潔凈天車避障控制系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工設(shè)備技術(shù)，尤其涉及一種潔凈天車避障控制系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體行業(yè)中，自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)(Automatic Material Handling System ；AMHS)是業(yè)界最靈活的集合儲(chǔ)存、運(yùn)輸和管控FAB廠不同制程區(qū)域之間以及制程設(shè)備，量測機(jī)臺(tái)和stockers之間的制品搬運(yùn)解決方案。而潔凈天車(Overhead Hoist Transfer ；0ΗΤ)則是該系統(tǒng)中最主要的執(zhí)行部件。
[0003]當(dāng)多臺(tái)潔凈天車在運(yùn)行過程中，會(huì)與工作人員、生產(chǎn)設(shè)備有直接交互，這就需要OHT具有完善的避障功能，確保工作人員人身安全及天車與生產(chǎn)設(shè)備的完好?，F(xiàn)有OHT的避障系統(tǒng)比較復(fù)雜，有天車間的避障，也有天車與軌道周圍環(huán)境間的避障，還有天車與下方設(shè)備與人之間的避障，而不同廠家間的避障傳感器與控制系統(tǒng)間的控制方式有多種形式，相互間不兼容，并且為了將這些傳感器集成到控制系統(tǒng)里需要增加許多接口模塊，而這種方式造成控制結(jié)構(gòu)比較分散，不利于天車控制系統(tǒng)的整體控制，并且使天車核心控制器的功能復(fù)雜化。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明提供一種開放式的集成多種接口功能的、可自主完成潔凈天車避障控制的控制系統(tǒng)。
[0005]一種潔凈天車避障控制系統(tǒng)，包括:
[0006]避障傳感模塊，包括所述潔凈天車的全部避障傳感器，用于檢測所述潔凈天車工作區(qū)域的避障信息；
[0007]避障接口模塊，包括控制接口電路，所述避障接口模塊通過所述控制接口電路信號(hào)連接于所述避障傳感模塊，所述避障接口模塊用于獲取所述避障傳感模塊檢測到的避障信息；
[0008]主控邏輯模塊，信號(hào)連接于所述避障接口模塊，用于采集所述避障接口模塊獲取的避障信息；
[0009]中央處理模塊，信號(hào)連接于所述主控邏輯模塊，用于實(shí)時(shí)采集所述主控邏輯模塊獲取的避障信息，并結(jié)合所述潔凈天車當(dāng)前所處位置值發(fā)送相應(yīng)的控制指令；及
[0010]上位通訊模塊，信號(hào)連接于所述中央處理模塊，用于接收所述控制指令，并將所述控制指令發(fā)送給所述潔凈天車的核心控制器，所述核心控制器根據(jù)所述控制指令對(duì)所述潔凈天車的運(yùn)行狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整。
[0011]優(yōu)選地，還包括參數(shù)存儲(chǔ)模塊，所述參數(shù)存儲(chǔ)模塊信號(hào)連接于所述中央處理模塊，所述中央處理模塊還用于接收所述核心控制器發(fā)送的天車位置值，并根據(jù)所述天車位置值實(shí)時(shí)調(diào)整保護(hù)區(qū)域工作范圍，并將避障參數(shù)存儲(chǔ)到所述參數(shù)存儲(chǔ)模塊中。
[0012]優(yōu)選地，所述避障傳感器為車間避障傳感器、軌道區(qū)域避障傳感器及下視區(qū)域避障傳感器中的至少一種。
[0013]優(yōu)選地，所述車間避障傳感器的控制接口為RS232，用于檢測所述潔凈天車前方及后方的天車是否在該潔凈天車的避障區(qū)域內(nèi)。
[0014]優(yōu)選地，所述軌道區(qū)域避障傳感器的控制接口為RS232或以太網(wǎng)，用于檢測所述潔凈天車運(yùn)行前方軌道區(qū)域外的空間是否有障礙物。
[0015]優(yōu)選地，所述下視區(qū)域避障傳感器的控制接口為1或RS232，用于檢測天車在向下抓取或放置晶圓盒時(shí)天車下方區(qū)域是否有障礙物。
[0016]優(yōu)選地，所述避障接口模塊的控制接口電路為以太網(wǎng)、RS232或1接口電路。
[0017]優(yōu)選地，所述主控邏輯模塊包含F(xiàn)PGA器件，所述主控邏輯模塊將采集到的避障信息轉(zhuǎn)換成并行總線控制信號(hào)。
[0018]優(yōu)選地，所述中央處理模塊為嵌入式CPU。
[0019]優(yōu)選地，所述參數(shù)存儲(chǔ)模塊通過SPI串行總線存儲(chǔ)所述避障參數(shù)。
[0020]本發(fā)明提供的一種潔凈天車避障控制系統(tǒng)，通過避障傳感模塊檢測所述潔凈天車工作區(qū)域的避障信息，所述避障接口模塊獲取所述避障傳感模塊檢測到的避障信息，主控邏輯模塊采集所述避障接口模塊獲取的避障信息，中央處理模塊實(shí)時(shí)采集所述避障接口模塊獲取的避障信息，并結(jié)合所述潔凈天車當(dāng)前所處位置值發(fā)送相應(yīng)的控制指令，上位通訊模塊接收所述控制指令，并將所述控制指令發(fā)送給所述潔凈天車的核心控制器，所述核心控制器根據(jù)所述控制指令對(duì)所述潔凈天車的運(yùn)行狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整，由于，避障控制系統(tǒng)集中控制全部避障傳感器，潔凈天車的核心控制器只需要通過通訊總線發(fā)送控制指令及天車當(dāng)前位置值即可，不需要再對(duì)避障系統(tǒng)做任何操作，控制結(jié)構(gòu)更加簡單，降低了天車核心控制器的控制復(fù)雜度，并且省略了很多接口模塊，節(jié)約了成本和節(jié)省了空間。
【附圖說明】
[0021]圖1為一實(shí)施方式的潔凈天車避障控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清晰，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0023]請(qǐng)參閱圖1，圖1為本發(fā)明提供的潔凈天車避障控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖100，包括避障傳感模塊110、避障接口模塊120、主控邏輯模塊130、中央處理模塊140、上位通訊模塊150。
[0024]避障傳感模塊110包括潔凈天車的全部避障傳感器。避障傳感模塊110用于檢測潔凈天車工作區(qū)域的避障信息。其中，避障傳感器為車間避障傳感器111、軌道區(qū)域避障傳感器112及下視區(qū)域避障傳感器113中的至少一種。車間避障傳感器111的控制接口優(yōu)選為RS232，用于檢測潔凈天車前方及后方的天車是否在該潔凈天車的避障區(qū)域內(nèi)；軌道區(qū)域避障傳感器112的控制接口優(yōu)選為RS232或以太網(wǎng)，用于檢測所述潔凈天車運(yùn)行前方軌道區(qū)域外的空間是否有障礙物；下視區(qū)域避障傳感器113的控制接口優(yōu)選為1或RS232，用于檢測天車在向下抓取或放置晶圓盒時(shí)天車下方區(qū)域是否有障礙物。
[0025]避障接口模塊120包括控制接口電路。避障接口模塊120通過控制接口電路信號(hào)連接于避障傳感模塊110，避障接口模塊120用于獲取避障傳感模塊110檢測到的避障信息。其中，避障接口模塊的控制接口電路為以太網(wǎng)、RS232或1接口電路。具體地，采用RS232的控制接口電路實(shí)現(xiàn)車間避障傳感器111與避障接口模塊120之間的信號(hào)連接，采用以太網(wǎng)或RS232的控制接口電路實(shí)現(xiàn)軌道區(qū)域避障傳感器112與避障接口模塊120之間的信號(hào)連接，采用RS232或1的接口控制電路實(shí)現(xiàn)下視區(qū)域避障傳感器113與避障接口模塊120之間的信號(hào)連接。可以理解，通過采用以太網(wǎng)、RS232或1的控制接口電路，避障接口模塊120能夠獲取車間避障傳感器111、軌道區(qū)域避障傳感器112及下視區(qū)域避障傳感器113采集的障礙信息。
[0026]主控邏輯模塊130信號(hào)連接于避障接口模塊120，用于采集避障接口模塊120獲取的避障信息。其中，主控