本實(shí)用新型涉及一種搬運(yùn)裝置，特別是涉及一種用于搬運(yùn)光罩的裝置。

背景技術(shù)：

光罩業(yè)內(nèi)又稱光掩模版、掩膜版(英文名稱MASK或PHOTOMASK)，在制作IC或液晶面板生產(chǎn)領(lǐng)域中，陣列工序中的光刻工藝的曝光過程需要采用光罩對基板進(jìn)行曝光，光罩一般存放在存儲(chǔ)盒中，使用時(shí)，需要將光罩從存儲(chǔ)盒中取出放置在掩膜板工作臺(tái)，才能進(jìn)行后續(xù)的曝光過程。光罩的搬運(yùn)等作業(yè)中，由于光罩尺寸多樣且清潔度要求高，作業(yè)人員需帶上手套在無塵室中進(jìn)行搬運(yùn)作業(yè)。但是作業(yè)人員在用手搬運(yùn)光罩時(shí)，一方面，手套內(nèi)汗水導(dǎo)致手滑等現(xiàn)象使裸露的光罩本體造成磕碰損壞；另一方面，人員用手接觸光罩時(shí)，造成光罩本體靜電擊傷，光罩造成破壞，提升不良率。

有鑒于此，有必要提供一種滿足多尺寸光罩搬運(yùn)的機(jī)械裝置，解決上述問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

因此，本實(shí)用新型旨在于提出一種可以滿足不同尺寸光罩搬運(yùn)要求的光罩搬運(yùn)裝置。

為達(dá)此目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

一種光罩搬運(yùn)裝置，其特征在于，包括固定支架、滑軌裝置、至少2個(gè)鎖緊裝置，所述固定支架、滑軌裝置固定連接于所述至少2個(gè)鎖緊裝置之間，所述固定支架和所述滑軌裝置呈平行。

優(yōu)選地，所述滑軌裝置包括滑軌支架、第一拉緊鎖止裝置、第二拉緊鎖止裝置、第一鎖緊抓鉤、第二鎖緊抓鉤，所述滑軌支架為兩端可伸縮的套式滑軌結(jié)構(gòu)，所述第一拉緊鎖止裝置和所述第二拉緊鎖止裝置設(shè)置在所述滑軌支架的套式滑軌上，所述滑軌支架兩末端為所述第一鎖緊抓鉤和第二鎖緊抓鉤。

優(yōu)選地，所述鎖緊裝置包括鎖緊支架、第三拉緊鎖止裝置、第三鎖緊抓鉤、第四鎖緊抓鉤、把手，所述鎖緊支架靠近第四鎖緊抓鉤的一端為可伸縮的套式滑軌結(jié)構(gòu)，所述第三拉緊鎖止裝置設(shè)置在所述鎖緊支架一端的套式滑軌上，所述鎖緊支架兩端設(shè)置有所述第三鎖緊抓鉤和所述第四鎖緊抓鉤，所述把手設(shè)置在所述鎖緊支架的兩末端。

優(yōu)選地，所述鎖緊支架中間為折葉結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選地，所述鎖緊裝置還包括金屬架、彈簧，所述彈簧一端固定于所述折葉結(jié)構(gòu)上方的所述金屬架上，所述彈簧另一端固定于所述折葉結(jié)構(gòu)下方的所述鎖緊支架上。

優(yōu)選地，所述把手外部設(shè)有橡膠圈。

優(yōu)選地，所述第一鎖緊抓鉤、第二鎖緊抓鉤固定光罩的內(nèi)側(cè)設(shè)有橡膠墊。

優(yōu)選地，所述第三鎖緊抓鉤、第四鎖緊抓鉤固定光罩的內(nèi)側(cè)設(shè)有橡膠墊。

優(yōu)選地，所述橡膠墊上設(shè)有凹槽。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例提供的光罩搬運(yùn)裝置的俯視圖；

圖2是本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例提供的光罩搬運(yùn)裝置的滑軌裝置；

圖3是本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例提供的光罩搬運(yùn)裝置的鎖緊裝置；

圖4是本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例提供的光罩搬運(yùn)裝置的側(cè)視圖下的折葉打開狀態(tài)圖；

圖5是本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例提供的光罩搬運(yùn)裝置的側(cè)視圖下的折葉閉合狀態(tài)圖。

1.固定支架、2.滑軌裝置、20.滑軌支架、21.第一拉緊鎖止裝置、22.第二拉緊鎖止裝置、23.第一鎖緊抓鉤、24.第二鎖緊抓鉤、3.鎖緊裝置、30.鎖緊支架 31.第三拉緊鎖止裝置、33.第三鎖緊抓鉤、34.第四鎖緊抓鉤、35.金屬架、36.彈簧、37.把手、4.橡膠墊、5.凹槽、100.光罩搬運(yùn)裝置、200.光罩

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖并通過具體實(shí)施方式來進(jìn)一步說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案。

為了清楚起見，附圖中的各個(gè)部分沒有按比例繪制。此外，在圖中可能未示出某些公知的部分。

優(yōu)選實(shí)施例：

本優(yōu)選實(shí)施例公開一種光罩搬運(yùn)裝置100。如圖1所示，該光罩搬運(yùn)裝置100，包括固定支架1、滑軌裝置2、至少2個(gè)鎖緊裝置3，固定支架1、滑軌裝置2固定連接于2個(gè)鎖緊裝置3之間，固定支架1和滑軌裝置2呈平行。

如圖2所示，滑軌裝置2包括滑軌支架20、第一拉緊鎖止裝置21、第二拉緊鎖止裝置22、第一鎖緊抓鉤23、第二鎖緊抓鉤24；滑軌支架20為兩端可伸縮的套式滑軌結(jié)構(gòu)，在整個(gè)搬運(yùn)裝置100中起左右伸縮的作用；第一拉緊鎖止裝置21和第二拉緊鎖止裝置22設(shè)置在所述滑軌支架20的套式滑軌結(jié)構(gòu)上，用于拉緊固定套式滑軌結(jié)構(gòu)；滑軌支架20兩末端為所述第一鎖緊抓鉤23和第二鎖緊抓鉤24。

如圖3所示，鎖緊裝置3包括鎖緊支架30、第三拉緊鎖止裝置31、第三鎖緊抓鉤33、第四鎖緊抓鉤34、把手37；鎖緊支架30靠近第四鎖緊抓鉤34一端為可伸縮的套式滑軌結(jié)構(gòu)，在整個(gè)搬運(yùn)裝置100中起上下伸縮的作用，鎖緊支架30中間為折葉結(jié)構(gòu)可打開閉合；第三拉緊鎖止裝置31設(shè)置在鎖緊支架30一端的套式滑軌結(jié)構(gòu)上，用于拉緊固定套式滑軌結(jié)構(gòu)；鎖緊支架30兩端設(shè)置有第三鎖緊抓鉤33和第四鎖緊抓鉤34，鎖緊抓鉤用于放置光罩200，鎖緊抓鉤內(nèi)設(shè)置有橡膠墊4，橡膠墊4上設(shè)有凹槽5，光罩200放置在凹槽5中，橡膠起緩沖作用，更好的保護(hù)光罩200邊緣不破損；把手37設(shè)置在鎖緊支架30的兩末端，把手37上設(shè)置有橡膠圈，可提高手握時(shí)的摩擦力，使搬運(yùn)人員不容易手滑；另外，橡膠圈也增加搬運(yùn)時(shí)手握的舒適度，提高工作效率；為進(jìn)一步提升搬運(yùn)時(shí)的舒適度，把手還可以呈L形；鎖緊裝置3還包括金屬架35、彈簧36，彈簧36一端固定于折葉結(jié)構(gòu)上方的金屬架35上，另一端固定于折葉結(jié)構(gòu)下方的鎖緊支架30上，用于拉緊固定折葉結(jié)構(gòu)。

如圖1所示，固定支架1的兩末端固定于2個(gè)鎖緊裝置3之間，固定支架1的末端具體位于靠近第三拉緊鎖止裝置31的鎖緊支架30上；滑軌裝置2的兩端設(shè)置在2個(gè)鎖緊裝置3折葉結(jié)構(gòu)上方的鎖緊支架上30；固定支架1平行于滑軌裝置2，固定支架1和滑軌裝置2垂直與鎖緊裝置3。

如圖4所示，在搬運(yùn)光罩200過程中，首先打開鎖緊裝置3中的折葉結(jié)構(gòu)，將光罩200的上端固定放置在鎖緊裝置3的第三鎖緊抓鉤33的橡膠凹槽5中；其次，拉動(dòng)滑軌裝置2上的套式滑軌結(jié)構(gòu)進(jìn)行左右伸縮，使光罩200的左右側(cè)端放置于滑軌裝置2的第一鎖緊抓鉤23和第二鎖緊抓鉤24內(nèi)的橡膠凹槽5中，拉動(dòng)滑軌裝置2上的第一拉緊鎖止裝置21和第二拉緊鎖止裝置22固定滑軌支架20上的套式滑軌結(jié)構(gòu)；然后如圖5所示，提起光罩200，閉合鎖緊裝置3中的折葉結(jié)構(gòu)，調(diào)節(jié)鎖緊裝置3的套式滑軌結(jié)構(gòu)進(jìn)行上下伸縮，使光罩200的下端放置于第四鎖緊抓鉤34內(nèi)的橡膠凹槽5中，拉動(dòng)鎖緊裝置3上的第三拉緊鎖止裝置31固定；最后平坦放置該光罩200搬運(yùn)裝置，使光罩200朝下，至少兩名作業(yè)人員握緊兩個(gè)鎖緊裝置3兩端的把手37，以此來達(dá)到搬運(yùn)光罩200的目的。

以上所述實(shí)施例的各技術(shù)特征可以進(jìn)行任意的組合，為使描述簡潔，未對上述實(shí)施例中的各個(gè)技術(shù)特征所有可能的組合都進(jìn)行描述，然而，只要這些技術(shù)特征的組合不存在矛盾，都應(yīng)當(dāng)認(rèn)為是本說明書記載的范圍。

以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對實(shí)用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，本實(shí)用新型專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要。