本發(fā)明涉及壓印方法以及壓印裝置。

背景技術(shù)：

近年來(lái)，在顯示器、照明等商品所使用的光學(xué)部件中，希望實(shí)現(xiàn)發(fā)現(xiàn)以往沒(méi)有的新功能的器件，該器件通過(guò)形成發(fā)揮特殊光學(xué)特性的納米(nm)數(shù)量級(jí)到微米(μm)數(shù)量級(jí)的微小圖案來(lái)控制光的反射及衍射。作為上述那樣的形成微小圖案的方法，除光刻技術(shù)、電子束刻蝕技術(shù)以外，近年來(lái)壓印技術(shù)變得引人注目。

壓印技術(shù)是指，通過(guò)將預(yù)先在表面上加工有微小圖案的模具按壓于在基板表面上涂敷的樹(shù)脂來(lái)形成模具的微小圖案的方法。

作為壓印方法，具有熱壓印法和UV壓印法。在該熱壓印法中，將涂敷于基板表面的熱塑性樹(shù)脂加熱至玻璃轉(zhuǎn)變溫度以上并按壓模具，從而對(duì)微小圖案進(jìn)行轉(zhuǎn)印，在該UV壓印法中，使用UV固化樹(shù)脂并在按壓模具的狀態(tài)下照射UV光，從而對(duì)微小圖案進(jìn)行轉(zhuǎn)印。

熱壓印法具有材料的選擇面寬這樣的特征，但需要在轉(zhuǎn)印微小圖案時(shí)使模具升溫以及降溫，因此存在生產(chǎn)率低這樣的問(wèn)題。另一方面，UV壓印法被限定于通過(guò)紫外線進(jìn)行固化的材料，因此與熱壓印比較的話，雖然選擇面窄，但能夠在幾秒～幾十秒內(nèi)完成固化，因而具有生產(chǎn)率非常高這樣的優(yōu)點(diǎn)。采用熱壓印法以及UV壓印法中的任一種方法根據(jù)要應(yīng)用的器件而有所不同，但在不存在起因于材料的問(wèn)題的情況下，認(rèn)為UV壓印法適于批量生產(chǎn)方法。

對(duì)利用UV壓印法來(lái)形成微小圖案的通常的工序流程進(jìn)行說(shuō)明。圖13是通常的平板式壓印工序的簡(jiǎn)要示意圖。首先，使用旋涂法等在基板11的表面上整面涂敷UV固化樹(shù)脂12。接著，在平坦的平臺(tái)13上配置基板11，并從上方對(duì)形成有微小構(gòu)造的模具14進(jìn)行加壓而使模具14與UV固 化樹(shù)脂12接觸。作為加壓手法，通常是利用平坦工具15按壓的方法。然后，利用UV照射器16從模具14以及平坦工具15的上方進(jìn)行UV照射而使UV固化樹(shù)脂12固化。最后，通過(guò)使平坦工具15以及模具14向上方移動(dòng)，使模具14從UV固化樹(shù)脂12脫模。

然而，在該方法的情況下，由于脫模的方向是與轉(zhuǎn)印平面垂直的方向，因此在模具14與固化后的UV固化樹(shù)脂12之間產(chǎn)生較大的脫模阻力。因此，當(dāng)想要將模具14從UV固化樹(shù)脂12脫模時(shí)，有時(shí)在UV固化樹(shù)脂12與基板11之間產(chǎn)生膜剝落，存在微小圖案的轉(zhuǎn)印品質(zhì)不穩(wěn)定這樣的問(wèn)題。

如圖14所示，專利文獻(xiàn)1公開(kāi)如下所述的壓印方法：使模具14呈薄片狀，在轉(zhuǎn)印后使配置在端部的模具把持件17上升，由此將模具14剝離而使模具14脫模。由于并不在與轉(zhuǎn)印平面垂直的方向上進(jìn)行脫模而是通過(guò)剝離進(jìn)行脫模，因此能夠減小脫模阻力而使微小圖案的轉(zhuǎn)印品質(zhì)穩(wěn)定。另外，如圖15所示，專利文獻(xiàn)2公開(kāi)如下所述的壓印方法：同樣使模具14呈薄片狀，作為加壓機(jī)構(gòu)而使用加壓輥151，在轉(zhuǎn)印后一邊利用加壓輥151按壓模具14一邊使加壓輥151向附圖中左方向移動(dòng)，與此同時(shí)，使模具把持件17上升，由此將模具14剝離而使模具14脫模。在該情況下，也能夠減小脫模阻力而使微小圖案的轉(zhuǎn)印品質(zhì)穩(wěn)定。

在先技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利5499306號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開(kāi)2014-54735號(hào)公報(bào)

雖然上述任一種手法作為提高脫模性的方法都有一定程度的效果，但根據(jù)UV固化樹(shù)脂12與基板11的粘合性、UV固化樹(shù)脂12與模具14的脫模性的不同難以提高脫模性，很難說(shuō)在所有的情況下都能夠良好地脫模。以下，具體示出因所述各種材料、粘合性、以及脫模性產(chǎn)生的脫模不合格的機(jī)制。

圖16是將現(xiàn)有的壓印方法中的基板11端部的脫模工序的樣子放大后的剖視圖。實(shí)際上，作為基板11而使用的材料大多為硅、玻璃等無(wú)機(jī)材料，無(wú)法獲得足夠的與作為UV固化樹(shù)脂12的有機(jī)系樹(shù)脂的粘合性的情況較多。因此，通過(guò)預(yù)先對(duì)基板11實(shí)施硅烷耦合處理等來(lái)確保粘合性，但有時(shí)也因耦合處理的溫度條件等無(wú)法確保穩(wěn)定的粘合性。因此，存在 UV固化樹(shù)脂12與基板11的粘合位置P1的粘合力變得不穩(wěn)定且變小的情況。另外，模具14所使用的材料大多是丙烯酸、環(huán)氧基等有機(jī)系樹(shù)脂，與UV固化樹(shù)脂12同質(zhì)，因此在固化時(shí)產(chǎn)生較大的粘合力的情況較多。雖然通過(guò)使模具14或UV固化樹(shù)脂12含有氟類的材料而降低粘合力，但這些也因固化條件等而存在不穩(wěn)定的情況。因此，存在UV固化樹(shù)脂12與模具14的粘合位置P2的粘合力變大的情況。因此，在脫模時(shí)，UV固化樹(shù)脂12與模具14的粘合位置P2的粘合力超過(guò)UV固化樹(shù)脂12與基板11的粘合位置P1的粘合力，如圖16所示，在基板11與UV固化樹(shù)脂12之間產(chǎn)生膜剝落，存在微小圖案的轉(zhuǎn)印品質(zhì)不穩(wěn)定這樣的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明是鑒于上述現(xiàn)有的問(wèn)題點(diǎn)而完成的，其目的在于通過(guò)提高壓印的脫模性來(lái)使微小圖案的轉(zhuǎn)印品質(zhì)穩(wěn)定。

解決方案

為了解決上述課題，本發(fā)明的壓印方法的特征在于，包括：樹(shù)脂涂敷工序，在該樹(shù)脂涂敷工序中，在將基板的背面貼附于粘貼片材的狀態(tài)下，以如下方式涂敷光固化樹(shù)脂：所述光固化樹(shù)脂覆蓋所述基板的表面且在所述基板的外周伸出而與所述粘貼片材接觸；預(yù)先固化工序，在該預(yù)先固化工序中，通過(guò)從所述基板的背面?zhèn)日丈涔?，使與所述粘貼片材接觸的光固化樹(shù)脂固化；加壓工序，在該加壓工序中，將在模具上形成的微小圖案按壓于所述基板的表面上的光固化性樹(shù)脂；固化工序，在該固化工序中，通過(guò)從所述基板的表面?zhèn)日丈涔?，使所述基板的表面上的光固化?shù)脂固化；以及脫模工序，在該脫模工序中，通過(guò)從在所述粘貼片材上發(fā)生了固化的位置進(jìn)行剝離，將所述模具從所述光固化樹(shù)脂脫模。

另外，本發(fā)明的壓印裝置的特征在于，具備：粘貼片材，其具有透光性以及可撓性，且能夠貼附并保持基板的背面；樹(shù)脂涂敷裝置，其能夠以如下方式涂敷光固化樹(shù)脂：所述光固化樹(shù)脂覆蓋所述基板的表面且在所述基板的外周伸出而與所述粘貼片材接觸；平臺(tái)，其具有透光性，且能夠隔著所述粘貼片材而設(shè)置所述基板；第一光照射器，其能夠隔著所述平臺(tái)以及所述粘貼片材而向所述基板的外周的至少一部分照射光；模具，其在與 所述基板的表面相對(duì)的第一面上形成有微小圖案，且具有透光性以及可撓性；加壓構(gòu)件，其能夠?qū)λ瞿＞叩呐c所述第一面相反的第二面進(jìn)行加壓；以及第二光照射器，其能夠隔著所述模具而向所述基板的表面照射光。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明的壓印方法以及壓印裝置，能夠提高壓印的脫模性，能夠使微小圖案的轉(zhuǎn)印品質(zhì)穩(wěn)定。

附圖說(shuō)明

圖1A示出本發(fā)明的實(shí)施方式1中的壓印方法的樹(shù)脂涂敷工序。

圖1B示出上述壓印方法的預(yù)先固化工序。

圖1C示出上述壓印方法的加壓工序。

圖1D示出上述壓印方法的固化工序。

圖1E示出上述壓印方法的脫模工序。

圖2是對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式1中的效果進(jìn)行說(shuō)明的示意圖。

圖3是對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式1中的效果進(jìn)行說(shuō)明的示意圖。

圖4示出與本發(fā)明的實(shí)施方式1中的加壓工序相關(guān)的另一例。

圖5示出與本發(fā)明的實(shí)施方式1中的脫模工序相關(guān)的另一例。

圖6示出與本發(fā)明的實(shí)施方式1中的粘貼片材的貼附方法相關(guān)的另一例。

圖7示出與本發(fā)明的實(shí)施方式1中的粘貼片材的貼附方法相關(guān)的另一例。

圖8示出與本發(fā)明的實(shí)施方式1中的粘貼片材的貼附方法相關(guān)的另一例。

圖9A示出本發(fā)明的實(shí)施方式2中的壓印方法的樹(shù)脂涂敷工序。

圖9B示出上述壓印方法的預(yù)先固化工序。

圖9C示出上述壓印方法的加壓/固化工序。

圖9D示出上述壓印方法的脫模工序。

圖10是對(duì)在上述壓印方法的預(yù)先固化工序中固化的位置進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖11是對(duì)在上述壓印方法的預(yù)先固化工序中固化的位置進(jìn)行說(shuō)明的 圖。

圖12示出與本發(fā)明的實(shí)施方式2中的樹(shù)脂涂敷工序相關(guān)的另一例。

圖13示出通常的UV壓印技術(shù)的概要。

圖14是專利文獻(xiàn)1所記載的輥式壓印工法的示意圖。

圖15是專利文獻(xiàn)2所記載的輥式壓印工法的示意圖。

圖16是用于說(shuō)明現(xiàn)有的壓印方式的課題的示意圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明：

11 基板

12 UV固化樹(shù)脂

13 平臺(tái)

14 模具

15 平坦工具

151 加壓輥

16 UV照射器

17 模具把持件

P1 UV固化樹(shù)脂與基板的粘合位置

P2 UV固化樹(shù)脂與模具的粘合位置

P3 UV固化樹(shù)脂與粘貼片材的粘合位置

21 基板

22 UV固化樹(shù)脂

23 平臺(tái)

24 模具

25 平坦工具

251 加壓輥

252 保持輥

26 UV照射器

27 模具把持件

28 粘貼片材

281 粘貼片材矯正夾具

29 預(yù)先UV照射器

30 流體壓力

具體實(shí)施方式

(實(shí)施方式1)

以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式1中的壓印方法以及壓印裝置進(jìn)行說(shuō)明。如圖1A～圖1E所示，本發(fā)明的壓印裝置具備粘貼片材28、平臺(tái)23、模具24、平坦工具25、UV照射器26、預(yù)先UV照射器29以及未圖示的樹(shù)脂涂敷裝置。各結(jié)構(gòu)的具體動(dòng)作與以下的壓印方法的說(shuō)明一并進(jìn)行。

圖1A～1D是示出本發(fā)明的實(shí)施方式1中的壓印方法的工序流程的示意圖。首先，在圖1A所示的樹(shù)脂涂敷工序中，對(duì)基板21涂敷UV固化樹(shù)脂22。預(yù)先將基板21的背面21b貼附保持于粘貼片材28。粘貼片材28被粘貼片材矯正夾具281固定且拉伸，以使得對(duì)粘貼片材28自身施加規(guī)定的張力。利用樹(shù)脂涂敷裝置對(duì)在上述的狀態(tài)下準(zhǔn)備好的基板21涂敷UV固化樹(shù)脂22。此時(shí)，以覆蓋基板21的表面21a且在基板21的外周伸出而與粘貼片材28接觸的方式進(jìn)行涂敷。作為涂敷的方式，根據(jù)材料的粘性可以采用旋涂法、絲網(wǎng)印刷法、靜電涂敷法等各種方式。根據(jù)涂敷的方式的不同，樹(shù)脂涂敷裝置的方式也各式各樣。另外，對(duì)基板21而言，根據(jù)成為對(duì)象的產(chǎn)品等的不同而考慮各種材質(zhì)，例如舉出硅、藍(lán)寶石、氮化鎵等。

接下來(lái)，在圖1B所示的預(yù)先固化工序中，使涂敷有UV固化樹(shù)脂22的基板21的外周部分的UV固化樹(shù)脂22固化。貼附于粘貼片材28的基板21隔著粘貼片材28而設(shè)置在平臺(tái)23上。平臺(tái)23由能夠使光透過(guò)的材料形成，例如為石英玻璃制。在平臺(tái)23的下方設(shè)置有能夠朝向上方照射UV光的預(yù)先UV照射器29，在設(shè)置基板21之后，從下方照射UV光。此時(shí)，基板21不使UV光透過(guò)，因此該基板21成為遮擋物，基板表面21a上的UV固化樹(shù)脂22不固化，僅從所述基板21的外周伸出且與粘貼片材28接觸的UV固化樹(shù)脂22發(fā)生固化。

然后，在圖1C所示的加壓工序中，針對(duì)在平臺(tái)23上配置的基板21，利用平坦工具25對(duì)在第一面24a上形成微小圖案的模具24的第二面24b 進(jìn)行加壓。成形方式能夠應(yīng)用各種方式，但在此以平板方式為代表例進(jìn)行說(shuō)明。具體地說(shuō)，模具24呈薄片狀，且在被施加規(guī)定的張力的狀態(tài)下安裝在模具把持件27上。進(jìn)而，利用平坦工具25從上方對(duì)模具24的第二面24b進(jìn)行加壓，將在模具24的第一面24a上形成的微小圖案按壓于基板21上的UV固化樹(shù)脂22，從而使UV固化樹(shù)脂22填充于微小圖案。

然后，在圖1D所示的固化工序中，使涂敷于基板21的UV固化樹(shù)脂22固化。平坦工具25具有透光性，例如為石英玻璃制。另外，模具24具有透光性，能夠使從在上方配置的UV照射器26照射的UV光幾乎全部向下方透過(guò)，因此能夠使UV固化樹(shù)脂22固化。

最后，在圖1E所示的脫模工序中，使固化后的UV固化樹(shù)脂22與模具24脫模。此時(shí)，平坦工具25預(yù)先解除加壓而向上方退避。當(dāng)對(duì)薄片狀的模具24進(jìn)行脫模時(shí)，通過(guò)使模具把持件27上升，由此從基板21的端部剝離而脫模。由此，能夠提高壓印的脫模性，能夠提高微小圖案的轉(zhuǎn)印品質(zhì)。以下，參照?qǐng)D2以及圖3進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。

圖2是示出本實(shí)施方式的加壓工序中的基板端部的狀態(tài)的放大剖視圖，圖3是示出本實(shí)施方式的脫模工序中的基板端部的狀態(tài)的放大剖視圖。對(duì)與圖1相同的部分或者相當(dāng)?shù)牟糠謽?biāo)注相同的附圖標(biāo)記。在圖2所示的加壓工序中，模具24與UV固化樹(shù)脂22接觸。在基板21的表面21a上，由于UV固化樹(shù)脂22為固化前的粘性體，因此被填充于模具24的圖案內(nèi)。另一方面，在從基板21向外周伸出而與粘貼片材28接觸的區(qū)域中，由于UV固化樹(shù)脂22在圖1B的預(yù)先固化工序中被固化，因此成為沒(méi)有粘貼性以及粘性且具有一定的硬度的彈性體。因此，UV固化樹(shù)脂22與模具24的粘合位置P2的粘合力顯著變小。另一方面，由于在預(yù)先固化工序中，該區(qū)域中的UV固化樹(shù)脂22固化，并且粘貼片材28的粘貼性發(fā)生作用，從而在UV固化樹(shù)脂22與粘貼片材28之間形成固定界面，因此該區(qū)域中的UV固化樹(shù)脂22與粘貼片材28的粘合位置P3的粘合力顯著變高。

在上述那樣的狀態(tài)下移向接下來(lái)的圖3所示的脫模工序的情況下，UV固化樹(shù)脂22與粘貼片材28的粘合位置P3的粘合力大幅度地超過(guò)UV固化樹(shù)脂22與模具24的粘合位置P2的粘合力。因此，必定從模具24側(cè)剝離。然后，為了將基板21上的模具的部分從UV固化樹(shù)脂22剝離，在基 板21與UV固化樹(shù)脂22的粘合位置P4處需要一定的脫模阻力。在此，模具24已經(jīng)從端部進(jìn)行剝離，因此粘合位置P4的脫模阻力與粘合位置P3的粘合力相比，變得十分小。另外，剝離時(shí)的力點(diǎn)存在于粘合位置P4且遠(yuǎn)離粘合位置P3的部分，因此在基板21與UV固化樹(shù)脂22之間難以產(chǎn)生膜剝落。因此，能夠提高壓印的脫模性，能夠使微小圖案的轉(zhuǎn)印品質(zhì)穩(wěn)定。

需要說(shuō)明的是，在實(shí)施方式1中，作為加壓方式的代表例而舉出使用平坦工具的方式，但加壓方式并不局限于此，例如如圖4所示，利用空氣等的流體壓力30對(duì)基板21的表面進(jìn)行全面加壓的方式也可以期待同樣的效果。需要說(shuō)明的是，在圖4中，對(duì)與圖1相同的部分或者相當(dāng)?shù)牟糠謽?biāo)注相同的附圖標(biāo)記。另外，也可以采用將后述那樣的加壓輥?zhàn)鳛榧訅悍绞降姆椒ā?/p>

此外，在脫模工序中，雖然采用了通過(guò)使模具把持件27上升而從模具24的端部剝離的方式，但如圖5所示，通過(guò)采用超聲波振動(dòng)等使模具把持件27輕微地在上下方向上進(jìn)行擺動(dòng)的方式，能夠降低基板21上的模具24與UV固化樹(shù)脂22之間的脫模阻力，從而能夠?qū)崿F(xiàn)更穩(wěn)定的脫模。此外，通過(guò)使粘貼片材矯正夾具281同時(shí)向下方移動(dòng)，能夠進(jìn)一步增大模具24與UV固化樹(shù)脂22的分開(kāi)角度，從而能夠提高脫模性。

需要說(shuō)明的是，固定粘貼片材28的粘貼片材矯正夾具281的形狀可以根據(jù)作為對(duì)象的基板21的形態(tài)等而采用各種方式。圖6～8是本實(shí)施方式中的粘貼片材28以及粘貼片材矯正夾具281的各種形狀制作例。在基板21為四邊形的情況下，例如如圖6所示，將粘貼片材矯正夾具281配置在基板21的左右兩側(cè)，或者如圖7所示，以包圍基板21的周圍的方式配置。由此，能夠使粘貼片材28的張力穩(wěn)定。另外，在基板21為圓形的情況下，如圖8所示，將粘貼片材矯正夾具281設(shè)為圓形環(huán)狀。由此，能夠使粘貼片材28的張力為各向同性。

(實(shí)施方式2)

接下來(lái)，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式2的壓印方法進(jìn)行說(shuō)明。需要說(shuō)明的是，在實(shí)施方式1中，對(duì)在圖1B所示的預(yù)先固化工序中使向基板21的外周伸出的UV固化樹(shù)脂22固化的方式進(jìn)行了說(shuō)明。另一方面，實(shí) 施方式2與實(shí)施方式1的不同之處在于，不使向基板21的外周伸出的UV固化樹(shù)脂22中的一部分固化。

圖9A～9D是示出本發(fā)明的實(shí)施方式2中的壓印方法的工序流程的示意圖。為了便于理解，對(duì)與圖1A～1E相同的部分或者相當(dāng)?shù)牟糠謽?biāo)注相同的附圖標(biāo)記。圖9A所示的樹(shù)脂涂敷工序與實(shí)施方式1中的以圖1A說(shuō)明的樹(shù)脂涂敷工序相同，故省略說(shuō)明。

在圖9B所示的預(yù)先固化工序中，使向基板21的外周伸出而與粘貼片材28接觸的UV固化樹(shù)脂22中的、比基板21靠附圖中左側(cè)的UV固化樹(shù)脂22固化，而不使位于基板21的右側(cè)的UV固化樹(shù)脂22固化。關(guān)于詳細(xì)內(nèi)容，在后面進(jìn)行說(shuō)明。

在圖9C所示的加壓/固化工序中，作為加壓方式而使用加壓輥251，一邊以將薄片狀的模具24按壓于UV固化樹(shù)脂22的方式進(jìn)行加壓、一邊向與加壓輥251的軸向Z以及加壓方向Y垂直的進(jìn)給方向X(附圖中從左向右的方向)進(jìn)給，由此依次加壓。同時(shí)，也使UV照射器26從上方與加壓輥251的移動(dòng)同步移動(dòng)，由此使UV固化樹(shù)脂22依次固化。另外，為了防止加壓輥251通過(guò)后的模具24的部分在使UV固化樹(shù)脂22固化之前分離而設(shè)有保持輥252。保持輥252設(shè)置在進(jìn)給方向X上比UV照射器26靠上游側(cè)的位置。

然后，在圖9D所示的脫模工序中，一邊將保持輥252沿著進(jìn)給方向X進(jìn)給、一邊使上游側(cè)的模具把持件27上升，由此僅從進(jìn)給方向X上的上游側(cè)進(jìn)行剝離。在此，在進(jìn)給方向X上比基板21靠上游側(cè)的UV固化樹(shù)脂22在圖9B所示的工序中被預(yù)先固化，因此與模具24的粘合力變小，與粘貼片材28的粘合力變大。由此，能夠防止在基板21與UV固化樹(shù)脂22之間產(chǎn)生膜剝落，因此能夠提高壓印的脫模性，能夠使微小圖案的轉(zhuǎn)印品質(zhì)穩(wěn)定。

另外，由于不使在進(jìn)給方向X上位于基板21的下游的UV固化樹(shù)脂22預(yù)先固化，因此能夠促進(jìn)UV固化樹(shù)脂22的流出，使微小圖案的轉(zhuǎn)印品質(zhì)穩(wěn)定。以下進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。

在實(shí)施方式2中，加壓輥251一邊對(duì)UV固化樹(shù)脂22進(jìn)行加壓、一邊向進(jìn)給方向X進(jìn)給，基板21上的UV固化樹(shù)脂22也被向進(jìn)給方向X 擠出。假設(shè)若使圖9B中向基板21的外周伸出的UV固化樹(shù)脂22的整個(gè)范圍固化，則向進(jìn)給方向X擠出的UV固化樹(shù)脂22被在基板21的下游固化的UV固化樹(shù)脂22阻塞。因此，UV固化樹(shù)脂22難以向下游流出，比起上游側(cè)，UV固化樹(shù)脂22的膜厚在下游側(cè)變厚，可能導(dǎo)致微小圖案的轉(zhuǎn)印品質(zhì)降低。

另一方面，在本實(shí)施方式中，由于不使位于基板21的下游的UV固化樹(shù)脂22預(yù)先固化，因此向進(jìn)給方向X擠出的UV固化樹(shù)脂22流出到比基板21靠下游的粘貼片材28上。因此，能夠使UV固化樹(shù)脂22的膜厚均勻化，能夠提高微小圖案的轉(zhuǎn)印品質(zhì)。

圖10以及圖11是對(duì)在基板21為矩形的情況或者圓形的情況下在預(yù)先固化工序中固化的位置進(jìn)行說(shuō)明的俯視圖。在附圖中，附圖標(biāo)記22a表示在預(yù)先固化工序中被固化的部分，且表示在進(jìn)給方向X上比基板21靠上游側(cè)的UV固化樹(shù)脂的部分。附圖標(biāo)記22b表示在預(yù)先固化工序中未被固化的部分，且表示在進(jìn)給方向X上位于基板21的下游的UV固化樹(shù)脂的部分。附圖標(biāo)記22c表示除此以外的UV固化樹(shù)脂的部分，是可以在預(yù)先固化工序中固化或不在預(yù)先固化工序中固化的部分。

在基板21為矩形的情況下，如圖10所示，使在進(jìn)給方向X上比基板21的最上游的一邊21c更靠上游側(cè)的UV固化樹(shù)脂的部分22a固化。另外，為了促進(jìn)UV固化樹(shù)脂22的流出，不使在進(jìn)給方向X上位于基板21的下游的UV固化樹(shù)脂的部分22b固化。在基板21為圓形的情況下，如圖11所示，需要使在進(jìn)給方向X上比基板21的最上游的一端21d更靠上游側(cè)的UV固化樹(shù)脂的部分22a固化。該區(qū)域成為由圓弧和弦構(gòu)成的形狀。另外，為了促進(jìn)UV固化樹(shù)脂22的流出，不使在進(jìn)給方向X上位于基板21的下游的UV固化樹(shù)脂的部分22b固化。

另外，在實(shí)施方式2中，在圖9B所示的預(yù)先固化工序中，使在進(jìn)給方向X上比基板21靠上游側(cè)的UV固化樹(shù)脂22固化，不使位于基板21的下游的UV固化樹(shù)脂固化。代替上述方式，在樹(shù)脂涂敷工序中，也可以將UV固化樹(shù)脂22涂敷于在進(jìn)給方向X上比基板21靠上游側(cè)的粘貼片材28，而不涂敷于基板21的下游的粘貼片材28。由此，能夠獲得與上述方式相同的效果。

即，通過(guò)向比基板21靠上游側(cè)的UV固化樹(shù)脂22照射UV光而使其固化，從而UV固化樹(shù)脂22與模具24的粘合力變小，與粘貼片材28的粘合力變大。由此，能夠防止在基板21與UV固化樹(shù)脂22之間產(chǎn)生膜剝落，因此能夠提高壓印的脫模性，使微小圖案的轉(zhuǎn)印品質(zhì)穩(wěn)定。另外，由于在進(jìn)給方向X上基板21的下游不涂敷UV固化樹(shù)脂22，因此能夠促進(jìn)UV固化樹(shù)脂22的流出，使微小圖案的轉(zhuǎn)印品質(zhì)穩(wěn)定。

在此，參照?qǐng)D10以及圖11，對(duì)在樹(shù)脂涂敷工序中涂敷UV固化樹(shù)脂的位置進(jìn)行說(shuō)明。在附圖中，附圖標(biāo)記22a表示在樹(shù)脂涂敷工序中涂敷UV固化樹(shù)脂22的部分。附圖標(biāo)記22b表示在樹(shù)脂涂敷工序中不涂敷UV固化樹(shù)脂22的部分。附圖標(biāo)記22c表示在樹(shù)脂涂敷工序中可以涂敷也可以不涂敷的部分。另外，通過(guò)預(yù)測(cè)基板21上的UV固化樹(shù)脂22在進(jìn)給方向X上被擠出某種程度，從而如圖12所示，也可以采用不覆蓋基板22的表面中的整面而使進(jìn)給方向X上的下游側(cè)的一部分露出的方式。

需要說(shuō)明的是，在實(shí)施方式2中，對(duì)作為加壓構(gòu)件而使用加壓輥251、且不使向基板21的外周伸出的UV固化樹(shù)脂22的整面固化而使要?jiǎng)冸x的一側(cè)的UV固化樹(shù)脂22固化的方式進(jìn)行了說(shuō)明。代替上述方式，采用如下的方式也能夠獲得同樣的效果：作為加壓構(gòu)件而使用在實(shí)施方式1中說(shuō)明過(guò)的那樣的平坦工具、流體壓力，不使向基板21的外周伸出的UV固化樹(shù)脂22的整面固化而使要?jiǎng)冸x的一側(cè)的UV固化樹(shù)脂22固化。

需要說(shuō)明的是，在實(shí)施方式1以及實(shí)施方式2中，對(duì)UV照射器隔著具有UV透過(guò)性的模具24而將UV光照射于UV固化樹(shù)脂22并使該UV固化樹(shù)脂22固化的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但是并不局限于此，也可以采用如下方式：模具24相對(duì)于UV以外的光具有透過(guò)性，使用通過(guò)UV以外的光進(jìn)行固化的樹(shù)脂，且使用照射UV以外的光的光照射器。

工業(yè)實(shí)用性

本發(fā)明在通過(guò)提高脫模性而能夠提高微小圖案的轉(zhuǎn)印品質(zhì)的壓印方法以及壓印裝置中是有用的。