電子部件搬運裝置以及電子部件檢查裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及電子部件搬運裝置以及電子部件檢查裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]以往,公知有檢查例如1C器件等電子部件的電特性的電子部件檢查裝置,在該電子部件檢查裝置設(shè)置有用于將1C器件搬運至檢查部的保持部的電子部件搬運裝置。在檢查1C器件時,1C器件被配置于保持部,使設(shè)置于保持部的多個探針與1C器件的各端子接觸。
[0003]這樣的1C器件的檢查中有將1C器件冷卻至規(guī)定溫度進行的情況。在該情況下,對配置有1C器件的配置部件進行冷卻從而冷卻1C器件,并且為了不產(chǎn)生結(jié)露、結(jié)冰(積冰),而使上述配置部件的周圍的氣氛的濕度(裝置內(nèi)的濕度)降低。
[0004]然而,在電子部件搬運裝置的內(nèi)部產(chǎn)生結(jié)露,在該情況下,作業(yè)者確認結(jié)露,通過作業(yè)者的操作,來進行用于除去該結(jié)露的加熱。由此,能夠除去上述結(jié)露。
[0005]另外,在專利文獻1記載有一種部件試驗裝置(電子部件搬運裝置),其構(gòu)成為:具備腔室,該腔室在內(nèi)部具有用于將部件冷卻至低溫而進行試驗的測試工作臺,在室內(nèi)產(chǎn)生溫度異常的情況下,停止冷卻,并對室內(nèi)進行加熱返回常溫。在該專利文獻1中,通過對室內(nèi)進行加熱返回常溫,來抑制在室內(nèi)產(chǎn)生結(jié)露。
[0006]專利文獻1:日本特開2000-9793號公報
[0007]然而,在電子部件搬運裝置的內(nèi)部產(chǎn)生結(jié)露的情況下,對于根據(jù)作業(yè)者的操作來進行用于除去該結(jié)露的加熱的情況而言,若作業(yè)者未能發(fā)現(xiàn)結(jié)露,判斷錯誤,則以產(chǎn)生有結(jié)露的狀態(tài)進行1C器件的搬運。由此,有在1C器件附著有水,短路而不能檢查,或者1C器件損壞的可能性。另外,若以產(chǎn)生了結(jié)露的狀態(tài)冷卻,則結(jié)冰。
[0008]另外,在上述專利文獻1記載的部件試驗裝置中,在室內(nèi)產(chǎn)生溫度異常的情況下,因為一律停止冷卻,并對室內(nèi)進行加熱返回常溫,所以即使是本來不需要使室內(nèi)返回常溫的情況下,即,即使是沒有產(chǎn)生結(jié)露的情況也返回常溫。因此,有到再次開始工作需要長時間這一問題。
[0009]另外,在專利文獻1記載的部件試驗裝置中,在室內(nèi)產(chǎn)生溫度異常的情況下,因為使室內(nèi)返回常溫,所以在由于其他原因在室內(nèi)產(chǎn)生結(jié)露的情況下,不能除去該結(jié)露。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0010]本發(fā)明的目的在于提供一種能夠自動地避免結(jié)露或者結(jié)冰,另外在產(chǎn)生了結(jié)露或者結(jié)冰的情況下,能夠?qū)⑵涑サ碾娮硬考徇\裝置以及電子部件檢查裝置。
[0011]本發(fā)明是為了解決上述的課題的至少一部分而產(chǎn)生的,能夠作為以下方式或者應(yīng)用例實現(xiàn)。
[0012]應(yīng)用例1
[0013]本發(fā)明的電子部件搬運裝置的特征在于具備:部件,其構(gòu)成裝置;加熱部,其對上述部件進行加熱;濕度檢測部,其檢測濕度;以及溫度檢測部,其檢測溫度,在通過上述溫度檢測部檢測到的溫度為露點溫度的2倍以下的情況下,對上述部件進行加熱。
[0014]由此,能夠自動地未然避免在構(gòu)成電子部件搬運裝置的部件產(chǎn)生結(jié)露或者結(jié)冰,并且在產(chǎn)生了結(jié)露或者結(jié)冰的情況下,能夠?qū)⑵涑ァ?br>[0015]應(yīng)用例2
[0016]在本發(fā)明的電子部件搬運裝置中,優(yōu)選,在通過上述溫度檢測部檢測到的溫度為露點溫度的0.5倍以上2倍以下的情況下,對上述部件進行加熱。
[0017]由此,能夠自動地未然避免在構(gòu)成電子部件搬運裝置的部件產(chǎn)生結(jié)露或者結(jié)冰,并且在產(chǎn)生了結(jié)露或者結(jié)冰的情況下,能夠?qū)⑵涑ァ?br>[0018]應(yīng)用例3
[0019]在本發(fā)明的電子部件搬運裝置中,優(yōu)選,與上述部件接觸的空氣的濕度比與上述濕度檢測部接觸的空氣的濕度低。
[0020]由此,在溫度檢測部未被安裝于上述部件的情況等,上述部件的溫度比溫度檢測部的周圍的溫度低的設(shè)定的情況下,雖然產(chǎn)生結(jié)露或者結(jié)冰的概率變高,但是通過使上述部件的周圍的空氣的濕度變低,能夠使產(chǎn)生結(jié)露或者結(jié)冰的概率變低。
[0021]應(yīng)用例4
[0022]在本發(fā)明的電子部件搬運裝置中,優(yōu)選,上述溫度檢測部配置于上述部件。
[0023]由此,能夠直接測定上述部件的溫度,另外,通過將上述溫度檢測部配置于怕結(jié)露的部分,能夠未然避免在該怕結(jié)露的部分產(chǎn)生結(jié)露或者結(jié)冰,并且另外在產(chǎn)生了結(jié)露或者結(jié)冰的情況下,能夠?qū)⑵涑ァ?br>[0024]應(yīng)用例5
[0025]在本發(fā)明的電子部件搬運裝置中,優(yōu)選,上述部件配置于上述電子部件搬運裝置的被控制為規(guī)定的濕度的室內(nèi)。
[0026]由此,能夠未然避免在特別不想產(chǎn)生結(jié)露或者結(jié)冰的上述部件產(chǎn)生結(jié)露或者結(jié)冰,并且另外在產(chǎn)生結(jié)露或者結(jié)冰的情況下,能夠?qū)⑵涑ァ?br>[0027]應(yīng)用例6
[0028]在本發(fā)明的電子部件搬運裝置中,優(yōu)選,上述加熱部包括電熱絲。
[0029]由此,能夠容易并且迅速地將結(jié)露或者結(jié)冰除去。
[0030]應(yīng)用例7
[0031 ] 在本發(fā)明的電子部件搬運裝置中,優(yōu)選,上述加熱部包括送風源。
[0032]由此,能夠更容易地并且迅速地將結(jié)露或者結(jié)冰除去。
[0033]應(yīng)用例8
[0034]在本發(fā)明的電子部件搬運裝置中,優(yōu)選,在上述電子部件搬運裝置的室內(nèi)的濕度成為規(guī)定的第一閾值以下的情況下停止上述加熱。
[0035]由此,能夠避免在上述部件產(chǎn)生結(jié)露或者結(jié)冰,并且,在產(chǎn)生了結(jié)露或者結(jié)冰的情況下,能夠?qū)⑵涑ァ?br>[0036]應(yīng)用例9
[0037]在本發(fā)明的電子部件搬運裝置中,優(yōu)選,在經(jīng)過了規(guī)定的時間的情況下停止上述加熱。
[0038]由此,能夠未然避免在上述部件產(chǎn)生結(jié)露或者結(jié)冰,并且在產(chǎn)生了結(jié)露或者結(jié)冰的情況下,能夠?qū)⑵涑ァ?br>[0039]應(yīng)用例10
[0040]本發(fā)明的電子部件搬運裝置特征在于,具備:部件,其構(gòu)成裝置;以及加熱部,其對上述部件進行加熱,在成為預(yù)先決定的條件的情況下對上述部件進行加熱。
[0041]由此,能夠自動地未然避免在構(gòu)成電子部件搬運裝置的部件產(chǎn)生結(jié)露或者結(jié)冰,并且在產(chǎn)生了結(jié)露或者結(jié)冰的情況下能夠?qū)⑵涑ァ?br>[0042]應(yīng)用例11
[0043]在本發(fā)明的電子部件搬運裝置中,優(yōu)選,上述部件具有能夠配置電子部件并且能夠冷卻的冷卻部件。
[0044]由此,能夠未然避免在上述部件產(chǎn)生結(jié)露或者結(jié)冰,并且在產(chǎn)生了結(jié)露或者結(jié)冰的情況下,能夠?qū)⑵涑ァ?br>[0045]應(yīng)用例12
[0046]在本發(fā)明的電子部件搬運裝置中,優(yōu)選,上述條件是指:在上述冷卻部件已被冷卻的狀態(tài)下切斷電源,之后接通上述電源的情況。
[0047]由此,能夠未然避免在上述部件產(chǎn)生結(jié)露或者結(jié)冰,并且在產(chǎn)生了結(jié)露或者結(jié)冰的情況下,能夠?qū)⑵涑ァ?br>[0048]應(yīng)用例13
[0049]在本發(fā)明的電子部件搬運裝置中,優(yōu)選,上述條件是指:在上述冷卻部件已被冷卻的狀態(tài)下切斷電源,并且在上述電源被切斷時開始在預(yù)先設(shè)定的時間以內(nèi)接通上述電源的情況。
[0050]由此,能夠未然避免在上述部件產(chǎn)生結(jié)露或者結(jié)冰,并且在產(chǎn)生了結(jié)露或者結(jié)冰的情況下,能夠?qū)⑵涑ァ?br>[0051]應(yīng)用例14
[0052]本發(fā)明的電子部件搬運裝置中,優(yōu)選,在上述冷卻部件的冷卻中使用液氮,上述條件是指上述液氮泄露的情況。
[0053]由此,能夠未然避免設(shè)定以外的部分被冷卻并在該部分產(chǎn)生結(jié)露或者結(jié)冰,另外在產(chǎn)生結(jié)露或者結(jié)冰的情況下,能夠?qū)⑵涑ァ?br>[0054]應(yīng)用例15
[0055]在本發(fā)明的電子部件搬運裝置中,優(yōu)選,上述條件是指上述電子部件搬運裝置的至少一個室內(nèi)的濕度是規(guī)定的第二閾值以上的情況。
[0056]由此,能夠未然避免在上述部件產(chǎn)生結(jié)露或者結(jié)冰,并且在產(chǎn)生了結(jié)露或者結(jié)冰的情況下,能夠?qū)⑵涑ァ?br>[0057]應(yīng)用例16
[0058]在本發(fā)明的電子部件搬運裝置中,優(yōu)選,向上述電子部件搬運裝置的至少一個室內(nèi)供給干燥的氣體,上述條件是指:上述氣體的供給停止或者上述氣體的流量降低至規(guī)定值以下的情況。
[0059]由此,能夠未然避免在上述部件產(chǎn)生結(jié)露或者結(jié)冰,并且在產(chǎn)生結(jié)露或者結(jié)冰的情況下,能夠?qū)⑵涑ァ?br>[0060]應(yīng)用例17
[0061]在本發(fā)明的電子部件搬運裝置中,優(yōu)選,具有對上述電子部件搬運裝置的動作進行控制的多個控制模式,上述電子部件搬運裝置具有顯示部,通過該顯示部顯示上述多個控制模式中的與當前設(shè)定的控制模式對應(yīng)的圖像。
[0062]由此,由于在顯示部例如顯示與結(jié)露、結(jié)冰相關(guān)的信息、處理方法等,所以作業(yè)者能夠把握上述信息,從而能夠容易并且迅速地對應(yīng)。
[0063]應(yīng)用例18
[0064]本發(fā)明的電子部件檢查裝置特征在于,具備:部件,其構(gòu)成裝置;加熱部,其構(gòu)成上述部件;濕度檢測部,其檢測濕度;溫度檢測部,其檢測溫度;以及檢查部,其檢查電子部件,在通過上述溫度檢測部檢測到的溫度為露點溫度的2倍以下的情況下對上述部件進行加熱。
[0065]由此,能夠自動地未然避免在構(gòu)成電子部件檢查裝置的部件產(chǎn)生結(jié)露或者結(jié)冰,并且在產(chǎn)生了結(jié)露或者結(jié)冰的情況下,能夠?qū)⑵涑ァ?br>【附圖說明】
[0066]圖1是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第一實施方式的概略俯視圖。
[0067]圖2是圖1所示的電子部件檢查裝置的框圖。
[0068]圖3是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的顯示部的顯示畫面的圖。
[0069]圖4是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的顯示部的顯示畫面的圖。
[0070]圖5是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的顯示部的顯示畫面的圖。
[0071]圖6是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的控制動作的流程圖。
[0072]圖7是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的控制動作的流程圖。
[0073]圖8是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的控制動作的流程