物品運(yùn)輸設(shè)備及頂棚運(yùn)輸車的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及通過(guò)沿著設(shè)置在設(shè)備的頂棚附近的運(yùn)輸路行駛的頂棚運(yùn)輸車進(jìn)行物品的運(yùn)輸?shù)奈锲愤\(yùn)輸設(shè)備、及其頂棚運(yùn)輸車。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備等中，采用如下的物品運(yùn)輸設(shè)備的方式，該方式構(gòu)成為，運(yùn)輸車(頂棚運(yùn)輸車)沿著設(shè)置在設(shè)備的頂棚附近的運(yùn)輸路(行進(jìn)軌道)行進(jìn)，通過(guò)由該頂棚運(yùn)輸車懸掛下方的物品(收容有多個(gè)半導(dǎo)體晶片、制作過(guò)程中的半導(dǎo)體裝置的容器、鐵環(huán)、箱子等)，使得物品沿著運(yùn)輸路而運(yùn)輸。
[0003]在這樣的物品運(yùn)輸設(shè)備中使用的頂棚運(yùn)輸車通常在車體的左右分別具備用于在左右一對(duì)行進(jìn)軌道上行進(jìn)的車輪(驅(qū)動(dòng)輪)，關(guān)于向該左右的驅(qū)動(dòng)輪傳遞旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力的車軸，多數(shù)形成為使用左右共用的車軸的結(jié)構(gòu)。此時(shí)，在運(yùn)輸路的轉(zhuǎn)彎區(qū)間，即行進(jìn)軌道形狀為曲線的區(qū)間中，由于驅(qū)動(dòng)輪需要通過(guò)的距離在左右不同(產(chǎn)生內(nèi)外輪差)，如果使其以與在直行區(qū)間相同的方式行進(jìn)，則頂棚運(yùn)輸車的姿勢(shì)會(huì)相對(duì)于需要行進(jìn)的方向在左右發(fā)生偏離。由此，會(huì)發(fā)生頂棚運(yùn)輸車卡在轉(zhuǎn)彎區(qū)間而停止行進(jìn)，甚至在最壞的情況下會(huì)產(chǎn)生頂棚運(yùn)輸車從行進(jìn)軌道翻落的情形，為了防止這樣的情況發(fā)生，需要采用通過(guò)差動(dòng)齒輪對(duì)左右驅(qū)動(dòng)輪的轉(zhuǎn)速進(jìn)行調(diào)整等涉及內(nèi)外輪差的對(duì)策。
[0004]然而，如果頂棚運(yùn)輸車除了用于物品懸掛的控制裝置等之外還具備差動(dòng)齒輪等用于使左右驅(qū)動(dòng)輪的轉(zhuǎn)速不同的復(fù)雜的機(jī)構(gòu)，則會(huì)使頂棚運(yùn)輸車的尺寸變得過(guò)大，不得不為了運(yùn)輸而確保大的空間，而且會(huì)使頂棚運(yùn)輸車的制造成本升高。
[0005]對(duì)此，在專利文獻(xiàn)I記載的發(fā)明中，在運(yùn)輸臺(tái)車的驅(qū)動(dòng)輪上準(zhǔn)備了大徑部分和小徑部分，在轉(zhuǎn)彎區(qū)間中，小徑部分在內(nèi)周側(cè)與行進(jìn)軌道接觸，大徑部分在外周側(cè)與行進(jìn)軌道接觸，據(jù)此，即使通過(guò)共用的驅(qū)動(dòng)軸來(lái)驅(qū)動(dòng)左右的驅(qū)動(dòng)輪，也能夠不使用差動(dòng)齒輪等機(jī)構(gòu)而能夠順利地轉(zhuǎn)彎行進(jìn)。
[0006]在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2008-044400

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]發(fā)明所要解決的課題
[0010]然而，專利文獻(xiàn)I記載的運(yùn)輸臺(tái)車存在只能根據(jù)與大徑部分同小徑部分的直徑之比相對(duì)應(yīng)的曲率半徑進(jìn)行轉(zhuǎn)彎的問(wèn)題。
[0011]S卩，雖然能夠順利地進(jìn)行特定的曲率半徑的轉(zhuǎn)彎，但對(duì)于除此以外的曲率半徑的轉(zhuǎn)彎則因?yàn)楫a(chǎn)生了內(nèi)外輪差而不能順利地行進(jìn)。因此，能夠在轉(zhuǎn)彎區(qū)間中采用的曲率半徑僅限于一種特定規(guī)格，限制了行進(jìn)軌道的布局。
[0012]另外，在使用頂棚運(yùn)輸車的物品運(yùn)輸設(shè)備中，根據(jù)用于懸掛物品的機(jī)構(gòu)的形狀，存在該機(jī)構(gòu)與外周側(cè)的行進(jìn)軌道在轉(zhuǎn)彎區(qū)間中碰撞的可能性。即，由于外周側(cè)的部分在轉(zhuǎn)彎區(qū)間內(nèi)大范圍地移動(dòng)，如果在其移動(dòng)范圍內(nèi)存在行進(jìn)軌道，則會(huì)發(fā)生其與行進(jìn)軌道碰撞的冋題。
[0013]對(duì)此，能夠通過(guò)在有可能發(fā)生碰撞的范圍中設(shè)置成不鋪設(shè)外周側(cè)行進(jìn)軌道，設(shè)置外周側(cè)行進(jìn)軌道中斷的區(qū)間，由此防止上述問(wèn)題。
[0014]然而，如果設(shè)置外周側(cè)行進(jìn)軌道中斷的區(qū)間，則在該區(qū)間中只有內(nèi)周側(cè)的車輪相對(duì)于行進(jìn)軌道接觸，因而在該區(qū)間中頂棚運(yùn)輸車停止行進(jìn)的情況下，需要預(yù)先設(shè)置成能夠只通過(guò)內(nèi)周側(cè)的車輪提供起動(dòng)轉(zhuǎn)矩。
[0015]因此，在本發(fā)明中，具有如下目的:頂棚運(yùn)輸車設(shè)置成能夠以各種的曲率的轉(zhuǎn)彎行進(jìn)而提高行進(jìn)軌道的布局自由度；并且能夠防止頂棚運(yùn)輸車的機(jī)構(gòu)與行進(jìn)軌道碰撞；并且即使頂棚運(yùn)輸車在任一區(qū)間停止行進(jìn)時(shí)都能確保用于再起動(dòng)的轉(zhuǎn)矩。
[0016]用于解決課題的方案
[0017]本發(fā)明中的物品運(yùn)輸設(shè)備是通過(guò)沿著運(yùn)輸路行進(jìn)的頂棚運(yùn)輸車而運(yùn)輸物品的物品運(yùn)輸設(shè)備，在物品運(yùn)輸設(shè)施的頂棚側(cè)，沿著所述運(yùn)輸路敷設(shè)有左右一對(duì)行進(jìn)軌道，所述頂棚運(yùn)輸車具備:由所述行進(jìn)軌道支承而通過(guò)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)使頂棚運(yùn)輸車沿著所述行進(jìn)軌道行進(jìn)的驅(qū)動(dòng)輪；與所述驅(qū)動(dòng)輪相獨(dú)立地旋轉(zhuǎn)的從動(dòng)輪；所述頂棚運(yùn)輸車的所述驅(qū)動(dòng)輪及所述從動(dòng)輪分別設(shè)置在相對(duì)于運(yùn)輸方向的左方和右方的兩側(cè)，構(gòu)成為，在所述運(yùn)輸路的直行區(qū)間中，所述頂棚運(yùn)輸車的左右兩側(cè)的驅(qū)動(dòng)輪分別由左右一對(duì)所述行進(jìn)軌道支承，在所述運(yùn)輸路的轉(zhuǎn)彎區(qū)間中，所述頂棚運(yùn)輸車的內(nèi)周側(cè)的從動(dòng)輪由內(nèi)周側(cè)的行進(jìn)軌道支承，所述頂棚運(yùn)輸車的外周側(cè)的驅(qū)動(dòng)輪由外周側(cè)的行進(jìn)軌道支承。
[0018]根據(jù)該物品運(yùn)輸設(shè)備，由于從動(dòng)輪在轉(zhuǎn)彎區(qū)間的內(nèi)周側(cè)由行進(jìn)軌道支承，驅(qū)動(dòng)輪在外周側(cè)由行進(jìn)軌道支承，所以內(nèi)周側(cè)的車輪(從動(dòng)輪)的轉(zhuǎn)速根據(jù)外周側(cè)的車輪(驅(qū)動(dòng)輪)的轉(zhuǎn)速和內(nèi)周側(cè)的行進(jìn)軌道的曲率而自動(dòng)地調(diào)節(jié)。因此，即使不使用差動(dòng)齒輪那樣的復(fù)雜的機(jī)構(gòu)，也能夠使頂棚運(yùn)輸車的左右的車輪的轉(zhuǎn)速不同。
[0019]另外，也可以構(gòu)成為:在運(yùn)輸路的轉(zhuǎn)彎區(qū)間的一部分設(shè)置有外周側(cè)的行進(jìn)軌道中斷了的外周行進(jìn)軌道中斷區(qū)間，在相對(duì)于頂棚運(yùn)輸車的運(yùn)輸方向的左方和右方的兩側(cè)，設(shè)置有直徑比驅(qū)動(dòng)輪小且與驅(qū)動(dòng)輪共同旋轉(zhuǎn)的輔助驅(qū)動(dòng)輪，在所述運(yùn)輸路的轉(zhuǎn)彎區(qū)間中，在所述外周行進(jìn)軌道中斷區(qū)間中，所述頂棚運(yùn)輸車的內(nèi)周側(cè)的所述輔助驅(qū)動(dòng)輪由內(nèi)周側(cè)的行進(jìn)軌道支承。
[0020]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在頂棚運(yùn)輸車通過(guò)懸掛方式而運(yùn)輸物品的情況下，能夠防止由于頂棚運(yùn)輸車而導(dǎo)致的用于懸掛的機(jī)構(gòu)在轉(zhuǎn)彎區(qū)間與外周行進(jìn)軌道的碰撞，而且形成了無(wú)論在哪一個(gè)區(qū)間中內(nèi)周側(cè)和外周側(cè)的哪一方的驅(qū)動(dòng)輪或者輔助驅(qū)動(dòng)輪都一定由行進(jìn)軌道支承的狀態(tài)。
[0021]另外，也可以設(shè)置為:驅(qū)動(dòng)輪與從動(dòng)輪的直徑不同，在運(yùn)輸路的轉(zhuǎn)彎區(qū)間中的左右一對(duì)行進(jìn)軌道在行進(jìn)軌道表面上設(shè)置有高低差，以便在內(nèi)周側(cè)形成為一邊支承從動(dòng)輪一邊從驅(qū)動(dòng)輪離開(kāi)的形狀，在外周側(cè)形成為支承驅(qū)動(dòng)輪的形狀。
[0022]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，隨著頂棚運(yùn)輸車沿著行進(jìn)軌道行進(jìn)，對(duì)于驅(qū)動(dòng)輪與從動(dòng)輪中的哪一方由行進(jìn)軌道支承，能夠根據(jù)行進(jìn)軌道形狀而自動(dòng)地選擇。
[0023]另外，也可以設(shè)置成:在頂棚運(yùn)輸車具有輔助驅(qū)動(dòng)輪的形態(tài)中，驅(qū)動(dòng)輪、從動(dòng)輪、輔助驅(qū)動(dòng)輪的直徑不同，在運(yùn)輸路的轉(zhuǎn)彎區(qū)間之中在外周行進(jìn)軌道中斷區(qū)間以外的左右一對(duì)行進(jìn)軌道在行進(jìn)軌道表面上設(shè)置高低差，以便在內(nèi)周側(cè)形成為一邊支承從動(dòng)輪一邊從驅(qū)動(dòng)輪及輔助驅(qū)動(dòng)輪離開(kāi)的形狀，在外周側(cè)形成為一邊支承驅(qū)動(dòng)輪一邊從輔助驅(qū)動(dòng)輪離開(kāi)的形狀，在外周行進(jìn)軌道中斷區(qū)間中的內(nèi)周側(cè)的行進(jìn)軌道在行進(jìn)軌道表面上設(shè)置高低差，以便形成為一邊支承輔助驅(qū)動(dòng)輪一邊從驅(qū)動(dòng)輪離開(kāi)的形狀。
[0024]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，隨著頂棚運(yùn)輸車沿著行進(jìn)軌道行進(jìn)，對(duì)于驅(qū)動(dòng)輪、從動(dòng)輪、輔助驅(qū)動(dòng)輪的哪一方由行進(jìn)軌道支承，能夠根據(jù)行進(jìn)軌道形狀而自動(dòng)地選擇。
[0025]另外，也可以設(shè)置成:在頂棚運(yùn)輸車具有輔助驅(qū)動(dòng)輪的形態(tài)中，驅(qū)動(dòng)輪、從動(dòng)輪、輔助驅(qū)動(dòng)輪的旋轉(zhuǎn)軸為同軸，在驅(qū)動(dòng)輪與輔助驅(qū)動(dòng)輪之間配置有從動(dòng)輪。
[0026]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，僅通過(guò)對(duì)只具備驅(qū)動(dòng)輪的頂棚運(yùn)輸車進(jìn)行稍微改造(相對(duì)于驅(qū)動(dòng)輪同軸地固定追加的輔助驅(qū)動(dòng)輪，在該追加車輪的輪軸上經(jīng)由軸承安裝從動(dòng)輪)，就能夠獲得具備驅(qū)動(dòng)輪、從動(dòng)輪、輔助驅(qū)動(dòng)輪的頂棚運(yùn)輸車。
[0027]另外，在本發(fā)明中的頂棚運(yùn)輸車是沿著左右一對(duì)行進(jìn)軌道行進(jìn)的頂棚運(yùn)輸車，該行進(jìn)軌道在物品運(yùn)輸設(shè)施的頂棚側(cè)沿著運(yùn)輸路而敷設(shè)，在相對(duì)于運(yùn)輸方向的左方和右方的兩側(cè)分別具備:為了沿著所述行進(jìn)軌道行進(jìn)而由所述行進(jìn)軌道支承并旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)輪；與所述驅(qū)動(dòng)輪相獨(dú)立地旋轉(zhuǎn)的從動(dòng)輪；在所述運(yùn)輸路的直行區(qū)間中，所述驅(qū)動(dòng)輪左右兩側(cè)都分別由左右一對(duì)所述行進(jìn)軌道支承，在所述運(yùn)輸路的轉(zhuǎn)彎區(qū)間中，只有所述驅(qū)動(dòng)輪外周側(cè)由外周側(cè)的行進(jìn)軌道支承，在所述運(yùn)輸路的轉(zhuǎn)彎區(qū)間所述從動(dòng)輪的內(nèi)周側(cè)由內(nèi)周側(cè)的行進(jìn)軌道支承。
[0028]根據(jù)該頂棚運(yùn)輸車，由于在轉(zhuǎn)彎區(qū)間的內(nèi)周側(cè)中從動(dòng)輪由行進(jìn)軌道支承，在外周側(cè)驅(qū)動(dòng)輪由進(jìn)軌道支承，因而內(nèi)周側(cè)的從動(dòng)輪的轉(zhuǎn)速能夠根據(jù)外周側(cè)的驅(qū)動(dòng)輪的轉(zhuǎn)速和內(nèi)周側(cè)的行進(jìn)軌道的曲率而自動(dòng)地調(diào)節(jié)。因此，即使不使用差動(dòng)齒輪這樣復(fù)雜的機(jī)構(gòu)，也能夠使左右的車輪的轉(zhuǎn)速不同。
[0029]發(fā)明效果
[0030]根據(jù)本發(fā)明，因?yàn)榧词共皇褂脧?fù)雜的機(jī)構(gòu)也能夠使頂棚運(yùn)輸車的左右的車輪的轉(zhuǎn)速不同，所以頂棚運(yùn)輸車能夠相對(duì)于任何曲率的轉(zhuǎn)彎順利地行進(jìn)。因此，無(wú)論運(yùn)輸路的路徑形成為何種形狀，都能夠比較自由地選擇行進(jìn)軌道的布局，提高物品運(yùn)輸設(shè)備的設(shè)計(jì)自由度。
[0031]另外，除了通過(guò)設(shè)置外周行進(jìn)軌道中斷區(qū)間以消除頂棚運(yùn)輸車機(jī)構(gòu)相對(duì)行進(jìn)軌道發(fā)生碰撞的可能性之外，還能夠通過(guò)在外周行進(jìn)軌道中斷區(qū)間由行進(jìn)軌道支承內(nèi)周側(cè)的輔助驅(qū)動(dòng)輪而實(shí)現(xiàn)如下效果:即使在頂棚運(yùn)輸車在外周行進(jìn)軌道中斷區(qū)間停止行進(jìn)的情況下，也能夠通過(guò)由行進(jìn)軌道支承的輔助驅(qū)動(dòng)輪獲得足夠的起動(dòng)轉(zhuǎn)矩。
[0032]另外，對(duì)于驅(qū)動(dòng)輪、從動(dòng)輪、以及輔助驅(qū)動(dòng)輪中的哪一方由行進(jìn)軌道支承這一問(wèn)題，由于其能夠隨著頂棚運(yùn)輸車的行進(jìn)而根據(jù)行進(jìn)軌道形狀而自動(dòng)地選擇，因而即使不準(zhǔn)備使車輪升降的復(fù)雜的機(jī)構(gòu)，也能夠?qū)τ尚羞M(jìn)軌道支承的車輪進(jìn)行切換。
[0033]另外，因?yàn)橥ㄟ^(guò)對(duì)只具備驅(qū)動(dòng)輪的頂棚運(yùn)輸車進(jìn)行稍微的改造就能得到具備驅(qū)動(dòng)輪、從動(dòng)輪、輔助驅(qū)動(dòng)輪的頂棚運(yùn)輸車，所以本發(fā)明也能夠容易通過(guò)后續(xù)安裝而應(yīng)用至既存的物品運(yùn)輸設(shè)備。
【附圖說(shuō)明】
[0034]圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的一例中物品運(yùn)輸設(shè)備之中，運(yùn)輸路的轉(zhuǎn)