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      構造物形成裝置、構造物制造方法和構造物與流程

      文檔序號:11293525閱讀:395來源:國知局
      構造物形成裝置、構造物制造方法和構造物與流程
      本發(fā)明涉及形成片狀構造物的構造物形成裝置、構造物制造方法、以及由構造物形成裝置和構造物制造方法制造的構造物。

      背景技術:
      日本專利申請公開第2011-102039號中公開的輥式壓印裝置是通過利用所謂的納米壓印技術形成樹脂片的裝置。該裝置設置有用于在樹脂片上轉印圖案的轉印輥。在轉印輥的外圓周表面,形成納米級大小的轉印圖案。作為樹脂片,使用提供在基膜上的UV固化樹脂。當樹脂片經過轉印輥的表面時,用UV光線照射樹脂片,結果是轉印輥的圖案形成在樹脂片上(參見,例如,日本專利申請公開第2011-102039號中的段落0085)。

      技術實現要素:
      在日本專利申請公開第2011-102039號中公開的裝置中,轉印圖案的整個表面的形狀由具有曲率的轉印輥轉印,并且從轉印輥移除樹脂片,即,隨著轉印輥的旋轉執(zhí)行釋放。因此,要轉印的圖案的縱橫比越高,釋放就變得越困難,這可能損壞圖案。鑒于以上所述的情況,理想的是,提供一種能夠形成構造物并且無論構造物的圖案形狀如何都不會損壞圖案的構造物形成裝置和構造物制造方法,并且提供由此制造的構造物。根據本發(fā)明的實施方式,提供了一種構造物形成裝置,包括旋轉體、保持構件和照射單元。進行了圖案化的掩模能夠被設置在旋轉體上。照射單元能夠利用能量線照射沿著旋轉體的旋轉軸方向的區(qū)域,其中掩模介于照射單元和照射區(qū)域之間。保持構件設置為與旋轉體相對,從而形成保持利用能量線固化的材料的保持區(qū)域。在本發(fā)明中,通過不利用三維鑄模而利用二維掩模,利用能量線照射所固化的材料將容易從旋轉的旋轉體剝去。即,可以防止通過固化材料形成的圖案受到損壞,這與使用三維鑄模的情況不同。旋轉體具有彎曲的外圓周表面,從而在保持構件和外圓周表面之間形成保持區(qū)域。通過該構造物,可以形成高分辨率的微細構造物。照射單元可以包括發(fā)射作為能量線的光的光源。照射單元可以進一步包括具有狹縫的狹縫構件,其通過使從光源發(fā)射的光穿過狹縫可以在保持區(qū)域上形成線性照射區(qū)域。通過該構造物,即使通過利用發(fā)射非相干光的光源也可以形成線性光照射區(qū)域。光源可以是發(fā)射激光的光源,并且照射單元可以進一步包括線性地擴散發(fā)射的激光的光學系統(tǒng)。即使當如上所述使用激光源時,也可以利用激光照射線性照射區(qū)域。旋轉體可以是具有中空部的筒狀體,其中光源設置在中空部中。光源設置在中空部中,中空部是作為旋轉體的圓柱體的內部,所以可以實現構造物形成裝置的小型化。旋轉體可以具有設置有掩模的外圓周表面。利用該結構,減小掩模和保持構件之間的距離,所以可以增加圖案轉印的分辨率。在保持構件的表面上,至少形成保持區(qū)域的區(qū)域可以是平坦表面或彎曲表面。構造物形成裝置可以進一步包括行進機構,其被構造為使保持通過固化材料形成的構造物的膜狀的基材行進。在該情況下,保持構件將張力施加于基材。因此,可以在基材上形成構造物。構造物形成裝置可以進一步包括卷繞筒,其被構造為卷起通過固化材料形成的構造物。因此,可以通過卷繞筒卷起該構造物。根據旋轉體和保持構件之間的距離,可以確定要形成的構造物的厚度。因此,通過調節(jié)該距離可以設置構造物的厚度。根據本發(fā)明的另一個實施方式,提供了一種構造物制造方法,該方法包括將通過能量線的能量固化的材料保持在旋轉體和要設置為與旋轉體相對的保持構件之間,其中進行了圖案化的掩模能夠設置在旋轉體上。利用能量線通過掩模照射所保持的材料的沿著旋轉體的旋轉軸方向的區(qū)域。根據本發(fā)明的另一個實施方式,提供了一種通過以上所述的方法制造的構造物。如上所述,根據本發(fā)明,可以形成該構造物,并且無論構造物的圖案形狀如何都不會損壞圖案。根據以下如附圖所示的本發(fā)明的最佳實施方式的詳細說明,本發(fā)明的這些和其他目的、特征和優(yōu)點將更為顯而易見。附圖說明圖1是示意性地示出了根據本發(fā)明的第一實施方式的構造物形成裝置的透視圖;圖2是示出了圖1中所示的構造物形成裝置的側視圖;圖3是示出了伸展的掩模的實例的平面圖;圖4是示出了圖3中所示的掩模上形成的構造物的實例的平面圖;圖5是用于說明旋轉鼓的外圓周表面和照射區(qū)域的平面之間的位移量的示圖;圖6是示出了作為參考例的在表面上具有在壓印技術中使用的三維鑄模的輥的透視圖;圖7是示出了使用圖6中所示的輥的三維鑄模形成構造物的狀態(tài)的示圖;圖8是示出了根據第一實施方式的構造物的另一個實例的平面圖;圖9是示出了根據本發(fā)明的第二實施方式的構造物形成裝置的側視圖;以及圖10A和圖10B分別是根據本發(fā)明的第三實施方式的構造物形成裝置的光照射單元的平面圖和側視圖。具體實施方式下文中,將參考附圖描述本發(fā)明的實施方式。(第一實施方式)(構造物形成裝置的構造)圖1是示意性地示出了根據本發(fā)明的第一實施方式的構造物形成裝置100的透視圖。圖2是示出了圖1中所示的構造物形成裝置100的側視圖。構造物形成裝置100設置有用作旋轉體的旋轉鼓10,用作被設置為與旋轉鼓10相對的保持構件的臺20,以及設置在旋轉鼓10中的光照射單元40。旋轉鼓10具有沿Y軸方向的長度,形成為筒狀形狀,一般為圓筒狀,并且具有作為彎曲表面的圓柱形表面的外圓周表面11。多個輥15接觸外圓周表面11,并且旋轉鼓10由多個輥15保持。利用該結構,旋轉鼓10可關于作為旋轉軸方向的Y軸方向旋轉。旋轉鼓10是由透光材料制造的,例如玻璃和亞克力。臺20具有與旋轉鼓10相對的表面21。表面21形成為平面形狀。驅動臺20的驅動機構(未示出)連接至臺20。驅動機構具有使臺20可以沿例如水平方向(在該情況下,沿垂直于旋轉鼓10的旋轉軸方向的方向(X軸方向))移動的構造。作為驅動機構,例如,使用滾珠絲杠機構、皮帶機構、利用電磁作用的線性電機等。如圖2中所示,在旋轉鼓10的外圓周表面11上設置有具有光透過形狀圖案(下文中稱為透光圖案)的掩模M。即,掩模M沿著外圓周表面11的彎曲表面設置。掩模M是由金屬、樹脂等制造的,形成為薄膜形狀,并且結合在旋轉鼓10的外圓周表面11。一般地,掩模M設置在外圓周表面11的整個圓周(360度)上。掩模M可以通過光刻、蝕刻、切割等形成。應當注意,掩模M的透光圖案可以通過打印等直接繪制在旋轉鼓10的外圓周表面11上。圖3是示出了伸展的掩模M的實例的平面圖。黑色部分是遮光部分,而白色部分是透光部分。換句話說,透光圖案是網目形式。掩模M的透光圖案不限于該圖案,并且可以具有任何形狀的圖案。光照射單元40具有生成非相干UV線的UV燈41,其作為發(fā)射作為能量線的光的光源。UV燈41基本上設置在旋轉鼓10的中空部的中央,并且具有沿著Y軸方向的長形狀。進一步,光照射單元40具有設置在旋轉鼓10的中空部的狹縫構件42。狹縫構件42不連接旋轉鼓10,也不旋轉。狹縫構件42可以由支撐構件(未示出)支撐。狹縫構件42具有在臺20的相對位置沿著Y軸方向縱長的狹縫42a。一般地,狹縫42a形成在與旋轉鼓10的外圓周表面11中旋轉鼓10的外圓周表面11與臺20的表面21之間的距離最短的區(qū)域相對應的位置(與外圓周表...
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