本發(fā)明涉及一種在使用液狀樹脂對晶體管、集成電路(integratedcircuit：ic)和發(fā)光二極管(lightemittingdiode：led)等芯片狀的電子部件(以下，適當?shù)胤Q為“芯片”)進行樹脂封裝的情況等中所使用的樹脂成型裝置、樹脂成型方法及流動性材料的噴射裝置。在本申請文件中，所謂“液狀”這一術(shù)語意味著在常溫下為液狀且具有流動性，并且不涉及流動性的高低換言之粘度的程度。

背景技術(shù)：

一直以來，使用例如由硅酮樹脂或環(huán)氧樹脂等熱硬化性樹脂形成的液狀樹脂，對安裝在基板上的半導體芯片進行樹脂封裝。樹脂封裝技術(shù)可使用壓縮成型、傳遞模塑成型等樹脂成型技術(shù)。在使用液狀樹脂的樹脂成型中，在主劑液狀樹脂中混合硬化劑等助劑液狀樹脂，并通過加熱經(jīng)混合的液狀樹脂而進行樹脂成型。

在使用液狀樹脂的樹脂封裝中，從安裝在作為樹脂噴射機構(gòu)的分送器的前端上的噴嘴向設(shè)置于下模的型腔供給液狀樹脂。根據(jù)樹脂封裝的產(chǎn)品，型腔的大小和形狀各不相同。因此，能夠與產(chǎn)品對應地在下模上設(shè)置具有大面積的一個型腔或具有小面積的多個型腔等。如果為在下模上設(shè)置有一個型腔的情況，則可利用一個分送器供給液狀樹脂。即使為在下模上設(shè)置有多個型腔的情況，也可以利用一個分送器向多個型腔依次供給液狀樹脂。但是，由于使用一個分送器向多個型腔依次供給液狀樹脂，因此供給所需的時間變長且生產(chǎn)率降低。雖然也可以通過分別與多個型腔對應的方式設(shè)置多個分送器來供給液狀樹脂，但裝置總體的結(jié)構(gòu)變得復雜，并且費用也提高。

為了向多個型腔供給液狀樹脂，可在分送器的前端設(shè)置多個噴嘴。在該情況下，從多個噴嘴同時將規(guī)定量的液狀樹脂供給到各個型腔中。因此，從多個噴嘴均等且穩(wěn)定地供給液狀樹脂很重要。

作為能夠利用多腔進行壓縮成型的成型裝置，提出有如下的成型裝置(例如，參照專利文獻1的第[0005]段及圖1～圖2)：“該成型裝置由多噴嘴擠壓機4和壓縮成型金屬模5形成，所述多噴嘴擠壓機4在增塑并擠壓樹脂成型材料6的擠壓機1的前端設(shè)置有送出增塑樹脂成型材料6的多個分支路2，并且在各分支路2上設(shè)置并形成有具備計量機構(gòu)和噴射機構(gòu)的擠壓噴嘴3，所述壓縮成型金屬模5被供給從擠壓噴嘴3擠出的增塑樹脂成型材料6”。

專利文獻1：日本專利申請公開平6-114867號公報

但是，專利文獻1所公開的現(xiàn)有的成型裝置具有如下問題。如專利文獻1的圖1所示，在送出增塑樹脂成型材料6的送出路14的前端連接有分支成多條的分支路2。并且，在各該分支路2的前端連接有設(shè)置于擠壓噴嘴3的基部的計量及噴射單元17。在各計量及噴射單元17中獨立地計量及噴射供給到各擠壓噴嘴3的計量及噴射單元17中的增塑樹脂成型材料，并且該增塑樹脂成型材料從各擠壓噴嘴3的噴嘴18被供給并投入到壓縮成型金屬模5的下金屬模5a的各型腔中。

在這種裝置結(jié)構(gòu)中，對各計量及噴射單元17來說，由各個單元計量即將供給到各型腔中的增塑樹脂成型材料6后向各擠壓噴嘴噴射。因此，通過設(shè)置與型腔的數(shù)量對應的數(shù)量的計量及噴射單元17，來控制各個計量及噴射單元17的噴射量。因此，為了進行多腔操作，裝置結(jié)構(gòu)變得復雜，并且裝置的費用也提高。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明是為了解決上述問題而提出的，其目的在于提供一種能夠容易降低從多個噴射口噴射出的流動性樹脂的噴射量偏差的樹脂成型裝置、樹脂成型方法及流動性材料脂的噴射裝置。

為了解決上述問題，本發(fā)明的樹脂成型裝置具備：

成型模，在彼此相對配置的上模和下模中的至少一個模上設(shè)置有型腔；

樹脂噴射機構(gòu)，為了向所述型腔供給流動性樹脂而噴射所述流動性樹脂；和

合模機構(gòu)，對所述成型模進行合模，

所述樹脂噴射機構(gòu)包括：

流道部件，具有在所述流動性樹脂的流入口與噴射口之間分支的分支流道；

旋轉(zhuǎn)體，被配置在各個所述分支流道內(nèi)且伴隨所述流動性樹脂的通過而能夠旋轉(zhuǎn)；和

聯(lián)動機構(gòu)，用于使配置在所述分支流道內(nèi)的各個所述旋轉(zhuǎn)體聯(lián)動旋轉(zhuǎn)。

為了解決上述問題，本發(fā)明的樹脂成型方法包括：

樹脂噴射工序，使用在彼此相對配置的上模和下模中的至少一個模上設(shè)置有型腔的成型模，并且為了向所述型腔供給流動性樹脂而噴射所述流動性樹脂；和

合模工序，對供給有所述樹脂材料的成型模進行合模，

在所述樹脂噴射工序中，使配置在各個分支流道內(nèi)的旋轉(zhuǎn)體聯(lián)動旋轉(zhuǎn)，由此使流動性樹脂通過各個旋轉(zhuǎn)體，所述分支流道在流動性樹脂的流入口與噴射口之間分支。

為了解決上述問題，本發(fā)明的流動性材料的噴射裝置具備：

流道部件，具有在流動性材料的流入口與噴射口之間分支的分支流道；

旋轉(zhuǎn)體，被配置在各個所述分支流道內(nèi)且伴隨所述流動性材料的通過而能夠旋轉(zhuǎn)；和

聯(lián)動機構(gòu)，用于使配置在所述分支流道內(nèi)的各個所述旋轉(zhuǎn)體聯(lián)動旋轉(zhuǎn)。

根據(jù)本發(fā)明，能夠容易降低從多個噴射口噴射出的流動性樹脂的噴射量偏差。

附圖說明

圖1是表示在實施方式1的樹脂成型裝置中裝置的大致結(jié)構(gòu)的俯視圖。

圖2的(a)～(c)是表示在實施方式1的樹脂成型裝置中對安裝在基板上的芯片進行樹脂封裝的過程的示意性剖視圖。

圖3的(a)是表示在實施方式1的樹脂成型裝置中所使用的分送器的示意圖，(b)是表示在實施方式1中所使用的樹脂噴射部的示意圖，(c)是(b)的a-a線剖視圖。

圖4的(a)是表示實施方式1中所使用的樹脂噴射部的變形例的示意圖，(b)是(a)的b-b線剖視圖。

圖5的(a)是表示實施方式2中所使用的樹脂噴射部的俯視圖，(b)是(a)的c-c線剖視圖。

圖6的(a)是表示實施方式3中所使用的樹脂噴射部的俯視圖，(b)是(a)的d-d線剖視圖。

圖7是分別表示實施方式1～3所示的各樹脂噴射部的變形例的示意性剖視圖。

具體實施方式

下面，參照附圖對本發(fā)明的實施方式進行說明。本申請文件中的任一幅圖為了易于理解均進行適當省略或夸張以示意性地繪制。對相同的結(jié)構(gòu)要素使用相同的附圖標記，并適當省略說明。

[實施方式1]

(樹脂成型裝置的結(jié)構(gòu))

參照圖1，對本發(fā)明的樹脂成型裝置的結(jié)構(gòu)進行說明。

圖1所示的樹脂成型裝置1為例如使用壓縮成型法的樹脂成型裝置。樹脂成型裝置1具備分別作為結(jié)構(gòu)要素的基板供給收納模塊2、四個成型模塊3a、3b、3c、3d和樹脂供給模塊4。作為結(jié)構(gòu)要素的基板供給收納模塊2、各成型模塊3a、3b、3c、3d和樹脂供給模塊4分別相對于其它結(jié)構(gòu)要素能夠彼此裝卸，并且能夠更換。

在基板供給收納模塊2中設(shè)置有：封裝前基板供給部6，用于供給封裝前基板5；和封裝后基板收納部8，用于收納封裝后基板7。在封裝前基板5上安裝有例如半導體芯片等。在基板供給收納模塊2中設(shè)置有裝載器9和卸載器10，并且沿x方向設(shè)置有支撐裝載器9和卸載器10的導軌11。裝載器9和卸載器10沿導軌11在x方向上移動。

被支撐在導軌11上的裝載器9和卸載器10沿x方向在基板供給收納模塊2、各成型模塊3a、3b、3c、3d與樹脂供給模塊4之間移動。在裝載器9中設(shè)置有用于在各成型模塊3a、3b、3c、3d中將封裝前基板5供給到上模中的移動機構(gòu)12。在各成型模塊中，移動機構(gòu)12沿y方向移動。在卸載器10中設(shè)置有用于在各成型模塊3a、3b、3c、3d中從上模接收封裝后基板7的移動機構(gòu)13。在各成型模塊中，移動機構(gòu)13沿y方向移動。

在各成型模塊3a、3b、3c、3d中設(shè)置有能夠升降的下模14和與下模14相對配置的上模(未圖示，參照圖2)。上模和下模14一起構(gòu)造成型模。各成型模塊3a、3b、3c、3d具有對上模和下模14進行合模及開模的合模機構(gòu)15(圖中的用雙點劃線表示的部分)。在下模14中設(shè)置有型腔16，該型腔16為收容流動性樹脂或作為流動性材料的液狀樹脂并將其硬化的空間。換言之，型腔16為收容液狀樹脂的收容部。圖1示出在下模14中設(shè)置有兩個型腔16的情況?？梢栽谛颓?6的型面上包覆離型膜。此外，在此對在下模上設(shè)置有型腔的結(jié)構(gòu)進行說明，但型腔也可以被設(shè)置在上模上，還可以被設(shè)置在上模和下模這兩個模上。

在樹脂供給模塊4中設(shè)置有用于向型腔16供給液狀樹脂的樹脂運送機構(gòu)17。樹脂運送機構(gòu)17被導軌11支撐，并且沿導軌11在x方向上移動。在樹脂運送機構(gòu)17中設(shè)置有作為液狀樹脂的噴射機構(gòu)或噴射裝置的分送器18。在分送器18的前端部具備用于噴射液狀樹脂的樹脂噴射部19。與型腔16的數(shù)量對應地，在樹脂噴射部19中設(shè)置有多個噴嘴(參照圖3～圖7)。在各成型模塊3a、3b、3c、3d中，通過移動機構(gòu)20使分送器18沿y方向移動，從而向型腔16供給液狀樹脂。

圖1所示的分送器18為使用事先將主劑和硬化劑混合而成的液狀樹脂的單液類型的分送器。作為主劑，例如可使用具有熱硬化性的硅酮樹脂或環(huán)氧樹脂等。還可以使用在噴射液狀樹脂時將主劑和硬化劑混合而使用的雙液混合類型的分送器。

在樹脂供給模塊4中設(shè)置有抽真空機構(gòu)21。抽真空機構(gòu)21在各成型模塊3a、3b、3c、3d中即將對上模和下模14進行合模之前從型腔16中強制性地抽吸空氣并將其排出。在樹脂供給模塊4中設(shè)置有用于控制樹脂成型裝置1總體的操作的控制部22。圖1示出了在樹脂供給模塊4中設(shè)置有抽真空機構(gòu)21和控制部22的情況。不限于此，還可以在其它模塊中設(shè)置該抽真空機構(gòu)21和控制部22。

控制部22控制液狀樹脂的噴射、封裝前基板5及封裝后基板7的運送、成型模的加熱和成型模的開閉等。換言之，控制部22進行基板供給收納模塊2、成型模塊3a、3b、3c、3d及樹脂供給模塊4中的各操作的控制。

控制部22的配置位置可以是任一位置，可以在基板供給收納模塊2、成型模塊3a、3b、3c、3d和樹脂供給模塊4中的至少一個模塊中配置控制部22，也可以在各模塊的外部配置控制部22。另外，還可以將控制部22構(gòu)造為根據(jù)作為控制對象的操作來分離出至少一部分的多個控制部。

(樹脂成型裝置的操作)

參照圖1～圖2，關(guān)于由樹脂成型裝置1對安裝在基板上的芯片進行樹脂封裝的操作進行說明。作為樹脂成型裝置1的操作，對使用成型模塊3c的情況進行說明。

首先，例如以使安裝有芯片23的面朝下側(cè)的方式，從封裝前基板供給部6向裝載器9轉(zhuǎn)交安裝有芯片23(參照圖2的(a))的封裝前基板5。接著，裝載器9在+x方向上從基板供給收納模塊2沿導軌11移動至成型模塊3c。

接著，在成型模塊3c中，使用移動機構(gòu)12，來使封裝前基板5沿-y方向移動至上模14與下模24(參照圖2的(a))之間的規(guī)定位置。通過吸附或夾持等將安裝有芯片23的面朝下側(cè)的封裝前基板5固定在上模24的下表面上。在將封裝前基板5配置在上模24的下表面上之后，使移動機構(gòu)12后退至裝載器9。裝載器9移動至基板供給收納模塊2中的原來的待機位置。

接著，使用樹脂運送機構(gòu)17，來使分送器18在-x方向上從樹脂供給模塊4中的待機位置沿導軌11移動至成型模塊3c。由此，樹脂運送機構(gòu)17移動至模塊3c中的下模14附近的規(guī)定位置。使用移動機構(gòu)20，來使分送器18移動至下模14上方的規(guī)定位置(參照圖2的(a))。

接著，如圖2的(a)所示，從分送器18的樹脂噴射部19向設(shè)置于下模14的型腔16噴射液狀樹脂25。由此，向型腔16供給液狀樹脂25。

接著，在將液狀樹脂25供給到型腔16中之后，使用移動機構(gòu)20來使分送器18后退至樹脂運送機構(gòu)17。樹脂運送機構(gòu)17移動至樹脂供給模塊14中的原來的待機位置。

接著，在成型模塊3c中，通過使用合模機構(gòu)15使下模14上升，對上模24和下模14進行合模(參照圖2的(b))。通過合模，安裝在封裝前基板5上的芯片23浸漬在供給到型腔16中的液狀樹脂25中。此時，可通過使用設(shè)置于下模14的型腔底面部件(未圖示)，來對型腔16內(nèi)的液狀樹脂25施加規(guī)定的樹脂壓力。

此外，在合模過程中，也可以使用抽真空機構(gòu)21對型腔16內(nèi)進行抽吸。由此，將殘留在型腔16內(nèi)的空氣和液狀樹脂25中所包含的氣泡等排出到成型模的外部。此外，型腔16內(nèi)被設(shè)定為規(guī)定的真空度。

接著，使用設(shè)置于下模14的加熱器(未圖示)，對液狀樹脂25進行液狀樹脂25硬化所需的時間的加熱。由此，通過使液狀樹脂25硬化而成型硬化樹脂26(參照圖2的(c))。由此，通過成型為與型腔16的形狀對應的硬化樹脂26來對安裝在封裝前基板5上的芯片23進行樹脂封裝。在使液狀樹脂25硬化之后，使用合模機構(gòu)15來對上模24和下模14進行開模。在上模24的下表面上固定有樹脂封裝后的成型品27(封裝后基板7)(參照圖2的(c))。

接著，使裝載器9退避至不妨礙卸載器10移動至成型模塊3c的適當位置。例如，使裝載器9從基板供給收納模塊2退避至成型模塊3d或樹脂供給模塊4中的適當位置。之后，使卸載器10在+x方向上從基板供給收納模塊2沿導軌11移動至成型模塊3c。

接著，在成型模塊3c中，使移動機構(gòu)13沿-y方向移動至下模14與上模24之間的規(guī)定位置之后，由移動機構(gòu)13從上模24接收封裝后基板7。在接收封裝后基板7之后，移動機構(gòu)13返回至卸載器10。通過使卸載器10返回至基板供給收納模塊2，將封裝后基板7收納在封裝后基板收納部8中。在該時刻，完成最初的封裝前基板5的樹脂封裝，從而完成最初的封裝后基板7。

接著，使退避至成型模塊3d或樹脂供給模塊4中的適當位置的裝載器9移動到基板供給收納模塊2。從封裝前基板供給部6向裝載器9轉(zhuǎn)交下一個封裝前基板5。以上述方式反復進行樹脂封裝。

在樹脂成型裝置1中，控制部22控制封裝前基板5的供給、樹脂運送機構(gòu)17及分送器18的移動、液狀樹脂25的噴射、上模24與下模14的合模及開模、封裝后基板7的收納等的操作。

(分送器的結(jié)構(gòu))

參照圖3，對樹脂成型裝置1中所使用的分送器18進行說明。如圖3所示，分送器18具備：樹脂送出機構(gòu)28，用于送出液狀樹脂25；注射器29，其為貯留液狀樹脂25的貯留部；樹脂移送部30，用于移送液狀樹脂25；和樹脂噴射部19，用于噴射液狀樹脂25。對分送器18來說，通過連接樹脂送出機構(gòu)28、注射器29、樹脂移送部30和樹脂噴射部19而一體構(gòu)造分送器18。因此，可根據(jù)用途將注射器29或樹脂噴射部19分別更換為其它注射器29或樹脂噴射部19。

樹脂送出機構(gòu)28具備：伺服電動機31；滾珠絲杠32，其通過伺服電動機31來旋轉(zhuǎn)；滑塊33，被安裝在滾珠絲杠螺母(未圖示)上且將旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為直線運動；拉桿34，被固定在滑塊33的前端部；和柱塞35，被安裝在拉桿34的前端。通過伺服電動機31旋轉(zhuǎn)，分別經(jīng)由滾珠絲杠32、滑塊33、拉桿34而使柱塞35沿y方向移動。

伺服電動機31為能夠控制電動機的旋轉(zhuǎn)的電動機。伺服電動機31具有用于監(jiān)控電動機的旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)檢測器(編碼器)36。編碼器36檢測伺服電動機31的旋轉(zhuǎn)角和旋轉(zhuǎn)速度并將其反饋。通過控制伺服電動機31的旋轉(zhuǎn)，能夠高精度地進行柱塞35的位置控制、速度控制和轉(zhuǎn)矩控制等。此外，通過監(jiān)控伺服電動機31的負載轉(zhuǎn)矩，能夠檢測分送器18是否發(fā)生異常(液狀樹脂的堵塞等)。

圖3的(a)所示的分送器18為使用事先將主劑和硬化劑混合而成的液狀樹脂25的單液類型的分送器。圖3示出使用具有兩個樹脂噴射口37的樹脂噴射部來作為樹脂噴射部19的情況。可通過更換樹脂噴射部19來使用具有更多的樹脂噴射口的樹脂噴射部(參照圖4～圖7)。

(樹脂噴射部的結(jié)構(gòu))

參照圖3～圖4，對樹脂成型裝置1中所使用的樹脂噴射部的實施方式1進行說明。如圖3的(c)所示，樹脂噴射部19具備：流道部件38，具有流道在供液狀樹脂25流入的樹脂流入口40與噴射液狀樹脂25的樹脂噴射口37之間分支而成的分支流道41；和兩個噴嘴39，被安裝在流道部件38的兩端。在流道部件38的中央設(shè)置有供給液狀樹脂25的樹脂流入口40。在流道部件38中設(shè)置有從樹脂流入口40沿水平方向朝向兩側(cè)延伸的分支流道41。因此，以在單軸上向彼此相反側(cè)延伸的方式分支有兩個分支流道41。在噴嘴39中設(shè)置有與分支流道41相連且沿鉛直方向延伸的樹脂流道42。在樹脂流道42的前端設(shè)置有樹脂噴射口37。噴嘴39相對于流道部件38能夠裝卸，從而能夠更換噴嘴39。能夠與產(chǎn)品或用途對應地選擇使用口徑或形狀不同的噴嘴。此外，在圖3的(b)、(c)、圖4的(a)、(b)和后述的圖5的(b)、圖6的(b)、圖7的(a)～(c)中，示意性地表示了旋轉(zhuǎn)體的槽形狀(方向)和旋轉(zhuǎn)方向，這并不一定意味著液狀樹脂的流動方向一致。

在流道部件38的分支流道41中設(shè)置有作為能夠旋轉(zhuǎn)的聯(lián)動機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)軸43。旋轉(zhuǎn)軸43被支撐在流道部件38的兩端上。在樹脂流入口40兩側(cè)的旋轉(zhuǎn)軸43中分別嵌入有具有螺旋狀槽44的旋轉(zhuǎn)體45。例如，旋轉(zhuǎn)體45由螺桿或轉(zhuǎn)子等形成。因此，旋轉(zhuǎn)體45為與旋轉(zhuǎn)軸43一同旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)體，旋轉(zhuǎn)軸43為兩個旋轉(zhuǎn)體45通用的旋轉(zhuǎn)軸。被配置在樹脂流入口40兩側(cè)的旋轉(zhuǎn)體45以螺旋狀槽44的朝向分別為相反方向的方式被嵌入到旋轉(zhuǎn)軸43中。因此，兩個旋轉(zhuǎn)體45具有方向彼此相反的螺旋狀槽44。由此，通過供給到樹脂流入口40中的液狀樹脂25的樹脂壓力，旋轉(zhuǎn)體45與旋轉(zhuǎn)軸43一體地沿相同方向旋轉(zhuǎn)。此外，作為能夠構(gòu)造旋轉(zhuǎn)體45的轉(zhuǎn)子，可使用在單螺桿泵中所使用且能夠偏心旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子。在使用單螺桿泵的轉(zhuǎn)子的情況下，例如通過在分支流道41內(nèi)部的轉(zhuǎn)子周圍配置內(nèi)螺紋狀的彈性體，并且在旋轉(zhuǎn)軸系統(tǒng)中使用兩個萬向聯(lián)軸節(jié)及連結(jié)該兩個萬向聯(lián)軸節(jié)的耦合桿，從而能夠使轉(zhuǎn)子偏心旋轉(zhuǎn)。

能夠與所使用的液狀樹脂的種類、粘度、比重等對應地更換旋轉(zhuǎn)體45。因此，能夠與液狀樹脂對應地優(yōu)化旋轉(zhuǎn)體45的材質(zhì)、長度、口徑和螺旋狀槽44的間距、高度和錐角等。

如圖4所示，作為設(shè)置于旋轉(zhuǎn)體45的槽的形狀，也可以是方向彼此相反且從與旋轉(zhuǎn)軸43正交的方向觀察兩個旋轉(zhuǎn)體45時相對于旋轉(zhuǎn)軸43傾斜的多個直線狀槽44a。此外，圖4的(a)、(b)分別與圖3的(b)、(c)對應。另外，圖4示出了從與旋轉(zhuǎn)軸43正交的方向觀察時的直線狀槽44a，但也可以是從與旋轉(zhuǎn)軸43正交的方向觀察時至少包括相對于旋轉(zhuǎn)軸43傾斜的部分的曲線狀槽。

也可以在旋轉(zhuǎn)體45中設(shè)置孔來代替槽。具體而言，可將槽44、44a設(shè)為如孔那樣的形狀，并使之覆蓋如圖3、4所示的旋轉(zhuǎn)體45的外周。

(分送器的操作)

參照圖3，對分送器18噴射液狀樹脂25的操作進行說明。如圖3的(a)所示，通過伺服電動機31的旋轉(zhuǎn)，使?jié)L珠絲杠32旋轉(zhuǎn)。通過滾珠絲杠32的旋轉(zhuǎn)，使安裝在滾珠絲杠螺母上的滑塊33沿-y方向前進。通過滑塊33的前進，使固定在滑塊33上的拉桿34沿-y方向前進。通過在注射器29內(nèi)拉桿34沿-y方向的前進，使安裝在拉桿34的前端上的柱塞35沿-y方向的前進。通過柱塞35沿-y方向前進，從而按壓貯留在注射器29內(nèi)的液狀樹脂25并沿-y方向擠出該液狀樹脂25。被柱塞35擠出的液狀樹脂25經(jīng)由樹脂移送部30被供給到樹脂噴射部19的流道部件38中。

如圖3的(b)所示，供給到流道部件38中的液狀樹脂25從樹脂流入口40沿兩側(cè)的分支流道41分支流動。在圖3～圖7中，用粗箭頭表示液狀樹脂25的流動方向。分支后的液狀樹脂25沿形成于各個旋轉(zhuǎn)體45的螺旋狀槽44向兩側(cè)流動。由于旋轉(zhuǎn)體45被配置成螺旋狀槽44的朝向分別為相反方向，因此通過液狀樹脂25的樹脂壓力來作用欲使各個旋轉(zhuǎn)體45沿相同方向旋轉(zhuǎn)的力。因此，液狀樹脂25從樹脂流入口40向兩側(cè)流動并通過分支流道41內(nèi)的旋轉(zhuǎn)體45，由此旋轉(zhuǎn)體45與旋轉(zhuǎn)軸43一體地沿相同方向旋轉(zhuǎn)。換言之，各個旋轉(zhuǎn)體45與旋轉(zhuǎn)軸43的旋轉(zhuǎn)同步地以相同的速度聯(lián)動旋轉(zhuǎn)。

由于各個旋轉(zhuǎn)體45以相同的速度旋轉(zhuǎn)，因此能夠由各個旋轉(zhuǎn)體45送出相同流量的液狀樹脂25。通過旋轉(zhuǎn)體45與旋轉(zhuǎn)軸43一體地以相同的速度旋轉(zhuǎn)，從而能夠均等地送出液狀樹脂25。因此，具備螺旋狀槽44的旋轉(zhuǎn)體45具有作為均等地送出液狀樹脂25的樹脂計量部的功能。

由旋轉(zhuǎn)體45分別均等地送出的液狀樹脂25依次經(jīng)由分支流道41、樹脂流道42和樹脂噴射口37而被噴射到型腔16中(參照圖2的(a))。因此，能夠從兩個噴嘴39向各個型腔16均等地供給相同流量的液狀樹脂25。

(作用效果)

在本實施方式中，樹脂供給模塊為包括如下構(gòu)件的結(jié)構(gòu)：流道部件38，具有通過將分送器18在液狀樹脂25的流入口與噴射口之間分支而成的分支流道41，該分送器18是為了向型腔16供給流動性樹脂或作為流動性材料的液狀樹脂25而噴射液狀樹脂25的樹脂噴射機構(gòu)或噴射裝置；旋轉(zhuǎn)體45，被配置在各個分支流道41內(nèi)且為伴隨液狀樹脂25的通過而能夠旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)體；和旋轉(zhuǎn)軸43，其為使配置在分支流道41內(nèi)的各個旋轉(zhuǎn)體45聯(lián)動旋轉(zhuǎn)的聯(lián)動機構(gòu)。

根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，能夠容易降低從多個噴射口噴射出的液狀樹脂25的噴射量偏差。另外，可通過監(jiān)控噴射時的負載轉(zhuǎn)矩，來抑制例如如下不良情況：在多個噴射口中的一個噴射口堵塞時等情況下，僅從一部分噴射口噴射液狀樹脂25。

此外，在本實施方式中，樹脂供給模塊為如下結(jié)構(gòu)：以在單軸上向彼此相反側(cè)延伸的方式分支有兩個分支流道41，并且兩個旋轉(zhuǎn)體45具有方向彼此相反的螺旋狀槽，由此兩個旋轉(zhuǎn)體45通過通用的旋轉(zhuǎn)軸43聯(lián)動旋轉(zhuǎn)。

根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，能切實且容易降低從兩個噴射口噴射出的液狀樹脂25的噴射量偏差。

更詳細而言，根據(jù)本實施方式，在分送器18的樹脂噴射部19的兩端設(shè)置有兩個噴嘴39。在樹脂噴射部19的分支流道41中設(shè)置有能夠旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸43。在設(shè)置于樹脂噴射部19中央的樹脂流入口40的兩側(cè)的旋轉(zhuǎn)軸43中分別嵌入有具有螺旋狀槽44的旋轉(zhuǎn)體45。由于以使螺旋狀槽44的方向分別為相反方向的方式將旋轉(zhuǎn)體45嵌入到旋轉(zhuǎn)軸43中，因此旋轉(zhuǎn)體45與旋轉(zhuǎn)軸43一體地沿相同方向旋轉(zhuǎn)。各個旋轉(zhuǎn)體45與旋轉(zhuǎn)軸43的旋轉(zhuǎn)同步地以相同速度聯(lián)動旋轉(zhuǎn)。由此，經(jīng)由各個旋轉(zhuǎn)體45所具有的螺旋狀槽44而均等地送出相同流量的液狀樹脂25。由于具有螺旋狀槽44的旋轉(zhuǎn)體45同步聯(lián)動旋轉(zhuǎn)，因此各個旋轉(zhuǎn)體45作為均等地送出液狀樹脂25的樹脂計量部來發(fā)揮功能。因此，能夠經(jīng)由各個旋轉(zhuǎn)體45從設(shè)置在樹脂噴射部19兩端的兩個噴嘴39向各個型腔19均等地供給相同流量的液狀樹脂25。

根據(jù)本實施方式，具有螺旋狀槽44的多個旋轉(zhuǎn)體45與旋轉(zhuǎn)軸43一同以相同速度旋轉(zhuǎn)。由于多個旋轉(zhuǎn)體45同步聯(lián)動旋轉(zhuǎn)，因此各個旋轉(zhuǎn)體45作為均等地送出液狀樹脂25的樹脂計量部來發(fā)揮功能。因此，能夠構(gòu)造結(jié)構(gòu)非常簡單且抑制費用的樹脂計量部。此外，能夠與液狀樹脂對應地更換旋轉(zhuǎn)體45。能夠與液狀樹脂的種類、粘度和比重等對應地使用最佳的旋轉(zhuǎn)體45。因此，能夠以非常簡單的結(jié)構(gòu)應對多種多樣的液狀樹脂。

在本實施方式中，在基板供給收納模塊2與樹脂供給模塊4之間，沿x方向排列安裝有四個成型模塊3a、3b、3c、3d。還可以將基板供給收納模塊2和樹脂供給模塊4設(shè)為一個模塊，并且在該模塊上沿x方向排列安裝一個成型模塊3a。此外，還可以在該成型模塊3a中安裝其它成型模塊3b。由此，能夠與生產(chǎn)方式或生產(chǎn)量對應地增減成型模塊3a、3b、…。因此，能夠優(yōu)化樹脂成型裝置1的結(jié)構(gòu)，從而能實現(xiàn)生產(chǎn)率的提高。

此外，在本實施方式中，對作為樹脂成型裝置1具備基板供給收納模塊2、四個成型模塊3a、3b、3c、3d和樹脂供給模塊4的結(jié)構(gòu)進行了說明。樹脂成型裝置并不限定于這種結(jié)構(gòu)，只需為至少具備成型模、噴射流動性樹脂的樹脂噴射機構(gòu)以及對成型模進行合模的合模機構(gòu)且具有進行樹脂成型的功能的裝置即可。

[實施方式2]

(樹脂噴射部的結(jié)構(gòu))

參照圖5，對樹脂成型裝置1中所使用的樹脂噴射部的實施方式2進行說明。與實施方式1的不同點在于，在樹脂噴射部設(shè)置有更多的噴嘴和并排流道。

如圖5的(b)所示，樹脂噴射部46具備流道部件47，流道部件47具備多個并排設(shè)置的噴嘴48。圖5示出在流道部件47中設(shè)置有四個噴嘴48的情況。不限于此，也可以設(shè)置五個以上的噴嘴48，還可以設(shè)置兩個或三個噴嘴。

在流道部件47中設(shè)置有：樹脂流入口40，液狀樹脂25被供給到該樹脂流入口40中；和分支流道41，從樹脂流入口40沿水平方向朝向兩側(cè)延伸。在各噴嘴48中并排設(shè)置有多個從分支流道41分支并沿鉛直方向延伸的并排流道42a。在各并排流道42a的前端分別設(shè)置有樹脂噴射口37。噴嘴48還可以被構(gòu)造為相對于流道部件47能夠裝卸而更換。能夠與產(chǎn)品或用途對應地選擇使用口徑或長度不同的噴嘴。另外，如果在各并排流道42a的前端另行安裝能夠裝卸的噴嘴，則能夠?qū)Χ喾N噴嘴共同使用旋轉(zhuǎn)體45。

在各噴嘴48的并排流道42a中分別設(shè)置有作為能夠旋轉(zhuǎn)的聯(lián)動部件的旋轉(zhuǎn)軸49。在各旋轉(zhuǎn)軸49中分別嵌入有具有螺旋狀槽44的旋轉(zhuǎn)軸45。旋轉(zhuǎn)體45由螺桿或轉(zhuǎn)子等形成。旋轉(zhuǎn)體45為與旋轉(zhuǎn)軸49一同旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)體。各旋轉(zhuǎn)體45以使螺旋狀槽44的朝向分別為相同方向的方式被嵌入到旋轉(zhuǎn)軸49中。由此，各個旋轉(zhuǎn)體45與旋轉(zhuǎn)軸49一體地沿相同方向旋轉(zhuǎn)。通過流道部件47的上表面和支撐部件50來在鉛直方向上支撐各個旋轉(zhuǎn)軸49。

此外，關(guān)于槽的形狀，也可以是實施方式1中所說明的直線狀的多個槽(參照圖4)，還可以是曲線狀的多個槽。另外，如實施方式1中所說明的那樣，還可以使用孔來代替槽。

如圖5的(a)所示，在各旋轉(zhuǎn)軸49的一端(在圖5的(b)中為上端)，分別連接有作為聯(lián)動機構(gòu)即旋轉(zhuǎn)板的滑輪51。作為與各滑輪51的外周接觸并能夠旋轉(zhuǎn)的聯(lián)動機構(gòu)的傳送帶52被設(shè)置為包圍各個滑輪51。通過各旋轉(zhuǎn)體45沿相同方向旋轉(zhuǎn)，從而經(jīng)由旋轉(zhuǎn)軸49使各個滑輪51沿與旋轉(zhuǎn)體45相同的方向旋轉(zhuǎn)。通過各個滑輪51沿相同方向旋轉(zhuǎn)，從而使傳送帶52旋轉(zhuǎn)?？梢匀我庠O(shè)定各個滑輪51的外徑。

(樹脂噴射部的操作)

參照圖5，對從樹脂噴射部46噴射液狀樹脂25的操作進行說明。如圖5的(b)所示，供給到樹脂噴射部46中的液狀樹脂25從樹脂流入口40向兩側(cè)的分支流道41分支流動。分支流道41被分支流動的液狀樹脂25填滿。液狀樹脂25從分支流道41向形成于各噴嘴48的并排流道42a分別流動。嵌入到各旋轉(zhuǎn)軸49中的旋轉(zhuǎn)體45以使螺旋狀槽44的朝向分別為相同方向的方式被配置在各個并排流道42a中。由此，通過液狀樹脂25的樹脂壓力來作用欲使各個旋轉(zhuǎn)體45沿相同方向旋轉(zhuǎn)的力。因此，液狀樹脂25在各并排流道42a中流動并通過各旋轉(zhuǎn)體45，由此旋轉(zhuǎn)體45與旋轉(zhuǎn)軸49一體地沿相同方向旋轉(zhuǎn)。

如圖5的(a)所示，由于各旋轉(zhuǎn)體45與旋轉(zhuǎn)軸49一體地沿相同方向旋轉(zhuǎn)，因此各個滑輪51也沿與旋轉(zhuǎn)軸49及旋轉(zhuǎn)體45相同的方向旋轉(zhuǎn)。由于各滑輪51均沿相同方向旋轉(zhuǎn)，因此通過各個滑輪51與傳送帶52的摩擦力來使傳送帶52沿各個滑輪51的外周旋轉(zhuǎn)。由此，傳送帶52以恒定的速度沿滑輪51的外周旋轉(zhuǎn)。

通過傳送帶52以恒定的速度旋轉(zhuǎn)，傳送帶52使各個滑輪51以相同速度沿相同方向旋轉(zhuǎn)。通過各滑輪51以相同速度沿相同方向旋轉(zhuǎn)，從而經(jīng)由旋轉(zhuǎn)軸49使各個旋轉(zhuǎn)體45以相同速度沿相同方向旋轉(zhuǎn)。因此，各個旋轉(zhuǎn)體45與傳送帶52的旋轉(zhuǎn)速度同步地以相同速度沿相同方向聯(lián)動旋轉(zhuǎn)。由此，能夠從各個旋轉(zhuǎn)體45送出相同流量的液狀樹脂25。由于各個旋轉(zhuǎn)體45與傳送帶52的旋轉(zhuǎn)速度同步地聯(lián)動旋轉(zhuǎn)，因此旋轉(zhuǎn)體45作為均等地送出液狀樹脂25的樹脂計量部來發(fā)揮功能。

由各旋轉(zhuǎn)體45分別均等地送出的液狀樹脂25從各樹脂噴射口37噴射到型腔中。因此，能夠從四個噴嘴48向各個型腔均等地供給相同流量的液狀樹脂25。

(作用效果)

在本實施方式中，樹脂供給模塊為如下結(jié)構(gòu)：流道部件47包括并排設(shè)置的多個并排流道42a，旋轉(zhuǎn)體45被配置在各個并排流道42a內(nèi)，聯(lián)動機構(gòu)包括：旋轉(zhuǎn)軸49，被設(shè)置在并排流道42a內(nèi)的各個旋轉(zhuǎn)體45中；和滑輪51，其為被連接到旋轉(zhuǎn)軸49上的旋轉(zhuǎn)板。

根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，不論噴射口的數(shù)量，都能夠容易降低從多個噴射口噴射出的液狀樹脂25的噴射量偏差。

此外，在本實施方式中，樹脂供給模塊為如下結(jié)構(gòu)：聯(lián)動機構(gòu)進一步包括用于連結(jié)與多個旋轉(zhuǎn)體45對應的滑輪51的傳送帶52，各個旋轉(zhuǎn)體45具有方向相同的螺旋狀槽44。

根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，不論噴射口的數(shù)量，都能夠切實且容易降低從多個噴射口噴射出的液狀樹脂25的噴射量偏差。

更詳細而言，根據(jù)本實施方式，在分送器18的樹脂噴射部46中設(shè)置有噴射液狀樹脂25的多個噴嘴48。在設(shè)置于各噴嘴48的并排流道42a中分別設(shè)置有能夠旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸49。在各旋轉(zhuǎn)軸49中分別嵌入有具有螺旋狀槽44的旋轉(zhuǎn)軸45。在各旋轉(zhuǎn)軸49的一端分別連接有滑輪51。各旋轉(zhuǎn)體45以使螺旋狀槽44的朝向分別為相同方向的方式被嵌入到旋轉(zhuǎn)軸49中。因此，通過液狀樹脂25的樹脂壓力來使旋轉(zhuǎn)體45、旋轉(zhuǎn)軸49與滑輪51一體地沿相同方向旋轉(zhuǎn)。由于各滑輪51均沿相同方向旋轉(zhuǎn)，因此傳送帶52以恒定的速度沿各滑輪51的外周旋轉(zhuǎn)。

通過傳送帶52以恒定的速度旋轉(zhuǎn)，從而與傳送帶52的旋轉(zhuǎn)速度同步地，滑輪51、旋轉(zhuǎn)軸49與旋轉(zhuǎn)體45一體地以相同速度沿相同方向聯(lián)動旋轉(zhuǎn)。由于各個旋轉(zhuǎn)體45以相同速度沿相同方向旋轉(zhuǎn)，因此能夠經(jīng)由旋轉(zhuǎn)體45所具有的螺旋狀槽44而分別均等地送出相同流量的液狀樹脂25。通過各旋轉(zhuǎn)體45以相同速度沿相同方向旋轉(zhuǎn)，從而各個旋轉(zhuǎn)體45作為均等地送出液狀樹脂25的樹脂計量部來發(fā)揮功能。因此，能夠經(jīng)由各個旋轉(zhuǎn)體45從樹脂噴射口37向各個型腔16均等地供給相同流量的液狀樹脂25。

根據(jù)本實施方式，在樹脂噴射部46中設(shè)置有噴射液狀樹脂25的多個噴嘴48。在多個噴嘴48中分別設(shè)置有具有螺旋狀槽44的旋轉(zhuǎn)體45。由于各個旋轉(zhuǎn)體45與傳送帶52的旋轉(zhuǎn)速度同步地以相同速度沿相同方向聯(lián)動旋轉(zhuǎn)，因此旋轉(zhuǎn)體45均等地送出液狀樹脂25。因此，即使在設(shè)置有多個型腔的情況下，也能夠向各個型腔均等地供給液狀樹脂25。

根據(jù)本實施方式，由于多個旋轉(zhuǎn)體45同步聯(lián)動旋轉(zhuǎn)，因此各個旋轉(zhuǎn)體45作為均等地送出液狀樹脂25的樹脂計量部來發(fā)揮功能。因此，能夠構(gòu)造結(jié)構(gòu)非常簡單且抑制費用的樹脂計量部。此外，能夠與液狀樹脂對應地更換旋轉(zhuǎn)體45。能夠與液狀樹脂的種類、粘度和比重等對應地使用最佳的旋轉(zhuǎn)體45。因此，能夠以非常簡單的結(jié)構(gòu)應對多種多樣的液狀樹脂。

[實施方式3]

(樹脂噴射部的結(jié)構(gòu))

參照圖6，對樹脂成型裝置1中所使用的樹脂噴射部的實施方式3進行說明。與實施方式2的不同點在于，不是使用滑輪與傳送帶的組合，而是使用齒輪的組合來使各個旋轉(zhuǎn)體45以相同速度沿相同方向旋轉(zhuǎn)。

如圖6的(b)所示，由于樹脂噴射部46、流道部件47、噴嘴48、旋轉(zhuǎn)體45、旋轉(zhuǎn)軸49和支撐部件50等的結(jié)構(gòu)與實施方式2完全相同，因此省略說明。

如圖6的(a)所示，在各旋轉(zhuǎn)軸49的一端(在圖6的(b)中為上端)，分別連接有作為聯(lián)動機構(gòu)的齒輪53。在相鄰的齒輪53與齒輪53之間分別設(shè)置有作為聯(lián)動機構(gòu)的其它齒輪54并使之與各個齒輪53咬合。齒輪53和齒輪54這兩個齒輪均為正齒輪。相鄰的齒輪53和齒輪54通過相互咬合而分別沿相反方向旋轉(zhuǎn)?？梢匀我庠O(shè)定齒輪53與齒輪54的齒輪比。

(樹脂噴射部的操作)

參照圖6，對從樹脂噴射部46噴射液狀樹脂25的操作進行說明。與實施方式2同樣，液狀樹脂25從分支流道41流過各并排流道42a，由此旋轉(zhuǎn)體45與旋轉(zhuǎn)軸49一體地沿相同方向旋轉(zhuǎn)。

如圖6的(a)所示，由于各旋轉(zhuǎn)體45與旋轉(zhuǎn)軸49一體地沿相同方向旋轉(zhuǎn)，因此連接到各旋轉(zhuǎn)軸49上的齒輪53也沿與旋轉(zhuǎn)軸49相同的方向分別旋轉(zhuǎn)。各個齒輪53沿順時針方向旋轉(zhuǎn)。由于各齒輪53沿順時針方向旋轉(zhuǎn)，因此與此相反地各齒輪54沿逆時針方向旋轉(zhuǎn)。由于齒輪53與齒輪54的齒輪比被設(shè)定為恒定，因此齒輪53和齒輪54分別以恒定的速度沿彼此相反的方向旋轉(zhuǎn)。因此，各齒輪53以恒定的速度沿相同方向旋轉(zhuǎn)，各齒輪54以恒定的速度沿相反方向旋轉(zhuǎn)。

通過各個齒輪53以相同速度沿相同方向旋轉(zhuǎn)，從而經(jīng)由旋轉(zhuǎn)軸49使各個旋轉(zhuǎn)體45以相同速度沿相同方向旋轉(zhuǎn)。因此，旋轉(zhuǎn)體45與各齒輪53的旋轉(zhuǎn)速度同步地以相同速度沿相同方向聯(lián)動旋轉(zhuǎn)。由此，能夠從各個旋轉(zhuǎn)體45送出相同流量的液狀樹脂25。由于各個旋轉(zhuǎn)體45與齒輪53的旋轉(zhuǎn)速度同步地聯(lián)動旋轉(zhuǎn)，因此旋轉(zhuǎn)體45作為均等地送出液狀樹脂25的樹脂計量部來發(fā)揮功能。

由各旋轉(zhuǎn)體45分別均等地送出的液狀樹脂25從各樹脂噴射口37噴射到型腔中。因此，能夠從四個噴嘴48向各個型腔均等地供給相同流量的液狀樹脂25。

(作用效果)

在本實施方式中，樹脂供給模塊為如下結(jié)構(gòu)：流道部件47包括并排設(shè)置的多個并排流道42a，旋轉(zhuǎn)體45被配置在各個并排流道42a內(nèi)，聯(lián)動機構(gòu)包括：旋轉(zhuǎn)軸49，被設(shè)置在并排流道42a內(nèi)的各個旋轉(zhuǎn)體45中；和齒輪53，其為被連接到旋轉(zhuǎn)軸49上的旋轉(zhuǎn)板。

根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，不論噴射口的數(shù)量，都能夠容易降低從多個噴射口噴射出的液狀樹脂25的噴射量偏差。

此外，在本實施方式中，樹脂供給模塊為如下結(jié)構(gòu)：聯(lián)動機構(gòu)進一步包括被配置成和與相鄰的旋轉(zhuǎn)體45對應的齒輪53這兩個齒輪咬合的齒輪54，各個旋轉(zhuǎn)體45具有方向相同的螺旋狀槽44。

根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，不論噴射口的數(shù)量，都能夠切實且容易降低從多個噴射口噴射出的液狀樹脂25的噴射量偏差。

更詳細而言，根據(jù)本實施方式，在樹脂噴射部46中設(shè)置有噴射液狀樹脂25的多個噴嘴48。在并排流道42a中分別設(shè)置有能夠旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸49，在各旋轉(zhuǎn)軸49中分別嵌入有具有螺旋狀槽44的旋轉(zhuǎn)體45。在各旋轉(zhuǎn)軸49的一端分別連接有齒輪53。在相鄰的齒輪53與齒輪53之間分別設(shè)置有其它齒輪54并使之與各個齒輪53咬合。由于齒輪53與齒輪54的齒輪比被設(shè)定為恒定，因此各齒輪53以恒定的速度沿相同方向旋轉(zhuǎn)，各齒輪54以恒定的速度沿相反方向旋轉(zhuǎn)。

旋轉(zhuǎn)體45與各齒輪53的旋轉(zhuǎn)速度同步地以相同速度沿相同方向聯(lián)動旋轉(zhuǎn)。由于各個旋轉(zhuǎn)體45以相同速度沿相同方向旋轉(zhuǎn)，因此能夠經(jīng)由旋轉(zhuǎn)體45所具有的螺旋狀槽44而分別均等地送出相同流量的液狀樹脂25。通過各旋轉(zhuǎn)體45以相同速度沿相同方向旋轉(zhuǎn)，從而各個旋轉(zhuǎn)體45作為均等地送出液狀樹脂25的樹脂計量部來發(fā)揮功能。因此，能夠經(jīng)由各個旋轉(zhuǎn)體45從樹脂噴射口37向各個型腔16均等地供給相同流量的液狀樹脂25。

(實施方式3的變形例)

可將實施方式3的變形例設(shè)為如下結(jié)構(gòu)：省略齒輪54，并使相鄰的齒輪53彼此直接咬合。在該變形例的結(jié)構(gòu)中，相鄰的齒輪53和齒輪53分別沿彼此相反的方向旋轉(zhuǎn)。因此，將相鄰的旋轉(zhuǎn)體45的螺旋狀槽設(shè)置為方向彼此相反即可。相鄰的旋轉(zhuǎn)體45與各個齒輪53的旋轉(zhuǎn)速度同步地以相同速度沿相反方向聯(lián)動旋轉(zhuǎn)。由此，能夠從各個旋轉(zhuǎn)體45均等地送出液狀樹脂25。在該變形例中，能取得與上述實施方式3相同的作用效果。

[實施方式4]

(樹脂噴射部的變形例)

參照圖7，對樹脂成型裝置1中所使用的樹脂噴射部的實施方式1～3的變形例分別進行說明。與實施方式1～3的不同點在于，在外部分別設(shè)置有作為輔助性地使旋轉(zhuǎn)體45旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的電動機。為了方便說明，在圖7的(b)、(c)中省略支撐部件50的圖示。

如圖7的(a)所示，在樹脂噴射部19中，作為旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的電動機55被連接到旋轉(zhuǎn)軸43上。作為電動機55，例如可使用伺服電動機或步進電動機等。在液狀樹脂25為具有高粘度的液狀樹脂的情況下，由于液狀樹脂25的流動速度慢，因此欲使旋轉(zhuǎn)體45旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動力(樹脂壓力)不充分。在這種情況下，通過輔助性地使用電動機55來使旋轉(zhuǎn)體45旋轉(zhuǎn)。由此，旋轉(zhuǎn)體45以恒定的速度旋轉(zhuǎn)，從而能夠使液狀樹脂25穩(wěn)定地流動。

在圖7的(a)中，直接連接設(shè)置于樹脂噴射部19的旋轉(zhuǎn)軸43和電動機55。不限于此，還可以在旋轉(zhuǎn)軸43與電動機55之間使用傳送帶與滑輪的組合、小齒輪與齒輪的組合、鏈條與鏈輪的組合等。由此，能夠與電動機55的旋轉(zhuǎn)速度對應地調(diào)整旋轉(zhuǎn)軸43及旋轉(zhuǎn)體45的旋轉(zhuǎn)速度。因此，能夠與液狀樹脂25的種類、粘度、比重等對應地優(yōu)化用于使液狀樹脂25流動的速度。

如圖7的(b)所示，對樹脂噴射部46來說，在電動機55的前端連接有滑輪56。滑輪56經(jīng)由傳送帶52與設(shè)置于樹脂噴射部46的各個滑輪51相連。通過電動機55旋轉(zhuǎn)，從而經(jīng)由滑輪56使傳送帶52旋轉(zhuǎn)。通過傳送帶52旋轉(zhuǎn)，使旋轉(zhuǎn)軸49及旋轉(zhuǎn)體45旋轉(zhuǎn)?？赏ㄟ^調(diào)整連接到電動機55上的滑輪56的直徑、以及連接到樹脂噴射部46的旋轉(zhuǎn)軸49上的各個滑輪51的直徑，來調(diào)整旋轉(zhuǎn)軸49及旋轉(zhuǎn)軸45的旋轉(zhuǎn)速度。因此，能夠與液狀樹脂25的種類、粘度、比重等對應地優(yōu)化液狀樹脂25的流動速度。

如圖7的(c)所示，對樹脂噴射部46來說，在電動機55的前端連接有齒輪57。連接到電動機55上的齒輪57和連接到樹脂噴射部46的旋轉(zhuǎn)軸49上的齒輪53咬合。通過使電動機55沿逆時針方向旋轉(zhuǎn)，從而齒輪57沿逆時針方向旋轉(zhuǎn)，并且齒輪53沿順時針方向旋轉(zhuǎn)?？赏ㄟ^調(diào)整連接到電動機55上的齒輪57與連接到樹脂噴射部46的旋轉(zhuǎn)軸49上的齒輪53的齒輪比，來調(diào)整旋轉(zhuǎn)軸49及旋轉(zhuǎn)體45的旋轉(zhuǎn)速度。因此，能夠與液狀樹脂25的種類、粘度、比重等對應地優(yōu)化液狀樹脂25的流動速度。

例如可通過使用連接到電動機55上的、小齒輪、冠狀齒輪或正齒輪等的組合來調(diào)整旋轉(zhuǎn)軸49及旋轉(zhuǎn)體45的旋轉(zhuǎn)速度。

在各實施例中，對在圓柱狀部件中形成用于貫通旋轉(zhuǎn)軸的貫通部和槽部或孔部以作為旋轉(zhuǎn)體45的結(jié)構(gòu)進行了說明。旋轉(zhuǎn)體并不限定于這種構(gòu)造。旋轉(zhuǎn)體例如也可以是如下結(jié)構(gòu)：在中央部粗的鼓狀、中央部細的鼓狀或圓錐狀等部件中形成用于貫通旋轉(zhuǎn)軸的貫通部和槽部或孔部。不論旋轉(zhuǎn)體為何種形狀，均可通過使分支流道的形狀與旋轉(zhuǎn)體的形狀對應，來使旋轉(zhuǎn)體能夠旋轉(zhuǎn)。

在各實施方式中，示出了通過在樹脂噴射部設(shè)置多個噴嘴而向多個型腔供給液狀樹脂25的情況。在使用多個噴嘴的情況下，有可能在某個噴嘴產(chǎn)生液狀樹脂25的堵塞。由于在產(chǎn)生液狀樹脂25的堵塞時用于使液狀樹脂25流動的負載較大，因此待施加到分送器18的伺服電動機31中的負載轉(zhuǎn)矩增加。因此，可通過監(jiān)控待施加到伺服電動機31中的負載轉(zhuǎn)矩，來檢測液狀樹脂25的堵塞。由此，即使在使用多個噴嘴的情況下，也能夠容易發(fā)現(xiàn)分送器18是否發(fā)生異常。

在各實施方式中，使用伺服電動機31與滾珠絲杠32的組合來作為樹脂送出機構(gòu)28。不限于此，可以使用步進電動機與滾珠絲杠的組合、單軸偏心螺桿方式或氣缸等的送出機構(gòu)。

在各實施方式中，示出了在下模14上設(shè)置有多個型腔16的情況。不限于此，作為變形例，即使在設(shè)置有一個具有大面積的型腔的情況下，也能夠應用各實施方式中的分送器18。在該情況下，由于能夠從多個噴嘴向大面積的型腔同時噴射液狀樹脂25，因此能夠在短時間內(nèi)均勻地供給液狀樹脂25。

在各實施方式中，示出了使用事先將主劑和硬化劑混合而生成的液狀樹脂25的單液類型的分送器18。不限于此，即使在使用雙液混合類型的分送器的情況下，若使用各實施方式中的樹脂噴射部，則也能取得相同的效果，所述雙液混合類型的分送器在實際使用時在分送器中混合主劑和硬化劑而使用。

在各實施方式中，對將設(shè)置于下模14的型腔16作為收容部并向該型腔16供給液狀樹脂25的例進行了說明。除型腔以外，收容部還可以是如下的任一收容部。

第一，收容部為包含基板的上表面的空間即包含安裝在該基板的上表面上的芯片(半導體芯片、未使用半導體的非半導體芯片等電子部件的芯片)的空間。以覆蓋安裝在基板的上表面上的芯片的方式供給液狀樹脂25。在該情況下，優(yōu)選通過倒裝芯片來進行芯片與基板之間的電連接。

第二，收容部為包含硅晶片等半導體基板的上表面的空間。以覆蓋形成在半導體基板上的半導體電路等功能部的方式供給液狀樹脂25。在該情況下，優(yōu)選在半導體基板的上表面上形成有突起狀電極(bump)。

第三，收容部為包含最終應收容在成型模的型腔中的膜的上表面的空間。此時的收容部例如為通過膜凹陷而形成的凹部。液狀樹脂25被供給到通過膜凹陷形成的凹部中。作為該膜的目的，可列舉脫模性的提高、膜表面上的由凹凸形成的形狀的轉(zhuǎn)印、事先形成在膜上的圖案的轉(zhuǎn)印等。使用適當?shù)倪\送機構(gòu)與膜一同運送收容在膜的凹部中的液狀樹脂并最終將該液狀樹脂供給到成型模的型腔中。

在第一至第三情況的任一情況中，收容到收容部中的液狀樹脂25最終被供給并收容到成型模的型腔內(nèi)部，并且在型腔的內(nèi)部硬化。

在第一至第三情況的任一情況中，能夠在相對置的一對成型模的外部向收容部供給液狀樹脂25，并且將至少包括該收容部的結(jié)構(gòu)要素運送到成型模之間。

在各實施方式中，關(guān)于對半導體芯片進行樹脂封裝時所使用的樹脂成型裝置及樹脂成型方法進行了說明。樹脂封裝的對象可以是ic、晶體管等半導體芯片，也可以是非半導體芯片。在利用硬化樹脂對安裝在引線框、印刷基板、陶瓷基板等基板上的一個或多個芯片進行樹脂封裝時，可應用本發(fā)明。

此外，不限于對電子元件進行樹脂封裝的情況，在利用樹脂成型制造透鏡、反射器(反射板)、導光板或光學模塊等光學元件或其它樹脂產(chǎn)品時，可應用本發(fā)明。

本發(fā)明并不限定于上述各實施方式，在不脫離本發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)，可根據(jù)需要，任意并且適當?shù)剡M行組合或變更，或選擇性地采用。

附圖標記說明

1樹脂成型裝置

2基板供給收納模塊

3a、3b、3c、3d成型模塊

4樹脂供給模塊

5封裝前基板

6封裝前基板供給部

7封裝后基板

8封裝后基板收納部

9裝載器

10卸載器

11導軌

12、13移動機構(gòu)

14下模(成型模)

15合模機構(gòu)

16型腔

17樹脂運送機構(gòu)

18分送器(樹脂噴射機構(gòu)、流動性材料的噴射裝置)

19、46樹脂噴射部

20移動機構(gòu)

21抽真空機構(gòu)

22控制部

23芯片

24上模(成型模)

25液狀樹脂(流動性樹脂、流動性材料)

26硬化樹脂

27成型品

28樹脂送出機構(gòu)

29注射器

30樹脂移送部

31伺服電動機

32滾珠絲杠

33滑塊

34拉桿

35柱塞

36編碼器

37樹脂噴射口(噴射口)

38、47流道部件

39、48噴嘴

40樹脂流入口(流入口)

41分支流道

42樹脂流道

42a并排流道(分支流道)

43、49旋轉(zhuǎn)軸(聯(lián)動機構(gòu))

44螺旋狀槽

44a直線狀槽

45旋轉(zhuǎn)體

50支撐部件

51滑輪(旋轉(zhuǎn)板、聯(lián)動機構(gòu))

52傳送帶(聯(lián)動機構(gòu))

53齒輪(旋轉(zhuǎn)板、聯(lián)動機構(gòu))

54齒輪(聯(lián)動機構(gòu))

55電動機(旋轉(zhuǎn)機構(gòu))

56滑輪(聯(lián)動機構(gòu))

57齒輪(旋轉(zhuǎn)機構(gòu))