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      一種半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)的制作方法

      文檔序號(hào):11339460閱讀:456來(lái)源:國(guó)知局

      本實(shí)用新型涉及晶圓貼膜技術(shù)領(lǐng)域,具體是一種半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)。



      背景技術(shù):

      在晶圓生產(chǎn)行業(yè)的后續(xù)工藝中,晶圓需要貼膜以進(jìn)行保護(hù),但如果采用人工手動(dòng)進(jìn)行貼膜,不僅操作繁瑣,往往需要兩人配合才能完成,而且由于貼膜過(guò)程中有氣泡而使得的貼膜效果差,并因此而導(dǎo)致返工,同時(shí),人工貼膜會(huì)因人而異,貼膜位置不一致使得劃片及不能自動(dòng)工作,這樣會(huì)導(dǎo)致整個(gè)晶圓貼膜效率。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實(shí)用新型提供一種半自動(dòng)貼晶圓膜機(jī),可將膠膜準(zhǔn)確貼到晶圓上且無(wú)氣泡。

      本實(shí)用新型的技術(shù)方案為:一種半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī),包括玻璃導(dǎo)軌柱、圓形玻璃、安裝柱、鐵環(huán)、支撐柱、溫控開(kāi)關(guān)、真空開(kāi)關(guān)、主體、真空器、溫控器、卷軸、上蓋板、劃刀和晶圓臺(tái),所述安裝柱設(shè)置在主體后側(cè)邊緣,所述卷軸橫向設(shè)置在安裝柱上,所述上蓋板通過(guò)轉(zhuǎn)軸設(shè)置在安裝柱上,上蓋板中間位置背面?zhèn)仍O(shè)置有能沿著設(shè)置在上蓋板背面?zhèn)鹊娜舾蓚€(gè)玻璃導(dǎo)軌柱滑動(dòng)轉(zhuǎn)圈的圓形玻璃,所述圓形玻璃上設(shè)置有能推動(dòng)圓形玻璃轉(zhuǎn)圈的帶把手的劃刀,所述主體上設(shè)置有晶圓臺(tái)以及能箍住晶圓臺(tái)的鐵環(huán),所述晶圓臺(tái)上表面高于主體上表面,所述鐵環(huán)上表面高于晶圓臺(tái)上表面,所述主體前側(cè)邊緣設(shè)置有用于支撐上蓋板往下蓋合時(shí)的支撐柱,所述主體內(nèi)部設(shè)置有真空器和溫控器,所述主體前側(cè)面板設(shè)置有對(duì)應(yīng)分別連接至真空器、溫控器的真空開(kāi)關(guān)和溫控開(kāi)關(guān)。

      進(jìn)一步地,所述晶圓臺(tái)上表面設(shè)置有兩個(gè)以上的氣孔。

      進(jìn)一步地,所述晶圓臺(tái)上表面設(shè)置有兩條以上的定位線。

      本實(shí)用新型的有益效果為:晶圓和膠膜精準(zhǔn)對(duì)位,劃刀沿著定位線將膠膜切割,真空器和溫控器有效將晶圓上的膠膜吸附在晶圓上,具有貼膜精準(zhǔn)、無(wú)氣泡,一個(gè)人即可完成,貼膜效果和質(zhì)量良好。

      附圖說(shuō)明

      圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

      圖中,1-玻璃導(dǎo)軌柱,2-圓形玻璃,3-安裝柱,4-鐵環(huán),5-氣孔,6-定位線,7-支撐柱,8-溫控開(kāi)關(guān),9-真空開(kāi)關(guān),10-主體,11-真空器,12-晶圓臺(tái),13-溫控器,14-卷軸,15-上蓋板,16-劃刀。

      具體實(shí)施方式

      下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步說(shuō)明:

      如圖1所示,一種半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī),包括玻璃導(dǎo)軌柱1、圓形玻璃2、安裝柱3、鐵環(huán)4、支撐柱7、溫控開(kāi)關(guān)8、真空開(kāi)關(guān)9、主體10、真空器11、溫控器13、卷軸14、上蓋板15、劃刀16和晶圓臺(tái)12,所述安裝柱3設(shè)置在主體10后側(cè)邊緣,用于放置膠膜的卷軸14橫向設(shè)置在安裝柱3上,所述上蓋板15通過(guò)轉(zhuǎn)軸設(shè)置在安裝柱3上,上蓋板15中間位置背面?zhèn)仍O(shè)置有可沿著設(shè)置在上蓋板15背面?zhèn)鹊娜舾蓚€(gè)玻璃導(dǎo)軌柱1滑動(dòng)轉(zhuǎn)圈的圓形玻璃2,所述圓形玻璃2上設(shè)置有可推動(dòng)圓形玻璃2轉(zhuǎn)圈的帶把手的劃刀16,所述主體10上設(shè)置有晶圓臺(tái)12及剛好可箍住晶圓臺(tái)12的鐵環(huán)4,所述晶圓臺(tái)12上表面高于主體10上表面,所述鐵環(huán)4上表面高于晶圓臺(tái)12上表面,所述主體10前側(cè)邊緣設(shè)置有用于支撐上蓋板15往下蓋合時(shí)的支撐柱7,所述主體10內(nèi)部設(shè)置有真空器11和溫控器13,所述主體10前側(cè)面板設(shè)置有對(duì)應(yīng)分別連接至真空器11、溫控器13的真空開(kāi)關(guān)9和溫控開(kāi)關(guān)8。

      進(jìn)一步地,所述晶圓臺(tái)12上表面設(shè)置有兩個(gè)以上的氣孔5。

      進(jìn)一步地,所述晶圓臺(tái)12上表面設(shè)置有兩條以上的定位線6。

      工作過(guò)程及原理:

      使用時(shí),將設(shè)置在卷軸14上的膠膜拉出,膠膜覆蓋放在晶圓臺(tái)12面上的晶圓,真空器11通過(guò)氣孔5在晶圓臺(tái)12上表面形成局部真空,溫控器13將晶圓臺(tái)12上表面形成一定溫度,作為一個(gè)最佳實(shí)施例,設(shè)置在50°最為合適,這樣的溫度使得膠膜的粘度合適,通過(guò)鐵環(huán)4將晶圓臺(tái)12面上的膠膜壓住,蓋下上蓋板15,劃刀16剛好對(duì)準(zhǔn)定位線6,推動(dòng)劃刀16,劃刀16沿著鐵環(huán)4和晶圓臺(tái)12面間的定位線6轉(zhuǎn)圈并切割下膠膜,切割下的膠膜粘在晶圓表面上,由于晶圓臺(tái)12上表面是局部真空環(huán)境,不會(huì)產(chǎn)生氣泡,使得貼膜效果良好,上述過(guò)程在一人操作下即可完成。

      上述實(shí)施例和說(shuō)明書(shū)中描述的只是說(shuō)明本實(shí)用新型的原理和最佳實(shí)施例,在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下,本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn),這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。

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