輸送裝置和輸送系統(tǒng)的制作方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及輸送裝置和輸送系統(tǒng)。
【背景技術】
[0002]在半導體制造或液晶面板制造工序中，工件向處理腔室的搬出搬入使用可以直線狀輸送工件的輸送機器人。近年來，由于半導體晶片和液晶面板的大型化，為了實現(xiàn)準確的直線移動工序，提出了使用直線導軌輸送工件的技術(例如參照專利文獻I)。在平行地設置的兩條直線導軌(以下，作為導軌)的每一條上，包括能夠沿著導軌進行移動的多個擋塊，在擋塊上經(jīng)由連接部件等安裝有把手，工件載置在把手上且工件被直線狀輸送。
[0003]當工件被載置在把手上時，在擋塊上因偏負荷而在導軌軸方向周圍施加有力矩。由此，有可能引起擋塊及其附近的部件的早期破損。
[0004]現(xiàn)有技術文獻
[0005]專利文獻
[0006]專利文獻1:日本特開2005 - 125479號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]發(fā)明想要解決的技術問題
[0008]本發(fā)明是鑒于上述情況而完成的，其課題在于提供一種能夠延長壽命的輸送裝置。
[0009]根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供一種輸送裝置，其包括:引導機構；和被上述引導機構引導而進行移動的移動體，上述移動體包括:第一支承體，其具有與上述引導機構卡合的第一卡合部，沿著第一方向可移動地被上述引導機構支承；第二支承體，其具有與上述引導機構卡合的第二卡合部，沿著上述第一方向可移動地被上述引導機構支承；和保持部，其被上述第一支承體和上述第二支承體支承，用于保持工件，在上述第一卡合部因上述移動體的變形而載荷有第一反向力矩，上述第一反向力矩是與在上述工件被保持于上述保持部的情況下因上述工件的負荷而載荷于上述第一卡合部的力矩反向的力矩。
[0010]優(yōu)選:在上述第二卡合部因上述移動體的變形而載荷有第二反向力矩，上述第二反向力矩是與在上述工件被保持于上述保持部的情況下因上述工件的負荷而載荷于上述第二卡合部的力矩反向的力矩。
[0011]優(yōu)選:上述移動體在彈性變形的狀態(tài)下被保持。
[0012]優(yōu)選:上述引導機構包括各自沿著上述第一方向延伸的第一引導部和第二引導部，上述第一引導部和上述第二引導部在與上述第一方向正交的第二方向相互離開，上述第一引導部與上述第—^合部卡合，上述第二引導部與上述第二卡合部卡合。
[0013]優(yōu)選:上述第一支承體中的上述保持部的支承部位，從重力方向上方向重力方向下方看時，位于與上述第一卡合部不同的位置，上述第二支承體中的上述保持部的支承部位，從重力方向上方向重力方向下方看時，位于與上述第二卡合部不同的位置。
[0014]優(yōu)選:上述引導機構包括沿著上述第一方向延伸的第一引導部，上述第一卡合部和上述第二卡合部均與上述第一引導部卡合。
[0015]優(yōu)選:上述第一支承體具有第一安裝板和第一間隔件，上述第二支承體具有第二安裝板和第二間隔件，上述第一安裝板被安裝于上述第一卡合部，上述第一間隔件支承上述保持部，且從重力方向上方向重力方向下方看時，在與上述第一卡合部不同的位置安裝于上述第一安裝板上，上述第二安裝板被安裝于上述第二卡合部，上述第二間隔件支承上述保持部，且從重力方向上方向重力方向下方看時，在與上述第二卡合部不同的位置安裝于上述第二安裝板上。
[0016]優(yōu)選:還包括:第一軸承，其介于上述第一卡合部和上述引導機構之間；和第二軸承，其介于上述第二卡合部和上述引導機構之間。
[0017]優(yōu)選:還包括支承上述引導機構的基體，在上述第一卡合部和上述保持部之間或上述引導機構和上述基體之間形成有第一傾斜面，在上述第二卡合部和上述保持部之間或上述引導機構和上述基體之間形成有第二傾斜面。
[0018]優(yōu)選:還包括支承上述引導機構的基體，在上述第一卡合部和上述保持部之間或上述引導機構和上述基體之間形成有第一臺階部，在上述第二卡合部和上述保持部之間或上述引導機構和上述基體之間形成有第二臺階部。
[0019]優(yōu)選:上述保持部具有保持件和保持上述工件的末端器，上述保持件被支承于上述第一支承體和上述第二支承體，上述末端執(zhí)行器與上述保持件連接，且沿著上述第一方向延伸。
[0020]根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供一種輸送系統(tǒng)，其包括:由本發(fā)明的第一方面提供的輸送裝置；和收納由所述輸送裝置所輸送的工件的工件收納機構。
[0021]本發(fā)明的其它特征和優(yōu)點，參照附圖通過以下進行的詳細的說明更明確。
【附圖說明】
[0022]圖1是本發(fā)明的第一實施方式的輸送系統(tǒng)的立體圖。
[0023]圖2是本發(fā)明的第一實施方式的輸送裝置的立體圖。
[0024]圖3是示意性地表示沿圖2的II1-1II線的剖面的剖視圖。
[0025]圖4是表示圖3所示的輸送裝置的制造工序的一個工序的剖視圖。
[0026]圖5是示意性地表示本發(fā)明的第一實施方式的第一變形例的輸送裝置的剖視圖。
[0027]圖6是表示圖5所示的輸送裝置的制造工序的一個工序的剖視圖。
[0028]圖7是示意性地表示本發(fā)明的第一實施方式的第二變形例的輸送裝置的剖視圖。
[0029]圖8是表示圖7所示的輸送裝置的制造工序的一個工序的剖視圖。
[0030]圖9是示意性地表示本發(fā)明的第一實施方式的第3變形例的輸送裝置的剖視圖。
[0031]圖10是示意性地表示本發(fā)明的第一實施方式的第4變形例的輸送裝置的制造工序的一個工序的剖視圖。
[0032]圖11是示意性地表示本發(fā)明的第二實施方式的輸送裝置的剖視圖；
[0033]圖12是表示圖11所示的輸送裝置的制造工序的一個工序的剖視圖。
[0034]附圖標記說明
[0035]I 基體
[0036]100、101、102、103、104、200 輸送裝置
[0037]18A第一傾斜面
[0038]18B第二傾斜面
[0039]2 引導機構
[0040]2A 第一引導部
[0041]2B 第二引導部
[0042]4 移動體
[0043]41A第一支承體
[0044]41IA 第一^^合部
[0045]413A第一安裝板
[0046]414A支承部位
[0047]415A第一間隔件
[0048]416A第一中間部件
[0049]417A，418A 第一傾斜面
[0050]419A第一臺階部
[0051]41B第二支承體
[0052]41IB第二卡合部
[0053]413B第二安裝板
[0054]414B支承部位
[0055]415B第二間隔件
[0056]416B第二中間部件
[0057]417B，418B 第二傾斜面
[0058]419B第二臺階部
[0059]45 保持部
[0060]451保持件
[0061]453 末端執(zhí)行器
[0062]6A 第一軸承
[0063]6B 第二軸承
[0064]7 機體
[0065]800 輸送系統(tǒng)
[0066]830 工件收納機構
[0067]831，832工件儲存裝置
[0068]89 工件
[0069]Ml I，M21 力矩
[0070]M12 第一反向力矩
[0071]M22 第二反向力矩
[0072]N1、N2、Z1、Z2 方向
[0073]X 第一方向
[0074]Y 第二方向
【具體實施方式】
[0075]下面，參照附圖對本發(fā)明的實施方式具體地進行說明。
[0076](第一實施方式)
[0077]使用圖1?圖4，對本發(fā)明的第一實施方式進行說明。
[0078]圖