三甲基銦接收裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種接收裝置，具體地，涉及一種三甲基銦接收裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]三甲基銦是LED外延生長(zhǎng)中非常重要的一種金屬有機(jī)化合物，三甲基銦在常溫常壓下為無(wú)色透明具有特殊臭味的升華性無(wú)色結(jié)晶，其化學(xué)性質(zhì)非常活潑，遇水爆炸，遇空氣燃燒，且三甲基銦為固體高純金屬有機(jī)源(Mo源)，因此按常規(guī)裝置與方法接收使得三甲基銦極易暴露于空氣中，導(dǎo)致起火等安全隱患，又由于三甲基銦在常溫常壓下為無(wú)色的結(jié)晶，使得在接收時(shí)容易造成接收管道堵塞。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的是提供一種三甲基銦接收裝置，該三甲基銦接收裝置避免料管堵塞，實(shí)現(xiàn)三甲基銦的安全接收。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本實(shí)用新型的一方面，提供了一種三甲基銦接收裝置，該三甲基銦接收裝置包括解配釜、真空緩沖罐和手套箱，所述手套箱中設(shè)有密閉的粗品接收罐和頂部開(kāi)口的冷阱，所述粗品接收罐設(shè)置在所述冷阱中，所述粗品接收罐通過(guò)料管連接所述解配釜并通過(guò)抽氣管連接所述真空緩沖罐，所述料管的靠近所述粗品接收罐的一端設(shè)有接收閥，所述料管的靠近所述解配釜的一端設(shè)有出料閥，所述抽氣管與所述粗品接收罐之間設(shè)有抽氣閥，并且所述料管和所述抽氣管中均設(shè)有加熱絲。
[0005]優(yōu)選地，所述三甲基銦接收裝置還包括液氮罐，所述冷阱的底部設(shè)有液氮閥，所述液氮罐通過(guò)所述液氮閥連接所述冷阱，所述手套箱的頂部設(shè)有用于排出氮?dú)獾呐艢忾y。
[0006]優(yōu)選地，所述液氮閥和所述排氣閥為電磁閥。
[0007]優(yōu)選地，所述冷阱的一側(cè)設(shè)有液位感應(yīng)器，所述液氮閥和所述排氣閥配置為根據(jù)所述液位感應(yīng)器的感應(yīng)液位進(jìn)行開(kāi)關(guān)切換。
[0008]優(yōu)選地，所述三甲基銦接收裝置還包括真空栗，所述真空栗連接所述真空緩沖罐以抽吸所述粗品接收罐內(nèi)的尾氣。
[0009]優(yōu)選地，所述真空緩沖罐為多個(gè)，多個(gè)所述真空緩沖罐相互串聯(lián)在所述粗品接收罐與所述真空栗之間。
[0010]優(yōu)選地，所述真空緩沖罐設(shè)置在冷卻裝置中。
[0011 ] 優(yōu)選地，所述手套箱為透明且密封的箱體。
[0012]優(yōu)選地，所述冷阱內(nèi)的底部設(shè)有平臺(tái)支架，所述粗品接收罐設(shè)置在所述平臺(tái)支架上。
[0013]優(yōu)選地，所述接收閥與料管之間以及所述抽氣閥與所述抽氣管之間通過(guò)金屬軟管相連。
[0014]通過(guò)上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型通過(guò)在粗品接收罐與解配釜之間的料管和粗品接收罐與真空緩沖罐之間的抽氣管中設(shè)有加熱絲，可以將料管中的三甲基銦氣化至粗品接收罐中，而不冷卻在料管中以堵塞料管；又由于粗品接收罐連接真空緩沖罐，通過(guò)控制接收閥、出料閥和抽氣閥，真空緩沖罐能夠抽吸粗品接收罐內(nèi)的尾氣，使得粗品接收罐與真空緩沖罐之間形成壓差，從而使得料管中殘留的三甲基銦抽吸至粗品接收罐中，因此避免了料管的堵塞。三甲基銦的接收在手套箱中操作，尤其是粗品接收罐的拆裝過(guò)程也在手套箱中進(jìn)行，使得有效地與空氣隔絕，從而避免發(fā)生泄漏燃燒，造成重大事故的隱患，實(shí)現(xiàn)了三甲基銦的安全接收。
[0015]本實(shí)用新型的其它特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的【具體實(shí)施方式】部分予以詳細(xì)說(shuō)明。
【附圖說(shuō)明】
[0016]附圖是用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說(shuō)明書(shū)的一部分，與下面的【具體實(shí)施方式】一起用于解釋本實(shí)用新型，但并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的限制。在附圖中:
[0017]圖1是根據(jù)本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式中三甲基銦接收裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0019]1解配釜2粗品接收罐
[0020]3真空緩沖罐4液氮罐
[0021]5手套箱6加熱絲
[0022]7冷阱8液氮閥
[0023]9排氣閥10液位感應(yīng)器
[0024]11出料閥12接收閥
[0025]13 抽氣閥14冷卻裝置
[0026]15 真空栗16平臺(tái)支架
[0027]17 料管18抽氣管
[0028]19 金屬軟管
【具體實(shí)施方式】
[0029]以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的【具體實(shí)施方式】?jī)H用于說(shuō)明和解釋本實(shí)用新型，并不用于限制本實(shí)用新型。
[0030]在本實(shí)用新型中，在未作相反說(shuō)明的情況下，使用的方位詞如“上、下”通常是針對(duì)附圖所示的方向而言的或者是針對(duì)豎直、垂直或重力方向上而言的各部件相互位置關(guān)系描述用詞。
[0031]如圖1顯示了一種三甲基銦接收裝置，該三甲基銦接收裝置包括解配釜1、真空緩沖罐3和手套箱5，手套箱5中設(shè)有密閉的粗品接收罐2和頂部開(kāi)口的冷阱7，粗品接收罐2設(shè)置在冷阱7中，粗品接收罐2通過(guò)料管17連接解配釜1并通過(guò)抽氣管18連接真空緩沖罐3，料管17的靠近粗品接收罐2的一端設(shè)有接收閥12，料管17的靠近解配釜1的一端設(shè)有出料閥11，抽氣管18與粗品接收罐2之間設(shè)有抽氣閥13，并且料管17和抽氣管18中均設(shè)有加熱絲6。
[0032]通過(guò)在粗品接收罐2與解配釜1之間的料管17和粗品接收罐2與真空緩沖罐3之間的抽氣管18中設(shè)有加熱絲6，可以將料管17中的三甲基銦氣化至粗品接收罐2中，而不會(huì)冷卻在料管17中以堵塞料管17，并且粗品接收罐2設(shè)置在冷阱7中，通過(guò)冷阱7的冷卻能夠?qū)牧瞎?7中抽吸至粗品接收罐2中的三甲基銦由氣態(tài)冷凝成固態(tài)結(jié)晶；又由于粗品接收罐2連接真空緩沖罐3，通過(guò)控制接收閥12、出料閥11和抽氣閥13，真空緩沖罐3能夠抽吸粗品接收罐2內(nèi)的尾氣，使得粗品接收罐2與真空緩沖罐3之間形成壓差，使得料管17中殘留的三甲基銦抽吸至粗品接收罐2中，因此避免了料管17的堵塞。三甲基銦的接收在手套箱5中操作，尤其是粗品接收罐2的拆裝過(guò)程均在手套箱5中進(jìn)行，使得有效地與空氣隔絕，從而避免發(fā)生泄漏燃燒，造成重大事故的隱患，實(shí)現(xiàn)了三甲基銦的安全接收。
[0033]需要注意的是，由于三甲基銦的化學(xué)性質(zhì)活潑，遇空氣自燃，因此密閉的粗品接收罐2以及密封的手套箱5在進(jìn)行接收三甲基銦的操作之前，需要將其中的空氣排出，充入惰性氣體或與三甲基銦不發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的氣體，例如氮?dú)?，從而使得三甲基銦的接收操作更加安全可靠，避免造成重大事故?br>[0034]其中，由于粗品接收罐2的重量較大，很難將其放置在冷阱7中，因此可使用起吊裝置將粗品接收罐2放置在冷阱7中。具體地，該起吊裝置可以設(shè)置在手套箱5中，使得三甲基銦的接收操作完全與空氣隔離。該起吊裝置可以包括電機(jī)、滾輪、鋼絲繩和用于控制電機(jī)的開(kāi)關(guān)，鋼絲繩纏繞于滾輪上，鋼絲繩的底端連接有掛鉤，粗品接收罐2上設(shè)有掛耳。首先將掛鉤固定在鋼絲繩的底端上，再將掛鉤扣在粗品接收罐2的掛耳上，啟動(dòng)開(kāi)關(guān)，通過(guò)電機(jī)驅(qū)動(dòng)滾輪旋轉(zhuǎn)，鋼絲繩纏繞于滾輪上，使得粗品接收罐2向上升起，直到升至粗品接收罐2的高度高于冷阱7的高度時(shí)，開(kāi)關(guān)關(guān)閉，通過(guò)手套箱5內(nèi)的手套移動(dòng)冷阱7，將冷阱7調(diào)整好位置，再將粗品接收罐2緩緩降落至冷阱7內(nèi)，以完成粗品接收罐2放置冷阱7內(nèi)的操作。但本實(shí)用新型并不局限于此，也可以使用其他形式的起吊裝置。
[0035]將粗品接收罐2放置冷阱7中之后，需要將粗品接收罐2的接收閥12和抽氣閥13分別與連接解配釜1的料管17和連接真空緩沖罐3的抽氣管18連接。特別地，接收閥12與料管17之間以及抽氣閥13與抽氣管18之間通過(guò)金屬軟管19相連。由于金屬軟管19具有較好的伸縮性和柔軟性，方便了接收閥12與料管17之間以及抽氣閥13與抽氣管18之間的連接。具體地，可以通過(guò)上述的起吊裝置微調(diào)粗品接收罐2的高度，以更加簡(jiǎn)單方便地完成接收閥12與料管17之間以及抽氣閥13與抽氣管18之間的連接。
[0036]三甲基銦接收裝置的具體操作過(guò)程為:當(dāng)解配釜1溫度升至三甲基銦的沸點(diǎn)溫度時(shí)，打開(kāi)出料閥11，解配釜1開(kāi)始通過(guò)料管7出料，隨后打開(kāi)接收閥12，氣態(tài)的三甲基銦進(jìn)入粗品接收罐2中。當(dāng)粗品接收罐2中的壓力大于解配釜1的壓力時(shí)，打開(kāi)抽氣閥13，通過(guò)真空緩沖罐3抽吸粗品接收罐2中的尾氣(即在進(jìn)行接收三甲基銦的操作之前，向粗品接收罐2中充入的惰性氣體或與三甲基銦不發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的氣體，例如氮?dú)?，使得粗品接收罐2與解配釜1之間形成壓力差，從而粗品接收罐2繼續(xù)接收三甲基銦。當(dāng)接收結(jié)束時(shí)，關(guān)閉出料閥11