保持光學(xué)元件100級潔凈度的方法及包裝設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于高能、高功率大型激光裝置領(lǐng)域，具體涉及保持光學(xué)元件100級潔凈度的方法及包裝設(shè)備。適用于在低于100級潔凈度環(huán)境中保持100級潔凈度的儲存方法和流通方法。
【背景技術(shù)】
[0002]實(shí)驗(yàn)室的潔凈度是指在工作環(huán)境的空氣中，單位體積內(nèi)所含一定粒徑微塵的數(shù)目。
[0003]潔凈度等級是指超過某一粒徑的微粒濃度。每一潔凈度等級定義了 lft2[或0.1m2]表面區(qū)域上的最大粒徑。因此100級粒子分布的表面，在每一平方英寸上只有一個(gè)10Mm的微粒，還有一定數(shù)量要求的小微粒，最小至IMm直徑。
[0004]MIL-STD-1246C (Product Cleanliness Levels and Contaminat1nControIProgram)為美國產(chǎn)品潔凈及污染控制標(biāo)準(zhǔn)，主要定義潔凈表面的微粒和覆蓋層的等級，以微粒的潔凈等級為例，從1~1000級，每一等級都考慮到微粒數(shù)及其直徑的分布。
[0005]在高能/高功率固體激光器裝置中，光學(xué)元件的100級潔凈度是國際中統(tǒng)一認(rèn)可的，是實(shí)現(xiàn)其理論目標(biāo)的基準(zhǔn)要求，是在其個(gè)體安裝、模塊組合、裝置運(yùn)行及維護(hù)過程中對光學(xué)元件的基本潔凈要求。另外在其它的各類輔助實(shí)驗(yàn)中(包含化學(xué)膜鍍制和模塊化裝調(diào)等工藝關(guān)鍵節(jié)點(diǎn))，光學(xué)元件的100潔凈度也是參與各個(gè)工藝實(shí)驗(yàn)的首要準(zhǔn)備條件之一。
[0006]當(dāng)發(fā)生以下幾種情況時(shí)，均需要100級潔凈度光學(xué)元件暫時(shí)脫離100級潔凈環(huán)境，存放至非100級潔凈環(huán)境中，以備后期使用；
a.激光裝置中，交叉或循環(huán)等多類實(shí)驗(yàn)而引發(fā)的光學(xué)元件更替；
b.激光裝置中的部分裝校模塊維護(hù)和更新調(diào)試中的模塊存儲；
c.批量光學(xué)元件的膜層鍍制工藝中，先期完成后期預(yù)處理(最后一道工序)的光學(xué)元件；
d.模塊化光學(xué)元件批量裝校前的準(zhǔn)備工作；
e.光學(xué)元件的離線檢驗(yàn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]為克服光學(xué)元件的潔凈度等級會隨著光學(xué)元件所處環(huán)境的潔凈度等級的變化而改變的不足，本發(fā)明的目的是提供一種保持光學(xué)元件100級潔凈度的方法，本發(fā)明的另一目的是提供用于保持光學(xué)元件100級潔凈度的方法的光學(xué)元件包裝設(shè)備。本發(fā)明能在低于100級潔凈度的環(huán)境中，仍然保持光學(xué)元件原有的100級潔凈度。
[0008]本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
本發(fā)明的保持光學(xué)元件100級潔凈度的方法，依次包括以下步驟:
a)將用于包裝100級潔凈度光學(xué)元件包裝設(shè)備，進(jìn)行超聲波清洗并烘干；
b)將用于包裝100級潔凈度光學(xué)元件包裝設(shè)備，在100級潔凈度空間環(huán)境下，使用優(yōu)級乙醇進(jìn)行擦拭去水，并使用壓縮空氣吹拂；
C)將待包裝的100級潔凈度光學(xué)元件置于所述的光學(xué)元件包裝設(shè)備內(nèi)；
d)將內(nèi)置100級潔凈度光學(xué)元件的光學(xué)元件包裝設(shè)備外圍沿順時(shí)針方向貼附100級潔凈度的薄膜，形成密封體。
[0009]其中，a)步驟中的超聲波頻率為50Hz~75 Hz，100W光照烘干時(shí)間為2h~4h ; b)步驟中的優(yōu)級乙醇CH3CH2OH ^ 99.8%。
[0010]本發(fā)明的保持光學(xué)元件100級潔凈度的包裝設(shè)備，其特點(diǎn)是，所述的設(shè)備包括提把、墊塊、頂蓋、側(cè)梁、底梁、旋緊卡扣、旋緊螺栓、連接開關(guān)、封板。所述提把設(shè)置在頂蓋的上方，頂蓋兩側(cè)分別設(shè)置有插槽，用于封板的固定。所述旋緊卡扣鑲嵌在頂蓋的兩端，用于固定連接旋緊鏍栓。所述旋緊鏍栓鑲嵌在側(cè)梁的上半部，用于連接側(cè)梁與頂蓋。所述連接開關(guān)鑲嵌在底梁與側(cè)梁連接的兩端，用于連接底梁與兩個(gè)側(cè)梁。所述墊塊分別固定在側(cè)梁、底梁、頂蓋的中心位置。所述側(cè)梁、底梁兩側(cè)均設(shè)置有插槽，用于作為本發(fā)明的保持光學(xué)元件100級潔凈度方法的改進(jìn)，可以隨時(shí)便捷的使用基本設(shè)備就能夠達(dá)到在儲存環(huán)境低于光學(xué)元件要求的潔凈度情況下，仍能保持光學(xué)元件原有的潔凈度要求，也不必?fù)?dān)心密封設(shè)施會影響環(huán)境的潔凈度。
[0011]作為本發(fā)明的保持光學(xué)元件100級潔凈度方法的改進(jìn)，使用同一套封裝設(shè)備，可以使多種類別、多種工藝和多種不同潔凈度等級要求的光學(xué)元件同時(shí)放置于低于光學(xué)元件潔凈度等級要求的儲存環(huán)境中。
[0012]作為本發(fā)明的保持光學(xué)元件100級潔凈度方法的另一種改進(jìn)，如果光學(xué)元件的存放時(shí)限在超出24周以上的長時(shí)間儲存，可以進(jìn)行二次密封，其密封方向與第一次封裝方向呈直角的方向；
本發(fā)明的有益效果是實(shí)現(xiàn)了潔凈光學(xué)元件在低于其自身潔凈度的環(huán)境中，保持光學(xué)元件的原有潔凈度要求，并保持其表面等級要求不降低。
[0013]1.可以不使用其它工具，隨時(shí)便捷的保持光學(xué)元件100級潔凈度的要求；
2.減少了相關(guān)光學(xué)元件再次潔凈操作過程的時(shí)間和損耗；
3.降低了相關(guān)光學(xué)元件再次潔凈操作過程中的風(fēng)險(xiǎn)；
4.維持并延續(xù)了相關(guān)光學(xué)元件的工藝研宄進(jìn)程和計(jì)算測試過程；
5.可以持續(xù)性的延長光學(xué)元件的使用壽命。
[0014]本發(fā)明包裝設(shè)備中的提把在頂蓋的上方，頂蓋的兩端是旋緊開關(guān)的施展空間，頂蓋兩側(cè)分別有對應(yīng)的插槽。
[0015]本發(fā)明包裝設(shè)備中旋緊卡扣鑲嵌在頂蓋的兩端，用于固定旋緊鏍栓，便于配套來達(dá)到連接側(cè)梁和頂蓋的目地；
本發(fā)明包裝設(shè)備的包裝設(shè)備中旋緊鏍栓鏍栓鑲嵌在側(cè)梁的上半部，用于連接側(cè)梁和頂蓋;
本發(fā)明包裝設(shè)備的包裝設(shè)備中連接開關(guān)是以合頁的形式鑲嵌在底梁和側(cè)梁連接的那端，專項(xiàng)用于連接底梁和兩個(gè)側(cè)梁的工具；
本發(fā)明包裝設(shè)備的包裝設(shè)備中墊塊是平均分布且固定在側(cè)梁、底梁和頂蓋的中間部位的；
本發(fā)明包裝設(shè)備的包裝設(shè)備中的側(cè)梁、底梁和頂蓋的兩側(cè)均有貫通長度的插橫槽，用于封板的固定；
本發(fā)明中的潔凈薄膜包裹在包裝設(shè)備的外圍。
【附圖說明】
[0016]圖1為本發(fā)明的保持光學(xué)元件100級潔凈度的包裝設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖；
圖中，1.提把 2.墊塊 3.頂蓋 4.側(cè)梁 5.底梁 6.旋緊卡扣7.旋緊螺栓 8.連接開關(guān) 9.封板。
【具體實(shí)施方式】
[0017]包裝設(shè)備中的光學(xué)元件形狀有正方體、長方體、圓柱體、圓錐體、棱形體和多面體(六面以上)等多種形狀，其中口徑達(dá)300mm以上的光學(xué)元件為激光裝置的潔凈要求重點(diǎn)，本發(fā)明以最常用的形狀一長方體為例對本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行描述。<