一種二自由度重力平衡吊裝機(jī)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及精密調(diào)整機(jī)構(gòu)，特別提供了一種二自由度重力平衡吊裝機(jī)構(gòu)，主要用于光刻物鏡部分機(jī)構(gòu)拆卸與集成過程中，物鏡機(jī)構(gòu)的吊運(yùn)與傾斜的調(diào)整，以及在集成調(diào)偏心時的重力平衡。
【背景技術(shù)】
[0002]在光刻物鏡選擇某鏡組進(jìn)行面型精修時，需要對該鏡組上部物鏡機(jī)構(gòu)進(jìn)行拆卸與集成，在此過程中需要對上部物鏡機(jī)構(gòu)進(jìn)行吊運(yùn)，吊運(yùn)時要進(jìn)行傾斜的調(diào)整以保證機(jī)構(gòu)的安全分離與安裝，安裝時需要平衡上部物鏡機(jī)構(gòu)絕大部分重力以便可以調(diào)節(jié)偏心從而達(dá)到所要求的光學(xué)技術(shù)指標(biāo)，為了能將物鏡機(jī)構(gòu)安全吊運(yùn)以及容易的調(diào)整到指定位置，需要吊裝機(jī)構(gòu)滿足如下要求:
1、吊裝機(jī)構(gòu)整體外形尺寸不宜過大、結(jié)構(gòu)緊湊；
2、吊裝機(jī)構(gòu)具有足夠的剛度及強(qiáng)度；
3、吊裝機(jī)構(gòu)具有調(diào)節(jié)傾斜及重力平衡的功能，調(diào)節(jié)時應(yīng)方便、快速且有自鎖功能；
4、吊裝機(jī)構(gòu)在懸吊及工作時應(yīng)足夠的安全。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，一般的物鏡機(jī)構(gòu)吊裝機(jī)構(gòu)功能單一即只具有吊裝的功能，并不具備調(diào)節(jié)傾斜以及重力平衡的功能，而且適用的對象范圍較小，造成頻繁更換吊裝機(jī)構(gòu)的現(xiàn)象，因此一般的吊裝機(jī)構(gòu)在實(shí)用性和通用性方面都不十分理想。
[0004]因此，如何解決上述問題，成為人們亟待解決的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]
鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種二自由度重力平衡吊裝機(jī)構(gòu)，以至少解決以往吊裝機(jī)構(gòu)存在的只具有吊裝的單一功能，適用的對象范圍較小，造成頻繁更換吊裝機(jī)構(gòu)等問題。
[0006]本發(fā)明提供的方案具體為，一種二自由度重力平衡吊裝機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括: 下基板I ;
上基板2，位于所述下基板I的上方；
傾斜配重機(jī)構(gòu)3，其分別與所述下基板I和所述上基板2固定連接，且所述傾斜配重機(jī)構(gòu)3的下端設(shè)有用于與吊裝物連接的下吊環(huán)螺栓，所述下吊環(huán)螺栓位于所述下基板I的下方；
重力平衡機(jī)構(gòu)4，其分別與所述下基板I和所述上基板2固定連接，且所述重力平衡機(jī)構(gòu)4的上端設(shè)置有用于與吊機(jī)連接的上吊環(huán)螺栓，所述上吊環(huán)螺栓位于所述上基板2的上方；
傾斜調(diào)整機(jī)構(gòu)6，其與所述下基板I固定連接，且所述傾斜調(diào)整機(jī)構(gòu)6包括驅(qū)動部和運(yùn)動部，所述運(yùn)動部的下端設(shè)置有用于與吊裝物連接的下吊環(huán)螺栓，且所述下吊環(huán)螺栓位于所述下基板I的下方，所述傾斜調(diào)整機(jī)構(gòu)6的運(yùn)動部貫穿于所述上基板2和所述下基板1，且所述運(yùn)動部在所述驅(qū)動部的驅(qū)動下可相對所述上基板2和所述下基板I上下移動。
[0007]優(yōu)選，所述傾斜調(diào)整機(jī)構(gòu)6的運(yùn)動部包括:
導(dǎo)向軸61，其依次穿過所述上基板2和所述下基板1，且所述導(dǎo)向軸61的中部設(shè)置有楔形通孔，其底端端面設(shè)置有螺孔；
下吊環(huán)螺栓63，其與所述螺孔配合，螺紋連接于所述導(dǎo)向軸61的底端端面；
所述傾斜調(diào)整機(jī)構(gòu)6的驅(qū)動部包括:
襯套底座64，其與所述下基板I上表面固定連接；
第一無油襯套65，其安裝于所述襯套底座64內(nèi)；
調(diào)整螺栓66，其套裝于所述第一無油襯套65的內(nèi)部；
止動螺母67，其與所述襯套底座64固定連接，且螺紋套裝于所述調(diào)整螺栓66的外部；楔形塊底座68，其與所述下基板I上表面固定連接，且所述楔形塊底座68上設(shè)置有導(dǎo)軌 681 ；
楔形塊69，其位于所述導(dǎo)軌681上，且所述楔形塊69的一端端面設(shè)置有螺孔，所述螺孔與所述調(diào)整螺栓66的端部旋合，所述楔形塊69的另一端插設(shè)于所述導(dǎo)向軸61的楔形通孔內(nèi)。
[0008]進(jìn)一步優(yōu)選，所述傾斜調(diào)整機(jī)構(gòu)6的運(yùn)動部還包括:
第二無油襯套62，其分別套裝于所述導(dǎo)向軸61的上部和下部，且位于上方的第二無油襯套62與所述上基板2的下表面固定連接，位于下方的第二無油襯套62與所述下基板I的上表面固定連接。
[0009]進(jìn)一步優(yōu)選，所述傾斜調(diào)整機(jī)構(gòu)6的個數(shù)為兩個，且所述兩個傾斜調(diào)整機(jī)構(gòu)6和所述傾斜配重機(jī)構(gòu)3分別位于所述下基板I沿三等分圓的角邊線方向上。
[0010]進(jìn)一步優(yōu)選，所述下基板I為正三角形，且其頂角均設(shè)有倒角，所述兩個傾斜調(diào)整機(jī)構(gòu)6和所述傾斜配重機(jī)構(gòu)3分別位于所述正三角形的頂角處；所述上基板I也為正三角形，且其頂角均設(shè)有倒角。
[0011 ] 進(jìn)一步優(yōu)選，所述傾斜配重機(jī)構(gòu)3包括:
配重塊31，其依次穿過所述上基板2和所述下基板1，且所述配重塊31的上端面與所述上基板2固定連接，所述配重塊的下端設(shè)置有螺紋，且下端端面設(shè)置有螺孔；
鎖緊螺母32，其套裝于所述配重塊31的下端螺紋上，且位于所述下基板I的下方； 下吊環(huán)螺栓63，其通過與所述螺孔配合，連接于所述配重塊31的下端端面上。
[0012]進(jìn)一步優(yōu)選，所述重力平衡機(jī)構(gòu)4包括:
導(dǎo)向軸43，其上、下端面均設(shè)置有螺孔，且在所述導(dǎo)向軸的下端固定設(shè)置有法蘭431，所述法蘭431與所述下基板I的上表面相抵，所述導(dǎo)向軸43的上端穿過所述上基板2 ;第三無油襯套44，其套裝于所述導(dǎo)向軸43的外部；
壓縮彈簧45，其套裝于所述第三無油襯套44的外部，且所述壓縮彈簧45的上端與所述上基板2的下表面相抵，下端與所述法蘭431的上表面相抵；
連接筒42，其套裝于所述壓縮彈簧45的外部，且所述連接筒42的上端與所述上基板2的下表面固定連接，下端與所述下基板I的上表面固定連接；
上吊環(huán)螺栓41，其與所述導(dǎo)向軸43上端面的螺孔配合，螺紋連接于所述導(dǎo)向軸43的上端面，且位于所述上基板2的上方；
螺栓47，其穿過所述下基板1，與所述導(dǎo)向軸43下端面的螺孔配合，活動連接于所述導(dǎo)向軸43的下端面。
[0013]進(jìn)一步優(yōu)選，所述重力平衡機(jī)構(gòu)4還包括:
減震墊46，其設(shè)置與所述法蘭431與所述下基板I之間。
[0014]進(jìn)一步優(yōu)選，所述二自由度重力平衡吊裝機(jī)構(gòu)，還包括:
連接柱5，所述連接柱5每兩個為一組，分別設(shè)置于所述傾斜配重機(jī)構(gòu)3和所述傾斜調(diào)整機(jī)構(gòu)6的兩側(cè)，且所述連接柱5的上端與所述上基板2的下表面固定連接，下端與所述下基板I的上表面固定連接。
[0015]本發(fā)明提供的二自由度重力平衡吊裝機(jī)構(gòu)，以上、下基板作為吊裝機(jī)構(gòu)的整體支撐，將吊機(jī)與重力平衡機(jī)構(gòu)中的上吊環(huán)螺栓連接，將吊裝物分別與傾斜配重機(jī)構(gòu)中的下吊環(huán)螺栓以及傾斜調(diào)整機(jī)構(gòu)中的下吊環(huán)螺栓連接，啟動吊機(jī)實(shí)現(xiàn)吊裝物的吊起，同時可以通過驅(qū)動傾斜調(diào)整機(jī)構(gòu)中的驅(qū)動部帶動運(yùn)動部相對上、下基板進(jìn)行上下移動，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)其吊裝物的傾斜角度調(diào)節(jié)。
[0016]本發(fā)明提供二自由度重力平衡吊裝機(jī)構(gòu)，具有以下優(yōu)點(diǎn):
1、結(jié)構(gòu)緊湊、占用空間小，方便在現(xiàn)場吊車上安裝使用；
2、以傾斜配重機(jī)構(gòu)為傾斜基準(zhǔn)，只需調(diào)節(jié)傾斜調(diào)整機(jī)構(gòu)的傾斜，因此調(diào)節(jié)方便、快速，從而提高了工作效率，適用于任何類似于光機(jī)機(jī)構(gòu)吊裝需要調(diào)整傾斜的場合；
3、通用性較強(qiáng)，適用于任何類似于光機(jī)機(jī)構(gòu)吊裝的場合。
【附圖說明】
[0017]圖1為二自由度重力平衡吊裝機(jī)構(gòu)的整體示意圖；
圖2為未安裝上基板的二自由度重力平衡吊裝機(jī)構(gòu)的示意圖；
圖3為下基板的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖4為傾斜配機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖5為重力平衡機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖6為傾斜調(diào)整機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面以具體的實(shí)施方案對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步解釋，但是并不用于限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0019]為了解決以往的吊裝機(jī)構(gòu)只具備吊裝的單一功能，適合對象有限，造成需要頻繁更換吊裝機(jī)構(gòu)等問題，本實(shí)施方案提供了一種二自由度重力平衡吊裝機(jī)構(gòu)，參見圖1~圖3，包括:下基板1，在下基板I的上方設(shè)置有上基板2，在上基板2和下基板I之間分別設(shè)置有傾斜配重機(jī)構(gòu)3、重力平衡機(jī)構(gòu)4和傾斜調(diào)整機(jī)構(gòu)6，其中，傾斜配重機(jī)構(gòu)3和重力平衡機(jī)構(gòu)4均與所述上基板2和下基板I固定連接，且傾斜配重機(jī)構(gòu)3下端用于與吊裝物連接的下吊環(huán)螺栓位于下基板I的下方，而重力平衡機(jī)構(gòu)4上端用于與吊機(jī)連接的上吊環(huán)螺栓位于上基板2的上方；所述傾斜調(diào)整機(jī)構(gòu)6包括驅(qū)動部和運(yùn)動部，其中運(yùn)動部的