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      模具的制造方法及防反射膜的制造方法與流程

      文檔序號(hào):11235997閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      技術(shù)總結(jié)
      一種具有從表面的法線方向看時(shí)二維大小是10nm以上且不滿500nm的多個(gè)凹部的表面的模具的制造方法,包含:工序(a),準(zhǔn)備模具基材(10);工序(b),通過(guò)將鋁合金層(18)部分進(jìn)行陽(yáng)極氧化,形成具有多個(gè)凹部(14p)的多孔氧化鋁層(14);工序(c),通過(guò)將多孔氧化鋁層接觸蝕刻液,擴(kuò)大多個(gè)凹部;工序(d),檢測(cè)形成于多孔氧化鋁層或基材表面的突出部(210);工序(e),判定檢測(cè)的突出部的高度是否比預(yù)先設(shè)定的高度高;以及工序(f),在工序(e)中,在判定高的情況,通過(guò)照射激光于突出部,使突出部的高度比預(yù)先設(shè)定的高度低。

      技術(shù)研發(fā)人員:山田信明;林秀和;山田美穗
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:夏普株式會(huì)社
      技術(shù)研發(fā)日:2015.10.30
      技術(shù)公布日:2017.09.08
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