本發(fā)明涉及薄膜制造技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種基于厚度檢測的bopp擠出機(jī)模頭螺栓定位裝置。
背景技術(shù):
bopp薄膜即雙向拉伸聚丙烯薄膜是由雙向拉伸所制得的,它是經(jīng)過物理、化學(xué)和機(jī)械等手段特殊成型加工而成的塑料產(chǎn)品。bopp生產(chǎn)線是一個(gè)非線性復(fù)雜系統(tǒng)。其工藝流程主要包括:原料熔融、擠出、冷卻成型、縱向拉伸、橫向拉伸、切邊、電暈處理、卷取等。
作為bopp薄膜產(chǎn)品質(zhì)量指標(biāo)的物理機(jī)械性能如拉伸強(qiáng)度、斷裂伸長率、濁度、光澤等,因主要決定于材料本身的屬性,所以都易達(dá)到要求。而作為再加工性和使用性能的主要控制指標(biāo),即薄膜厚度偏差和薄膜平均厚度偏差,則主要決定于薄膜的制造過程。即使制造過程中薄膜厚度控制在在標(biāo)準(zhǔn)允許的偏差范圍內(nèi),但經(jīng)數(shù)千層膜收卷累計(jì)后,厚度偏差大的位置上就可能形成箍、暴筋或凹溝等不良缺陷,這些缺陷直接影響到用戶的再加工使用,如彩印套色錯(cuò)位或涂膠不勻起皺等現(xiàn)象,使其降低或失去使用價(jià)值。所以bopp薄膜生產(chǎn)中最關(guān)鍵的質(zhì)量間題是如何提高和穩(wěn)定薄膜厚度精度。
薄膜厚度控制基于對厚度的實(shí)時(shí)檢測,如申請?zhí)枮?014201577223的中國專利通過x射線掃描獲得薄膜厚度后,分別采用兩個(gè)pid調(diào)節(jié)器來進(jìn)行薄膜橫向和縱向厚度的控制,申請?zhí)枮?007201517097的中國專利也采用了類似的方法,其同時(shí)指出,為了得到厚度均勻的薄膜,必須要實(shí)現(xiàn)厚度測量值和測量位置精確定位。申請?zhí)枮?014204575910的中國專利則通過定邊裝置來進(jìn)行基膜的對齊。
目前,對測厚儀輸出的厚度數(shù)據(jù)進(jìn)行螺栓對應(yīng)的常用方法主要有以下兩種,一是在不同螺栓處劃線做記號(hào),然后在測厚儀掃描架上找到對應(yīng)的地方,以確定螺栓的位置;二是在用測厚儀檢測剖面的同時(shí),也測量出膜幅的實(shí)際寬度,參照模頭的寬度來計(jì)算薄膜的縮頸量,進(jìn)而對模頭螺栓進(jìn)行對應(yīng)。這兩種方法均需要人工根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)情況進(jìn)行輔助標(biāo)識(shí)、測量和判斷,人工判斷不但不精確,也無法穩(wěn)定。由于缺乏對薄膜剖面的連續(xù)準(zhǔn)確定位,薄膜的厚度控制效果及所生產(chǎn)產(chǎn)品的質(zhì)量往往受到影響。為此,需要解決自動(dòng)對測厚儀輸出的薄膜剖面厚度曲線進(jìn)行螺栓定位的問題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
有鑒于此,本發(fā)明的目的在于提供一種能輔助測厚儀對螺栓進(jìn)行測厚定位的裝置,通過動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)選定的螺栓,對測厚儀輸出的薄膜剖面厚度曲線進(jìn)行處理和計(jì)算,判斷螺栓定位的偏差并相應(yīng)調(diào)整螺栓位置,從而對擠出機(jī)模頭螺栓進(jìn)行準(zhǔn)確定位,輸出標(biāo)記有模頭螺栓位置的薄膜剖面厚度值集合,為薄膜厚度控制系統(tǒng)提供完善準(zhǔn)確的反饋信號(hào)。
本發(fā)明的技術(shù)解決方案是,提供一種以下結(jié)構(gòu)的基于厚度檢測的bopp擠出機(jī)模頭螺栓定位裝置,其包括采集單元、計(jì)算單元、判識(shí)單元、調(diào)節(jié)單元和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元,
所述采集單元從測厚儀獲取薄膜剖面厚度曲線數(shù)據(jù);
所述計(jì)算單元計(jì)算擠出機(jī)螺栓位置,并基于所采集的厚度曲線計(jì)算各螺栓處厚度值,輸出標(biāo)記有模頭螺栓位置的薄膜剖面厚度值集合;
所述判識(shí)單元檢索、識(shí)別待處理螺栓,并調(diào)整螺栓位置,其和計(jì)算單元均與數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元進(jìn)行數(shù)據(jù)交換;
所述調(diào)節(jié)單元對待處理螺栓進(jìn)行溫度調(diào)節(jié),控制執(zhí)行機(jī)構(gòu)改變擠出機(jī)唇口的開度。
作為優(yōu)選,所述薄膜剖面厚度曲線數(shù)據(jù)以薄膜剖面圖像形式表達(dá),所述圖像中包括分別以不同顏色表示的一條膜厚曲線、坐標(biāo)軸和與坐標(biāo)軸平行的輔助線,以及用以標(biāo)示所述膜厚曲線基準(zhǔn)厚度值、坐標(biāo)刻度值、厚度平均值的字符。
作為優(yōu)選,所述計(jì)算單元在初始定位時(shí)通過對邊和均勻定位計(jì)算螺栓位置。
作為優(yōu)選,所述判識(shí)單元在檢索周期檢索出所有厚度偏差異號(hào)的相鄰螺栓組合,選擇組合內(nèi)差別最小一組作為待處理螺栓,并由所述調(diào)節(jié)單元僅對此一組螺栓進(jìn)行調(diào)節(jié)。
作為優(yōu)選,判識(shí)單元對所述調(diào)節(jié)后的薄膜厚度進(jìn)行檢測判別,根據(jù)所述螺栓組合范圍內(nèi)零偏差位置的移動(dòng)來調(diào)節(jié)螺栓位置,并更新數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元內(nèi)容。
作為優(yōu)選,所述調(diào)節(jié)單元通過執(zhí)行機(jī)構(gòu)以pwm方式來控制模頭螺栓固態(tài)繼電器的通斷,從而通過控制螺栓的溫度來調(diào)節(jié)該螺栓所在模頭段的開度,以實(shí)現(xiàn)該螺栓所對應(yīng)薄膜區(qū)段的厚度調(diào)節(jié)。
作為優(yōu)選,所述調(diào)節(jié)單元通過執(zhí)行機(jī)構(gòu)以pfm方式來控制模頭螺栓固態(tài)繼電器的通斷,從而通過控制螺栓的溫度來調(diào)節(jié)該螺栓所在模頭段的開度,以實(shí)現(xiàn)該螺栓所對應(yīng)薄膜區(qū)段的厚度調(diào)節(jié)。
采用本發(fā)明的方案,與現(xiàn)有技術(shù)相比,具有以下優(yōu)點(diǎn):本發(fā)明應(yīng)用于薄膜生產(chǎn)在線厚度檢測的輔助定位,通過對厚度偏差異號(hào)的一組螺栓進(jìn)行調(diào)節(jié)并根據(jù)調(diào)節(jié)后零偏差點(diǎn)的位置移動(dòng),對當(dāng)前螺栓定位位置進(jìn)行相應(yīng)調(diào)節(jié),實(shí)現(xiàn)了對薄膜厚度測量位置的自動(dòng)準(zhǔn)確定位,有效防止了人為判斷錯(cuò)誤的影響,為進(jìn)行薄膜厚度一致性控制提供了實(shí)時(shí)依據(jù)。本發(fā)明通過僅對厚度偏差小的螺栓進(jìn)行調(diào)節(jié)來進(jìn)行輔助定位,調(diào)節(jié)動(dòng)作量小;而且自動(dòng)定位過程短,快速準(zhǔn)確的螺栓定位能避免bopp薄膜制造過程中厚度偏差難以歸零的問題。
附圖說明
圖1為bopp生產(chǎn)工藝流程示意圖;
圖2為本發(fā)明基于厚度檢測的bopp擠出機(jī)模頭螺栓定位裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖3為擠出機(jī)模頭局部結(jié)構(gòu)示意圖;
圖4為bopp生產(chǎn)中測厚儀顯示界面圖;
圖5為擠出機(jī)模頭螺栓定位偏差示意圖;
圖6為模頭螺栓定位偏右時(shí)膜厚調(diào)節(jié)示意圖;
圖7為模頭螺栓定位偏左時(shí)膜厚調(diào)節(jié)示意圖;
圖8為本發(fā)明裝置自動(dòng)螺栓定位工作流程圖;
圖9為本發(fā)明中調(diào)節(jié)單元控制信號(hào)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述,但本發(fā)明并不僅僅限于這些實(shí)施例。本發(fā)明涵蓋任何在本發(fā)明的精神和范圍上做的替代、修改、等效方法以及方案。
為了使公眾對本發(fā)明有徹底的了解,在以下本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例中詳細(xì)說明了具體的細(xì)節(jié),而對本領(lǐng)域技術(shù)人員來說沒有這些細(xì)節(jié)的描述也可以完全理解本發(fā)明。
在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本發(fā)明。需說明的是,附圖均采用較為簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例,僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實(shí)施例的目的。
如圖1所示,bopp薄膜生產(chǎn)從原材料熔融開始,經(jīng)擠出成型為厚片即鑄片,鑄片再經(jīng)縱向和橫向拉伸展寬展薄為寬卷薄膜,然后在牽引過程中進(jìn)行切邊和電暈等處理,最后收卷為大母卷,后續(xù)按訂單要求對母卷進(jìn)行分切和包裝。由于厚度對產(chǎn)品質(zhì)量起著至關(guān)重要的作用,因此,在bopp生產(chǎn)中往往用兩臺(tái)測厚儀分別對鑄片和寬卷薄膜進(jìn)行厚度實(shí)時(shí)監(jiān)測,兩臺(tái)測厚儀均可對外輸出剖面的厚度數(shù)據(jù)集,同時(shí)它們均還連接顯示器以顯示鑄片或?qū)捑肀∧さ钠拭鎴D像。兩臺(tái)測厚儀中前面對鑄片測厚的那一臺(tái)在薄膜初拉出時(shí)使用,等到后面第二測厚儀投入后便暫停使用。
如圖2所示,本發(fā)明基于厚度檢測的bopp擠出機(jī)模頭螺栓定位裝置100,其包括采集單元110、計(jì)算單元120、判識(shí)單元130、調(diào)節(jié)單元140和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元150。采集單元110從測厚儀獲取薄膜剖面厚度曲線數(shù)據(jù)后傳送給計(jì)算單元120;由計(jì)算單元120進(jìn)行螺栓位置的初始計(jì)算,并在所采集的厚度曲線的橫坐標(biāo)上標(biāo)出,輸出標(biāo)記有模頭螺栓位置的薄膜剖面厚度值集合,存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元150中;判識(shí)單元130根據(jù)當(dāng)前的薄膜剖面厚度值集合,檢索、識(shí)別出待處理螺栓,由調(diào)節(jié)單元140通過執(zhí)行機(jī)構(gòu)200對擠出機(jī)300中的所述待處理螺栓進(jìn)行溫度控制,調(diào)節(jié)模頭唇口開度,從而調(diào)節(jié)薄膜厚度;判識(shí)單元130還要對上述調(diào)節(jié)后的厚度改變結(jié)果進(jìn)行二次檢索和判別,然后相應(yīng)地調(diào)整螺栓位置,更新數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元150中的內(nèi)容。
結(jié)合圖2和圖3所示,擠出機(jī)300的模頭包括上下兩個(gè)唇片310,唇片之間形成唇口330,唇口開度大小由橫向排列的加熱螺栓320來調(diào)節(jié)。本發(fā)明為進(jìn)行模頭螺栓的準(zhǔn)確定位,需要對擠出機(jī)模頭上的部分螺栓320進(jìn)行動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)以輔助判斷。
采集單元所采集到的薄膜剖面厚度曲線數(shù)據(jù),可以是按某種格式排列的數(shù)值串,也可能是以薄膜剖面圖像形式呈現(xiàn)的,如一般測厚儀是以vga圖像輸送給顯示器的。
如圖4所示,在以圖像形式采集的薄膜剖面數(shù)據(jù)即薄膜剖面圖像中,分別有兩幅剖面厚度曲線圖和一些字符信息;其中,a區(qū)域表示薄膜厚度曲線橫坐標(biāo)軸對應(yīng)的厚度基準(zhǔn)值35.5um及曲線畫面中坐標(biāo)系的縱向坐標(biāo)刻度值5%;c區(qū)域?yàn)楸硎霎?dāng)前薄膜剖面的目標(biāo)厚度曲線,其坐標(biāo)軸按a區(qū)域的描述進(jìn)行設(shè)定,坐標(biāo)系中還含有與坐標(biāo)軸平行的輔助線;b區(qū)域中avg=35.51um是指c區(qū)域曲線所顯示的當(dāng)前薄膜剖面的厚度平均值,r=2.83%則是曲線上下波動(dòng)的統(tǒng)計(jì)極差值。由于薄膜剖面圖像有著這些區(qū)塊特征,因此,本發(fā)明基于厚度檢測的bopp擠出機(jī)模頭螺栓定位裝置的計(jì)算單元,內(nèi)部設(shè)置兩個(gè)進(jìn)行圖像處理的模塊,分別是字符提取模塊和曲線分割模塊,這兩個(gè)模塊前者從所述薄膜剖面圖像中獲取圖像中膜厚曲線的基準(zhǔn)厚度值、坐標(biāo)刻度值、厚度平均值;后者則基于這些數(shù)值,并在從圖像中提取出一條連續(xù)完整且無交叉的膜厚曲線后,對該曲線上每個(gè)點(diǎn),將其在圖像中的像素坐標(biāo)變換為所對應(yīng)的厚度值。
如圖5所示為擠出機(jī)模頭螺栓定位偏差示意圖,其中,圖5a給出了螺栓實(shí)際位置在估計(jì)位置左側(cè)時(shí)的情況,圖5b給出了螺栓實(shí)際位置在估計(jì)位置右側(cè)時(shí)的情況。圖中,中部水平直線為設(shè)定厚度值對應(yīng)的參考線,曲線為計(jì)算得到的厚度曲線,下方和上方的三角形分別示意估計(jì)和實(shí)際的螺栓位置。bopp薄膜生產(chǎn)在鑄片橫拉過程中,其拉伸比為7-9倍,對于如8280mm的寬卷規(guī)格,其鑄片寬度約為1000mm,模頭螺栓為39個(gè)時(shí),每個(gè)螺栓對應(yīng)鑄片寬度約為25mm,除去兩端相對較為固定的螺栓,中部每個(gè)調(diào)節(jié)螺栓對應(yīng)在圖中的寬度基本相同。
從圖5a可以看出,當(dāng)估計(jì)位置偏右時(shí),估計(jì)在j處和k處的螺栓其實(shí)際位置在j1、k1處,其中,j1處螺栓的偏差為正值,但由于其估計(jì)位置在j處,在進(jìn)行厚度調(diào)節(jié)時(shí),將因按j處偏差來控制模頭唇口開度即增大開度而變厚,即j1螺栓處膜厚的偏差不但不會(huì)減小,還將增大;類似地,k1螺栓處的膜厚偏差將因按k處偏差來控制即保持模頭唇口開度而不會(huì)減小。當(dāng)螺栓估計(jì)位置偏左時(shí),如圖5b所示,也將出現(xiàn)相同的問題,螺栓r1、s1處位置的膜厚偏差將因分別按r、s處偏差來進(jìn)行控制而進(jìn)一步增大偏差,螺栓t處位置的膜厚偏差則與k處類似,偏差不會(huì)減小。
為此,為了使得膜厚控制能夠收斂到零偏差而不在零偏差上下反復(fù)振蕩,應(yīng)該使得螺栓估計(jì)位置盡量接近實(shí)際位置。本發(fā)明通過動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)特定螺栓并根據(jù)調(diào)節(jié)效果來判斷估計(jì)位置是偏左還是偏右。
如圖6和7所示,當(dāng)模頭螺栓估計(jì)位置偏左或偏右時(shí),其膜厚調(diào)節(jié)效果將不同。在兩圖中,x軸表示偏差參考線,直線ab表示兩個(gè)估計(jì)螺栓位置a和b之間的膜厚曲線段,不失一般性,假設(shè)a和b關(guān)于x軸對稱分布且其間的厚度值呈直線分布;p點(diǎn)為ab和x軸的交點(diǎn),為當(dāng)前零偏差點(diǎn)。c和d點(diǎn)分別為所估計(jì)位置a和b對應(yīng)兩個(gè)螺栓的實(shí)際位置,即按a、b處偏差進(jìn)行的螺栓調(diào)節(jié),實(shí)際將分別發(fā)生在c、d處,直線cd為直線ab的水平移動(dòng)平行線,其中圖6中為左移而圖7中為右移;m點(diǎn)為cd與x軸的交點(diǎn)。圖中,u、v和e及f、g為輔助箭線的末端點(diǎn),直線fg為對c、d兩處螺栓基于a、b處偏差進(jìn)行比例控制調(diào)節(jié)后新的膜厚曲線段,fg與x軸的交點(diǎn)為q點(diǎn),各垂直箭頭為比例控制后膜厚的改變,dm為螺栓位置的估計(jì)偏差值,dzf為比例控制前后零偏差點(diǎn)位移量。
如圖8所示,本發(fā)明裝置的自動(dòng)螺栓定位工作流程為:
(s1)首先進(jìn)行系統(tǒng)初始化,設(shè)定周期、閾值;
(s2)從測厚儀采集薄膜剖面厚度曲線數(shù)據(jù),計(jì)算曲線對應(yīng)的厚度值;
(s3)如果已有定位數(shù)據(jù)則轉(zhuǎn)s4,否則進(jìn)行初始定位,通過人工對邊后,將各螺栓均勻分布在曲線橫軸上,更新螺栓定位位置集合和標(biāo)記有模頭螺栓位置的薄膜剖面厚度值集合,之后轉(zhuǎn)s7;
(s4)如果不是檢索周期則轉(zhuǎn)s5,否則進(jìn)行螺栓檢索,搜索所有厚度偏差正負(fù)異號(hào)的相鄰螺栓組合,并選擇其中厚度偏差的差別最小的一組標(biāo)記為(mj1,mj2)作為待處理螺栓,由調(diào)節(jié)單元通過執(zhí)行機(jī)構(gòu)對該兩個(gè)螺栓進(jìn)行按各自厚度偏差的比例控制,同時(shí)記錄兩個(gè)螺栓之間厚度偏差為零的點(diǎn)的橫坐標(biāo)xp,之后轉(zhuǎn)s7;
(s5)如果不是判別周期,則轉(zhuǎn)s6,否則進(jìn)行螺栓位置估計(jì)偏差的判斷和調(diào)節(jié),再次檢索螺栓(mj1,mj2)之間的零偏差點(diǎn),記其橫坐標(biāo)為xq;比較xq和xp,如果兩者差值在設(shè)定閾值范圍內(nèi),則轉(zhuǎn)s8;若xq小于xp則將所有螺栓右移,否則將所有螺栓左移,更新螺栓定位位置集合和標(biāo)記有模頭螺栓位置的薄膜剖面厚度值集合,之后轉(zhuǎn)s7;
(s6)為其他周期,定位不作處理,轉(zhuǎn)s7;
(s7)等待下一周期到來,轉(zhuǎn)s2;
(s8)定位完畢,結(jié)束。
在上述比例控制調(diào)節(jié)后,擠出機(jī)唇口開度改變,擠出成型鑄片的厚度也相應(yīng)被調(diào)整,鑄片經(jīng)拉伸后被測厚儀進(jìn)行厚度檢測,相應(yīng)地,采集單元獲得的厚度信息也不斷被刷新。判別周期在檢索周期之后,其間的延時(shí)根據(jù)生產(chǎn)進(jìn)行測定。作為優(yōu)選,自動(dòng)螺栓定位過程中,檢索周期與判別周期的時(shí)間跨度可根據(jù)當(dāng)前膜厚的總體偏差進(jìn)行調(diào)整,且自動(dòng)定位也可以根據(jù)膜厚變化重復(fù)進(jìn)行。
結(jié)合圖6~8所示,為進(jìn)行螺栓位置估計(jì)偏差的判斷,對擠出機(jī)模頭上中部各可調(diào)節(jié)螺栓,基于當(dāng)前估計(jì)位置進(jìn)行檢索,找到離厚度參考線最近且偏差值正負(fù)異號(hào)的一對螺栓,對它們進(jìn)行比例控制。如圖6所示,實(shí)際螺栓位置在估計(jì)位置左側(cè),圖中假設(shè)a、b兩處偏差值相等,則對c、d兩個(gè)螺栓進(jìn)行比例控制后,兩處厚度的改變量將分別與如圖6b所示的a、b兩處的箭頭一致,即將a、b兩處的箭頭水平左移為箭頭u和v。那么,如圖6c所示,a處實(shí)際得到的調(diào)節(jié)量將是a位置對應(yīng)在三角形muc中如箭頭e所示的分量。如圖6d所示,將箭頭e和v的首端分別平移到a點(diǎn)和d點(diǎn)在直線ab上的投影點(diǎn),得到箭線f和g,則fg為對c、d兩處螺栓基于a、b處偏差進(jìn)行比例控制調(diào)節(jié)后新的膜厚曲線段。圖6a為圖6b、6c和6d的綜合圖,圖7與圖6類似。
從圖6和圖7可以看出,fg與x軸的交點(diǎn)q,其位置在p點(diǎn)左側(cè)還是右側(cè),取決于m的位置,q與m分處于原零偏差點(diǎn)p的兩側(cè)。因此,在自動(dòng)螺栓定位過程中,當(dāng)發(fā)現(xiàn)q在p右側(cè)時(shí),說明原螺栓估計(jì)位置偏右,應(yīng)該將估計(jì)位置左移,如圖6所示;反之,則應(yīng)該將估計(jì)位置右移,如圖7所示。為選擇合適的估計(jì)位置位移量,可以通過離線實(shí)驗(yàn),事先建立螺栓位置的估計(jì)偏差值dm與比例控制前后零偏差點(diǎn)位移量dzf之間的映射關(guān)系表,在線調(diào)節(jié)時(shí),先計(jì)算出當(dāng)前dzf然后通過查表獲得估計(jì)偏差值dm。
上述比例控制,是將厚度偏差轉(zhuǎn)換為溫度補(bǔ)償值,通過模頭上的調(diào)節(jié)器以脈沖的方式來控制加熱控制通道上固態(tài)繼電器的通斷,從而控制當(dāng)前模頭螺栓的溫度。由于金屬的熱脹冷縮性質(zhì),當(dāng)加熱器導(dǎo)通時(shí)鑄片唇口的縫隙壓縮,這樣鑄片唇口的薄膜厚度會(huì)逐漸減小,反之則增加。
如圖9所示為調(diào)節(jié)單元控制信號(hào)示意圖,調(diào)節(jié)單元可以通過如圖9a所示的pwm波或者如圖9b所示的pfm波來指令。其中,pwm波的周期ts保持不變,通過改變一周期內(nèi)導(dǎo)通時(shí)間ton來調(diào)節(jié)控制量;而pfm則保持導(dǎo)通時(shí)間不變,通過改變周期的大小來調(diào)節(jié)控制量。作為優(yōu)選,在制造過程中,加熱頻繁時(shí)可選用pwm方式,否則可選pfm方式。
本發(fā)明基于厚度檢測的bopp擠出機(jī)模頭螺栓定位裝置通過優(yōu)選特定的一組螺栓進(jìn)行厚度比例調(diào)節(jié),并根據(jù)調(diào)節(jié)前后膜厚的變化來對螺栓估計(jì)位置進(jìn)行調(diào)整,能快速對模頭螺栓進(jìn)行準(zhǔn)確定位,輸出標(biāo)記有所有模頭螺栓位置的薄膜剖面厚度值數(shù)對集合。
除此之外,雖然以上將實(shí)施例分開說明和闡述,但涉及部分共通之技術(shù),在本領(lǐng)域普通技術(shù)人員看來,可以在實(shí)施例之間進(jìn)行替換和整合,涉及其中一個(gè)實(shí)施例未明確記載的內(nèi)容,則可參考有記載的另一個(gè)實(shí)施例。
以上所述的實(shí)施方式,并不構(gòu)成對該技術(shù)方案保護(hù)范圍的限定。任何在上述實(shí)施方式的精神和原則之內(nèi)所作的修改、等同替換和改進(jìn)等,均應(yīng)包含在該技術(shù)方案的保護(hù)范圍之內(nèi)。