技術(shù)方案為前提，給出了詳細的實施方式和具體的操作過程，但本實用新型的保護范圍不限于下述的實施例。

如圖所示，一種用于硅片背面損傷設(shè)備的片盒架，包括設(shè)置在硅片背面損傷設(shè)備出料部的支撐架和若干個設(shè)置在支撐架上用于放置片盒2的片臺1，所述片盒2一端設(shè)置有尾部卡槽，另一端開設(shè)有進料口，且進料口的兩個側(cè)壁外翻形成凸緣，所述片盒2通過兩個側(cè)角卡具3以及一個尾部卡具4固定安裝在片臺1上。

所述兩個側(cè)角卡具3沿片盒2長度方向?qū)ΨQ設(shè)置在片盒2進料口的兩個頂角處，所述側(cè)角卡具3包括連接塊301、片盒固定卡條302和兩個螺絲a，該片盒固定卡條302設(shè)置在連接塊301的上表面且通過連接塊301與片臺1固定連接，所述連接塊301上沿其長度方向設(shè)置有兩個分別與所述兩個螺絲a相配合的螺絲通孔a，在片臺1上設(shè)置有兩個分別與所述兩個螺絲通孔a位置相對應(yīng)的螺絲孔a，所述螺絲a一端穿過螺絲通孔a并置于螺絲孔a內(nèi)。所述片盒固定卡條302一端具有加強塊303，所述加強塊303一端的側(cè)面與連接塊301一端的側(cè)面相平齊，片盒固定卡條302的另一端延伸出連接塊301的側(cè)邊緣以擋住片盒2的凸緣，防止因水流的沖擊造成片盒2移位。

所述尾部卡具4包括固定擋塊401和兩個螺絲b，所述固定擋塊401上沿其厚度方向設(shè)置有兩個分別與所述兩個螺絲b相配合的螺絲通孔b，在片臺1上設(shè)置有兩個與所述兩個螺絲通孔b位置相對應(yīng)的螺絲孔b，所述螺絲b一端穿過螺絲通孔b并置于螺絲孔b內(nèi)。所述尾部卡具4包括固定擋塊401，在固定擋塊401的兩側(cè)對稱設(shè)置有呈臺階狀分布的多個卡臺，所述多個卡臺分別為6英寸位卡臺402、5英寸位卡臺403和4英寸位卡臺404，且處于同一高度的兩側(cè)卡臺與不同尺寸的片盒2尾部卡槽配合卡接。

所述6英寸位卡臺402與用于放置6英寸硅片的片盒2相配合卡接時，將6英寸位卡臺402伸入該片盒2的卡槽內(nèi)，且使卡槽的兩側(cè)壁端面抵接在固定擋塊401上。

所述5英寸位卡臺403與用于放置5英寸硅片的片盒2相配合卡接時，將5英寸位卡臺403伸入該片盒2的卡槽內(nèi)，且使卡槽的兩側(cè)壁端面抵接在6英寸位卡臺402上。

所述4英寸位卡臺404與用于放置4英寸硅片的片盒2相配合卡接時，將4英寸位卡臺404伸入該片盒2的卡槽內(nèi)，且使卡槽的兩側(cè)壁端面抵接在5英寸位卡臺403上。