)內(nèi)的氣體介質(zhì)作為排出氣體通過(guò)配管L2、分離器30以及配管L3、L4給送至吸附塔50。
[0047]作為吸附劑，例如堿石灰(soda lime)填充于吸附塔50。在從配管L4給送的排出氣體，混入了腐蝕性高的F2(氟)以及HF(氟化氫)。該匕以及HF吸附于吸附塔50，以從排出氣體去除。
[0048]洗滌器60經(jīng)由配管L5連接于吸附塔50。利用吸附塔50去除了 F2以及HF的排出氣體通過(guò)配管L5給送至洗滌器60。洗滌器60利用水滴或水膜捕集排出氣體所包含的固體或液體的微粒。去除了微粒的排出氣體通過(guò)配管L6給送至粉體處理裝置1的外部。
[0049](2)粉體攪拌裝置的構(gòu)成
圖2是示出圖1的粉體攪拌裝置20的構(gòu)成的立體圖。如圖2所示，粉體攪拌裝置20主要由反應(yīng)容器100、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置200、加熱冷卻裝置300以及隔熱蓋400構(gòu)成。
[0050]在隔熱蓋400內(nèi)設(shè)有反應(yīng)容器100、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置200以及加熱冷卻裝置300。在圖2中，以虛線示出隔熱蓋400，并且以實(shí)線示出隔熱蓋400內(nèi)的各構(gòu)成要素。
[0051]如圖2所示，反應(yīng)容器100具有圓筒形狀的外周壁110以及一對(duì)端面壁111。在外周壁110的一端以及另一端分別設(shè)有具有圓盤(pán)形狀的端面壁111。反應(yīng)容器100以外周壁110的軸心與水平方向平行的方式配置于隔熱蓋400內(nèi)。外周壁110具有關(guān)于該軸心而旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的內(nèi)周面110i (圖3)。
[0052]在反應(yīng)容器100內(nèi)形成處理空間S，處理空間S由外周壁110的內(nèi)周面110i以及一對(duì)端面壁111的內(nèi)表面包圍。在一對(duì)端面壁111之中，在一個(gè)端面壁111形成開(kāi)口部lllh，并且在該開(kāi)口部lllh設(shè)有能夠開(kāi)閉的門(mén)112。通過(guò)打開(kāi)門(mén)112，能夠?qū)⑽刺幚淼姆垠w容納至反應(yīng)容器100內(nèi)，另外能夠從反應(yīng)容器100內(nèi)回收已處理的粉體。在粉體處理時(shí)，在粉體容納在反應(yīng)容器100內(nèi)的狀態(tài)下關(guān)閉門(mén)112。
[0053]在一個(gè)端面壁111的中央部設(shè)有配管支持機(jī)構(gòu)120a。配管L1以貫通配管支持機(jī)構(gòu)120a的方式設(shè)置。在另一個(gè)端面壁111的中央部設(shè)有配管支持機(jī)構(gòu)120b。配管L2以貫通配管支持機(jī)構(gòu)120b的方式設(shè)置。
[0054]配管支持機(jī)構(gòu)120a、120b利用未圖示的固定部件而固定于隔熱蓋400。反應(yīng)容器100利用旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置200而以能夠繞旋轉(zhuǎn)軸R1旋轉(zhuǎn)的方式被支持，旋轉(zhuǎn)軸R1通過(guò)外周壁110的軸心。另外，反應(yīng)容器100能夠相對(duì)于各配管支持機(jī)構(gòu)120a、120b相對(duì)地旋轉(zhuǎn)。之后說(shuō)明配管支持機(jī)構(gòu)120a、120b的細(xì)節(jié)。
[0055]旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置200包含多個(gè)(在本例中為4個(gè))滾筒210a、210b、210c、210d、多個(gè)(在本例中為2根)動(dòng)力傳遞軸211a、211b、以及多個(gè)(在本例中為2個(gè))馬達(dá)220a、220b。多個(gè)滾筒210a?210d分別具有圓筒形狀，以能夠沿周方向旋轉(zhuǎn)的方式由未圖示的臺(tái)座支持。
[0056]滾筒210a、210b在一個(gè)端面壁111附近在外周壁110的周方向上隔開(kāi)一定的間隔排列，滾筒210c、210d在另一個(gè)端面壁111附近在外周壁110的周方向上隔開(kāi)一定的間隔排列。另外，滾筒210a、210c在外周壁110的長(zhǎng)度方向上隔開(kāi)一定的間隔排列，滾筒210b、210d在外周壁110的長(zhǎng)度方向上隔開(kāi)一定的間隔排列。如此，多個(gè)滾筒210a?210d配置于反應(yīng)容器100的下部。多個(gè)滾筒210a?210d的外周面的一部分分別抵接于反應(yīng)容器100的外周壁110的外周面。
[0057]—個(gè)動(dòng)力傳遞軸211a以通過(guò)滾筒210a、210c的軸心的方式共同地安裝于滾筒210a、210c。動(dòng)力傳遞軸211a連接于一個(gè)馬達(dá)220a的旋轉(zhuǎn)軸。同樣地，另一個(gè)動(dòng)力傳遞軸211b以通過(guò)滾筒210b、210d的軸心的方式共同地安裝于滾筒210b、210d。動(dòng)力傳遞軸211b連接于另一個(gè)馬達(dá)220b的旋轉(zhuǎn)軸。
[0058]通過(guò)馬達(dá)220a、220b同時(shí)動(dòng)作，動(dòng)力傳遞軸211a、211b分別沿一個(gè)方向旋轉(zhuǎn)。由此，如圖2以實(shí)線示出的，多個(gè)滾筒210a?210d同時(shí)沿一個(gè)方向旋轉(zhuǎn)。其結(jié)果，如圖2以粗單點(diǎn)劃線所示，反應(yīng)容器100沿與多個(gè)滾筒210a?210d的旋轉(zhuǎn)方向相反的方向旋轉(zhuǎn)。
[0059]以與反應(yīng)容器100的外周壁110的一部分相向的方式，在隔熱蓋400內(nèi)設(shè)有多個(gè)(在本例中為2個(gè))加熱冷卻裝置300。加熱冷卻裝置300例如包含加熱器等加熱裝置以及送風(fēng)機(jī)等冷卻裝置。在粉體處理時(shí)，通過(guò)加熱裝置動(dòng)作來(lái)加熱反應(yīng)容器100內(nèi)的粉體以及氣體介質(zhì)。另外，通過(guò)冷卻裝置動(dòng)作來(lái)冷卻反應(yīng)容器100內(nèi)的粉體以及氣體介質(zhì)。
[0060](3)反應(yīng)容器的內(nèi)部構(gòu)造
圖3是圖2的粉體攪拌裝置20的A-A線截面圖，圖4是示意性地表示沿圖2的旋轉(zhuǎn)軸R1的粉體攪拌裝置20的縱截面的圖。在圖3中，省略圖2的加熱冷卻裝置300以及隔熱蓋400的圖示，在圖4中省略圖2的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置200、加熱冷卻裝置300以及隔熱蓋400的圖示。
[0061]如圖3所示，在反應(yīng)容器100的外周壁110的內(nèi)周面110i，以相對(duì)于反應(yīng)容器100的旋轉(zhuǎn)軸R1為等角度間隔且從外周壁110的內(nèi)周面110i朝旋轉(zhuǎn)軸R1突出的方式安裝有多個(gè)板部件113。如圖4所示，各板部件113具有在反應(yīng)容器100內(nèi)從一個(gè)端面壁111的內(nèi)表面與旋轉(zhuǎn)軸R1平行地延伸到另一個(gè)端面壁111的內(nèi)表面的帶形狀。
[0062]以貫通圖1的配管支持機(jī)構(gòu)120b的方式設(shè)置的配管L2的一部分位于反應(yīng)容器100內(nèi)。如圖3以及圖4所示，在反應(yīng)容器100內(nèi)的配管L2的頂端部，形成有排出口 L2a，排出口 L2a用于排出反應(yīng)容器100內(nèi)的氣體介質(zhì)。配管L2的頂端部附近以排出口 L2a朝上方的方式彎曲。以覆蓋配管L2的排出口 L2a周?chē)约吧戏降姆绞皆O(shè)有傘部件114。傘部件114具有下部開(kāi)口且上部閉塞的圓筒形狀。傘部件114經(jīng)由固定部件114a固定于后述圖5的固定中空管130。
[0063]在該情況下，在配管L2的一部分與傘部件114之間，形成彎曲的氣體介質(zhì)的流入路徑。由此，即使在粉體PA在反應(yīng)容器100內(nèi)飛散的情況下，飛散的粉體PA也難以流入配管L2的排出口 L2a。其結(jié)果，防止粉體PA通過(guò)配管L2排出，提高粉體PA的處理效率。
[0064](4)配管支持機(jī)構(gòu)的構(gòu)造
圖5(a)是圖2的配管支持機(jī)構(gòu)120a及其周邊部件的正視圖，圖5 (b)是圖5(a)的B_B線處的配管支持機(jī)構(gòu)120a及其周邊部件的縱截面圖。
[0065]如圖5(a)、(b)所示，配管支持機(jī)構(gòu)120a主要由圓盤(pán)部件121以及固定中空管130構(gòu)成。在圓盤(pán)部件121的中央部，以排列成一列的方式形成有3個(gè)貫通孔122、123、124。固定中空管130具有圓筒形狀。另外，固定中空管130具有閉塞該固定中空管130 —端的端面131。未圖示的固定中空管130的另一端開(kāi)口。在固定中空管130的端面131，形成有與圓盤(pán)部件121的貫通孔122、123、124分別對(duì)應(yīng)的配管保持孔132、螺紋孔133以及溫度測(cè)定孔134。另外，在固定中空管130的外周面的一部分，形成有沿周方向延伸的環(huán)狀的階梯差139。從端面131到階梯差139之間的固定中空管130的外徑與從階梯差139到固定中空管130另一端的外徑相比較小。
[0066]在安裝配管支持機(jī)構(gòu)120a的端面壁111的中央部，形成有用于安裝固定中空管130的管狀突出部140。管狀突出部140以從端面壁111的內(nèi)表面朝反應(yīng)容器100內(nèi)側(cè)突出的方式形成。
[0067]在管狀突出部140的內(nèi)周面，以沿反應(yīng)容器100的軸心排列的方式，形成有多個(gè)環(huán)狀槽部141、142、143。環(huán)狀槽部141以朝反應(yīng)容器100外側(cè)開(kāi)口的方式形成。塵封(dustseal) 152嵌入環(huán)狀槽部141。環(huán)狀的板部件153以覆蓋塵封152的方式安裝于端面壁111外表面。在環(huán)狀槽部142安裝有0形圈151。在環(huán)狀槽部143安裝有多個(gè)軸承150。固定中空管130插入管狀突出部140。此時(shí)，塵封152的內(nèi)周部以及0形圈151的內(nèi)周部與固定中空管130的外周面相互以能夠滑動(dòng)的方式抵接。另外，多個(gè)軸承150的內(nèi)周面與固定中空管130的外周面抵接。由此，反應(yīng)容器100以及固定中空管130能夠相互相對(duì)地旋轉(zhuǎn)。
[0068]在固定中空管130插入管狀突出部140的狀態(tài)下，圓盤(pán)部件121螺紋緊固于固定中空管130的端面131。具體而言，螺釘N通過(guò)圓盤(pán)部件121的貫通孔123而安裝于固定中空管130的螺紋孔133。
[0069]此時(shí)，圓盤(pán)部件121的一部分抵接于螺紋緊固于端面壁111的環(huán)狀的板部件153。另外，固定中空管130的階梯差139抵接于軸承150的一部分。由此，環(huán)狀的板部件153、管狀突出部140以及多個(gè)軸承150由圓盤(pán)部件121以及固定中空管130的階梯差139在水平方向上夾住。由此，包括圓盤(pán)部件121以及固定中空管130的配管支持機(jī)構(gòu)120a相對(duì)于端面壁111以能夠相對(duì)地旋轉(zhuǎn)的方式安裝。
[0070]配管L1以通過(guò)圓盤(pán)部件121的貫通孔122以及固定中空管130的配管保持孔132的方式安裝于配管支持機(jī)構(gòu)120a。另外，溫度測(cè)定管THa以通過(guò)圓盤(pán)部件121的貫通孔124以及固定中空管130的溫度測(cè)定管134的方式安裝于配管支持機(jī)構(gòu)120a。例如熱電偶等溫度傳感器插入溫度測(cè)定管THa。在該狀態(tài)下，能夠基于利用溫度傳感器檢測(cè)的處理空間S內(nèi)的溫度來(lái)控制圖2的加熱冷卻裝置300。
[0071]如上所述，在固定中空管130與管狀突出部140之間，安裝有塵封152以及0形圈151。由此，在配管支持機(jī)構(gòu)120a安裝于端面壁111的狀態(tài)下，反應(yīng)容器100的外部空間與反應(yīng)容器100的處理空間S利用塵封152以及0形圈151而可靠地隔斷。圖2的配管支持機(jī)構(gòu)120b具有與上述配管支持機(jī)構(gòu)120a相同的構(gòu)造。
[0072]此外，如圖5(a)中以虛線所示，在配管支持機(jī)構(gòu)120a形成有用于安裝配管L2的貫通孔125也可。在該情況下，通過(guò)將圖1的配管L2安裝于貫通孔125，不需要將配管支持機(jī)構(gòu)120b安裝于另一個(gè)端面壁111。
[0073](5)粉體處理時(shí)的動(dòng)作
在圖1的粉體處理裝置1中，在進(jìn)行粉體PA的處理的情況下，首先將預(yù)定量的粉體PA容