本公開涉及半導(dǎo)體的，特別是涉及一種半導(dǎo)體基板用的彈匣上料裝置及其設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、隨著科學(xué)技術(shù)的飛快發(fā)展，現(xiàn)在的電子產(chǎn)品對(duì)半導(dǎo)體封裝技術(shù)的要求也越來越高，進(jìn)一步地對(duì)上料機(jī)構(gòu)作出了高要求?，F(xiàn)有的半導(dǎo)體封裝線的上料步驟：先是將半導(dǎo)體基板人工裝在彈匣內(nèi)，再將彈匣放置在上料裝置的傳送帶。由傳送帶將彈匣輸送至夾持組件，再由夾持組件將彈匣夾持，通過推動(dòng)組件將彈匣內(nèi)的半導(dǎo)體基板推送至下游工藝設(shè)備。

2、如中國(guó)專利文獻(xiàn)cn208560892u公開了一種料盒雙層上料機(jī)構(gòu)包括用于水平輸送載料料盒的送盒輸送帶，其前端具有彈性止擋部；用于水平輸送空料盒的收盒輸送帶，所述收盒輸送帶與送盒輸送帶上下間隔布置且輸送方向相反，且兩者的兩端上下齊平；可在推料位與所述送盒輸送帶前端或者收盒輸送帶后端之間水平移動(dòng)、可在推料位上下移動(dòng)的料盒夾爪；用于在所述料盒夾爪帶動(dòng)料盒向上移動(dòng)過程中依次將料盒中的料板水平推至上料輸送帶后端的推料桿。

3、然而，上述的料盒雙層上料機(jī)構(gòu)存在如下問題：

4、上述的料盒雙層上料機(jī)構(gòu)采用的是傳送皮帶進(jìn)行運(yùn)輸，而料盒為金屬件，使得料盒在運(yùn)輸過程中容易與傳送皮帶摩擦而導(dǎo)致傳送皮帶出現(xiàn)磨損，嚴(yán)重時(shí)需要維修更換，從而導(dǎo)致產(chǎn)線停止，進(jìn)而影響生產(chǎn)效率。進(jìn)一步地，隨著使用時(shí)間的推移，料盒夾爪的夾持力會(huì)下降，導(dǎo)致料盒在夾持升降過程中出現(xiàn)晃動(dòng)，從而導(dǎo)致料盒的夾持定位效果較差，使推料桿得推動(dòng)端不能定位至料盒的基板上，進(jìn)而影響了半導(dǎo)體基板的上料效率。

5、綜上所述，亟需一種能夠避免傳送皮帶磨損且彈匣夾持定位效果較好的彈匣上料裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本公開的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處，提供一種能夠避免傳送皮帶磨損且彈匣夾持定位效果較好的半導(dǎo)體基板用的彈匣上料裝置及其設(shè)備。

2、本公開的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的：

3、一種半導(dǎo)體基板用的彈匣上料裝置，包括：

4、機(jī)箱，所述機(jī)箱形成有進(jìn)料口、上料腔及出料口，所述上料腔分別與所述進(jìn)料口和出料口連通；

5、傳送組件，所述傳送組件包括傳送架、傳送驅(qū)動(dòng)件及彈匣推動(dòng)件，所述傳送架設(shè)于所述上料腔內(nèi)，所述傳送驅(qū)動(dòng)件固定在所述傳送架內(nèi)，所述傳送架的一面形成有相連通的傳送通道和穿設(shè)通口，所述進(jìn)料口與所述傳送通道的一端連通，所述傳送驅(qū)動(dòng)件的動(dòng)力輸出端與所述彈匣推動(dòng)件連接，所述彈匣推動(dòng)件的推動(dòng)端穿設(shè)于所述穿設(shè)通口與所述傳送架滑動(dòng)連接；

6、夾持組件，所述夾持組件包括橫向移動(dòng)件、縱向移動(dòng)件、夾持架、夾持驅(qū)動(dòng)件及夾持塊，所述橫向移動(dòng)件設(shè)于所述上料腔內(nèi)，所述縱向移動(dòng)件固定在所述橫向移動(dòng)件的移動(dòng)端，所述夾持架固定在所述縱向移動(dòng)件的移動(dòng)端，所述夾持驅(qū)動(dòng)件安裝在所述夾持架的一端，所述夾持塊安裝在所述夾持驅(qū)動(dòng)件的動(dòng)力輸出端上，所述夾持架與所述夾持塊之間形成有彈匣夾持槽，所述彈匣夾持槽的一端與所述傳送通道的另一端活動(dòng)連通，所述彈匣夾持槽的另一端與所述出料口活動(dòng)連通；

7、推板組件，所述推板組件安裝在所述上料腔內(nèi)，所述推板組件的推板端朝向所述出料口設(shè)置，以使所述推板組件的推板端活動(dòng)抵接于彈匣內(nèi)的半導(dǎo)體基板。

8、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述傳送架形成有放置腔，所述穿設(shè)通口的數(shù)目為兩個(gè)，分別為第一穿設(shè)通口和第二穿設(shè)通口，所述放置腔分別與所述第一穿設(shè)通口和所述第二穿設(shè)通口連通。

9、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述傳送驅(qū)動(dòng)件設(shè)置在所述放置腔內(nèi)，所述彈匣推動(dòng)件包括固定塊、第一轉(zhuǎn)動(dòng)塊、第二轉(zhuǎn)動(dòng)塊、第一連接軸及第二連接軸，所述固定塊固定安裝在所述傳送驅(qū)動(dòng)件的動(dòng)力輸出端上，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)塊和所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)塊均套設(shè)于所述第一連接軸上，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)塊和所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)塊均與所述第一連接軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述第一連接軸的一端與所述固定塊連接，所述第二連接軸的兩端分別與所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)塊和所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)塊固定連接，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)塊的推動(dòng)端穿設(shè)于所述第一穿設(shè)通口與所述傳送架滑動(dòng)連接，所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)塊的推動(dòng)端穿設(shè)于所述第二穿設(shè)通口與所述傳送架滑動(dòng)連接。

10、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述傳送組件還包括空匣儲(chǔ)架及推匣驅(qū)動(dòng)件，所述空匣儲(chǔ)架安裝在所述傳送架的一面，所述空匣儲(chǔ)架位于所述傳送架的上方，所述推匣驅(qū)動(dòng)件安裝在所述空匣儲(chǔ)架上，所述推匣驅(qū)動(dòng)件的動(dòng)力輸出端朝向所述彈匣夾持槽設(shè)置。

11、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述橫向移動(dòng)件包括橫向驅(qū)動(dòng)件和橫向移動(dòng)塊，所述橫向驅(qū)動(dòng)件設(shè)于所述上料腔內(nèi)，以使所述橫向驅(qū)動(dòng)件安裝在所述機(jī)箱內(nèi)，所述橫向移動(dòng)塊的一端與所述橫向驅(qū)動(dòng)件的動(dòng)力輸出端連接，所述橫向移動(dòng)塊的另一端與所述縱向移動(dòng)件連接。

12、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述縱向移動(dòng)件包括縱向驅(qū)動(dòng)件和縱向移動(dòng)塊，所述縱向驅(qū)動(dòng)件與所述橫向移動(dòng)塊的另一端連接，所述縱向移動(dòng)塊的一端與所述縱向驅(qū)動(dòng)件的動(dòng)力輸出端連接，所述縱向移動(dòng)塊的另一端與所述夾持架連接。

13、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述推板組件包括推板驅(qū)動(dòng)件和推板桿，所述推板驅(qū)動(dòng)件設(shè)于所述上料腔內(nèi)，以使所述推板驅(qū)動(dòng)件安裝在所述機(jī)箱內(nèi)，所述推板桿的一端與所述推板驅(qū)動(dòng)件的動(dòng)力輸出端上，所述推板桿的另一端朝向所述出料口設(shè)置。

14、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述彈匣上料裝置還包括下料組件，所述下料組件包括下料支架、調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)件、第一下料驅(qū)動(dòng)件及第二下料驅(qū)動(dòng)件，所述下料支架設(shè)置在所述上料腔內(nèi)，以使所述下料支架與所述機(jī)箱固定連接，所述調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)件安裝在所述下料支架上，所述第一下料驅(qū)動(dòng)件和所述下料驅(qū)動(dòng)件均設(shè)置在所述下料支架上，所述第二下料驅(qū)動(dòng)件與所述調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)件的動(dòng)力輸出端連接，以使所述第二下料驅(qū)動(dòng)件與所述下料支架滑動(dòng)連接，所述第一下料驅(qū)動(dòng)件的動(dòng)力輸出端與所述第二下料驅(qū)動(dòng)件的動(dòng)力輸出端之間形成有下料通道，所述下料通道的一端與所述彈匣夾持槽活動(dòng)連通，所述下料通道的另一端與所述出料口連通。

15、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述機(jī)箱設(shè)有控制面板，所述控制面板分別與所述傳送驅(qū)動(dòng)件、所述推匣驅(qū)動(dòng)件、所述橫向驅(qū)動(dòng)件、所述縱向驅(qū)動(dòng)件、所述夾持驅(qū)動(dòng)件、所述調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)件、所述第一下料驅(qū)動(dòng)件及第二下料驅(qū)動(dòng)件通信連接。

16、一種半導(dǎo)體基板用的彈匣上料設(shè)備，包括上述任一實(shí)施例所述的半導(dǎo)體基板用的彈匣上料裝置。

17、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本公開至少具有以下優(yōu)點(diǎn)：

18、1、彈匣通過進(jìn)料口輸送至傳送架的傳送通道，控制傳送驅(qū)動(dòng)件帶動(dòng)彈匣推動(dòng)件移動(dòng)，以此通過彈匣推動(dòng)件的推動(dòng)端將彈匣在傳送通道上傳輸，使得彈匣靠近彈匣夾持槽。與此同時(shí)，橫向移動(dòng)件的移動(dòng)端帶動(dòng)縱向移動(dòng)件朝向傳送架靠近，而縱向移動(dòng)件的移動(dòng)端帶動(dòng)夾持架縱向移動(dòng)，使傳送通道的另一端與彈匣夾持槽連通，即彈匣推動(dòng)件的推動(dòng)端將彈匣由傳送通道推至彈匣夾持槽，再通過夾持驅(qū)動(dòng)件輸出向下的壓力，使得夾持塊將彈匣夾緊，如此能夠確保彈匣的具有較好的夾持定位效果。又因?yàn)閺椣粖A持槽與出料口活動(dòng)連通，即通過橫向移動(dòng)件和縱向移動(dòng)件使彈匣夾持槽與出料口連通，再通過推板組件的推板端將彈匣內(nèi)的半導(dǎo)體基板推至出料口，以將半導(dǎo)體基板輸送到下游工藝設(shè)備。

19、2、在整個(gè)彈匣運(yùn)輸過程中是通過彈匣推動(dòng)件的推動(dòng)端帶動(dòng)彈匣在傳送架上移動(dòng)，即彈匣在傳送架上滑動(dòng)。又因?yàn)閭魉图芘c彈匣均可以為金屬材質(zhì)，如此能夠使傳送架與彈匣之間的接觸更加地順滑，而且還能夠避免了彈匣與傳送皮帶摩擦而導(dǎo)致傳送皮帶磨損的情況出現(xiàn)。