晶圓盒的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種輸送、包裝、貯存用容器，特別是指一種用于容置晶圓的晶圓合
ΙΤΓΤ.Ο
【背景技術(shù)】
[0002]由于晶圓易碎且需避免環(huán)境中的微粒污染，因此晶圓的運(yùn)輸及保存需要使用特殊的容器。
[0003]—般用于容置晶圓的晶圓盒，必須能將晶圓定位以避免晶圓在運(yùn)送過程中產(chǎn)生碰撞而碎裂，所以在晶圓盒內(nèi)通常設(shè)有定位機(jī)構(gòu)，然而如何使晶圓能夠確實(shí)定位且能避免定位機(jī)構(gòu)在定位晶圓的過程中損傷晶圓或是產(chǎn)生污染微粒，還有如何簡(jiǎn)化定位機(jī)構(gòu)的構(gòu)件以方便制造及組裝，仍有改善的空間。
[0004]并且，現(xiàn)有的晶圓盒常由盒體及蓋體上下蓋合并通過卡扣結(jié)構(gòu)固定在一起，由于卡扣結(jié)構(gòu)通常為卡勾與扣孔的組合，卡勾設(shè)于盒體上而扣孔開設(shè)于蓋體上，扣孔為貫穿蓋體的開孔，容易使外界的粉塵進(jìn)入晶圓盒內(nèi)，而且卡勾與扣孔卡扣時(shí)也會(huì)產(chǎn)生磨擦，摩擦也可能產(chǎn)生粉塵而污染晶圓。如何避免卡扣結(jié)構(gòu)導(dǎo)致晶圓被粉塵污染，也是需要改進(jìn)的課題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]實(shí)用新型的一目的，即在提供一種具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且可達(dá)到良好定位效果的定位機(jī)構(gòu)的晶圓盒。
[0006]因此，本實(shí)用新型的另一目的，即在提供一種可以避免卡扣結(jié)構(gòu)造成粉塵污染的晶圓盒。
[0007]于是，本實(shí)用新型晶圓盒在一些實(shí)施例中，包括:一盒體、一蓋體及至少一定位機(jī)構(gòu)。該盒體具有一底壁及一位于該底壁上的晶圓容置區(qū)，該晶圓容置區(qū)用以容置多片晶圓。該蓋體可分離地與該盒體相蓋合并共同界定一包括該晶圓容置區(qū)的容室，且具有一與該底壁相對(duì)的頂壁。該定位機(jī)構(gòu)包括一設(shè)于該盒體的活動(dòng)擋墻及一設(shè)于該蓋體的抵推臂。該活動(dòng)擋墻沿該晶圓容置區(qū)的周緣直立設(shè)置且具有兩個(gè)與該底壁固定連接的固定端部及一連接于該兩個(gè)固定端部之間的活動(dòng)部，該活動(dòng)部具有一朝向該晶圓容置區(qū)的接觸面及一相反于該接觸面的受推面。該抵推臂由該蓋體的頂壁向下延伸形成并具有至少一頂?shù)植浚谠撋w體蓋合于該盒體時(shí)，該抵推臂的頂?shù)植康钟谠摶顒?dòng)部的受推面，并使該活動(dòng)部往該晶圓容置區(qū)內(nèi)移動(dòng)以將置于該晶圓容置區(qū)內(nèi)的晶圓定位。
[0008]在一些實(shí)施例中，該抵推臂具有兩個(gè)上下相間隔的頂?shù)植?，在下方的頂?shù)植课挥谠摰滞票鄣淖杂啥颂帲以谏戏降捻數(shù)植课挥谠摰滞票鄣淖杂啥伺c固定端之間，且該兩個(gè)頂?shù)植吭谠撋w體蓋合于該盒體時(shí)抵靠于該活動(dòng)部之處分別相距該活動(dòng)部上、下緣的距離約為該活動(dòng)部高度的三分之一。
[0009]在一些實(shí)施例中，該定位機(jī)構(gòu)還包括一設(shè)于該盒體以導(dǎo)引該抵推臂的自由端靠向該活動(dòng)部的導(dǎo)引部，該定位機(jī)構(gòu)的活動(dòng)部的受推面形成有一凸肋，以對(duì)應(yīng)接觸該抵推臂的頂?shù)植俊?br>[0010]在一些實(shí)施例中，該盒體還具有多個(gè)布設(shè)于該底壁上且位于該晶圓容置區(qū)之外的直立的卡勾，該蓋體還具有多個(gè)設(shè)于該頂壁上且分別對(duì)應(yīng)供各卡勾穿設(shè)的扣孔，以將該盒體與該蓋體相扣接。
[0011]在一些實(shí)施例中，該盒體還具有多個(gè)分別對(duì)應(yīng)各卡勾設(shè)置的第一隔墻，該蓋體還具有多個(gè)分別與各第一隔墻相配合的第二隔墻，在該蓋體蓋合于該盒體時(shí)相對(duì)應(yīng)的第一隔墻與第二隔墻相接而將該容室隔離出多個(gè)與該晶圓容置區(qū)空間不連通的隔離區(qū)，且各卡勾分別位于各隔離區(qū)中。
[0012]在一些實(shí)施例中，該盒體呈方形且還具有一與該底壁周側(cè)連接的下側(cè)壁，該卡勾為四個(gè)且分別對(duì)應(yīng)四個(gè)角落設(shè)置，每一第一隔墻由該底壁往上延伸形成且兩直立側(cè)分別與該下側(cè)壁連接而將對(duì)應(yīng)的卡勾分隔于角落內(nèi)，該蓋體還具有一與該頂壁周側(cè)連接且與該下側(cè)壁對(duì)接的上側(cè)壁，每一第二隔墻由該頂壁往下延伸形成且兩直立側(cè)分別與該上側(cè)壁連接而將對(duì)應(yīng)的扣孔分隔于角落內(nèi)。
[0013]在一些實(shí)施例中，該晶圓盒包括四個(gè)前述定位機(jī)構(gòu)，各定位機(jī)構(gòu)分別對(duì)應(yīng)四個(gè)角落設(shè)置。
[0014]在一些實(shí)施例中，每一第一隔墻具有一第一主板部及兩個(gè)分別由該第一主板部?jī)蓚?cè)彎折延伸并與該下側(cè)壁連接的第一側(cè)板部，每一第二隔墻具有一第二主板部及兩個(gè)分別由該第二主板部?jī)蓚?cè)彎折延伸并與該上側(cè)壁連接的第二側(cè)板部，各第一隔墻的第一主板部分別與各定位機(jī)構(gòu)的活動(dòng)擋墻的活動(dòng)部相鄰，各定位機(jī)構(gòu)的抵推臂分別與各第二隔墻的第二主板部連接并位于各隔離區(qū)之外，且每一抵推臂具有一由該頂壁往下延伸且一側(cè)與對(duì)應(yīng)的第二主板部連接的固定段及一由該固定段往下延伸并較該第二主板部往下凸伸的可動(dòng)段。
[0015]在一些實(shí)施例中，每一抵推臂具有兩個(gè)頂?shù)植?，其中，一頂?shù)植课挥谠摽蓜?dòng)段的自由端處，且另一頂?shù)植课挥谠摴潭ǘ翁帯?br>[0016]在一些實(shí)施例中，每一定位機(jī)構(gòu)還包括一設(shè)于該盒體以導(dǎo)引該抵推臂的自由端靠向該活動(dòng)部的導(dǎo)引部，且該導(dǎo)引部與對(duì)應(yīng)的第一隔墻的第一主板部連接，該每一定位機(jī)構(gòu)的導(dǎo)引部呈柱狀，由該底壁往上延伸形成并與對(duì)應(yīng)的第一主板部連接且頂面為斜面，并與該活動(dòng)部間隔一定距離。
[0017]本實(shí)用新型具有至少以下功效:通過定位機(jī)構(gòu)可以確實(shí)將晶圓定位，且定位機(jī)構(gòu)可分別與盒體及蓋體一體成型制作，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單無需再另外組裝，可以簡(jiǎn)化制造工序以節(jié)省制程時(shí)間。同時(shí)，通過設(shè)置多個(gè)定位機(jī)構(gòu)以使各活動(dòng)擋墻所圍繞的空間在蓋體打開時(shí)相較于蓋體蓋合時(shí)較大，如此有較充裕的空間取放晶圓，能避免晶圓與活動(dòng)擋墻接觸產(chǎn)生磨擦。此外，通過第一隔墻與第二隔墻共同形成隔離區(qū)，可以將通過扣孔進(jìn)入容室的外界粉塵或是卡勾與蓋體磨擦產(chǎn)生的粉塵擋止在隔離區(qū)內(nèi)，以避免粉塵進(jìn)入晶圓容置區(qū)而污染晶圓。
【附圖說明】
[0018]本實(shí)用新型的其它的特征及功效，將于參照?qǐng)D式的實(shí)施例詳細(xì)說明中清楚地呈現(xiàn)，其中:
[0019]圖1:一立體圖，說明本實(shí)用新型晶圓盒的一實(shí)施例，其中一盒體與一蓋體在一蓋合狀態(tài)；
[0020]圖2:—立體分解圖，說明該實(shí)施例的盒體與蓋體的組裝關(guān)系；
[0021]圖3:—立體分解圖，說明該實(shí)施例的盒體與蓋體的內(nèi)部構(gòu)件的對(duì)應(yīng)關(guān)系；
[0022]圖4:一立體圖，說明該實(shí)施例的蓋體內(nèi)側(cè)的構(gòu)件；
[0023]圖5:圖3的局部放大圖，說明該實(shí)施例的一定位機(jī)構(gòu)及其與盒體的連接關(guān)系；
[0024]圖6:圖4的局部放大圖，說明該實(shí)施例的定位機(jī)構(gòu)及其與蓋體的連接關(guān)系；
[0025]圖7:—剖視分解圖，說明該實(shí)施例的定位機(jī)構(gòu)在蓋體未蓋合前的狀態(tài)；
[0026]圖8:—剖視圖，說明該實(shí)施例的定位機(jī)構(gòu)在蓋體蓋合于盒體時(shí)的作用關(guān)系。
[0027]附圖標(biāo)記說明
[0028]1 盒體
[0029]11 底壁
[0030]12下側(cè)壁
[0031]13晶圓容置區(qū)
[0032]14 卡勾
[0033]15第一隔墻
[0034]151第一主板部
[0035]152第一側(cè)板部
[0036]2 蓋體
[0037]21 頂壁
[0038]22上側(cè)壁
[0039]23 扣孔
[0040]24第二隔墻
[0041]241第二主板部
[0042]242第二側(cè)板部
[0043]3 容室
[0044]31隔離區(qū)
[0045]4定位機(jī)構(gòu)
[0046]41活動(dòng)擋墻
[0047]411固定端部
[0048]412活動(dòng)部
[0049]412a 接觸面
[0050]412b 受推面
[0051]412c 凸肋
[0052]42抵推臂
[0053]421固定段
[0054]422可動(dòng)段
[0055]423頂?shù)植?br>[0056]43導(dǎo)引部
[0057]431 斜面
[0058]D1 距離
[0059]D2 距離
[0060]Η 高度
【具體實(shí)施方式】
[0061]參閱圖1至圖4，本實(shí)用新型晶圓盒的一實(shí)施例，用以容置多片層疊的晶圓(未圖示)，本實(shí)施例包括一盒體1、一蓋體2及四個(gè)定位機(jī)構(gòu)4(見圖8)。
[0062]該盒體1呈方形，具有一底壁11、一與該底壁11周側(cè)連接的下側(cè)壁12、一位于該底壁11上的晶圓容置區(qū)13、多個(gè)布設(shè)于該底壁11上且位于該晶圓容置區(qū)13之外的直立的卡勾14，及多個(gè)分別對(duì)應(yīng)各卡勾14設(shè)置的第一隔墻15。在本實(shí)施例中，該卡勾14為四個(gè)且分別對(duì)應(yīng)四個(gè)角落設(shè)置，每一第一隔墻15由該底壁11往上延伸形成且兩直立側(cè)分別與該下側(cè)壁12連接而將對(duì)應(yīng)的卡勾14分隔于角落內(nèi)。具體而言，每一第一隔墻15具有一第一主板部151及兩個(gè)分別由該第一主板部151兩側(cè)彎折延伸并與該下側(cè)壁12連接的第一側(cè)板部152。該晶圓容置區(qū)13為圓形且尺寸與要收容的晶圓相對(duì)應(yīng)。該晶圓容置區(qū)13位于盒體1中央，而盒體1呈方形，故各卡勾14及第一隔墻15即位于該下側(cè)壁12與該晶圓容置區(qū)13之間的四個(gè)角落的區(qū)域中。
[0063]該蓋體2可分離地與該盒體1相蓋合并共同界定一包括該晶圓容置區(qū)13的容室3，且具有一與該底壁11相對(duì)的頂壁21、一與該頂壁21周側(cè)連接且與該下側(cè)壁12對(duì)接的上側(cè)壁22、多個(gè)設(shè)于該頂壁21上且分別對(duì)應(yīng)供各卡勾14穿設(shè)的扣孔23，及多個(gè)分別與各第一隔墻15相配合的第二隔墻24。在本實(shí)施例中，該蓋體2對(duì)應(yīng)該盒體1也呈方形，該扣孔23為四個(gè)且位置分別與各卡勾14的位置相對(duì)應(yīng)而位于蓋體2的四個(gè)角落中，通過各卡勾14與扣孔23相配合以將該盒體1與該蓋體2相扣接固定在一起。每一第二隔墻24由該頂壁21往下延伸形成且兩直立側(cè)分別與該上側(cè)壁22連接而將對(duì)應(yīng)的扣孔23分隔于角落內(nèi)，同樣地，每一第二隔墻24具有一第二主板部241及兩個(gè)分別由該第二主板部241兩側(cè)彎折延伸并與該上側(cè)壁22連接的第二側(cè)板部242，以與各第一隔墻15相配合。在該蓋體2蓋合于該盒體1時(shí)，相對(duì)應(yīng)的第一隔墻15與第二隔墻24相接而將該容室3隔離出多個(gè)與該晶圓容置區(qū)13空間不連通的隔離區(qū)31 (見圖8)，且各卡勾14分別位于各隔離區(qū)31中。借此可以將通過扣孔23進(jìn)入容室3的外界粉塵或是卡勾14與蓋體2磨擦產(chǎn)生的粉塵擋