具備清洗功能的儲(chǔ)料器、儲(chǔ)料器單元以及潔凈氣體的供給方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及具備清洗功能的儲(chǔ)料器、儲(chǔ)料器單元以及向儲(chǔ)料器內(nèi)的容器供給潔凈氣體的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體晶片、中間掩模等的潔凈室內(nèi)進(jìn)行操作的工件被收容于SMIF(StandardMechanical Interface:標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口 )盒子、FOUP (Front Opened Unified Pod:前開式統(tǒng)一盒子)等容器，用于搬運(yùn)與保管。而且，提出了通過從容器的氣體注入口導(dǎo)入氮(隊(duì)氣體)、清潔干燥空氣等潔凈氣體，從而將容器內(nèi)局部保持為潔凈的方案。特別在為氮?dú)獾那闆r下，也具有防止在半導(dǎo)體晶片表面形成氧化膜的作用。專利文獻(xiàn)1CJP2010-241515A)提出了帶有向容器供給潔凈氣體的噴嘴的儲(chǔ)料器，專利文獻(xiàn)2 (W02008/106622)提出了帶有用于保管中間掩模的氣體注入口的SMIF盒子。
[0003]然而，對(duì)于專利文獻(xiàn)I的儲(chǔ)料器，全部區(qū)域?qū)?yīng)于清洗功能，無法使對(duì)應(yīng)于清洗功能的區(qū)域與不對(duì)應(yīng)于清洗功能的區(qū)域共存。假設(shè)若相對(duì)于一部分區(qū)域未設(shè)置清洗用的配管(清洗管路)，則該區(qū)域無法用于清洗用。另外，在對(duì)不具備清洗管路的現(xiàn)有的儲(chǔ)料器追加清洗功能的情況下，需要將現(xiàn)有的儲(chǔ)料器用新的儲(chǔ)料器替換。若取代替換儲(chǔ)料器，將儲(chǔ)料器在潔凈室內(nèi)進(jìn)行改造，則由于作業(yè)時(shí)間、作業(yè)空間受限并且對(duì)防塵有要求，所以很難。
[0004]專利文獻(xiàn)1:JP2010-241515A
[0005]專利文獻(xiàn)2:W02008/106622 (JP2010-520625A)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的課題在于提供具備清洗功能的區(qū)域與不具備清洗功能的區(qū)域能夠共存并且能夠容易地將不具備清洗功能的區(qū)域變更為具備清洗功能的區(qū)域的儲(chǔ)料器。
[0007]本發(fā)明的具備清洗功能的儲(chǔ)料器具備框架以及儲(chǔ)料器單元，其中，所述框架能夠?qū)⒉痪邆錆崈魵怏w的供給用噴嘴的貨架，沿上下方向或者水平方向安裝有多個(gè)，
[0008]上述儲(chǔ)料器單元具備:
[0009]基體，其具有柱或者梁，并且被安裝于上述框架；
[0010]沿上述基體被設(shè)置的潔凈氣體的供給用的管；以及
[0011]多個(gè)帶清洗功能貨架；
[0012]上述帶清洗功能貨架被安裝于上述基體，沿上下方向或者水平方向排列，自如地支承容器，并且具備從上述管將潔凈氣體供給至容器的噴嘴。
[0013]另外，本發(fā)明的儲(chǔ)料器單元具備:
[0014]基體，其具有柱或者梁，并且被自如地安裝于儲(chǔ)料器的框架；
[0015]沿上述基體被設(shè)置的潔凈氣體的供給用的管；以及
[0016]被安裝于上述基體，并且沿上下方向或者水平方向排列的多個(gè)帶清洗功能貨架，
[0017]上述貨架自如地支承容器，并且具備從上述管將潔凈氣體供給至容器的噴嘴。
[0018]在本發(fā)明的向容器供給潔凈氣體的方法中，相對(duì)于具有將不具備潔凈氣體的供給用噴嘴的貨架，沿上下方向或者水平方向自如地安裝有多個(gè)的框架的儲(chǔ)料器，執(zhí)行如下步驟:
[0019]通過將基體安裝于上述框架，從而將具備具有柱或者梁的上述基體、沿上述基體設(shè)置的潔凈氣體的供給用的管、以及沿上下方向或者水平方向被安裝于上述基體并且具備從上述管供給潔凈氣體的噴嘴的多個(gè)帶清洗功能貨架的儲(chǔ)料器單元安裝于上述儲(chǔ)料器的步驟；以及
[0020]從上述噴嘴將潔凈氣體供給至被支承于上述貨架的容器的步驟。
[0021]在本發(fā)明中，通過將儲(chǔ)料器單元安裝于儲(chǔ)料器的框架，從而能夠追加從噴嘴向容器供給潔凈氣體的清洗功能。而且，能夠在儲(chǔ)料器的框架中安裝具備清洗功能的儲(chǔ)料器單元，也能夠安裝不具備清洗功能的貨架。另外，也能夠在現(xiàn)有的儲(chǔ)料器中裝入具備清洗功能的儲(chǔ)料器單元。此外，在本說明書中，與儲(chǔ)料器有關(guān)的記載保持原樣，也適用于儲(chǔ)料器單元以及,與儲(chǔ)料器單元有關(guān)的記載保持原樣，也適用于儲(chǔ)料器。
[0022]優(yōu)選上述框架在容器的收容空間后端具備至少一對(duì)第一柱，
[0023]上述基體具備容器的收容空間后端的至少一對(duì)第二柱，
[0024]上述第二柱的間隔比上述第一柱的間隔窄，并且從容器的收容空間前方觀察，上述第二柱位于上述第一柱的斜前方并被安裝于上述第一柱。
[0025]若以儲(chǔ)料器單元的第二柱位于儲(chǔ)料器的框架的第一柱的斜前方的方式，將儲(chǔ)料器單元裝入儲(chǔ)料器內(nèi)，并且將第二柱安裝于第一柱，則能夠?qū)?chǔ)料器單元簡單地安裝于儲(chǔ)料器。
[0026]特別優(yōu)選上述帶清洗功能貨架還具備從上述管將潔凈氣體向上述噴嘴供給的分支管路、以及控制分支管路中的潔凈氣體的流量的閥，
[0027]上述管與上述閥從容器的收容空間前方觀察，位于比上述第二柱的前端靠近后側(cè)，并且被設(shè)置于比上述第一柱的后端靠近前側(cè)。
[0028]在比第二柱的前端靠近后側(cè)且比第一柱的后端靠近前側(cè)的空間容易成為不會(huì)與容器發(fā)生干擾的空的空間。通過在該空間設(shè)置管與閥，從而成為省空間的儲(chǔ)料器單元。
[0029]優(yōu)選在上述框架中，將不具備潔凈氣體的供給用噴嘴的貨架被安裝有多個(gè)，并且在上述框架中安裝有上述儲(chǔ)料器單元。即，在相同的儲(chǔ)料器內(nèi)，不具備潔凈氣體的供給用噴嘴的貨架、以及具備潔凈氣體的供給用噴嘴的帶清洗功能貨架共存。
【附圖說明】
[0030]圖1是實(shí)施例的儲(chǔ)料器的主要部分的俯視圖。
[0031]圖2是圖1的主要部分的放大俯視圖。
[0032]圖3是實(shí)施例中的儲(chǔ)料器的架的主要部分的放大主視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0033]以下示出用于實(shí)施本發(fā)明的最佳實(shí)施例。本發(fā)明的范圍基于技術(shù)方案的記載，并參考說明書的記載與本領(lǐng)域的公知技術(shù)，應(yīng)根據(jù)本領(lǐng)域技術(shù)人員的理解來確定。
[0034]實(shí)施例
[0035]圖1?圖3示出實(shí)施例的儲(chǔ)料器2與儲(chǔ)料器單元12。圖1示出儲(chǔ)料器2的整體構(gòu)造，例如將一對(duì)架4、4之間作為搬運(yùn)裝置用空間，供未圖示的堆料機(jī)等搬運(yùn)裝置行駛。另夕卜，在架4、4的一部分設(shè)置有未圖示的出入庫用的裝載端口，在裝載端口與未圖示的橋式吊車等之間，對(duì)FOUP、SMIF盒子等容器進(jìn)行交換。搬運(yùn)裝置在裝載端口與架4之間或者架4、4間等對(duì)容器進(jìn)行交換。對(duì)于架4、4，將空間6側(cè)作為前方，將其相反側(cè)作為后方。
[0036]在架4、4的后端，柱8被設(shè)置有多個(gè)，在一對(duì)柱8、8，貨架10沿上下安裝有多個(gè)。另外，在一對(duì)柱8、8安裝有具備清洗功能的儲(chǔ)料器單元12。儲(chǔ)料器單元12在其后端具備一對(duì)鉛直的柱14、14，還具備由與柱14大致平行的配管構(gòu)成的清洗管路18，從而能夠從設(shè)置于工廠內(nèi)的管線等將干燥氮、清潔干燥空氣等潔凈氣體供給至容器內(nèi)。以通過一對(duì)柱14、14支承的方式將貨架16沿上下設(shè)置有多個(gè)，清洗管路18沿上下貫通貨架16，用于將潔凈氣體吹入容器內(nèi)的噴嘴19、19與用于從容器將潔凈氣體排出的噴嘴20被設(shè)置于貨架16。此夕卜，也可以在每個(gè)貨架16設(shè)置一個(gè)噴嘴19，也可以將排氣用的噴嘴20在左右設(shè)置為兩個(gè)。此外，在從容器的主體與蓋的縫隙自然地排出潔凈氣體的情況下，不需要排氣用的噴嘴20。22是負(fù)載傳感器，檢測(cè)有無支承于貨架16的容器。雖然負(fù)載傳感器22按每個(gè)貨架16設(shè)置為兩個(gè)，但是也可以設(shè)置為三個(gè)以上或者一個(gè)，另外，也可以不設(shè)置負(fù)載傳感器22，基于搬運(yùn)裝置使容器出入貨架16的數(shù)據(jù)，判斷有無容器。
[0037]圖2、