本實(shí)用新型涉及單晶制造輔助設(shè)備，特別涉及一種取晶車(chē)。

背景技術(shù)：

單晶硅的制作工藝其中一步是拉晶，所謂拉晶就是用拉晶爐把多晶硅加熱融化，再用子晶向上拉引，慢慢形成一個(gè)長(zhǎng)筒狀的單晶棒，在單晶棒從單拉晶爐中出來(lái)的時(shí)候需要采用取晶車(chē)進(jìn)行接送。

取晶車(chē)通常包括車(chē)架，在車(chē)架上會(huì)設(shè)置有接收晶棒的支撐架，所述支撐架呈長(zhǎng)條狀設(shè)置，在支撐架的底部設(shè)置有用于定位晶棒的支撐座，所述支撐架整體可以沿車(chē)架從平行于車(chē)架的方向旋轉(zhuǎn)至垂直于車(chē)架方向，在支撐架垂直于車(chē)架的時(shí)候，所述車(chē)架上還設(shè)置有用于推動(dòng)支撐架在垂直方向上升降的升降機(jī)構(gòu)，在支撐架上升至與拉晶爐高度相仿處將晶棒承接住后，支撐架再退回至原位，在旋轉(zhuǎn)至與車(chē)架平行的狀態(tài)，通過(guò)外部的液壓機(jī)械手將晶棒從支撐架內(nèi)取出。

如申請(qǐng)?zhí)枮?01520065572.8公開(kāi)的一種晶棒裝卸車(chē)，該專(zhuān)利中記載了晶棒框通過(guò)滾珠絲杠的方式帶動(dòng)拉桿連接件去驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)架完成旋轉(zhuǎn)動(dòng)作，滾珠絲杠是一種高精度精密傳送件，而且滾珠絲杠在造價(jià)上高昂并不是適用于大量市場(chǎng)推廣，另外的話，拉桿連接件帶動(dòng)晶棒框運(yùn)動(dòng)不平穩(wěn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是提供一種取晶車(chē)，提高了運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)性，并且降低造價(jià)成本，便于推廣。

本實(shí)用新型的上述技術(shù)目的是通過(guò)以下技術(shù)方案得以實(shí)現(xiàn)的：

一種取晶車(chē)，包括有車(chē)架以及支撐架，所述車(chē)架上設(shè)置有用于推動(dòng)支撐架升降的驅(qū)動(dòng)組件，所述車(chē)架上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)支撐架轉(zhuǎn)動(dòng)的翻轉(zhuǎn)組件，所述翻轉(zhuǎn)組件固定于車(chē)架上的基板以及軸向定位于基板上的轉(zhuǎn)軸且所述轉(zhuǎn)軸可周向旋轉(zhuǎn)，所述驅(qū)動(dòng)組件包括驅(qū)動(dòng)底板，所述驅(qū)動(dòng)底板轉(zhuǎn)動(dòng)連接于轉(zhuǎn)軸上，所述驅(qū)動(dòng)底板與車(chē)架之間設(shè)置有推動(dòng)驅(qū)動(dòng)底板翻轉(zhuǎn)的液壓油缸，所述液壓油缸一端鉸接于車(chē)架上，另一端則鉸接于驅(qū)動(dòng)底板上。

進(jìn)一步的，所述基板上設(shè)置有兩個(gè)軸承座，所述轉(zhuǎn)軸軸向定位于兩個(gè)軸承座之間，所述驅(qū)動(dòng)底板上設(shè)置有兩個(gè)與轉(zhuǎn)軸連接的連接座，所述連接座上設(shè)置有與轉(zhuǎn)軸配合的貫穿孔，所述貫穿孔與轉(zhuǎn)軸之間間隙配合。

進(jìn)一步的，所述驅(qū)動(dòng)底板上設(shè)置有與液壓油缸鉸接連接的鉸接座，所述鉸接座位于兩個(gè)連接座的中心位置處且所述鉸接座位于連接座的上方。

進(jìn)一步的，所述車(chē)架相對(duì)于翻轉(zhuǎn)組件的另一側(cè)端部設(shè)置有支撐組件，所述支撐組件包括有固定于車(chē)架上的支撐座以及定位于支撐座內(nèi)支撐桿，所述支撐座內(nèi)設(shè)置有軸向位移孔，所述支撐桿定位于位移孔內(nèi)，所述支撐桿上設(shè)置有抵接環(huán)，所述抵接環(huán)與位移孔的孔徑相配合，所述支撐桿上套設(shè)有緩沖彈簧且所述緩沖彈簧位于限位環(huán)與支撐座的底部之間。

進(jìn)一步的，所述支撐桿于外側(cè)端部呈球面設(shè)置。

進(jìn)一步的，所述支撐座上設(shè)置有行程開(kāi)關(guān)，所述行程開(kāi)關(guān)與支撐桿高度相同。

進(jìn)一步的，所述支撐組件設(shè)置有兩組，且兩組所述支撐組件沿車(chē)架的寬度方向間隔設(shè)置。

采用上述結(jié)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)組件控制支撐架整體的升降，而液壓油缸推動(dòng)驅(qū)動(dòng)底板繞轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，液壓油缸的伸縮端的伸長(zhǎng)可以推動(dòng)支撐架從水平方向翻轉(zhuǎn)至90度的垂直方向，液壓油缸的伸縮端的縮短，液壓油缸繞其在車(chē)架一端的鉸接點(diǎn)旋轉(zhuǎn)，使得液壓油缸趨于與車(chē)架平行從而使得支撐架實(shí)現(xiàn)從90度到水平位置的切換，采用液壓油缸替代滾珠絲杠，液壓油缸具有運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)的優(yōu)點(diǎn)，另外簡(jiǎn)化了現(xiàn)有技術(shù)中結(jié)構(gòu)，降低了造價(jià)。

附圖說(shuō)明

圖1是立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是另一視角立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是支撐組件爆炸結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中，1、車(chē)架；2、支撐架；21、定位板；22、基座；23、承接座；24、連接桿；25、槽鋼；26、連接組件；3、翻轉(zhuǎn)組件；31、基板；32、轉(zhuǎn)軸；33、軸承座；4、驅(qū)動(dòng)組件；41、驅(qū)動(dòng)底板；42、鉸接座；43、連接座；44、貫穿孔；5、液壓油缸；6、支撐組件；61、行程開(kāi)關(guān)；62、支撐桿；63、抵接環(huán)；64、蓋體；65、緩沖彈簧；66、支撐座；67、位移孔。

具體實(shí)施方式

一種取晶車(chē)，包括車(chē)架1以及用于存放晶棒的支撐架2，所述車(chē)架1上設(shè)置有帶動(dòng)支撐架2升降的驅(qū)動(dòng)組件4，所述驅(qū)動(dòng)組件4包括有驅(qū)動(dòng)底板41以及設(shè)置于驅(qū)動(dòng)底板41上的導(dǎo)槽，所述支撐架2包括有基座22以及定位板21，所述基座22與定位板21之間通過(guò)設(shè)置連接組件26形成一體，所述連接組件26包括有焊接于基座22上的槽鋼25以及固定于槽鋼25上的連接桿24，所述連接桿24一端固定于槽鋼25上另一端固定于定位板21上，所述基座22、定位板21以及連接組件26之間形成有用于放置晶棒的空間，所述定位板21與基座22之間設(shè)置有用于支撐晶棒的承接座23，所述承接座23固定于定位板21上，所以帶動(dòng)基座22運(yùn)動(dòng)便可以帶動(dòng)支撐架2整體升降。

所述車(chē)架1上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)支撐架2轉(zhuǎn)動(dòng)的翻轉(zhuǎn)組件3，所述翻轉(zhuǎn)組件3包括有固定于車(chē)架1上的基板31、固定于基板31上的兩個(gè)軸承座33以及軸向定位于軸承座33之間的轉(zhuǎn)軸32，所述驅(qū)動(dòng)底板41上設(shè)置有兩個(gè)連接座43，所述連接座43上設(shè)置有貫穿孔44，所述連接座43通過(guò)貫穿孔44套設(shè)于轉(zhuǎn)軸32上，所述貫穿孔44與轉(zhuǎn)軸32之間間隙配合，所述連接座43的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)連接座43位于轉(zhuǎn)軸32的兩個(gè)軸端，所述驅(qū)動(dòng)組件4整體可以繞轉(zhuǎn)軸32周向旋轉(zhuǎn)，所述驅(qū)動(dòng)底板41與車(chē)架1之間還設(shè)置有液壓油缸5，所述驅(qū)動(dòng)底板41在兩個(gè)連接座43的中心位置處設(shè)置有鉸接座42，所述鉸接座42與兩個(gè)連接座43之間呈三角狀設(shè)置，所述液壓油缸5的一端與鉸接座42鉸接，所述液壓油缸5的另一端則與車(chē)架1鉸接連接。

為了保證支撐架2從垂直于車(chē)架1方向翻轉(zhuǎn)至平行于車(chē)架1方向的位置時(shí)的穩(wěn)定性，在車(chē)架1相對(duì)于翻轉(zhuǎn)組件3的另一端設(shè)置有支撐組件6，所述支撐組件6包括帶有位移孔67的支撐座66以及套設(shè)于位移孔67內(nèi)的支撐桿62，所述位移孔67沿軸向方向設(shè)置，所述支撐桿62上設(shè)置有直徑大于支撐桿62的抵接環(huán)63，所述抵接環(huán)63與位移孔67的直徑相配合，所述位移孔67內(nèi)設(shè)置有緩沖彈簧65，所述緩沖彈簧65套設(shè)于支撐桿62于抵接環(huán)63與支撐座66底部之間，所述支撐桿62位于外部的端部設(shè)置為球面，在支撐桿62受到支撐架2的基座22的擠壓時(shí)，起到緩沖作用，所述支撐座66外還通過(guò)螺栓固定連接有封閉位移孔67的蓋體64，所述蓋體64上設(shè)置有行程開(kāi)關(guān)61，所述行程開(kāi)關(guān)61控制液壓油缸5的啟停，所述行程開(kāi)關(guān)61的高度與支撐桿62的高度相同，所述行程開(kāi)關(guān)61的高度可以略低于支撐桿62的高度，在支撐架2繞翻轉(zhuǎn)組件3運(yùn)動(dòng)至水平位置時(shí)，支撐架2便會(huì)與支撐桿62抵觸，支撐桿62在軸向方向上下降，當(dāng)支撐架2與行程開(kāi)關(guān)61觸碰后，行程開(kāi)關(guān)61控制液壓油缸5停止，表示支撐架2運(yùn)動(dòng)到位，實(shí)現(xiàn)對(duì)于支撐架2位置的控制，優(yōu)選的，為了提高對(duì)于支撐架2的穩(wěn)定支撐，可以設(shè)置兩組支撐組件6，兩組支撐組件6之間沿車(chē)架1的寬度方向間隔設(shè)置。

本具體實(shí)施例僅僅是對(duì)本實(shí)用新型的解釋?zhuān)洳⒉皇菍?duì)本實(shí)用新型的限制，本領(lǐng)域技術(shù)人員在閱讀完本說(shuō)明書(shū)后可以根據(jù)需要對(duì)本實(shí)施例做出沒(méi)有創(chuàng)造性貢獻(xiàn)的修改，但只要在本實(shí)用新型的權(quán)利要求范圍內(nèi)都受到專(zhuān)利法的保護(hù)。