基板輸送裝置和基板輸送方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明的實(shí)施方式涉及基板輸送裝置和基板輸送方法。
【背景技術(shù)】
[0002]作為基板輸送裝置，公知有這樣的裝置:該裝置在沿著與基板的輸送方向垂直的方向延伸的軸上設(shè)置多個(gè)輸送輥，使基板的下表面抵接到該輸送輥上來(lái)輸送該基板。而且，該基板輸送裝置構(gòu)成為:除了輸送輥之外，沿著所輸送的基板的輸送方向還設(shè)置有多個(gè)引導(dǎo)輥，利用該引導(dǎo)輥來(lái)引導(dǎo)基板的側(cè)面，由此，對(duì)被輸送輥輸送的基板進(jìn)行定位，能夠不蜿蜒前行地輸送基板。
[0003]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2010-42902號(hào)公報(bào)
[0004]上述基板輸送裝置被用于各種基板的輸送，但是，例如在液晶面板制造裝置的領(lǐng)域，近年來(lái)，作為輸送對(duì)象的基板不斷變薄。以往，一般情況下，一邊輸送例如1_左右的厚度的基板一邊進(jìn)行處理。但是，近年來(lái)，處理0.01mm?0.3mm左右的厚度的基板的情況增多。如果基板變薄，則相應(yīng)地，引導(dǎo)輥表面上的與基板的側(cè)面接觸的表面積(接觸的區(qū)域)變小。因此，基板集中地與引導(dǎo)輥的表面上的小表面積持續(xù)接觸。引導(dǎo)輥表面的與基板集中接觸的部分隨著時(shí)間的經(jīng)過(guò)(即，如果所要引導(dǎo)的基板的個(gè)數(shù)增加)而慢慢磨損，成為以基板的厚度為高度的凹形狀。在引導(dǎo)輥上形成有凹形狀的槽(凹部)的部分處，在基板的側(cè)面與引導(dǎo)輥之間空出比最初規(guī)定的間隙大的間隙。如果成為這樣的狀態(tài)，則存在下述情況:基板蜿蜒前行，無(wú)法順利地進(jìn)行輸送，或者由此導(dǎo)致基板的角部與引導(dǎo)輥碰撞等，在基板上產(chǎn)生裂紋或缺口。因此，在引導(dǎo)輥像這樣磨損的情況下，必須將引導(dǎo)輥更換為新品。特別地，如果基板的厚度變薄，則基板的側(cè)面像刀刃一樣作用于引導(dǎo)輥上，引導(dǎo)輥急劇磨損，因此，需要在短期間內(nèi)頻繁地更換引導(dǎo)輥。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明要解決的課題是提供一種可延長(zhǎng)引導(dǎo)輥的壽命、并且不蜿蜒前行地輸送基板的基板輸送裝置和基板輸送方法。
[0006]實(shí)施方式的基板輸送裝置輸送基板，其特征在于，該基板輸送裝置具有:多個(gè)輸送輥，它們與所述基板的下表面抵接，將所述基板向規(guī)定的輸送方向輸送；引導(dǎo)輥，其在與所述輸送方向垂直的方向上被設(shè)置成夾著所述基板，并且該引導(dǎo)輥沿著所述基板的輸送方向配置有多個(gè)；以及引導(dǎo)輥調(diào)整部，其調(diào)整所述引導(dǎo)輥的位置，所述引導(dǎo)輥調(diào)整部具有:將所述引導(dǎo)輥保持成能夠旋轉(zhuǎn)的部件；和Z軸調(diào)整機(jī)構(gòu)，其調(diào)整所述部件的相對(duì)于所述基板的厚度方向的高度位置。
[0007]實(shí)施方式的基板輸送方法是輸送基板的方法，其特征在于，使多個(gè)輸送輥與所述基板的下表面抵接，將所述基板向規(guī)定的輸送方向輸送，利用引導(dǎo)輥以?shī)A住所述基板的側(cè)面的方式引導(dǎo)所述基板，該引導(dǎo)輥沿著向所述輸送方向輸送的所述基板的所述輸送方向設(shè)置有多個(gè)，并且，在所述引導(dǎo)輥磨損時(shí)，在所述基板的厚度方向上調(diào)整所述引導(dǎo)輥的位置后繼續(xù)使用。
[0008]根據(jù)本發(fā)明，能夠延長(zhǎng)引導(dǎo)輥的壽命，并且能夠不蜿蜒前行地輸送基板。
【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1是示出第1實(shí)施方式的基板輸送裝置的概要結(jié)構(gòu)的主視圖。
[0010]圖2是第1實(shí)施方式的基板輸送裝置的概要俯視圖。
[0011]圖3示出了第1實(shí)施方式的引導(dǎo)輥調(diào)整部的側(cè)面，是沿圖4中的A-A的剖視圖。
[0012]圖4是示出第1實(shí)施方式的引導(dǎo)輥調(diào)整部的俯視面的圖。
[0013]圖5是示出第2實(shí)施方式的引導(dǎo)輥調(diào)整部的側(cè)面的圖。
[0014]圖6是示出第2實(shí)施方式的引導(dǎo)輥調(diào)整部的側(cè)面的圖。
[0015]標(biāo)號(hào)說(shuō)明
[0016]1:軸；2:輸送輥；3:軸承；400:Z軸調(diào)整機(jī)構(gòu)；4:引導(dǎo)輥；5:軸；40、400:引導(dǎo)輥調(diào)整部；41:固定部件；42:第2可動(dòng)部件(第2部件)；43:拉緊螺栓；44A、B:緊固螺栓；45:第1可動(dòng)部件(第1部件)；45A:滑動(dòng)孔；46A、B:調(diào)整螺栓；G:刻度板;W:基板；
【具體實(shí)施方式】
[0017](第1實(shí)施方式)
[0018]參照?qǐng)D1?圖4對(duì)第1實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
[0019]如圖1、圖2所示，第1實(shí)施方式的基板輸送裝置100具有:軸1，其被設(shè)置成沿著與基板W的輸送方向(在圖1中與紙面垂直的方向)垂直的方向(以下，也稱為“基板W的寬度方向”。)延伸；輸送輥2，其在該軸1上以一定的間隔設(shè)置有多個(gè)，并且設(shè)置為與基板W的下表面抵接；以及軸承3，其保持軸1。而且，多個(gè)引導(dǎo)輥4以在基板W的寬度方向上夾著基板W的方式，沿著基板W的輸送方向以一定的間隔經(jīng)由軸5 (參照?qǐng)D2)進(jìn)行設(shè)置。該引導(dǎo)輥4由橡膠等彈性體或樹(shù)脂等構(gòu)成，并且形成為具有基板W的厚度的2倍以上的高度的圓柱狀，如使用圖3、圖4進(jìn)行說(shuō)明的那樣，各引導(dǎo)輥4構(gòu)成為能夠通過(guò)對(duì)應(yīng)于每個(gè)引導(dǎo)輥4設(shè)置的引導(dǎo)輥調(diào)整部40來(lái)調(diào)整基板的厚度方向上的高度位置和基板W的寬度方向上的水平位置。另外，在圖3中，設(shè)基板W的寬度方向?yàn)閄方向，設(shè)基板W的輸送方向?yàn)閅方向(與X方向垂直的方向)，設(shè)與X方向和Y方向都垂直的方向(與基板W的表面垂直的方向)為Z方向。
[0020]如圖3、圖4所示，引導(dǎo)輥調(diào)整部40具有X軸調(diào)整機(jī)構(gòu)200和Z軸調(diào)整機(jī)構(gòu)300。X軸調(diào)整機(jī)構(gòu)200對(duì)引導(dǎo)輥4在基板W的寬度方向(X方向)上的水平位置進(jìn)行調(diào)整。Z軸調(diào)整機(jī)構(gòu)300對(duì)引導(dǎo)輥4在基板W的厚度方向(Z方向)上的高度位置進(jìn)行調(diào)整。
[0021]X軸調(diào)整機(jī)構(gòu)200構(gòu)成為具有被固定支承于基板輸送裝置100的架臺(tái)(未圖示)上的固定部件41、第1可動(dòng)部件45 (第1部件)、第2可動(dòng)部件42 (第2部件)以及調(diào)整螺栓46A、46B。第1可動(dòng)部件45是被固定部件41沿水平方向支承的板狀部件，如圖4所示，第1可動(dòng)部件45沿X方向具有滑動(dòng)孔45A，經(jīng)由滑動(dòng)孔45A將調(diào)整螺栓46A、46B螺入第2可動(dòng)部件42的一端部側(cè)，由此第1可動(dòng)部件45與第2可動(dòng)部件42成為一體。而且，軸5能夠旋轉(zhuǎn)地支承于第1可動(dòng)部件45上的基板W側(cè)的端部，引導(dǎo)輥4被保持于該軸5上。軸5沿Z方向設(shè)置。另外，如圖4所示，在第2可動(dòng)部件42上，沿X方向切出有滑動(dòng)槽D，該滑動(dòng)槽D具有與第1可動(dòng)部件45的寬度同等的寬度。由此，通過(guò)第1可動(dòng)部件45在該滑動(dòng)槽D內(nèi)滑動(dòng)，第1可動(dòng)部件45能夠在沿著滑動(dòng)孔45A的方向、即基板的寬度方向上移動(dòng)。
[0022]Z軸調(diào)整機(jī)構(gòu)300構(gòu)成為具有固定部件41、第2可動(dòng)部件42、拉緊螺栓43、設(shè)于該拉緊螺栓43的兩側(cè)的緊固螺栓44A、44B、以及引導(dǎo)件S1、S2。第2可動(dòng)部件42是被固定部件41沿水平方向支承的板狀部件。拉緊螺栓43穿過(guò)設(shè)于第2可動(dòng)部件42的另一端部側(cè)的貫通孔42a而被螺入固定部件41中。緊固螺栓44A與44B構(gòu)成為分別螺入第2可動(dòng)部件
42中，并且，螺栓末端與固定部件41的上表面抵接。而且，在第2可動(dòng)部件42的另一端部的側(cè)面上設(shè)有切口 K1、切口 K2。在固定部件41上固定有棒狀的引導(dǎo)部件S1、引導(dǎo)部件S2，引導(dǎo)部件S1被設(shè)置為與切口 K1抵接，引導(dǎo)部件S2被設(shè)置為與切口 K2抵接。另外，在本實(shí)施方式中，在圖4所示的俯視圖中的基板的寬度方向(圖4中的左右方向)上，切口 K1 (引導(dǎo)件S1)設(shè)于拉緊螺栓43與緊固螺栓44A之間，切口 K2(引導(dǎo)件S2)設(shè)于拉緊螺栓43與緊固螺栓44Β之間。在通過(guò)后述的調(diào)整使第2可動(dòng)部