本發(fā)明涉及容器搬運(yùn)設(shè)備，前述容器搬運(yùn)設(shè)備具備搬運(yùn)用移動(dòng)體、保管部、非活性氣體供給裝置，前述搬運(yùn)用移動(dòng)體沿移動(dòng)路徑移動(dòng)來搬運(yùn)容器，前述保管部保管容器，前述非活性氣體供給裝置將非活性氣體供給至被保管于保管部的容器的內(nèi)部，容器在底面部具備被連接部，保管部具備第1支承部，前述第1支承部將容器的底面部的第1被支承部從下方支承，非活性氣體供給裝置具備連接部，將非活性氣體從連接部經(jīng)由被連接部供給至容器的內(nèi)部，前述連接部在容器被支承于第1支承部的狀態(tài)下，被連接于容器的被連接部。

背景技術(shù)：

如上所述的容器搬運(yùn)設(shè)備的一例被記載于特開2012－044033號(hào)公報(bào)（專利文獻(xiàn)1）。在專利文獻(xiàn)1的容器搬運(yùn)設(shè)備中，具備保管部，前述保管部將容器保管于供搬運(yùn)用移動(dòng)體移動(dòng)的移動(dòng)路徑的橫側(cè)方，非活性氣體供給裝置將非活性氣體供給至被保管于保管部的容器。這樣，在專利文獻(xiàn)1的容器搬運(yùn)設(shè)備中，具備非活性氣體供給裝置，由此能夠利用將容器保管于保管部的時(shí)間，向容器的內(nèi)部供給非活性氣體。

若加以說明，則在搬運(yùn)用移動(dòng)體上，具備搬運(yùn)用支承部和升降驅(qū)動(dòng)部，前述搬運(yùn)用支承部將容器的上部懸吊支承，前述升降驅(qū)動(dòng)部使該搬運(yùn)用支承部升降。在保管部上，具備保管用支承部和滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)部，前述保管用支承部從下方支承容器的底面部，前述滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)部使該保管用支承部沿水平方向滑動(dòng)移動(dòng)。

此外，在保管用支承部上，支承有非活性氣體供給裝置的連接部，在容器的底面部，具備被連接部。在借助保管用支承部將容器的底面部從下方支承的狀態(tài)下，非活性氣體供給裝置的連接部被連接于容器的被連接部，能夠向容器的內(nèi)部供給非活性氣體。

并且，在搬運(yùn)用移動(dòng)體停止于被設(shè)定于保管部的橫側(cè)方的移載用停止位置的狀態(tài)下，保管部借助滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)部使保管用支承部突出后，搬運(yùn)用移動(dòng)體借助升降驅(qū)動(dòng)部使搬運(yùn)用支承部升降，之后，保管部借助滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)部使保管用支承部退回，將容器保管于保管部，或?qū)⑷萜鲝谋９懿咳〕觥?/p>

在專利文獻(xiàn)1所公開的容器搬運(yùn)設(shè)備中，搬運(yùn)用移動(dòng)體構(gòu)成為，借助搬運(yùn)用支承部將容器從上方懸吊支承，但也有將搬運(yùn)用移動(dòng)體構(gòu)成為借助搬運(yùn)用支承部將容器的底面部從下方支承的情況。這樣，在借助搬運(yùn)用支承部將容器的底面部從下方支承的情況下，需要避免與被連接于容器的底面部的連接部的干渉，并且需要將底面部從下方支承，所以難以將容器穩(wěn)定性較好地支承。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

因此，需要一種容器搬運(yùn)設(shè)備，前述容器搬運(yùn)設(shè)備為，搬運(yùn)用移動(dòng)體能夠?qū)⑷萜鞯牡酌娌繌南路椒€(wěn)定性較好地支承，同時(shí)能夠?qū)Ρ９苡诒９懿康娜萜鞴┙o非活性氣體。

鑒于上述問題的容器搬運(yùn)設(shè)備的技術(shù)方案為，一種容器搬運(yùn)設(shè)備，具備搬運(yùn)用移動(dòng)體、保管部、非活性氣體供給裝置，前述搬運(yùn)用移動(dòng)體沿移動(dòng)路徑移動(dòng)來搬運(yùn)容器，前述保管部保管前述容器，前述非活性氣體供給裝置將非活性氣體供給至被保管于前述保管部的前述容器的內(nèi)部，前述容器在底面部具備被連接部，前述保管部具備第1支承部，前述第1支承部將前述容器的前述底面部的第1被支承部從下方支承，前述非活性氣體供給裝置具備連接部，從前述連接部經(jīng)由前述被連接部向前述容器的內(nèi)部供給非活性氣體，前述連接部在前述容器被支承于前述第1支承部的狀態(tài)下，被連接于前述容器的前述被連接部，其特征在于，前述保管部構(gòu)成為，具備第2支承部和升降驅(qū)動(dòng)部，借助前述升降驅(qū)動(dòng)部，前述第2支承部升降，由此能夠改變成第1狀態(tài)和第2狀態(tài)，前述第2支承部從下方支承第2被支承部，前述第2被支承部是前述容器的前述底面部的與前述第1被支承部不同的部分，且是不存在前述被連接部的部分，前述升降驅(qū)動(dòng)部使前述第2支承部升降，將被前述第1支承部支承的前述容器的高度設(shè)為第1高度，將被以比前述第1高度高的高度支承的前述容器的高度設(shè)為第2高度，前述第1狀態(tài)為如下狀態(tài)，使前述第2支承部下降至比前述第1高度的前述容器的前述第2被支承部靠下方的位置，能夠?qū)⑶笆鋈萜鹘柚笆龅?支承部以前述第1高度支承，前述第2狀態(tài)為如下狀態(tài)，使前述第2被支承部上升至比前述第1高度的前述容器的前述第2被支承部靠上方的位置，能夠?qū)⑶笆鋈萜鹘柚笆龅?支承部以前述第2高度支承，前述非活性氣體供給裝置在如下高度具備前述連接部，前述高度為，前述保管部被改變成前述第1狀態(tài)的狀態(tài)下，前述連接部被連接于前述第1高度的前述容器的前述被連接部，前述保管部被改變成前述第2狀態(tài)的狀態(tài)下，前述連接部從前述第2高度的前述容器的前述被連接部向下方分離，在前述容器的前述底面部和前述連接部之間形成移載用空間，前述搬運(yùn)用移動(dòng)體具備第3支承部和突出退回驅(qū)動(dòng)部，前述第3支承部從下方支承第3被支承部，前述第3被支承部是前述容器的前述底面部的與前述第2被支承部不同的部分，前述突出退回驅(qū)動(dòng)部在前述搬運(yùn)用移動(dòng)體停止于移載用停止位置的狀態(tài)下，沿前述搬運(yùn)用移動(dòng)體和前述保管部排列的排列方向，使前述第3支承部進(jìn)行突出退回，前述移載用停止位置被設(shè)定于前述保管部的橫側(cè)方，前述第3支承部借助前述突出退回驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行突出退回移動(dòng)時(shí)的移動(dòng)軌跡為，在上下方向上觀察與前述連接部重疊，前述搬運(yùn)用移動(dòng)體借助前述突出退回驅(qū)動(dòng)部，使前述第3支承部進(jìn)行突出退回移動(dòng)，使前述第3支承部進(jìn)入前述第2狀態(tài)的前述保管部的前述移載用空間，以借助前述第3支承部支承前述容器的狀態(tài)，將前述容器從前述保管部取出，或以借助前述第2支承部支承前述容器的狀態(tài)，將前述容器保管于前述保管部。

根據(jù)該方案，在保管部具備第1支承部、第2支承部、升降驅(qū)動(dòng)部。第1支承部從下方支承容器的底面部的第1被支承部，第2支承部從下方支承容器的底面部的與第1被支承部不同的位置。因此，借助升降驅(qū)動(dòng)部使第2支承部升降，由此能夠?qū)⒈９懿康臓顟B(tài)改變?yōu)榈?狀態(tài)和第2狀態(tài)，前述第1狀態(tài)能夠借助第1支承部以第1高度支承容器，前述第2狀態(tài)能夠借助第2支承部以第2高度支承容器。

并且，在將保管部改變?yōu)榈?狀態(tài)的狀態(tài)下，在容器的被連接部處連接有非活性氣體供給裝置的連接部，所以能夠向容器的內(nèi)部供給非活性氣體。此外，在將保管部改變?yōu)榈?狀態(tài)的狀態(tài)下，在被第2支承部支承的容器和非活性氣體供給裝置的連接部之間，形成有移載用空間。因此，搬運(yùn)用移動(dòng)體的第3支承部借助突出退回驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行突出退回移動(dòng)時(shí)的移動(dòng)軌跡，在上下方向上觀察與連接部重合的情況下，也能夠進(jìn)行突出退回移動(dòng)，使第3支承部進(jìn)入移載用空間，由此，能夠在不與連接部干渉的情況下，使第3支承部進(jìn)行突出退回移動(dòng)。

因此，在設(shè)定第3支承部的形狀時(shí)，能夠在不考慮使第3支承部進(jìn)行突出退回移動(dòng)時(shí)與連接部的干渉的情況下，設(shè)定俯視形狀。因此，能夠在將非活性氣體供給裝置的連接部支承于保管部的第1支承部的同時(shí)，容易將第3支承部的形狀形成為能夠?qū)⑷萜鞣€(wěn)定性較好地支承的形狀。

因此，能夠提供如下容器搬運(yùn)設(shè)備，前述容器搬運(yùn)設(shè)備為，搬運(yùn)用移動(dòng)體能夠?qū)⑷萜鞯牡酌娌繌南路椒€(wěn)定性較好地支承，同時(shí)能夠向保管于保管部的容器供給非活性氣體。

附圖說明

圖1是容器搬運(yùn)設(shè)備的主視圖。

圖2是容器的仰視圖。

圖3是保管部的俯視圖。

圖4是表示第1狀態(tài)的保管部的側(cè)視圖。

圖5是表示第2狀態(tài)的保管部的側(cè)視圖。

圖6是容器搬運(yùn)車的側(cè)視圖。

圖7是第3支承部的俯視圖。

圖8是表示第3支承部位于退回位置且位于支承高度的狀態(tài)的圖。

圖9是表示第3支承部位于突出位置且位于支承高度的狀態(tài)的圖。

圖10是表示第3支承部位于突出位置且位于避讓高度的狀態(tài)的圖。

圖11是表示第3支承部位于退回位置且位于避讓高度的狀態(tài)的圖。

具體實(shí)施方式

以下，基于附圖，對(duì)容器搬運(yùn)設(shè)備的實(shí)施方式進(jìn)行說明。

如圖1所示，在容器搬運(yùn)設(shè)備上，具備容器搬運(yùn)車1、行進(jìn)軌道2、保管部3、氮?dú)夤┙o裝置4。行進(jìn)軌道2被沿行進(jìn)路徑（移動(dòng)路徑）設(shè)置，被懸吊支承于頂棚。容器搬運(yùn)車1沿移動(dòng)路徑在行進(jìn)軌道2上行進(jìn)，搬運(yùn)容器w。該容器搬運(yùn)車1相當(dāng)于沿移動(dòng)路徑移動(dòng)來搬運(yùn)容器w的搬運(yùn)用移動(dòng)體。保管部3被懸吊支承于頂棚，構(gòu)成為能夠保管一個(gè)容器w。氮?dú)夤┙o裝置4向被保管于保管部3的容器w的內(nèi)部供給氮?dú)庾鳛榉腔钚詺怏w。該氮?dú)夤┙o裝置4相當(dāng)于供給非活性氣體的非活性氣體供給裝置。

以下，在容器搬運(yùn)車1停止于被設(shè)定在保管部3的橫側(cè)方的移載用停止位置的狀態(tài)下，將容器搬運(yùn)車1和保管部3排列的方向稱作排列方向x。此外，從上下方向觀察，將相對(duì)于排列方向x正交的方向稱作寬度方向y。

并且，在容器搬運(yùn)車1停止于保被設(shè)定在管部3的橫側(cè)方的移載用停止位置的狀態(tài)下，將在排列方向x上保管部3相對(duì)于容器搬運(yùn)車1存在的方向稱作第1方向x1，將其相反方向稱作第2方向x2。

容器w能夠收納多張基板，且拆裝自如地裝備有覆蓋基板的出入口的蓋（圖中未示出）。在本實(shí)施方式中，將基板設(shè)為半導(dǎo)體晶片，將該收納半導(dǎo)體晶片的前端開啟式晶圓傳送盒（foup，frontopeningunifiedpod）設(shè)為容器。

容器搬運(yùn)車1將容器w搬運(yùn)至保管部3，將容器w保管于保管部3，并且將被保管于保管部3的容器w從保管部3取出來搬運(yùn)。

保管部3被設(shè)置于容器搬運(yùn)車1的行進(jìn)路徑（移動(dòng)路徑）的橫側(cè)方，沿寬度方向y設(shè)置多個(gè)。

〔容器〕

如圖2所示，在容器w上，具備將形成于前面部9的基板出入用的基板出入口關(guān)閉的拆裝自如的蓋體（圖中未示出）。容器w在前方朝向第1方向x1、后方朝向第2方向x2的狀態(tài)下，被保管于保管部3。另外，容器w的說明的寬度方向y及排列方向x，基于在保管部3處保管有容器w的狀態(tài)來確定方向。

如圖2所示，在容器w的底面部10，具備向上方凹入的3個(gè)槽狀的凹部11。該3個(gè)凹部11形成為，以底面基準(zhǔn)位置p為中心，凹部11的長度方向呈放射狀。此外，3個(gè)凹部11的每一個(gè)都形成為越向上方越細(xì)的末端尖細(xì)形狀，凹部11的內(nèi)側(cè)面形成為傾斜面。另外，3個(gè)凹部11相當(dāng)于容器w具備的被卡合部。此外，與底面基準(zhǔn)位置p相比位于第1方向x1側(cè)的兩個(gè)凹部11相當(dāng)于，與第2被連接部12b相比被在第1方向x1側(cè)、且具有在排列方向x上觀察與第2被連接部12b重疊的部分的凹部11。

容器w在底面部10具備4個(gè)被連接部12。容器w具備一對(duì)第1被連接部12a和一對(duì)第2被連接部12b作為被連接部12，前述一對(duì)第1被連接部12a在上下方向上觀察，與容器w的中心相比位于第1方向x1側(cè)（前方側(cè)），前述一對(duì)第2被連接部12b在上下方向上觀察，與容器w的中心相比位于第2方向x2側(cè)（后方側(cè)）。

一對(duì)第1被連接部12a配置成在寬度方向y（容器w的左右方向）上排列，在寬度方向y上觀察，一對(duì)第1被連接部12a重疊。一對(duì)第2被連接部12b也與一對(duì)第1被連接部12a同樣，配置成在寬度方向y（容器w的左右方向）上排列，在寬度方向y上觀察，一對(duì)第2被連接部12b重疊。

一對(duì)第2被連接部12b的設(shè)置間隔比一對(duì)第1被連接部12a的設(shè)置間隔窄，一對(duì)第2被連接部12b在寬度方向y上被設(shè)置于一對(duì)第1被連接部12a之間。

一對(duì)第1被連接部12a的一方是供氣部12i，一對(duì)第1被連接部12a的另一方是排氣部12o。一對(duì)第2被連接部12b二者是供氣部12i。

供氣部12i是用于將從氮?dú)夤┙o裝置4的供氣用連接部24i排出的非活性氣體向容器w的內(nèi)部供氣的部分，在供氣部12i處，裝備有供氣用開閉閥（圖中未示出）。排氣部12o是用于將容器w的內(nèi)部的氣體排出的部分，在該排氣部12o處，具備排氣用開閉閥（圖中未示出）。即，容器w構(gòu)成為，通過將基板出入口用蓋體關(guān)閉，將3個(gè)供氣部12i及1個(gè)排氣部12o用開閉閥關(guān)閉，來具有氣密性。

供氣部12i的供氣用開閉閥被彈簧等施力件（付勢(shì)體）施力成關(guān)閉狀態(tài)，在氮?dú)夤┙o裝置4的供氣用連接部24i被連接于供氣部12i的狀態(tài)下，若氮?dú)鈴脑摴庥眠B接部24i噴出，則借助該噴出的氮?dú)獾膱R力，供氣用開閉閥被進(jìn)行打開操作，氮?dú)獗还┙o至容器w的內(nèi)部。

此外，排氣部12o的排氣用開閉閥被彈簧等施力件施力成關(guān)閉狀態(tài)，若由于氮?dú)夤┙o裝置4的氮?dú)獾墓┙o，容器w的內(nèi)部的圧力升高，則借助該圧力，排氣用開閉閥被進(jìn)行打開操作，容器w的內(nèi)部的氣體被排氣。

在容器w的底面部10處，將借助保管部3的第1支承部17從下方支承的部分設(shè)為第1被支承部13。此外，在容器w的底面部10處，將借助保管部3的第2支承部18從下方支承的部分設(shè)為第2被支承部14。此外，在容器w的底面部10處，將借助容器搬運(yùn)車1的第3支承部37從下方支承的部分設(shè)為第3被支承部15。

關(guān)于第1被支承部13及第3被支承部15，將凹部11以其長度方向的中心進(jìn)行二分，將該凹部11的二分的兩個(gè)部分的接近底面基準(zhǔn)位置p的部分設(shè)為第3被支承部15，將凹部11的余下的部分設(shè)為第1被支承部13。此外，在容器w的底面部10處，將相對(duì)于一對(duì)第1被連接部12a在寬度方向y上的外側(cè)的部分設(shè)為第2被支承部14。

這樣，容器w的第2被支承部14是與容器w的第1被支承部13不同的部分，且是不存在被連接部12的部分。此外，容器w的第3被支承部15是與容器w的第1被支承部13、第2被支承部14不同的部分，且是不存在被連接部12的部分。

〔保管部〕

如圖3至圖5所示，保管部3具備第1支承部17、第2支承部18、基部19。

第1支承部17及基部19設(shè)置成，借助被連接于頂棚的支承部件被從頂棚懸吊支承而相對(duì)于頂棚呈固定狀態(tài)。第1支承部17具備第1基板17a和3個(gè)第1卡合部17b，前述第1基板17a為板狀，前述3個(gè)第1卡合部17b從該第1基板17a向上方突出。

并且，第1支承部17在3個(gè)第1卡合部17b卡合于容器w的3個(gè)凹部11的狀態(tài)下，借助這3個(gè)第1卡合部17b，將容器w的第1被支承部13從下方支承。這樣，第1支承部17將容器w的底面部10的第1被支承部13從下方支承。

第2支承部18在沿上下方向能夠移動(dòng)的狀態(tài)下，被設(shè)置于保管部3。第2支承部18由在排列方向x上延伸的一對(duì)棒狀的支承體18a構(gòu)成。一對(duì)支承體18a設(shè)置成，在上下方向上觀察，相對(duì)于第1支承部17分為寬度方向y的兩側(cè)。并且，第2支承部18借助一對(duì)支承體18a，將容器w的底面部10的第2被支承部14從下方支承。這樣，第2支承部18將容器w的底面部10的第2被支承部14從下方支承。

基部19具備升降馬達(dá)19a，前述升降馬達(dá)19a作為使一對(duì)支承體18a一體地升降而使第2支承部18升降的升降驅(qū)動(dòng)部。通過升降馬達(dá)19a的驅(qū)動(dòng)，使一對(duì)支承體18a（第2支承部18）升降至避讓高度（圖4所示的高度）和比該避讓高度高的支承高度（圖5所示的高度）。該升降馬達(dá)19a被相對(duì)于第1支承部17設(shè)置于第1方向x1側(cè)。

如圖4及圖5所示，保管部3構(gòu)成為，第2支承部18借助升降馬達(dá)19a升降，由此能夠改變?yōu)榈?狀態(tài)（圖4所示的狀態(tài)）和第2狀態(tài)（圖5所示的狀態(tài)）。

接著，對(duì)保管部3的第1狀態(tài)和第2狀態(tài)進(jìn)行說明，將被第1支承部17支承的容器w的高度設(shè)為第1高度（圖4に示す高度），將以比第1高度高的高度支承的容器w的高度設(shè)為第2高度（圖5所示的高度）來說明。

如圖4所示，第1狀態(tài)是使第2支承部18下降至避讓高度的狀態(tài)。在該第1狀態(tài)下，第2支承部18下降至比第1高度的容器w的第2被支承部14靠下方的位置，為能夠借助第1支承部17將容器w在第1高度支承的狀態(tài)。

如圖5所示，第2狀態(tài)是使第2支承部18上升至支承高度的狀態(tài)。在該第2狀態(tài)下，第2被支承部14上升至比第1高度的容器w的第2被支承部14靠上方的位置，為能夠借助第2支承部18將容器w以第2高度支承的狀態(tài)。

若加以說明，則在第1狀態(tài)下，第2支承部18位于避讓高度，被保管于保管部3的容器w被第1支承部17以第1高度支承。此外，第2支承部18相對(duì)于容器w的第2被支承部14向下方離開。

在通過從該狀態(tài)使第2支承部18上升，而第2支承部18從避讓高度上升至支承高度的途中，第2支承部18接觸容器w的第2被支承部14。并且，使第2支承部18上升至支承高度，使保管部3改變?yōu)榈?狀態(tài)，由此被支承于第1支承部17的容器w被第2支承部18以第2高度支承，第1支承部17相對(duì)于容器w的第1被支承部13向下方離開。

此外，在第2狀態(tài)下，第2支承部18位于支承高度，被保管于保管部3的容器w被第2支承部18以第2高度支承。此外，第1支承部17相對(duì)于容器w的第1被支承部13向下方離開。

通過從該狀態(tài)使第2支承部18下降，而第2支承部18從支承高度下降至避讓高度的途中，第1支承部17接觸容器w的第1被支承部13（第1支承部17的3個(gè)第1卡合部17b卡合于容器w的3個(gè)凹部11），被支承于第2支承部18的容器w被第1支承部17以第1高度支承。并且，使第2支承部18下降至避讓高度，使保管部3改變?yōu)榈?狀態(tài)，由此第2支承部18相對(duì)于容器w的第2被支承部14向下方離開。

順便說明，第1支承部17接觸容器w的第1被支承部13而將容器w支承時(shí)，第1支承部17的3個(gè)第1卡合部17b從下方卡合于容器w的3個(gè)凹部11。這樣，第1支承部17卡合于容器w時(shí)，在被支承于第1支承部17的容器w相對(duì)于第1支承部17的適當(dāng)支承位置在水平方向上偏離的情況下，第1卡合部17b被引導(dǎo)至が凹部11的內(nèi)側(cè)面，容器w在水平方向上移動(dòng)，容器w的水平方向上的位置被修正為第1支承部17的適當(dāng)支承位置。

〔氮?dú)夤┙o裝置〕

如圖1及圖3所示，氮?dú)夤┙o裝置4相對(duì)于1個(gè)保管部3設(shè)置有1個(gè)，各個(gè)氮?dú)夤┙o裝置4具備3個(gè)供氣用連接部24i、1個(gè)排氣用連接部24o、被連接于3個(gè)供氣用連接部24i的配管23。

3個(gè)供氣用連接部24i以容器w在被支承于第1支承部17的狀態(tài)下，被連接于容器w的3個(gè)供氣部12i的方式，被支承于第1支承部17。1個(gè)排氣用連接部24o以容器w在被支承于第1支承部17的狀態(tài)下，被連接于容器w的1個(gè)排氣部12o的方式，被支承于第1支承部17。

這樣，在氮?dú)夤┙o裝置4上，相對(duì)于1個(gè)保管部3，具備4個(gè)連接部24（3個(gè)供氣用連接部24i和1個(gè)排氣用連接部24o），前述連接部24在容器w被支承于1支承部17的狀態(tài)下，被連接于容器w的被連接部12。另外，將4個(gè)連接部24的、被連接于容器w的第1被連接部12a的兩個(gè)連接部24稱作第1連接部24a，將被連接于容器w的第2被連接部12b的兩個(gè)連接部24稱作第2連接部24b。

氮?dú)夤┙o裝置4使來自供給源（圖中未示出）的氮?dú)庠谂涔?3的內(nèi)部流通，將氮?dú)夤┙o至3個(gè)供氣用連接部24i，將該供給的氮?dú)鈴?個(gè)供氣用連接部24i經(jīng)由3個(gè)供氣部12i供給至容器w的內(nèi)部。這樣，氮?dú)夤┙o裝置4從4個(gè)連接部24的一部分，經(jīng)由4個(gè)被連接部12的一部分，向容器w的內(nèi)部供給氮?dú)狻?/p>

氮?dú)夤┙o裝置4的連接部24在如圖4所示地保管部3改變?yōu)榈?狀態(tài)的狀態(tài)下，被連接于第1高度的容器w的被連接部12，在如圖5所示地保管部3改變?yōu)榈?狀態(tài)的狀態(tài)下，設(shè)置于連接部24從第2高度的容器w的被連接部12向下方分離的高度。

在保管部3被改變?yōu)榈?狀態(tài)的狀態(tài)下，在容器w的底面部10和氮?dú)夤┙o裝置4的連接部24之間，形成移載用空間s。

在保管部3處，具備存在與否傳感器25，前述存在與否傳感器25檢測(cè)是否存在被第1支承部17支承的容器w。氮?dú)夤┙o裝置4構(gòu)成為，基于存在與否傳感器25的檢測(cè)信息，切換為從供氣用連接部24i噴出氮?dú)獾臓顟B(tài)和不噴出氮?dú)獾臓顟B(tài)。

〔容器搬運(yùn)車〕

如圖6所示，容器搬運(yùn)車1具備行進(jìn)部31和主體部32，前述行進(jìn)部31在被支承于頂棚的行進(jìn)軌道2上行進(jìn)，前述主體部32以位于行進(jìn)軌道2的下方的方式被懸吊支承于行進(jìn)部31。

在行進(jìn)部31上，具備在行進(jìn)軌道2的上表面滾動(dòng)的驅(qū)動(dòng)輪34、將驅(qū)動(dòng)輪34旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的行進(jìn)用馬達(dá)35。并且，行進(jìn)部31構(gòu)成為，借助行進(jìn)用馬達(dá)35使驅(qū)動(dòng)輪34旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，由此行進(jìn)部31沿行進(jìn)路徑（移動(dòng)路徑）行進(jìn)。

主體部32具備第3支承部37、升降操作機(jī)構(gòu)38、突出退回操作機(jī)構(gòu)39、罩體40，前述第3支承部37將容器w的底面部10從下方支承，前述升降操作機(jī)構(gòu)38使第3支承部37升降移動(dòng)，前述突出退回操作機(jī)構(gòu)39使升降操作機(jī)構(gòu)38及第3支承部37在排列方向x上移動(dòng)，前述罩體40覆蓋由第3支承部37支承的容器w的上下方向的兩側(cè)及寬度方向y的兩側(cè)。

第3支承部37具備第3基部37a和3個(gè)第3卡合部37b，前述第3基部37a是板狀的，前述3個(gè)第3卡合部37b從該第3基部37a向上方突出。并且，第3支承部37在3個(gè)第3卡合部37b卡合于容器w的3個(gè)凹部11的狀態(tài)下，借助這3個(gè)第3卡合部37b，將容器w的第3被支承部15從下方支承。這樣，第3支承部37將容器w的底面部10的與第1被支承部13、第2被支承部14不同的第3被支承部15從下方支承。另外，第3卡合部37b相當(dāng)于具備第3支承部37的卡合部。

升降操作機(jī)構(gòu)38具備升降用桿機(jī)構(gòu)38a，前述升降用桿機(jī)構(gòu)38a借助升降用馬達(dá)（圖中未示出）的驅(qū)動(dòng)，在上下方向上伸縮。在升降用桿機(jī)構(gòu)38a的上端部連結(jié)有第3支承部37，在升降用桿機(jī)構(gòu)38a的下端部連結(jié)有中轉(zhuǎn)部41。

升降操作機(jī)構(gòu)38借助升降用馬達(dá)使升降用桿機(jī)構(gòu)38a在上下方向上伸縮，由此第3支承部37升降至上升高度（圖8及圖9所示的高度）和比該上升高度高度低的下降高度（圖10及圖11所示的高度）。

突出退回操作機(jī)構(gòu)39具備伸縮用桿機(jī)構(gòu)39a，前述伸縮用桿機(jī)構(gòu)39a借助伸縮用馬達(dá)（圖中未示出）的驅(qū)動(dòng)，在排列方向x上伸縮。在伸縮用桿機(jī)構(gòu)39a的末端部，連結(jié)有中轉(zhuǎn)部41，在伸縮用桿機(jī)構(gòu)39a的基端部被連結(jié)于罩體40。

突出退回操作機(jī)構(gòu)39借助伸縮用馬達(dá)使伸縮用桿機(jī)構(gòu)39a伸縮，由此使第3支承部37在排列方向x上移動(dòng)，移動(dòng)至退回位置（圖8及圖11所示的位置）和突出位置（圖9及圖10所示的位置），前述退回位置（圖8及圖11所示的位置）為，第3支承部37位于罩體40的內(nèi)部的位置，前述突出位置（圖9及圖10所示的位置）為，第3支承部37從罩體40的內(nèi)部向排列方向x的一側(cè)（第1方向x1側(cè)）突出的位置。另外，突出退回操作機(jī)構(gòu)39相當(dāng)于，沿排列方向x使第3支承部37突出退回的突出退回驅(qū)動(dòng)部。

如圖7所示，第3支承部37從上下方向觀察形成為矩形。第3支承部37的寬度方向y的大小為，比一對(duì)第1被連接部12a的寬度方向y的間隔小，且比一對(duì)第2被連接部12b的寬度方向y的間隔大。此外，第3支承部37構(gòu)成為，借助第3卡合部37b，支承容器w的底面部10的一對(duì)第1被連接部12a之間的部分，并且在上下方向觀察，在第3基部37a與一對(duì)第2被連接部12b重疊的狀態(tài)下，支承容器w。

在第3支承部37位于退回位置的狀態(tài)下，第3支承部37的末端（第3支承部37的第1方向x1側(cè)端）與保管部3的第1支承部17的末端（第1支承部17的第2方向x2側(cè)端）或第2支承部18的末端（第2支承部18的第2方向x2側(cè)端）相比位于第2方向x2側(cè)。

此外，在第3支承部37位于突出位置的狀態(tài)下，第3支承部37的末端與保管部3的第1支承部17的末端或第2支承部18的末端相比，位于第1方向x1側(cè)，該第3支承部37的末端不僅與一對(duì)第2連接部24b相比位于第1方向x1側(cè)，與一對(duì)第1連接部24a相比也位于第1方向x1側(cè)。

第3支承部37形成為，在位于突出位置的狀態(tài)下，至少與一對(duì)第2連接部24b相比位于第1方向x1側(cè)的部分的一部分，比一對(duì)第2連接部24b的寬度方向y的間隔大。因此，第3支承部37借助突出退回操作機(jī)構(gòu)39進(jìn)行突出退回移動(dòng)時(shí)的移動(dòng)軌跡在上下方向上觀察與連接部24（第2連接部24b）重疊。

在容器搬運(yùn)車1及保管部3的每一個(gè)上具備控制部和通信部。容器搬運(yùn)車1的控制部控制容器搬運(yùn)車1的行進(jìn)部31、主體部32，保管部3的控制部控制升降馬達(dá)19a。此外，容器搬運(yùn)車1的通信部和保管部3的通信部構(gòu)成為能夠互相互發(fā)送接收信息。

對(duì)在容器搬運(yùn)設(shè)備中，容器搬運(yùn)車1將容器w保管于保管部3的情況進(jìn)行說明。

如圖8所示，容器搬運(yùn)車1支承有容器w，將容器w以上升高度支承。此外，保管部3不保管容器w，呈第2狀態(tài)。

使支承容器w的容器搬運(yùn)車1行進(jìn)至與保管對(duì)象的保管部3對(duì)應(yīng)的移載用停止位置。并且，在使容器搬運(yùn)車1停止于移載用停止位置，且保管部3改變?yōu)榈?狀態(tài)的狀態(tài)下，如圖9所示，在使第3支承部37從退回位置向突出位置突出之后，如圖10所示，使第3支承部37從上升高度向下降高度下降，將容器w從第3支承部37上向第2支承部18上移載，之后，如圖11所示，使第3支承部37從突出位置退回至退回位置。

保管部3如圖5所示，使第2支承部18從支承高度下降至退回高度，從第2狀態(tài)改變?yōu)榈?狀態(tài)，使容器w從第2支承部18上移載至第1支承部17上。此外，若在保管部3中，借助存在與否傳感器25檢測(cè)到在第1支承部17上存在容器w，則開始氮?dú)夤┙o裝置4的氮?dú)獾墓┙o。

接著，在容器搬運(yùn)設(shè)備中，對(duì)將被保管于保管部3的容器w從容器搬運(yùn)車1取出的情況進(jìn)行說明。

如圖11所示，使未支承容器w的容器搬運(yùn)車1行進(jìn)至與取出對(duì)象的保管部3對(duì)應(yīng)的移載用停止位置。此外，使第2支承部18從避讓高度上升至支承高度，將保管部3從第1狀態(tài)改變至第2狀態(tài)，使容器w從第1支承部17上移載至第2支承部18上。此外，若在保管部3中，未借助存在與否傳感器25檢測(cè)到在第1支承部17上存在容器w，則氮?dú)夤┙o裝置4的氮?dú)獾墓┙o停止。

并且，在使容器搬運(yùn)車1停止于移載用停止位置，且保管部3改變?yōu)榈?狀態(tài)的狀態(tài)下，如圖10所示，使第3支承部37從退回位置突出至突出位置后，如圖9所示，使第3支承部37從下降高度上升至上升高度，使容器w從第2支承部18上移載至第3支承部37上，之后，如圖8所示使第3支承部37從突出位置退回至退回位置。

這樣，容器搬運(yùn)車1借助伸縮用馬達(dá)使第3支承部37進(jìn)行突出退回移動(dòng)，使第3支承部37進(jìn)入第2狀態(tài)的保管部3的移載用空間s，以將容器w借助第3支承部37支承的狀態(tài)，將容器w從保管部3取出，此外，以將容器w借助第2支承部18支承的狀態(tài)，將容器w保管于保管部3。

并且，在將保管部3改變?yōu)榈?狀態(tài)的狀態(tài)下，在容器w的被連接部12上連接氮?dú)夤┙o裝置4的連接部24，所以能夠?qū)⒌獨(dú)夤┙o至容器w的內(nèi)部。此外，在將保管部3改變?yōu)榈?狀態(tài)的狀態(tài)下，在容器w和連接部24之間形成移載用空間s，所以以使第3支承部37進(jìn)入該移載用空間s的方式，使第3支承部37進(jìn)行突出退回移動(dòng)，由此能夠?qū)⑷萜鱳從保管部3取出，及將容器w保管于保管部3。

〔其他實(shí)施方式〕

（1）在上述實(shí)施方式中，將第3支承部37在上下方向上觀察形成為矩形，但作為第3支承部37的形狀，借助突出退回驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行突出退回移動(dòng)時(shí)的移動(dòng)軌跡從上下方向觀察，為與連接部24重疊的形狀即可。具體地，例如，可以在位于突出位置的狀態(tài)下，將比第2連接部24b靠末端側(cè)的部分形成為，比一對(duì)第2連接部24b的寬度方向y的間隔的寬度大，將與第2連接部24b在排列方向x上相同的部分或比第2連接部24b靠基端側(cè)的部分形成為，比一對(duì)第2連接部24b的寬度方向y的間隔的寬度小，將第3支承部37在上下方向上觀察形成為t字形。

（2）在上述實(shí)施方式中，具備4個(gè)連接部24，但也可以適當(dāng)改變連接部24的個(gè)數(shù)，也可以具備3個(gè)以下的連接部24，此外，也可以具備5個(gè)以上的連接部24。

具體地，作為連接部24，可以僅具備一對(duì)第2連接部24b。此外，作為連接部24，可以僅具備3個(gè)供氣用連接部24i。

（3）在上述實(shí)施方式中，將升降驅(qū)動(dòng)部（升降馬達(dá)19a）相對(duì)于第1支承部17設(shè)置于第1方向x1側(cè)，但也可以將升降驅(qū)動(dòng)部相對(duì)于第1支承部17設(shè)置成在寬度方向y上排列。

（4）在上述實(shí)施方式中，借助第1支承部17和第3支承部37將容器w的底面部10的不同的部分從下方支承，但也可以借助第1支承部17和第3支承部37將容器w的底面部10的相同的部分從下方支承。此外，也可以借助第3支承部37，將容器w的底面部10的被連接部12從下方支承。

（5）在上述實(shí)施方式中，借助搬運(yùn)用移動(dòng)體（容器搬運(yùn)車1），進(jìn)行將容器w從保管部3取出和將容器w保管于保管部3二者，但也可以，借助搬運(yùn)用移動(dòng)體，僅進(jìn)行將容器w從保管部3取出和將容器w保管于保管部3的某一方。

（6）在上述實(shí)施方式中，將容器w設(shè)為收納半導(dǎo)體基板的前端開啟式晶圓傳送盒，但容器的形狀、收納于容器的收納物也可以適當(dāng)?shù)馗淖儯?，也可以將容器設(shè)為容納箱，將收納物設(shè)為食品。此外，作為非活性氣體，除了氮?dú)庖酝庖部梢允菤鍤獾取?/p>

（7）在上述實(shí)施方式中，將搬運(yùn)用移動(dòng)體設(shè)置成具備行進(jìn)部31和主體部32的容器搬運(yùn)車1（頂棚搬運(yùn)車），前述行進(jìn)部31在行進(jìn)軌道2上行進(jìn)，前述主體部32在行進(jìn)軌道2的下方支承容器w，但搬運(yùn)用移動(dòng)體也可以設(shè)置成在行進(jìn)軌道上行進(jìn)且在行進(jìn)軌道的上方支承容器的容器搬運(yùn)車，此外，也可以是堆垛起重機(jī)。

〔上述實(shí)施方式的概要〕

以下，對(duì)在上述記載中說明的容器搬運(yùn)設(shè)備的概要進(jìn)行說明。

容器搬運(yùn)設(shè)備具備搬運(yùn)用移動(dòng)體、保管部、非活性氣體供給裝置，前述搬運(yùn)用移動(dòng)體沿移動(dòng)路徑移動(dòng)來搬運(yùn)容器，前述保管部保管前述容器，前述非活性氣體供給裝置將非活性氣體供給至被保管于前述保管部的前述容器的內(nèi)部，前述容器在底面部具備被連接部，前述保管部具備第1支承部，前述第1支承部將前述容器的前述底面部的第1被支承部從下方支承，前述非活性氣體供給裝置具備連接部，從前述連接部經(jīng)由前述被連接部向前述容器的內(nèi)部供給非活性氣體，前述連接部在前述容器被支承于前述第1支承部的狀態(tài)下，被連接于前述容器的前述被連接部，其特征在于，前述保管部構(gòu)成為，具備第2支承部和升降驅(qū)動(dòng)部，借助前述升降驅(qū)動(dòng)部，前述第2支承部升降，由此能夠改變成第1狀態(tài)和第2狀態(tài)，前述第2支承部從下方支承第2被支承部，前述第2被支承部是前述容器的前述底面部的與前述第1被支承部不同的部分，且是不存在前述被連接部的部分，前述升降驅(qū)動(dòng)部使前述第2支承部升降，將被前述第1支承部支承的前述容器的高度設(shè)為第1高度，將被以比前述第1高度高的高度支承的前述容器的高度設(shè)為第2高度，前述第1狀態(tài)為如下狀態(tài)，使前述第2支承部下降至比前述第1高度的前述容器的前述第2被支承部靠下方的位置，能夠?qū)⑶笆鋈萜鹘柚笆龅?支承部以前述第1高度支承，前述第2狀態(tài)為如下狀態(tài)，使前述第2被支承部上升至比前述第1高度的前述容器的前述第2被支承部靠上方的位置，能夠?qū)⑶笆鋈萜鹘柚笆龅?支承部以前述第2高度支承，前述非活性氣體供給裝置在如下高度具備前述連接部，前述高度為，前述保管部被改變成前述第1狀態(tài)的狀態(tài)下，前述連接部被連接于前述第1高度的前述容器的前述被連接部，前述保管部被改變成前述第2狀態(tài)的狀態(tài)下，前述連接部從前述第2高度的前述容器的前述被連接部向下方分離，在前述容器的前述底面部和前述連接部之間形成移載用空間，前述搬運(yùn)用移動(dòng)體具備第3支承部和突出退回驅(qū)動(dòng)部，前述第3支承部從下方支承第3被支承部，前述第3被支承部是前述容器的前述底面部的與前述第2被支承部不同的部分，前述突出退回驅(qū)動(dòng)部在前述搬運(yùn)用移動(dòng)體停止于移載用停止位置的狀態(tài)下，沿前述搬運(yùn)用移動(dòng)體和前述保管部排列的排列方向，使前述第3支承部進(jìn)行突出退回，前述移載用停止位置被設(shè)定于前述保管部的橫側(cè)方，前述第3支承部借助前述突出退回驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行突出退回移動(dòng)時(shí)的移動(dòng)軌跡為，在上下方向上觀察與前述連接部重疊，前述搬運(yùn)用移動(dòng)體借助前述突出退回驅(qū)動(dòng)部，使前述第3支承部進(jìn)行突出退回移動(dòng)，使前述第3支承部進(jìn)入前述第2狀態(tài)的前述保管部的前述移載用空間，以借助前述第3支承部支承前述容器的狀態(tài)，將前述容器從前述保管部取出，或以借助前述第2支承部支承前述容器的狀態(tài)，將前述容器保管于前述保管部。

根據(jù)該方案，在保管部具備第1支承部、第2支承部、升降驅(qū)動(dòng)部。第1支承部從下方支承容器的底面部的第1被支承部，第2支承部從下方支承容器的底面部的與第1被支承部不同的位置。因此，借助升降驅(qū)動(dòng)部使第2支承部升降，由此能夠?qū)⒈９懿康臓顟B(tài)改變?yōu)榈?狀態(tài)和第2狀態(tài)，前述第1狀態(tài)能夠借助第1支承部以第1高度支承容器，前述第2狀態(tài)能夠借助第2支承部以第2高度支承容器。

并且，在將保管部改變?yōu)榈?狀態(tài)的狀態(tài)下，在容器的被連接部處連接有非活性氣體供給裝置的連接部，所以能夠向容器的內(nèi)部供給非活性氣體。此外，在將保管部改變?yōu)榈?狀態(tài)的狀態(tài)下，在被第2支承部支承的容器和非活性氣體供給裝置的連接部之間，形成有移載用空間。因此，搬運(yùn)用移動(dòng)體的第3支承部借助突出退回驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行突出退回移動(dòng)時(shí)的移動(dòng)軌跡，在上下方向上觀察與連接部重合的情況下，也能夠進(jìn)行突出退回移動(dòng)，使第3支承部進(jìn)入移載用空間，由此，能夠在不與連接部干渉的情況下，使第3支承部進(jìn)行突出退回移動(dòng)。

因此，在設(shè)定第3支承部的形狀時(shí)，能夠在不考慮使第3支承部進(jìn)行突出退回移動(dòng)時(shí)與連接部的干渉的情況下，設(shè)定俯視形狀。因此，能夠在將非活性氣體供給裝置的連接部支承于保管部的第1支承部的同時(shí)，容易將第3支承部的形狀形成為能夠?qū)⑷萜鞣€(wěn)定性較好地支承的形狀。

因此，能夠提供如下容器搬運(yùn)設(shè)備，前述容器搬運(yùn)設(shè)備為，搬運(yùn)用移動(dòng)體能夠?qū)⑷萜鞯牡酌娌繌南路椒€(wěn)定性較好地支承，同時(shí)能夠向保管于保管部的容器供給非活性氣體。

這里，優(yōu)選的是，在前述排列方向上，將前述保管部相對(duì)于前述搬運(yùn)用移動(dòng)體存在的方向設(shè)為第1方向，前述第3支承部具備卡合部，前述容器在前述底面部的比前述被連接部靠前述第1方向側(cè)，具備供前述卡合部在上下方向上卡合的被卡合部，前述被卡合部具有在前述排列方向觀察與前述被連接部重疊的部分。

根據(jù)該方案，被卡合部被設(shè)置成與比被連接部相比位于第1方向側(cè)的位置，該被卡合部具有在排列方向上觀察與被連接部重疊的部分。被連接部和被卡合部在這樣的位置關(guān)系的情況下，第3支承部進(jìn)行突出退回移動(dòng)時(shí)的第3支承部的卡合部的移動(dòng)軌跡，在上下方向上觀察與連接部重疊。但是，通過將保管部改變?yōu)榈?狀態(tài)來使容器保管于保管部或?qū)⑷萜鲝谋９懿咳〕?，能夠在?支承部不與連接部干渉的情況下保管容器或取出容器。

此外，優(yōu)選的是，將在上下方向上觀察時(shí)相對(duì)于前述排列方向正交的方向設(shè)為寬度方向，前述容器以在前述寬度方向上排列的狀態(tài)具備至少一對(duì)前述被連接部，前述第3支承部的前述寬度方向的大小為，比一對(duì)前述被連接部的前述寬度方向的間隔大。

根據(jù)該方案，第3支承部的寬度方向的大小形成為，比一對(duì)被連接部的寬度方向的間隔大，所以能夠在寬度方向上以較寬的間隔支承容器，所以借助第3支承部，容易將容器穩(wěn)定性較好地支承。

這樣將第3支承部在寬度方向上形成為寬度較寬的情況下，第3支承部的移動(dòng)軌跡在上下方向上觀察，與一對(duì)連接部的至少一方重疊，但通過將保管部改變?yōu)榈?狀態(tài)來進(jìn)行容器的保管或取出，能夠在第3支承部不與連接部干渉的情況下，進(jìn)行容器的保管或取出。

此外，優(yōu)選的是，在前述排列方向上，將前述保管部相對(duì)于前述搬運(yùn)用移動(dòng)體存在的方向設(shè)為第1方向，將與前述第1方向相反的方向設(shè)為第2方向，并且將在上下方向上觀察相對(duì)于前述排列方向正交的方向設(shè)為寬度方向，前述容器具備一對(duì)第1被連接部和一對(duì)第2被連接部作為前述被連接部，前述一對(duì)第1被連接部在上下方向上觀察，位于比前述容器的中心靠前述第1方向側(cè)的位置，前述一對(duì)第2被連接部位于在上下方向上觀察比前述容器的中心靠前述第2方向側(cè)的位置，前述一對(duì)第1被連接部配置成在前述寬度方向上排列，前述一對(duì)第2被連接部在前述寬度方向上，配置在前述一對(duì)第1被連接部之間，前述第3支承部將前述容器的前述底面部的前述一對(duì)第1被連接部之間的部分支承。

根據(jù)該方案，一對(duì)第2被連接部與一對(duì)第1被支承部相比，在寬度方向上以較窄間隔設(shè)置。并且，移載用停止位置相對(duì)于保管部被設(shè)定于第2方向側(cè)，搬運(yùn)用移動(dòng)體從第2方向側(cè)，將容器保管于保管部，前述容器的底面部的一對(duì)第1被連接部之間的部分被第3支承部支承，或以將一對(duì)第1被連接部之間的部分用第3支承部支承的方式，將容器從保管部取出。此時(shí)，與容器的中心相比位于第2方向側(cè)且在寬度方向上較窄的一對(duì)第2被連接部容易成為妨礙。因此，通過將保管部變更為第2狀態(tài)來將容器保管于保管部或?qū)⑷萜鲝谋９懿咳〕?，在?支承部不與一對(duì)第2連接部干渉的情況下，進(jìn)行容器的保管或取出。

此外，優(yōu)選的是，在前述排列方向上，將前述保管部相對(duì)于前述搬運(yùn)用移動(dòng)體存在的方向設(shè)為第1方向，前述升降驅(qū)動(dòng)部被相對(duì)于前述第1支承部設(shè)置于前述第1方向側(cè)。

根據(jù)該方案，通過將升降驅(qū)動(dòng)部和第1支承部在排列方向上排列來設(shè)置，與將升降驅(qū)動(dòng)部和第1支承部在移動(dòng)路徑延伸的方向上排列來設(shè)置的情況相比，容易將保管部在移動(dòng)路徑延伸的方向上緊湊地構(gòu)成。因此，容易將保管部沿移動(dòng)路徑排列多個(gè)地設(shè)置。

附圖標(biāo)記說明

1　　容器搬運(yùn)車（搬運(yùn)用移動(dòng)體）

3　　保管部

4　　氮?dú)夤┙o裝置（非活性氣體供給裝置）

10　底面部

11　凹部（被卡合部）

12　被連接部

12a　第1被連接部

12b　第2被連接部

13　第1被支承部

14　第2被支承部

15　第3被支承部

17　第1支承部

18　第2支承部

19a　升降馬達(dá)（升降驅(qū)動(dòng)部）

24　連接部

37　第3支承部

37b　第3卡合部（卡合部）

39　突出退回操作機(jī)構(gòu)（突出退回驅(qū)動(dòng)部）

s　　移載用空間

w　容器

x　排列方向

x1　第1方向

x2　第2方向

y　寬度方向。