本發(fā)明涉及一種從層疊的多個(gè)工件中將一個(gè)工件分離出來的工件分離系統(tǒng)及工件分離方法。

背景技術(shù)：

在日本公開公報(bào)2010-168152號(hào)中記載了以下內(nèi)容：為了從箱體中取出基板并將基板送至其他箱體、輸送單元中，提供一種具有多功能、結(jié)構(gòu)緊湊且簡(jiǎn)單的高吞吐量的基板取出裝置。在該文獻(xiàn)中，將在帶蓋的箱體內(nèi)沿垂直方向直立并排收納的多張基板逐張取出并移載至其他裝置的基板取出裝置包括：平行的一對(duì)移動(dòng)導(dǎo)軌，其以左右夾持箱體的方式設(shè)置；移動(dòng)體，其以自由移動(dòng)的形式分別設(shè)置在一對(duì)移動(dòng)導(dǎo)軌上；升降體，其與兩方的移動(dòng)體相連結(jié)，以能夠沿著移動(dòng)體的高度方向升降的方式設(shè)置；升降機(jī)構(gòu)，其沿著移動(dòng)體的高度方向升降驅(qū)動(dòng)升降體；蓋把持部件，其與箱體的蓋相對(duì)地設(shè)置在升降體上；基板把持部件，其設(shè)置在升降體上，以能夠?qū)⒒逍D(zhuǎn)到水平狀態(tài)及垂直狀態(tài)的方式對(duì)基板進(jìn)行保持；以及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)基板把持部件。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

人們需要一種易于從層疊的工件例如堆積的印刷電路板、其他基板中高精度且穩(wěn)定地將工件(加工對(duì)象物)逐張取出的系統(tǒng)。

本發(fā)明的一個(gè)方式的工件分離系統(tǒng)(工件分離裝置)包括：收納部，其將多個(gè)工件以層疊的狀態(tài)儲(chǔ)存；保持單元，其具有至少一對(duì)墊片，該墊片呈八字形地將一張工件的兩端夾住并把持；以及移動(dòng)單元，其使保持單元及收納部中的至少一者移動(dòng)。移動(dòng)單元使收納部相對(duì)于利用至少一對(duì)墊片夾住一張工件的狀態(tài)下的保持單元相對(duì)地向下移動(dòng)，從而將一張工件相對(duì)于其他工件分離。作為工件的一例，是印刷電路板等的平板狀的板(基板)。

在該工件分離系統(tǒng)中，保持單元利用一對(duì)墊片以下側(cè)打開的呈八字形(倒v字形、下部打開的三角形，內(nèi)八字形)配置的方式將工件的兩端夾住并把持。因此，層疊于收納部的多個(gè)工件的最上層的工件被保持單元保持，通過使收納部相對(duì)于保持單元相對(duì)地向下下降(保持單元相對(duì)于收納部相對(duì)地抬起)，從而能夠從層疊的多個(gè)工件中將工件逐張分離。因此，能夠以不改變把持的方式高精度且簡(jiǎn)單地從層疊的工件中將工件逐張取出。

而且，在該工件分離系統(tǒng)中，由于利用一對(duì)墊片把持工件的兩端部，因此能夠不把持工件的表面或背面地將工件分離。因此，無論工件的表面或背面的狀態(tài)如何，例如，即使在工件上有通孔、在工件上搭載有電路元件等，也能夠可靠地從層疊于收納部的工件中將工件逐張取出。而且，在逐張將工件分離時(shí)，能夠防止對(duì)工件的表面、搭載于工件的元件等造成污染或損傷。

該工件分離系統(tǒng)還可以包括輸送單元，其在保持單元的下側(cè)相對(duì)地出入，并對(duì)從保持單元釋放的一張工件進(jìn)行輸送。利用保持單元分離的工件以利用下側(cè)打開的配置成八字形的墊片夾住的狀態(tài)被保持，將工件從一對(duì)墊片向保持單元的下側(cè)釋放。因此，通過在保持單元的下側(cè)配置輸送單元，能夠利用輸送單元將逐張分離后的工件向下游側(cè)(下一個(gè)工序)輸送。

輸送單元也可以是在保持單元和收納部之間出入的裝置?？梢蕴峁┤缦鹿ぜ蛛x系統(tǒng)：通過使輸送單元在保持單元和收納部之間出入，從而保持單元不必在把持著工件的狀態(tài)下前后或者左右移動(dòng)，能夠縮短生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間的同時(shí)簡(jiǎn)單且可靠性很高。

在保持單元和收納部之間出入的輸送單元也可以具有一對(duì)運(yùn)送單元，其位于保持單元的下側(cè)，在自層疊的多個(gè)工件的兩端向外側(cè)退讓的第1位置、以供分離后的一張工件的兩端的下側(cè)搭載的方式從第1位置向內(nèi)側(cè)伸出的第2位置之間進(jìn)行移動(dòng)。通過使一對(duì)運(yùn)送單元退避至第1位置，保持單元和收納部相對(duì)地上下移動(dòng)，從而能夠?qū)⒁粡埞ぜ詫盈B于收納部的工件分離，通過將運(yùn)送單元伸出至第2位置，能夠?qū)谋３謫卧尫诺墓ぜM(jìn)行輸送。

該工件分離系統(tǒng)的保持單元也可以具有驅(qū)動(dòng)單元，該驅(qū)動(dòng)單元使至少一對(duì)墊片相對(duì)于作為分離對(duì)象的一張工件的兩端開閉。雖然也可以是下側(cè)擴(kuò)大的配置成八字形的墊片自上按壓于工件并把持工件，通過一對(duì)墊片的開閉能夠可靠地把持工件、或者釋放工件。

保持單元也可以具有支承單元，該支承單元以使至少一對(duì)墊片的間隔沿著作為分離對(duì)象的一張工件的兩端前后變化的方式，在朝向工件的兩端對(duì)至少一對(duì)墊片進(jìn)行加壓的狀態(tài)下支承至少一對(duì)墊片。即使作為分離對(duì)象的一張工件傾斜、或者工件的尺寸局部不同，也能夠通過在工件的前后改變一對(duì)墊片的間隔，從而利用配置成八字形的墊片容易地把持工件。保持單元也可以具有多對(duì)墊片，支承單元也可以以沿著工件的兩端前后地改變多對(duì)墊片的間隔的方式支承多對(duì)墊片。

而且，該工件分離系統(tǒng)的移動(dòng)單元也可以包括將收納部移動(dòng)至相對(duì)于保持單元在上方疊放多個(gè)工件的位置的功能。操作員、自上個(gè)工序輸送工件的工件分離系統(tǒng)能夠簡(jiǎn)單地且在短時(shí)間內(nèi)地相對(duì)于收納部疊放多個(gè)工件。之后，移動(dòng)單元將收納部向保持單元的下側(cè)移動(dòng)，開始工件的分離作業(yè)。

本發(fā)明的其他方式是具有利用上述工件分離系統(tǒng)來分離工件的作業(yè)的方法(工件分離方法、工件供給方法)。工件分離系統(tǒng)包括：收納部，其將多個(gè)板狀的工件以層疊的狀態(tài)儲(chǔ)存；以及保持單元，其具有呈八字形地將一張工件的兩端夾住并把持的至少一對(duì)墊片。分離的作業(yè)包括以下工序：

1.以至少一對(duì)墊片保持儲(chǔ)存在收納部的最上層的工件的方式，使保持單元及收納部中的至少一者相對(duì)地移動(dòng)。

2.在至少一對(duì)墊片保持著最上層的工件之后，使保持單元及收納部的至少一者以收納部相對(duì)于保持單元相對(duì)地位于下方的方式移動(dòng)，將一張工件分離。

該工件分離系統(tǒng)還可以包括在保持單元和收納部之間出入并輸送工件的輸送單元，在該情況下，該工件分離方法還可以包括以下工序。

3.在保持單元和收納部之間設(shè)置輸送單元。

4.釋放由至少一對(duì)墊片保持的一張工件。

5.由輸送單元來輸送所釋放的一張工件。

6.使輸送單元從收納部和保持單元之間退避。

在該工件分離方法中，若搭載于收納部的工件的供給結(jié)束，為了對(duì)工件進(jìn)行補(bǔ)充，也可以包括以下工序。

·將收納部向保持單元上方的疊放多個(gè)工件的位置移動(dòng)。

·將疊放有多個(gè)工件的收納部向保持單元的下方移動(dòng)。

附圖說明

圖1是利用剖面來表示處理工件的工件分離系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。

圖2是放大表示保持單元的附近的側(cè)視圖。

圖3是提取表示保持單元的附近的俯視圖。

圖4是表示工件分離系統(tǒng)處理工件的方式的模式圖，圖4(a)是收納部上升的圖，圖4(b)是保持單元把持工件的圖，圖4(c)是保持單元下降的圖，圖4(d)是輸送單元進(jìn)入到收納部和保持單元之間的圖，圖4(e)是保持單元釋放工件后，工件被輸送的圖。

圖5是表示工件分離系統(tǒng)將工件分離后進(jìn)行供給的過程的流程圖。

具體實(shí)施方式

圖1是表示從側(cè)面觀察對(duì)基板進(jìn)行分離并輸送的工件分離系統(tǒng)的一例的整體結(jié)構(gòu)的剖視圖。該工件分離系統(tǒng)1是將層疊(直接裝載)在收納部10中的多個(gè)基板6作為板狀的工件(加工對(duì)象物)，從層疊的基板6中逐張抓取基板(工件，印刷基板)5進(jìn)行分離并供給的工件分離系統(tǒng)。該工件分離系統(tǒng)包括作為將作為工件(加工對(duì)象物)的基板分離的工件分離裝置的功能和作為將分離了的工件向下一個(gè)工序供給的供給裝置的功能，被稱為工件供給系統(tǒng)、基板供給裝置、夾持式的裝載部(夾持裝載部)等。以下，以基板供給系統(tǒng)(基板供給裝置)1為例進(jìn)行說明。

基板供給裝置1包括：收納部10，其用于搭載層疊的多個(gè)基板6；保持單元20，其具有呈八字形地將一張基板5的兩端夾住并把持的一對(duì)或者多對(duì)墊片22；以及移動(dòng)單元40，其使收納部10上下移動(dòng)。在基板供給裝置1中，移動(dòng)單元40以使收納部(升降裝置)10上下移動(dòng)的方式構(gòu)成，其包括氣缸42(致動(dòng)器、移動(dòng)單元)以及一對(duì)支架9，該氣缸42與一對(duì)支架9相對(duì)應(yīng)地，經(jīng)由一對(duì)傳遞構(gòu)件43使收納部10上下移動(dòng)。氣缸42也可以是電動(dòng)式致動(dòng)器等其他的方式。移動(dòng)單元40除了使收納部10移動(dòng)的方式以外，也可以是使保持單元20移動(dòng)的單元，也可以是使收納部10及保持單元20移動(dòng)的單元。

基板供給裝置1還包括：輸送單元(輸送裝置)50，其在保持單元20的下側(cè)，進(jìn)出于保持單元20和收納部10之間，即下降時(shí)的收納部10的上側(cè)，從而對(duì)自保持單元20釋放的工件5進(jìn)行輸送；以及控制單元70，其控制這些單元的動(dòng)作?？刂茊卧?0具有供給功能構(gòu)件(供給單元)71，該供給功能構(gòu)件71對(duì)層疊的多個(gè)基板6中的最上層的工件5進(jìn)行把持并供給。此外，作為進(jìn)行分離及供給的對(duì)象的基板6的寬度不是固定的，該基板供給裝置1即使相對(duì)于不同寬度的基板6也能夠靈活地對(duì)應(yīng)。因此，控制單元70具有調(diào)整功能構(gòu)件(調(diào)整單元)72，在將作為分離及供給對(duì)象的不同寬度的基板6設(shè)置(層疊)于收納部10時(shí)，該調(diào)整功能構(gòu)件(調(diào)整單元)72能夠在基板6的寬度方向上調(diào)整基板供給裝置1的各個(gè)單元的間隔。

這些收納部10、保持單元20、移動(dòng)單元40及輸送單元50收納在基板供給裝置1的殼體2內(nèi)。而且，基板供給裝置1還在殼體2的上部具有：投入單元60，其將在下個(gè)批次中處理的基板(工件束)6a以層疊的狀態(tài)保持；前表面上部的投入門3，其用于投入基板6a而設(shè)置在殼體2上；以及傳感器94，其對(duì)是否已投入基板6a進(jìn)行監(jiān)控。如上所述，在下個(gè)批次中處理的基板6a的寬度也可以不同。

基板供給裝置1的移動(dòng)單元40具有使收納部10上升至保持單元20的上方的投入單元60的位置(疊放新的工件的位置、投入位置)的功能。使收納部10上升至投入位置后，通過滑動(dòng)釋放投入單元60中的支承基板6a的兩端部附近的工件支承部63，使預(yù)先層疊于投入單元60的基板6a轉(zhuǎn)移至收納部10。

投入單元60包括：一對(duì)第1導(dǎo)軌61，其進(jìn)行基板5的寬度方向的定位；第2導(dǎo)軌62，其進(jìn)行基板5的長(zhǎng)度方向的定位；一對(duì)工件支承部63，其從下側(cè)支承投入至投入單元60的基板6a；以及第1寬度變更單元64，其以使一對(duì)第1導(dǎo)軌61和一對(duì)工件支承部63之間的寬度與所接受的基板6a的寬度相一致的方式在寬度方向上滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)。通過將預(yù)先接受的基板6a的寬度設(shè)定于控制單元70，從而能夠在基板的分離供給途中改變作為分離供給對(duì)象的基板6a的尺寸。此外，在該基板供給裝置1中，通過將投入單元60設(shè)置于基板供給裝置1的上方，能夠從基板供給裝置1的上側(cè)放置作為分離供給對(duì)象的基板6a，具有良好的操作性。

移動(dòng)單元40將搭載有基板6的收納部10暫時(shí)下降至基板6的最上層處于保持單元20的下方為止。接著，移動(dòng)單元40以使最上層的基板6到達(dá)保持單元20的位置的方式使收納部10上升。保持單元20拾取收納部10最上部的一張基板5，并在收納部10暫時(shí)下降后，輸送單元50移動(dòng)至保持單元20的下側(cè)，從保持單元20向下側(cè)釋放的基板5被輸送單元50接受。輸送單元50將基板5從形成于基板供給裝置1的側(cè)面的開口(排出口)4供給至下一個(gè)工序、與基板供給裝置1連接的帶式輸送機(jī)等。通過重復(fù)該工序，將儲(chǔ)存在收納部10上的多個(gè)基板6逐張分離成基板5并供給至下一個(gè)工序。

在該基板供給裝置1中，通過移動(dòng)單元40使收納部10上下移動(dòng)，從而自投入單元60接受基板6并搬運(yùn)至保持單元20，逐張分離。除了使收納部10的上下移動(dòng)的方式以外，移動(dòng)單元40也可以使保持單元20上下移動(dòng)，也可以使雙方相對(duì)地上下移動(dòng)。

此外，該基板供給裝置1能夠以每次作業(yè)為單位，接受寬度不同的多種基板6及基板6a，并將其逐張分離。因此，基板供給裝置1具有：第1寬度變更單元64，其對(duì)由投入單元60側(cè)接受的基板6a的尺寸進(jìn)行調(diào)整；第2寬度變更單元92，其對(duì)要分離的基板6的尺寸進(jìn)行調(diào)整。

第2寬度變更單元92獨(dú)立于投入單元60地對(duì)收納部10、保持單元20及輸送單元50的寬度進(jìn)行調(diào)整。第2寬度變更單元92按照控制單元70的寬度調(diào)整功能構(gòu)件72的指示，來變更支承著收納部10、保持單元20及輸送單元50的一對(duì)支架9的寬度。寬度調(diào)整功能構(gòu)件72在層疊于投入單元60的多個(gè)基板6a的寬度即下個(gè)工序中作為分離供給對(duì)象的基板6a的寬度不同的情況下，在基板6a從投入單元60向收納部10移動(dòng)時(shí)，自動(dòng)地將收納部10、保持單元20及輸送單元50的寬度調(diào)整為與由投入單元60保持的基板6a的寬度相一致。

圖2是表示從上開始依次配置保持單元20、輸送單元50及收納部10的狀態(tài)的側(cè)視圖，圖3是從保持單元20的上方示出從上依次配置保持單元20，輸送單元50及收納部10的狀態(tài)的俯視圖。在這些圖中示出了以下狀態(tài)：在基板供給裝置1的收納部10上層疊有多個(gè)長(zhǎng)方形的基板，由保持單元20從層疊的多個(gè)基板6中保持最上層的長(zhǎng)方形的基板5的短邊方向(寬度方向)x的兩端，并將基板5從層疊的多個(gè)基板6中逐張分離，利用輸送單元50將分離后的基板5沿著其長(zhǎng)邊方向(輸送方向)y送出。在基板供給裝置1中，根據(jù)基板層疊方向的變化，也能夠保持基板5的長(zhǎng)邊方向y的兩端并進(jìn)行分離，沿著短邊方向x送出。

保持單元(保持件)20具有多對(duì)的、本例中是5對(duì)的墊片(卡盤墊片)22，該墊片22以下側(cè)打開為八字形(倒v字形、下方打開的三角形狀、內(nèi)八字形狀、以下側(cè)打開的方式傾斜的形狀)的狀態(tài)將基板5的寬度方向(短邊方向)x的兩端夾住并把持。保持單元20具有沿著基板5的輸送方向(長(zhǎng)邊方向)y支承這5對(duì)墊片22的一對(duì)第1支承板23。保持單元20還具有一對(duì)第2支承板25，其利用配置在各第1支承板23的大致中心處的支柱(旋轉(zhuǎn)軸)28，將各第1支承板23支承為相對(duì)于輸送方向y前后旋轉(zhuǎn)。保持單元20還具有彈簧24，該彈簧24相對(duì)于各第2支承板25配置在支柱28的前后(y方向)，彈性地限定第1支承板23的旋轉(zhuǎn)角度。

保持單元20還包括：兩對(duì)導(dǎo)軌26，它們以使各第2支承板25沿寬度方向x滑動(dòng)的方式支承各第2支承板25；一對(duì)氣缸(致動(dòng)器)27，其使各第2支承板25沿著寬度方向x移動(dòng)；以及底板29，其搭載有各導(dǎo)軌26及致動(dòng)器27。

與作為分離對(duì)象的、分離后的一張基板5的兩端相抵靠的墊片22由具有適度彈性的聚氨酯(硬質(zhì)聚氨酯)制成。墊片22的與抵靠于基板5的面相反的那一側(cè)(墊片22的背面?zhèn)?，利用以下側(cè)傾斜地向?qū)挾确较騲的外側(cè)打開的狀態(tài)形成的金屬制的固定板(支架板)21，安裝在第1支承板23上。如圖2所示，具體而言，支架板21形成為安裝于第1支承板23的上側(cè)大致垂直且下側(cè)向?qū)挾确较騲的外側(cè)彎折的形狀。墊片22利用固定板21，在以下側(cè)打開的方式延伸(突出)的狀態(tài)下安裝在第1支承板23上，成為利用墊片22的自第1支承板23向下側(cè)偏離的部分夾住基板5的結(jié)構(gòu)。支架板21也可以是不彎折的平板狀的板，也可以以下側(cè)傾斜地向?qū)挾确较騲的外側(cè)打開的狀態(tài)安裝在第1支承板23上。

位于保持單元20下側(cè)的收納部10包括一對(duì)棒狀的工件接受部11，其沿著基板5的輸送方向y前后延伸，在從寬度方向x的兩端稍進(jìn)入內(nèi)側(cè)的位置上支承層疊的多個(gè)基板6。工件接受部11利用傳遞構(gòu)件43及上下延伸的一對(duì)支承構(gòu)件12與作為使收納部10上下移動(dòng)的移動(dòng)單元的氣缸42(參照?qǐng)D1)相連接。收納部10在分離基板5的處理中將多個(gè)基板6保持在保持單元20的下側(cè)。

收納部10在以與基板6的兩端相接觸的方式設(shè)置的一對(duì)導(dǎo)軌13的內(nèi)部上下移動(dòng)。導(dǎo)軌13成為上部朝著上方向?qū)挾确较騲打開的形狀，若收納部10上升并利用保持單元20將基板6的最上方的基板5分離之后使收納部10降下，則搭載在收納部(升降裝置)10上的基板6經(jīng)過夾在導(dǎo)軌13之間的空間。因此，每當(dāng)收納部10上下移動(dòng)時(shí)，能夠利用導(dǎo)軌13將層疊在收納部10上的基板6的兩端整理成規(guī)定的狀態(tài)，能夠利用保持單元20將基板穩(wěn)定地分離。

輸送單元50在收納部10下降的狀態(tài)下位于保持單元20和收納部10之間。輸送單元50包括：一對(duì)帶式傳送機(jī)(運(yùn)送單元)54，其在支承著分離后的基板5的兩端的下側(cè)面的狀態(tài)下使基板5沿輸送方向y移動(dòng)；一對(duì)傳送機(jī)支承單元56，其經(jīng)由輥55支承各帶式傳送機(jī)54，使帶式傳送機(jī)54在收納部10的上側(cè)出入；以及致動(dòng)器(氣缸)59，其使傳送機(jī)支承單元56相對(duì)于成為輸送單元50的基座的支架9在寬度方向上前后(左右)移動(dòng)。各傳送機(jī)支承單元56包括：電動(dòng)機(jī)55m，其對(duì)帶式傳送機(jī)54進(jìn)行驅(qū)動(dòng)；引導(dǎo)構(gòu)件(引導(dǎo)部)57，其將從保持單元20釋放的基板5引導(dǎo)至帶式傳送機(jī)54的規(guī)定的位置。

如圖3所示，該輸送單元50位于保持單元20的下側(cè)，帶式傳送機(jī)54沿著寬度方向x移動(dòng)，在成為待機(jī)位置的第1位置p1和向基板5的下側(cè)突出的第2位置p2之間進(jìn)行移動(dòng)，在第2位置p2處對(duì)由保持單元20逐張分離后的基板5進(jìn)行輸送。另外，圖2示出了輸送單元50退避至第1位置p1的狀態(tài)。

基板供給裝置1還包括檢測(cè)有無基板5的傳感器93。傳感器93對(duì)收納部10上升并層疊于收納部10的基板6的最上部分(最上層)的基板5是否到達(dá)保持單元20的墊片22把持該基板5的位置進(jìn)行檢測(cè)。此外，由于傳感器93檢測(cè)在保持單元20的墊片22把持基板5的位置上有無基板5，因此在收納部10下降后，通過傳感器93對(duì)基板5進(jìn)行檢測(cè)，能夠確認(rèn)是否已利用保持單元20將基板5分離。

圖4示意性地示出了供給裝置1在基于控制單元70的供給功能構(gòu)件71的控制下從層疊于收納部10的多個(gè)基板6中自上開始依次逐張把持、分離并供給(輸送)基板5的處理。此外，在圖5中利用流程圖示出將一張基板5分離并供給的處理。

如圖4(a)所示，在工序101中，移動(dòng)單元40使收納部10移動(dòng)(上升)至搭載在收納部10上的多個(gè)基板6的最上部分的基板5到達(dá)保持單元20的墊片22的保持位置為止。最上部分的基板5的位置利用傳感器93進(jìn)行監(jiān)控。此外，這期間，輸送單元50從搭載在收納部10上的多個(gè)基板6的兩端向外側(cè)退讓，從這些基板6上下移動(dòng)的空間退避至位置p1。

如圖4(b)所示，在工序102中，保持單元20的致動(dòng)器27經(jīng)由第2支承板25使第1支承板23沿寬度方向x滑動(dòng)，利用配置成八字形的墊片22將最上部分的基板5的兩端夾住并把持。支承多對(duì)墊片22的第1支承板23相對(duì)于第2支承板25以支柱部28為中心沿輸送方向y旋轉(zhuǎn)。因此，在利用墊片22保持一張基板5時(shí)，即使基板5多少上下傾斜或歪斜，左右的墊片22抓住基板5時(shí)的間隔在輸送方向的前后發(fā)生變化，也能夠利用墊片22可靠地將基板5夾住并把持。

進(jìn)一步詳細(xì)說明，基板供給裝置1的保持單元20利用下側(cè)打開的呈八字形的墊片22將基板5的兩端夾住。因此，在墊片22與層疊的多個(gè)基板6的最上方的基板5的兩端5a相抵靠并利用墊片22將該一張基板5夾住的狀態(tài)下，下側(cè)為打開狀態(tài)的墊片22與多個(gè)基板6的第二張基板不抵靠(不接觸)。在該狀態(tài)下，通過使墊片22(保持單元20)升起，或使支承層疊的基板6的收納部10下降，能夠?qū)盈B的基板6的最上方(最上層)的基板5從其他層疊的基板6中分離。

多對(duì)墊片22沿著輸送方向y斷續(xù)配置，支承這些墊片22的第1支承板23沿著輸送方向y前后旋轉(zhuǎn)。因此，在利用多對(duì)墊片22夾住基板5時(shí)，根據(jù)基板5的姿態(tài)，沿著輸送方向y配置的多對(duì)墊片22的寬度方向x的間隔能夠自動(dòng)地前后變動(dòng)，此外，多對(duì)墊片22平行地旋轉(zhuǎn)。

存在最上層的基板5與層疊的多個(gè)基板6一起前后或者左右傾斜的情況，或者由于某種原因只有一張基板前后或者左右傾斜的情況。由于多個(gè)墊片22呈下側(cè)打開的形狀，因此存在著若作為保持對(duì)象的基板5傾斜，則與多個(gè)墊片22相抵靠的位置(高度)發(fā)生改變，基板5的兩端的被墊片22實(shí)質(zhì)性?shī)A住的寬度變動(dòng)的情況。例如，若作為保持對(duì)象的基板5前后傾斜，則基板5的前方抵靠于配置成八字形的墊片22的上側(cè)，因此為了利用墊片22進(jìn)行保持而墊片22的間隔相對(duì)變大，由于基板5的后方抵靠于配置成八字形的墊片22的下側(cè)，因此墊片22的間隔相對(duì)變小。由于利用第1支承板23，若前方的墊片22的間隔擴(kuò)大則后方的墊片22的間隔變小，因此能夠利用前后的墊片22可靠地把持前后傾斜的基板5。

此外，有時(shí)最上層的基板5相對(duì)于輸送方向y不平行。通過在輸送方向y的前后(上游側(cè)和下游側(cè))改變多對(duì)墊片22的間隔，即使是上述狀況下的基板5也能夠利用保持單元20可靠地把持并分離。

而且，保持單元20在支柱部28的兩側(cè)配置有一對(duì)彈簧構(gòu)件24。該彈簧構(gòu)件24限制第1支承板23的旋轉(zhuǎn)范圍，同時(shí)使即使在旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下經(jīng)由支承板23向各墊片22施加的把持基板5的兩端5a的壓力變得大致均等。因此，若傾斜的基板5被墊片22夾持并分離，則利用這些彈簧構(gòu)件24矯正傾斜的基板5的姿勢(shì)以使其與輸送方向y平行。此外，多個(gè)墊片22的位置也被復(fù)位至初始的位置。

保持單元20能夠通過控制致動(dòng)器27來調(diào)整向內(nèi)側(cè)驅(qū)動(dòng)第1支承板23并經(jīng)由墊片22把持基板5的力。因此，不論作為分離對(duì)象的基板5是較薄的基板還是較厚的基板，都能夠以適于各基板的力來把持作為分離對(duì)象的基板5，在分離基板5時(shí)，能夠?qū)?duì)該基板的損傷防患于未然。

保持單元20利用配置成八字形的多對(duì)墊片22把持(夾持)基板5的兩端部5a。因此，能夠不對(duì)基板5的表面的狀態(tài)造成影響地將基板5分離。例如，即使在基板5上形成有通孔等，或者是安裝完畢的基板(工件)即表面搭載有電路元件等的基板，也因?yàn)閴|片22只把持兩端5a，因此能夠?qū)⒒?可靠地把持并分離。此外，因?yàn)閴|片22只把持基板5的兩端部5a，所以墊片22未實(shí)質(zhì)性地接觸基板5的表面，能夠大大降低分離時(shí)該基板5的表面被污染、損傷的可能性。

如圖4(c)所示，如果利用保持單元20來保持作為分離對(duì)象的一張基板5，則在工序103中利用移動(dòng)單元40使收納部10下降。由此，被保持單元20保持的基板5與層疊在收納部10上的其他的基板6分離。

如圖4(d)所示，在工序104中，將輸送單元50設(shè)置于保持單元20和收納部10之間。具體而言，利用致動(dòng)器59，將輸送單元50的帶式輸送機(jī)(運(yùn)送單元)54從退避的第1位置p1前進(jìn)至基板6上下移動(dòng)的空間，設(shè)置(移動(dòng))到成為保持單元20的下側(cè)且收納部10的上側(cè)的之間的第2位置p2。

如圖4(e)所示，在工序105中，致動(dòng)器27使第1支承板23沿著寬度方向x后退(退避)。由此，墊片22離開基板5的兩端5a，基板5自保持單元20釋放。利用保持單元20分離并釋放的一張基板5放置在移動(dòng)至保持單元20的下側(cè)的帶式輸送機(jī)54上，在工序106中，利用輸送機(jī)54進(jìn)行輸送。在帶式輸送機(jī)54上配置有下側(cè)變窄的呈v字形狀的一對(duì)引導(dǎo)部57，一對(duì)引導(dǎo)部57與輸送機(jī)54一起移動(dòng)。因此，利用引導(dǎo)部57來引導(dǎo)已釋放的基板5的兩端5a，能夠?qū)⒒?可靠地搭載在帶式輸送機(jī)54上。

若將基板5從基板供給裝置1中排出，則在工序107中，輸送單元50的帶式輸送機(jī)54退避至第1位置p1。在工序108中，若搭載于收納部10的基板6的輸送未結(jié)束，則返回工序101(圖4(a))，重復(fù)進(jìn)行對(duì)下一個(gè)基板5進(jìn)行分離并輸送的處理。如此，能夠從層疊于收納部10的多個(gè)基板6中將基板5依次逐張分離并輸送。

在工序108中，若層疊于收納部10的基板6的輸送結(jié)束，則在工序109中，收納部10進(jìn)一步上升至保持單元20的上方，在工序110中，將設(shè)置于投入單元60的下一批的多個(gè)基板6a(基板6a的束)層疊在收納部10上。在工序111中，收納部10下降至保持單元20的下方，返回到工序101，重復(fù)進(jìn)行從多個(gè)基板6a中將基板分離并供給的處理。

在基板供給裝置1中進(jìn)行分離并供給的工件(基板)5可以是如上所述的印刷電路板(配線基板)，也可以是半導(dǎo)體基板，或者其他的板狀的工件，例如玻璃板、樹脂板、木材等，而且，如果是層疊在一起且兩端能夠把持的狀態(tài)，則也能夠?qū)⑷萜鞯茸鳛楣ぜ磉M(jìn)行分離。因此，不限于電氣部件、電子部件，而是能夠在食品材料、建筑材料等廣泛的領(lǐng)域中適用。

此外，上述基板供給裝置1利用多對(duì)墊片22將作為分離對(duì)象的一張基板5的兩端5a夾住，但也可以是利用在輸送方向上延伸的一對(duì)墊片22將基板5的兩端5a夾住的結(jié)構(gòu)。利用多對(duì)墊片22的結(jié)構(gòu)，能夠沿著基板5的輸送方向y斷續(xù)地將力分散并夾住基板5。此外，能夠提供一種即使這些墊片22局部磨損或損傷也能夠只更換該墊片22等即可的、維護(hù)性好且低成本的基板供給裝置1。墊片22的數(shù)量不限于5對(duì)，也可以是4對(duì)以下或者6對(duì)以上，這些成對(duì)的墊片也可以不一定配置在相對(duì)的位置上。墊片22也可以不是由聚氨酯制成的，也可以由其他的塑料系的材料形成，也可以是橡膠等。

此外，上述說明的、使保持單元20、移動(dòng)單元40、輸送單元50、第1寬度變更單元64及第2寬度變更單元92等進(jìn)行滑動(dòng)移動(dòng)的機(jī)構(gòu)僅為一個(gè)例子，還能夠采用滑軌、齒輪齒條、工作臺(tái)等各種移動(dòng)機(jī)構(gòu)。此外，致動(dòng)器也以氣缸為例進(jìn)行說明，但能夠采用電動(dòng)缸、液壓缸、電動(dòng)機(jī)、螺線管、線性運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器等各種致動(dòng)器。