5、控制單元106以及驅(qū)動(dòng)單元107 ;其中，感測(cè)單元105用于采集裝載臺(tái)104的圖像，控制單元106將采集的圖像與預(yù)設(shè)圖像進(jìn)行對(duì)比，并確認(rèn)待修正的距離，驅(qū)動(dòng)單元107用于接收控制單元106反饋的待修正距離的信息，并調(diào)整輸送車101的位置，直至采集的圖像與預(yù)設(shè)圖像重合。
[0033]本發(fā)明利用感測(cè)單元105采集裝載臺(tái)104的圖像，進(jìn)行圖像識(shí)別，使其與預(yù)設(shè)圖像進(jìn)行對(duì)比，進(jìn)而檢測(cè)出兩者之間的相對(duì)位置差，再將相對(duì)位置差反饋至驅(qū)動(dòng)單元107，驅(qū)動(dòng)單元107再對(duì)輸送車101的位置進(jìn)行調(diào)整，使輸送車101位于裝載臺(tái)104的正上方，從而保證輸送車101順利將硅片盒102取/放在裝載臺(tái)104上。
[0034]基于上述的硅片盒搬送系統(tǒng)，本發(fā)明同時(shí)提供一種硅片盒搬送方法，包括以下步驟:步驟SOl、輸送車101抓取硅片盒102行駛至工藝設(shè)備103的裝載臺(tái)104上方；步驟S02、輸送車101的感測(cè)單元105對(duì)下方的裝載臺(tái)104進(jìn)行圖像采集，并將采集的圖像反饋至控制單元106 ;步驟S03、控制單元106將采集的圖像與預(yù)設(shè)圖像進(jìn)行對(duì)比，并確認(rèn)待修正的距離；步驟S04、驅(qū)動(dòng)單元107接收控制單元106發(fā)送的待修正距離的信息，并調(diào)整輸送車101的位置，直至采集的圖像與預(yù)設(shè)圖像重合；步驟S05、輸送車101的抓取裝置將硅片盒102下降并放置在裝載臺(tái)104上后，輸送車101離開。
[0035]如圖3所示，為了便于采集圖像與預(yù)設(shè)圖像之間進(jìn)行對(duì)比，裝載臺(tái)104的中心位置處設(shè)有十字形的中心線108和/或裝載臺(tái)104上設(shè)有多個(gè)信息腳位109，當(dāng)兩者完全重合時(shí)，即可進(jìn)行硅片盒的取放。
[0036]值得說(shuō)明的是，為了實(shí)現(xiàn)圖像對(duì)比的功能，圖形的設(shè)置不限于上述的十字形的中心線108和多個(gè)信息腳位109組成的圖形，任何圖形的設(shè)置，通過(guò)圖像對(duì)比，以實(shí)現(xiàn)輸送車自動(dòng)修正位置的功能，均在本發(fā)明保護(hù)的范圍內(nèi)。
[0037]此外，為了修正后續(xù)的輸送車行駛至該工藝設(shè)備103上方的位置，控制單元106通過(guò)無(wú)線網(wǎng)絡(luò)與物料控制系統(tǒng)連接，控制單元106將待修正距離的信息發(fā)送至物料控制系統(tǒng)；物料控制系統(tǒng)可通過(guò)無(wú)線網(wǎng)絡(luò)將待修正距離的信息發(fā)送至其他輸送車的控制單元，其他輸送車的控制單元接受到待修正距離的信息后反饋至其他輸送車的驅(qū)動(dòng)單元，其他輸送車的驅(qū)動(dòng)單元接受到信息后，驅(qū)動(dòng)其他輸送車調(diào)整位置，使其他輸送車最終停止在所述裝載臺(tái)的正上方。通過(guò)將待修正距離的信息發(fā)送至其他輸送車，可避免其他輸送車進(jìn)行重復(fù)的感測(cè)和確認(rèn)待修正位置的信息，避免了繁瑣的步驟，節(jié)約工作和成本。
[0038]綜上所述，本發(fā)明提供了一種硅片盒搬送系統(tǒng)及方法，通過(guò)增設(shè)感測(cè)單元105、控制單元106以及驅(qū)動(dòng)單元107，使輸送車101具備位置修正功能，保證輸送車101行駛至裝載臺(tái)104正上方時(shí)進(jìn)行硅片盒102取放動(dòng)作，由于輸送車具備位置修正功能，因此工藝設(shè)備在前期安裝的過(guò)程中，與軌道位置對(duì)準(zhǔn)時(shí)的偏差容許量得以增加，從而大大減少工藝設(shè)備就位時(shí)耗費(fèi)的人力和時(shí)間；此外，本發(fā)明還可同時(shí)將位置修正的信息發(fā)送至其他輸送車，避免其他輸送車重復(fù)的確認(rèn)待修正距離的信息，簡(jiǎn)化了搬運(yùn)步驟；本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便、操作安全，大大提高了搬送效率。
[0039]以上所述僅是發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的描述，應(yīng)當(dāng)指出，由于文字表達(dá)的有限性，而在客觀上存在無(wú)限的具體結(jié)構(gòu)，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。任何簡(jiǎn)單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅片盒搬送系統(tǒng)，包括輸送車以及工藝設(shè)備，所述輸送車用于抓取硅片盒并沿著軌道行駛，所述工藝設(shè)備具有用于放置所述硅片盒的裝載臺(tái)；其特征在于， 所述輸送車的車身上設(shè)有感測(cè)單元、控制單元以及驅(qū)動(dòng)單元；其中，所述感測(cè)單元用于采集所述裝載臺(tái)的圖像，所述控制單元將采集的圖像與預(yù)設(shè)圖像進(jìn)行對(duì)比，并確認(rèn)待修正的距離，所述驅(qū)動(dòng)單元用于接收所述控制單元反饋的待修正距離的信息，并調(diào)整所述輸送車的位置，直至采集的圖像與預(yù)設(shè)圖像重合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片盒搬送系統(tǒng)，其特征在于，所述裝載臺(tái)的中心位置處設(shè)有十字形的中心線。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片盒搬送系統(tǒng)，其特征在于，所述裝載臺(tái)上設(shè)有多個(gè)信息腳位。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片盒搬送系統(tǒng)，其特征在于，所述控制單元與物料控制系統(tǒng)連接，所述控制單元同時(shí)將待修正距離的信息發(fā)送至所述物料控制系統(tǒng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片盒搬送系統(tǒng)，其特征在于，所述控制單元通過(guò)無(wú)線網(wǎng)絡(luò)與物料控制系統(tǒng)連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片盒搬送系統(tǒng)，其特征在于，所述物料控制系統(tǒng)與其他輸送車的控制單元連接，用于將待修正距離的信息發(fā)送至其他輸送車的控制單元，其他輸送車的驅(qū)動(dòng)單元用于接受待修正距離的信息并調(diào)整其自身的位置，使其最終停止在所述裝載臺(tái)的正上方位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅片盒搬送系統(tǒng)，其特征在于，所述物料控制系統(tǒng)通過(guò)無(wú)線網(wǎng)絡(luò)與其他輸送車連接。
8.一種基于權(quán)利要求1-7任一所述的硅片盒搬送系統(tǒng)的搬運(yùn)方法，其特征在于，包括以下步驟: 步驟S01、所述輸送車抓取硅片盒行駛至所述工藝設(shè)備的裝載臺(tái)上方； 步驟S02、所述輸送車的感測(cè)單元對(duì)所述裝載臺(tái)進(jìn)行圖像采集，并將采集的圖像反饋至所述控制單元； 步驟S03、所述控制單元將采集的圖像與預(yù)設(shè)圖像進(jìn)行對(duì)比，并確認(rèn)待修正的距離； 步驟S04、所述驅(qū)動(dòng)單元接收所述控制單元發(fā)送的待修正距離的信息，并調(diào)整所述輸送車的位置，直至采集的圖像與預(yù)設(shè)圖像重合； 步驟S05、所述輸送車的抓取裝置將硅片盒下降并放置在所述裝載臺(tái)上后，輸送車離
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的硅片盒搬送方法，其特征在于，所述步驟S03中，所述控制單元同時(shí)將待修正距離的信息通過(guò)物料控制系統(tǒng)反饋至其他輸送車的控制單元，其他輸送車的驅(qū)動(dòng)單元接受到待修正距離的信息后調(diào)整其自身位置，使其最終停止在所述裝載臺(tái)的正上方位置。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的硅片盒搬送方法，其特征在于，所述裝載臺(tái)上具有十字形的中心線圖像和/或多個(gè)信息腳位圖像。
【專利摘要】本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路物料輸送機(jī)臺(tái)技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種硅片盒搬送系統(tǒng)，包括輸送車以及工藝設(shè)備，輸送車的車身上設(shè)有感測(cè)單元、控制單元以及驅(qū)動(dòng)單元；感測(cè)單元用于采集裝載臺(tái)的圖像，控制單元將采集的圖像與預(yù)設(shè)圖像進(jìn)行對(duì)比，并確認(rèn)待修正的距離，驅(qū)動(dòng)單元用于接收控制單元反饋的待修正距離的信息，并調(diào)整輸送車的位置，直至采集的圖像與預(yù)設(shè)圖像重合。本發(fā)明的輸送車具備位置修正功能，保證輸送車行駛至裝載臺(tái)正上方時(shí)進(jìn)行硅片盒取放動(dòng)作，由于輸送車具備位置修正功能，因此工藝設(shè)備在前期安裝的過(guò)程中，與軌道位置對(duì)準(zhǔn)時(shí)的偏差容許量得以增加，從而大大減少工藝設(shè)備就位時(shí)耗費(fèi)的人力和時(shí)間。
【IPC分類】B65G35-00
【公開號(hào)】CN104709683
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510075416
【發(fā)明人】李佳青
【申請(qǐng)人】上海集成電路研發(fā)中心有限公司
【公開日】2015年6月17日
【申請(qǐng)日】2015年2月12日